TW201000911A - Probe card assembly - Google Patents

Description

201000911 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係有_-麵針卡减’ 是有__觀鎌轉體晶圓測試 者0 【先前技術】 在半導體的晶圓製程中，為了測試晶圓上晶粒的良筹，必須使用測試機台與 探針卡(pmbecard)來執行晶圓測試，如先前技術中之美國公告專利us7〇53638、 US6515358、US6137297、US5670889、US7271603、US7304488、US6478596 等所揭露者。探針卡上具有精密的接觸機構，來接觸晶圓上每—個晶粒，導通 電路’並執行雜測試，以雜晶_電氣雛與效缺依照設計規格製造出 來近年來’同速運作的半導體裝置的開發盛行，因此測試機台與探針卡也要 能高頻率相賴，但是傳賴f式探針卡顧在高綱試時，因為各個探針彼 此相鄰極近，絲相為電磁干·生_訊問題使制試絲十分不穩定， 往往需要進行額外的重測程序，降低生產與測試效率。因此，如何改進習用的 探針卡組成的結構以解決上述問題，實為業界所需。 【發明内容】 蚀田為了解决上述先則技術不盡理想之處，本發明提供了一觀針卡組成及1所 =的探針，其_卡組成主要包含有—本體、—設置於本财央部位之探 :::個連接本體與探針座的探針，其中，探針的尖端自探針座伸出， 侧晶圓。此外’探針包含至少—電力探針、至少—接地探針 ^錢探針，其中各探針皆具有—憎部位介於本體與探針座之間。電力探 針，、具有一線芯，線芯外部包覆有絕緣塑膠。接地探針係為裸 想的接=使得導電膠延伸至探針卡組成之本 輸綱導電 不體的接地端，則可使探針卡順利的傳輸 5 201000911 南頻訊號。 因此’本發明之主要目的係提供—種探針卡組成 南頻測試的準確度。 本發明之轉目的储供-贿針輪成，縣 頻測試所產生的雜訊。 」以有效降低馬 本發明之另一目的係提供一種探針卡組 a .力探針與接地探針之間的電感。 、曰曰’ 3 ’可以有效降低電 【實施方式】 由於本發日_露-觀針輪成，用於—彳铜晶_機，其中探針卡 組成的^縣理與基本猶，已為_技術賴具有騎知識 以下文中之，不再作完整描述。同時，以下文中所對照之圖式，係^達鱼欠 本發明特徵《之結構不意，並未林需要依據實際尺寸完錄製，盍先敎明。 ^先请參考第1圖至第4圖，縣發明提出之第―較佳實 針卡組成⑽，探針卡組成咖主要包含有一本體i、一設置於本體i中央= 之探針座2以及複數個連接本體丨與探針座2的探針3，探針3包含至少」電力 探針(power Pr〇be)32、至少一接地探針33與複數個訊號探針㈣咖此抑 針3具有-中段部位M介於本體！與探針座2之間，探針3的尖端_】自探 針座2伸出，用以接觸-制晶齡圖示)以進行電性測試。電力探針^與訊 娜針34之内部具有-線芯(_)35，線芯％外部包覆有絕緣娜4 ;接地探 針33則為未包覆絕緣塑膠4的裸針。 由於探針3之間彼此相鄰極近，訊號容易互相干擾、或造成電感迴路過大。 因此，本實施例將接地探針33以及訊號探針％的中段部位m之外緣塗佈有導 電膠5，使得導電膠5延伸至本體上的接地端，此接地端進一步可連接到本體i 的PCB板中的接地層。請參考第3 ，其為訊舰針％的剖視圖，導電膠$ 塗佈在絕緣塑膠4的外部1參考第4圖，其係為接地探針Μ的剖視圖，導電 201000911 •i 膠5塗佈在裸針的線芯35上，如此，可使相關的高頻雜訊經由導電膠5導引至 接地探針33與接地端，使電感迴路變小、訊號探針34的訊號不易損耗或受干 擾’而使訊號探針34能夠較順利的傳輸高頻訊號，達成高頻測試的目的。此外， 由於咼頻雜訊是產生訊號干擾的最主要來源，所以本實施例中之訊號探針34亦 可為咼頻訊舰針(未圖示），並且料電膠5塗佈在高頻訊號探針上比塗佈在— 般訊號探針34上能獲得更佳的效果 本發明進-步提出第二較佳實施例，為-觀針卡喊丨⑻，主要包含有— 本體卜-設4縣體1巾央部蚊探触2 w及難贿接描i與探針座2 的探針3。相較於第-較佳實施例，在此實施例中為接地探針％ u及電力探針 32的中段雜Μ之外緣塗佈有導電膠5，使得導電膠5延伸至本體丨的接地端， 如此，可使電力探針32與接地騎33之間的電感大幅減低，相關的高頻雜訊 I經由導電膠5導引至接地探針％與接地端，訊號探針％的訊號不易損耗或 又干擾’錢tfl雜針34關較糊的雜高頻罐，軸高綱試的目的。 其餘之特徵如前述之第―較佳實關所揭露者。 本發明進—步提出第三較佳實關，為—種探針卡組成刚，主要包含有一 —設置於本體1中央雜之探針座2以及複數個連接本體1與探針座2 相較於第—或第二較佳實施例，在此實施例中為電力探針32、接地 二本針34的中段部位Μ之外緣均塗佈有導電膠5，使得導電膠5 甲至本體1的接地端，可達更佳之效果。 利之較佳實施例，並非用赚定本發明之帽專利權 其他未胁本麟佩之相人均可_及實施，因此 專利範圍中/ 之精神下所完成的等效改賊修飾，均應包含在申請 201000911 【圖式簡單說明】 第i圖為-示意圖，係根據本創作提出之第—較佳實施例，為一種探針卡組 第2圖為-剖欄，係根據本創作提出之第—較佳實施例，為一種探針卡組 第3圖為-剖視圖，係根據本創作提出之第—較佳實施例，為一種訊號探針。 第4圖為-剖視圖，係根據本創作提出之第—較佳實施例，為一種接地探針。 【主要元件符號說明】 探針卡組成 100 本體 1 探針座 2 探針 3 尖端 31 電力探針 32 接地探針 33 訊號探針 34 線芯 35 絕緣塑膠 4 導電膠 5 中段部位 Μ

Claims (1)

1. 201000911 ' 十、申請專利範圍： 1. -種探針卡組成，主要包含有—本體…設置於該本體中央部位之探針座、 以及複數個連接該本體與該探針座的探針，該等探針的尖端並自該探針座伸 出，用以接觸一待測晶圓，該等探針包含至少一電力探針、至少一接地探針 與複數個訊號探針’其中各探針具有一中段部位介於該本體與該探針座之 間，其特徵在於： 至少-健地探針以及至少一個訊號探針的中段部位之外緣塗佈有導電膠， 令該導電觀伸至該探針卡組成之本體祕地端，且雜地探針係為未包覆 絕緣塑膠之裸針，該訊號探針之内部具有—線芯，該線芯外部包覆有絕緣塑 膠。 2.依據申請專利範圍第i項之探針卡組成，其中财段部位之外緣塗佈有 膠的訊號探針為高頻訊號探針。 3· -讎針该成，主要包含有m置霞本财央雜之探針座、 以及複數個連接該本體與該探針座的探針，該等探針的尖端並自該探針座伸 出，用以接觸-制晶圓’該等探針包含至少—電力探針、至少—接地探針 與複數個峨騎，其巾各探針具有—巾段雜介於該本雜 間，其特徵在於： 4. 至少-個接地探針以及至少_個電力探針的中段部位之外緣塗佈有導電膠， 令鱗電觀伸至贿針切紅本_接地端，其巾 針，該電力探針之_具有-制，該線料部__娜。裸 -種探針卡减，主要包含有—榻、—設加_巾蝴 ===，鄉有―他崎卿 ;少:=也r以及接地探針以外之探針的中段部位之外緣塗佈抖^ 膠，令峨勝延伸至該探針卡之本體的接地端，其中該接地探針i裸針， 9 201000911 該接地探針以外之探針之内部具有一線芯，該線芯外部包覆有絕緣塑膠。