TW201009887A - Excimer lamp - Google Patents

Description

201009887 六、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明是關於經由二氧化矽玻璃所成的放電容器，及 相對的一對電極，及在該一對的電極間形成該放電容器的 二氧化矽玻璃，激勵放電用氣體’並在上述放電容器的內 '部發生準分子放電的準分子燈。 Φ 【先前技術】 近年來，開發了藉由將波長200nm以下的真空紫外線 照射在金屬、玻璃及其他材料所成的被處理體，而藉由該 真空紫外光及由此所生成的臭氧的作用來處理被處理體的 技術，例如除去附著於被處理體的表面的有機污染物質的 洗淨處理技術，或在被處理體的表面形成氧化膜的氧化膜 形成處理技術，而被實用化。 在此些裝置中，作爲照射真空紫外光，眾知例如藉由 φ 準分子放電形成準分子分子，利用隨著該準分子分子的崩 潰所發生的光’例如波長1 72nm附近的光的準分子燈。此 種準分子燈’是爲了更有效率地放射更高強度的紫外線， ' 實施很多嘗試。 第5圖是表示日本特開2004-127710號公報所述的習 知的準分子燈的構成的說明用立體圖。習知的準分子燈60 是具備透射紫外線的二氧化矽玻璃所成斷面矩形狀又中空 長邊的放電容器61，而在該放電容器61的外表面形成有 一對電極65 ’66。在該放電容器61的內部封入氙氣體作. -5- 201009887 爲放電用氣體。又，該準分子燈60是若在一方的該電極 65供應著點燈電力，則形成有準分子分子，隨著該準分子 分子的崩潰而產生真空紫外光被放射的所謂準分子放電。 真空紫外光是極高能量的光之故，因而若將該強真空 紫外光長時間地繼續照射在二氧化矽玻璃，則起因於紫外 線的缺陷會生成於該二氧化矽玻璃中，此爲形成紫外線失 真，視情況，會發生微細的裂痕或裂縫。尤其是，在面臨 於放電空間的最表面，在放電空間所發生的真空紫外光內 ，短波長側的高能量的波長域的光大部分會直接照射在該 表面，而強紫外線變形被形成在該表面收縮的方向。另一 方面，被照射在放電容器61的外表面的真空紫外光，是 僅形成該放電容器61的玻璃的厚度分量被衰減，而形成 於藉由紫外線失真所收縮的方向的紫外線失真量，是與內 表面相比較格外地變少。藉由該紫外線失真所生成的量之 不相同，抗拉應力施加於面臨於放電空間的最表面，該外 表面是朝伸長方向變形。 第6圖是表示用於說明習知的準分子燈的放電容器61 的變形的說明用斷面圖。 放電谷器61是長邊狀板玻璃所成的長邊面62a，62b 配置成互相相對向，而利用連結長邊面62a與長邊面62b 的短邊面63 a’ 63 b形成有斷面矩形狀的管。箭號是表示 朝放電容器的內部作用的應力的方向著。 在面臨於長邊面62a，62b或短邊面63a，63b的放電 空間的最表面真空紫外光之內，高能量的短波長域的光被 -6 - 201009887 吸收較多之故，因而形成紫外線失真，有力量作用 號所示地收縮的方向。另一方面，放電容器61的 是有力量作用於朝箭號地伸長的方向。在斷面矩形 電容器61中，由形狀上的特徵，有朝長邊面62a’ 向伸縮的應力，及朝短邊面63a，63b方向伸縮的 用於連結長邊面62a，62b與短邊面63a，63b的 64a，64b’ 64c，64d’而有應力集中在邊緣部64a φ 64c，64d。因此，藉由利用應力集中所積蓄的失真 邊緣部64a，64b，64c，64d成爲破損的起點，而 電容器61被破壞的問題。 專利文獻1 ··日本特開2004-127710號公報 【發明內容】

本發明是爲了解決上述問題而創作者，提供在 面矩形狀的管型放電容器的準分子燈中，可防止邊 φ 爲破損起點而使得放電容被破壞的準分子燈作爲目E 本發明的申請專利範圍第1項所述的準分子燈 具備兩端藉由端面被關閉，藉由互相相對的長邊面 該長邊面的短邊面所圍繞的斷面矩形狀的放電容器 r 放電容器的互相相對的該長邊面，或是在該短邊面 一對電極，而在該放電容器的內部封入氙氣體，在 間內發生準分子放電的準分子燈，其特徵爲：該長 對於連結該長邊面與該短邊面的邊緣部’該長邊面 部朝向該放電空間的內側的方向彎曲’在該放電容 於朝箭 外表面 狀的放 62b方 應力作 邊緣部 » 64b 5 ，使得 產生放 具備斷 緣部成 β。 ，屬於 與連結 ，在該 配置有 放電空 邊面相 的中央 器的內 -7- 201009887 表面形成有紫外線反射膜，該紫外線反射膜是形成於該邊 緣部的膜厚，比形成於該放電容器的其他內表面的膜厚還 要厚。 又，本發明的申請專利範圍第2項所述的準分子燈， 是除了上述構成之外，上述短邊面相對於連結該長邊面與 該短邊面的邊緣部，該短邊面的中央部朝向該放電空間的 內側的方向彎曲，爲其特徵者。 又，本發明的申請專利範圍第3項所述的準分子燈， @ 是除了上述構成之外，上述紫外線反射膜是包含二氧化矽 粒子與氧化鋁粒子，爲其特徵者。 依照本發明的申請專利範圍第1項所述的準分子燈， 該長邊面是對於連結該長邊面與該短邊面的邊緣部，該長 邊面的中央部朝向該放電空間的內側的方向彎曲，在該放 電容器的內表面形成有紫外線反射膜，該紫外線反射膜是 形成於該邊緣部的膜厚，比形成於該放電容器的其他內表 面的膜厚還要厚。因此，容易成爲破起點的邊緣部是藉由 © 紫外線反射膜使得真空紫外光充分地被遮斷，而可減輕發 生於該邊緣部的紫外線失真等的損傷之故，因而作爲結果 ，具有可防止該放電容器的破壞等的不方便的優點。 依照本發明的申請專利範圍.第2項所述的準分子燈， ^ 該短邊面的中央部爲對於連結長邊面與短邊面的邊緣部， 朝向放電空間的內側的方向彎曲。所以，即使形成於短邊 面中央部的內表面的該紫外線反射膜的膜厚作成較薄，在 該邊緣部近旁內表面，也可把該紫外線反射膜的膜作成較 -8- 201009887 厚。亦即，可將在放電空間內部所生成的強真空紫外光， 增大到在該邊緣部可選擇性地遮斷的程度爲止。所以，可 減輕發生於該邊緣部的紫外線失真等的損傷之故，因而作 爲結果，具有可防止該放電容器的破壞等的不方便的優點 〇 依照本發明的申請專利範圍第第3項所述的準分子燈 ，在該紫外線反射膜包含二氧化矽粒子，藉此可提高與由 φ 二氧化矽玻璃所成的放電容器之接著力，而且在該紫外線 反射膜包含氧化鋁粒子，藉此具有可長時間地維持紫外線 的反射特性的優點。還有’該氧化鋁粒子阻礙互相鄰接的 二氧化矽粒子利用放電所作的熱被熔融的情形，而可維持 各粒子間的境界，具有可長時間地維持紫外線的反射特性 的優點。 【實施方式】 φ 第1圖是表示本發明的準分子燈ίο的一例的構成的 槪略的說明用斷面圖，第1(a)圖是表示沿著放電容器U 的長度方向的斷面的橫斷面圖，第1(b)圖是表示第i(a)圖 的A-A線斷面圖。 該準分子燈10是具備兩端被氣密地封閉而在內部形 成有放電空間S的斷面矩形狀的中空長狀的放電容器n ，而在該放電容器11的內部，作爲放電用氣體，被封入 有氣氣體。在此’氣氣體是壓力作成例如成爲10至60kPa 的範圍內的封入量。 -9- 201009887 放電容器11是-由良好地透射真空紫外光的二氧化矽 玻璃，例如合成石英玻璃所成，兼具有作爲介質的功能。 放電容器11是長狀板玻璃所成的長邊面12a，12b配 置成互相相對的狀態，而藉由連結長邊面12a與長邊面 12b的短邊面13a，13b形成有斷面矩形狀的管。長邊方向 的兩端是藉由端面14a，14b被關閉，而將放電空間S的 ， 內部作爲氣密空間。放電容器1 1是例如長度方向的長度 爲800至1600mm，具有320至640cm3的放電空間S。 _ 在放電容器11的長邊面12a，12b的外表面，相對向 朝長邊方向延伸而形成有一對格子狀電極15a，15b。在長 邊面12a的外表面配置有功能作爲高電壓饋電電極的一方 電極15a，而在長邊面12b的外表面配置有功能作爲接地 電極的另一方電極15b。藉由此，作成在一對電極15a， 15b間介設有作爲介質的功能的放電容器11的狀態。此種 電極15a，15b是例如藉由將金屬所成的電極材料糊膏塗 佈於放電容器11，或是藉由照片印刷可形成。 @ 該準分子燈10，當點燈電力被供應於一方的電極15a ，則經由功能作爲介質的放電容器11的壁而在兩電極15a ，15b間生成放電，藉由此，形成有準分子分子，而且在 該準分子分子崩潰的過程中產生真空紫外光所放射的準分 ^ 子放電。 上述準分子燈10是爲了有效率地利用藉由準分子放 電所發生的真空紫外光，在被曝露於放電容器11的放電 空間S的表面，設有紫外線散射粒子所成的紫外線反射膜 -10- 201009887 紫外線反射膜20是對應於放電容器11的長邊面12a 的功能作爲高電壓饋電電極的一方電極15a的內表面領域 ，與連續於該領域的短邊面13a，13b的內表面領域全面 所形成。又，在端面14a，14b的內表面領域也形成有紫 外線反射膜20。一方面，在對應於放電容器11的長邊面 12b的功能作爲接地電極的另一方電極15b的內表面領域 φ ，藉由未形成有紫外線反射膜20來構成光出射部17。又 ，在未形成有長邊面12b的電極15b的端部的內表面領域 也藉由形成紫外線反射膜20，而可提高反射效率。 第2圖是表示爲了說明本發明的準分子燈1〇的詳細 而對於端面14a，14b平行地對於燈管軸正交的面切斷的 槪略斷面圖。尤其是，在同圖中，成爲強調各玻璃面的彎 曲狀態或紫外線反射膜的厚度之相差的槪念圖。 在長邊面12a的兩端接合有短邊面13a或短邊面13b ϋ 的一端，形成有接合長邊面12a與短邊面13a的邊緣部 16a’及接合長邊面12a與短邊面13b的邊緣部16b。同樣 地’在長邊面12b的兩端接合有短邊面13b或短邊面13a 的一端，形成有接合長邊面12b與短邊面13b的邊緣部 16c，及接合長邊面12b與短邊面13a的邊緣部16d。 該長邊面12a的中央部121a，是對於在該長邊面12a 上存在於中央部121a的延長上的邊緣部l6a，16b，位於 放電空間S的內方，而該長邊面12a本身，是朝該放電空 間S內側的方向彎曲。該長邊面12a的中央部121a與邊 -11 - 201009887 緣部16b之間的距離D是0.2mm左右。又，針對於配置 成與該長邊面12a相對向的長邊面12b也同樣。 又，短邊面13a的中央部19a，是對於在該短邊面 13a上存在於中央部19a的延長上的邊緣部16a，16b，位 於放電空間S的內方，而該短邊面13a本身，是朝該放電 _ 空間S內側的方向彎曲。又，配置成與該短邊面13a相對 — 向的短邊面13b也同樣。 觀看放電容器11全體，在平行地切斷端面14a，14b _ 的斷面中，邊緣部 16a，16b，16c，16d是在長邊面 12a 與長邊面12b相對向的方向，或短邊面13a與短邊面13b 相對向的方向，都朝向放電空間S的外方鼓出。換言之， 放電容器11是長邊面12a，12b的中央部121a，121b及 短邊面13a，13b的中央部19a，19b，成爲朝著放電空間 S內方稍突出方向彎曲的形狀。又，形成於該放電容器11 的內表面的紫外線反射膜20，是在該邊緣部16a，16b， 16c，16d，膜厚形成比中央部121a，121b，或是中央部 _ 1 9a，1 9b還要厚。 形成於長邊面12a的內表面領域的紫外線反射膜20， 是將反射在放電空間S所發生的真空紫外光作爲目的之故 ，因而將其膜厚形成充分厚，例如在中央部121a爲形成 3 Ομπι左右較佳。藉由充分地獲得紫外線反射膜20的膜厚 ，不但將入射於紫外線反射膜20的光不會透射至放電容 器11，而反射真空紫外光還可再重新回到放電空間S。 —方面，形成於短邊面13a的內表面領域的紫外線反 -12- 201009887 射膜20，是將保護被曝露在真空紫外光的放電容器u作 爲目的之故’因而反射真空紫外光的功能是並不需要，幾 乎不會透射真空紫外光的最低限度的厚度所形成就充分。 例如’若在中央部19a的內表面領域形成2至 3 ，貝丨J在 紫外線反射膜20就可遮斷真空紫外光約9 0%。 又’作爲構該紫外線反射膜20的紫外線散射粒子例 如使用將二氧化矽玻璃粉末狀地作成細小粒子的二氧化矽 粒子等。二氧化矽粒子是粒子徑爲例如0.01〜20 的範 圍內者，中心粒徑（數平均粒徑的峰値）爲如0.1〜l〇ym者 較佳，更佳爲0.3〜3"m者。又，包含於紫外線反射膜20 的二氧化矽粒子的粒徑分佈是不會擴展至廣範圍者較佳， 使用粒徑成爲中心粒徑的値的二氧化矽粒子被選別成半數 以上的二氧化矽粒子較佳。 該二氧化矽粒子是藉由一部分熔融等，將紫外線反射 膜20附著於放電容器11。一般線膨賬係數値相等或近似 者，具有容易接著的性質。二氧化矽粒子是線膨脹係數値 與二氧化矽玻璃所成的放電容器11相等之故，因而具有 提高與放電容器11的接著力的功能。 然而，二氧化矽粒子是藉由在準分子燈所發生的 電漿的熱，會熔融，消失粒界’無法擴散反射真空紫外光 而有降低反射率的情形。作爲紫外線散射粒子’不但含有 二氧化矽粒子，也含有氧化鋁粒子’藉此’即使被曝露在 依電漿所致的熱時’具有比二氧化较粒子還高融點的氧化 鋁粒子是也不會熔融之故’因而以粒子彼此間結合著互相 -13- 201009887 地鄰接的二氧化矽粒子與氧化鋁粒子被防止而被維持著粒 界。 氧化鋁粒子是粒子徑爲例如0.1〜10 的範圍內者， 中心粒徑（數平均粒徑的峰値）爲如0.1〜3 者較佳，更佳 爲0.3〜3#m者。又，被包含於紫外線反射膜20的氧化鋁 ^ 粒子的粒徑的分佈是不會廣範圍地擴展較佳，使用粒徑成 爲中心粒徑之値的氧化鋁粒子的被選別成爲一半以上的氧 化鋁粒子較佳。 @ 第3圖是表示用於表示此種放電容器11的形成方法 的製造途中的放電容器11的立體圖。 邊緣部16a，16b，16c，16d朝放電空間S的外方鼓 出的放電容器11，是將圓筒狀二氧化矽玻璃所成的圓形管 25，藉由安裝有取出棒24的矩形狀拉拔模子23，在加熱 軟化該圓形管之狀態下藉由拉拔該拉拔模子所成形。爲了 把邊緣部16a，16b，16c，16d朝外方鼓出的方式予以成 形，在拉拔模子23的角形成鼓出。 @ 作爲其加工手續，首先，以燃燒器加熱二氧化矽玻璃 所成的圓筒狀圓形管25直到容易地變形爲止。之後，在 以燃燒器加熱圓形管2 5的外表面的狀態下，將拉拔模子 23插進內管並塞進。拉拔模子23是使用比圓形管25的斷 面還要大者之故，因而圓形管25被擠廣成方形管。例如 對於直徑Φ 30mm的圓形管25，使用著長邊面長度成爲 40mm的拉拔模子23。又，拉拔模子23是曝露在高溫之 故’因而利用碳所形成較佳。若使用金屬所成的拉拔模子 -14- 201009887 23，則金屬作爲不純物而附著混入於放電容器11的內表 面，而有放電容器11的二氧化矽玻璃的純度會降低之虞 〇 使用具有比圓形管25的斷面還要大的面積的拉拔模 子23而將圓形管25擴展淬火成方形管之故，因而被成形 的放電容器11的斷面是成爲投射拉拔模子23的形狀的形 狀。然而，考慮該拉拔模子本身的熱脹，或拉拔後的玻璃 管的收縮等，實際上在拉拔模子23的角事先形成鼓出， 藉此朝外方鼓出放電容器11的邊緣部16a，16b，16c， 16d的方式被成形。 第4圖是表示紫外線反射膜20的膜厚，及其光的透 射率的關係的圖表。將縱軸作爲透射率[%]，而將橫軸作 爲紫外線反射膜的膜厚Um]，表示其關係。又，表示於縱 軸的透射率是表示波長1 72nm的真空紫外光的透射率。又 ，可知在波長150nm並波長200nm的範圍的真空紫外線 領域，表示大約同樣的趨勢。由同一圖表可知，若加厚紫 外線反射膜20的膜厚，則會降低真空紫外光的透射率， 可知紫外線反射膜20的膜厚在10 μιη以上的範圍，完全不 透射真空紫外光。 將第4圖的結果適用於第2圖的放電容器11，則若將 紫外線反射膜20形成具有充分膜厚於放電容器11的內表 面領域，而在放電空間S內所發生的波長17 2nm具有峰値 的真空紫外光未能透射紫外線反射膜20之故，因而可減 低被照射在對於放電空間S經由紫外線反射膜20所形成 -15- 201009887 的放電容器11，具體爲長邊面12a，短邊面13a’13b的 真空紫外光的強度。因此，防止強度強大的真空紫外光照 射在構成放電容器11的二氧化矽玻璃，而可抑制放電容 器的劣化。 爲了將在放電空間S內部所發生的準分子光照射在對 象物，必須構成未形成有紫外線反射膜20的光射出部17 。在光射出部17未有紫外線反射膜20之故，因而真空紫 外光直接地被照射在構成放電容器11的二氧化矽玻璃。 又，放電容器11是呈斷面矩形狀的形狀之故，因而在邊 緣部16a，16b，16c，16d具有應力容易集中的特徵。所 以光射出部17是形成在未包含邊緣部16a，16b，16c， 16d的長邊面12b，而容易成爲破損的起點的邊緣部16a， 16b，16c，16d是藉由紫外線反射膜20從真空紫外光被保 護。採用此種構成，藉此，即使使用斷面矩形狀的放電容 器11的準分子燈中，也可防止放電容器11的破裂。 又，放電容器11是長邊面12a，12b的中央部121a， 121b或短邊面13a，13b的中央部19a，19b，對於邊緣部 16a’ I6b，I6c，16d，位於放電空間S的內方之故，因而 在邊緣部 16a’ 16b，16c，16d的內表面領域，與放電容 器11的其他內表面領域相比較，紫外線反射膜20的膜厚 可形成較厚。具體而言，形成於邊緣部16a，16b，16c， 16d的內表面領域的紫外線反射膜20，是與形成於其他領 域的紫外線反射膜20相比較，其膜厚至少變大成10/ζιη以 上。因此’形成於邊緣部16a，16b，16c，16d的內表面 -16- 201009887 領域的紫外線反射膜20的膜厚是至少被確保ι〇 #„!以上之 故’因而大致完全地可遮斷真空紫外光，而在放電容器11 的邊緣部16a，16b，16c，16d未照射在放電空間S所發 生的真空紫外光。 亦即，形成於邊緣部16a，16b，16c，16d的內表面 領域的紫外線反射膜20的膜厚，與形成於放電容器11的 其他的表面領域的膜厚相比較，成爲較厚。所以，在容易 φ 成爲破損起點的邊緣部16a，16b，16c，16d中，藉由紫 外線反射膜20來遮斷真空紫外光，作成真空紫外光未照 射在放電容器11的邊緣部16a，16b，16c，16d，而可防 止利用真空紫外光所作的損傷所引起的放電容器11的破 裂。 以下，說明紫外線反射膜20對於放電容器11的內表 面領域的形成方法的一例子》 紫外線反射膜20是藉由例如稱爲「流下法」的方法 φ 就可進行。首先，調合流進放電容器11內側的塗敷液。 塗敷液是由紫外線散射粒子，黏合劑，分散劑及溶劑所構 成。紫外線散射粒子是例如二氧化矽粒子與氧化鋁粒子， 黏合劑是含有原矽酸四乙基分散劑是矽烷耦合劑，溶劑是 乙醇。 藉由在塗敷液含有分散劑，凝膠化塗敷液而容易附著 於放電容器11，而且可定影在塗敷液中均等地分散的紫外 線散射粒子。 藉由在塗敷液含有溶劑，可調整塗敷液的紫外線散射 -17- 201009887 粒子的含有濃度。 將塗敷液流進放電容器11的內部，附著於放電容器 11的內表面的所定領域。 首先，將塗敷液流進短邊面13a的內表面領域，短邊 面13a的中央部19a的膜厚成爲2至5从m的方式附著塗敷 液。然後，將塗敷液流過短邊面13b的內表面領域，短邊 面13b的中央部19b的膜厚成爲2至5//m的方式附著塗敷 液。在短邊面13a及短邊面13b的內表面領域附著有塗敷 液的狀態下，經自然乾燥而進行蒸發溶劑。之後，在氧氣 氣氛中加熱成500 °C經1小時進行暫時淬火。進行暫時淬 火俾將塗敷液定影於短邊面13a，13b的內表面領域，藉 此’在邊緣部16a’ 16b周邊中可作成與繼續流進長邊面 12a的內表面領域的塗敷液不會緩衝的情形。 然後，將塗敷液流進長邊面12a的內表面領域以形成 紫外線反射膜20。長邊面12a的中央部121a的膜厚成爲 20至30/zm的方式附著塗敷液，而在該狀態下經自然乾燥 俾蒸發溶劑。此時，藉由塗敷液的表面張力，在邊緣部 16a，16b周邊產生著塗敷液被吸上於短邊面13a，13b的 現象之故，因而在邊緣部16a，16b的短邊面13a，13b側 也附著有較厚的塗敷液。 在該狀態經自然乾燥在長邊面12a的內表面領域也附 著有塗敷液的放電容器11，在該狀態下經自然乾燥而蒸發 溶劑，又在氧氣氣氛中加熱成100 〇°C經1小時進行正式淬 火。當燒成塗敷液，則分散劑被加熱消失，僅留下紫外線 -18- 201009887 散射粒子與黏合劑，黏合劑是成爲二氧化矽而被熔融附著 於紫外線散射粒子，以提昇與粒子彼此間，或放電容器11 的黏合力。 利用上述工序，在長邊面12a的內表面領域中，與短 邊面13a，13b的內表面領域相比較，可形成膜厚較厚的 _ 紫外線反射膜20。又，放電容器11的長邊面12a，12b或 短邊面13a，13b被加工成彎曲狀，及利用製程的塗敷液 H 的表面張力，在邊緣部16a，16b，16c，16d的內表面領 域，與其他領域相比較，使得紫外線反射膜20的膜厚可 形成較厚。 又，在本發明的說明中所使用的圖式是針於紫外線反 射膜20的薄膜厚度或放電容器11的形狀，擴張地表示尺 寸等。 【圖式簡單說明】 第1(a)圖及第1(b)圖是表示本發明的準分子燈的構成 的說明圖槪略斷面圖。 第2圖是表示本發明的準分子燈的槪略斷面圖。 第3圖是表示本發明的準分子燈的放電容器的形成方 法所用的立體圖。 第4圖是表示紫外線反射膜的膜厚及其光透射率的關 係的圖表。 第5圖是表示習知的準分子燈的構成的說明用立體圖 -19- 201009887 第6圖是表示用於說明習知的準分子燈的變形的說明 用斷面圖。 【主要元件符號說明】 1 0 :準分子燈 1 1 :放電容器 12a ， 12b :長邊面 1 3 a，1 3b :短邊面 14a， 14b:端面 15a， 15b:電極 1 6a，1 6b，1 6c，1 6d :邊緣部 1 7 :光射出部 20 :紫外線反射膜

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Claims (1)

1. 201009887 七、申請專利範園： 1-一種準分子燈，屬於具備兩端藉由端面被關閉，藉 由互相相對的長邊面與連結該長邊面的短邊面所圍繞的斷 面矩形狀的放電容器，在該放電容器的互相相對的該長邊 面，或是在該短邊面配置有一對電極，而在該放電容器的 內部封入氙氣體，在放電空間內發生準分子放電的準分子 燈，其特徵爲： Φ 該長邊面相對於連結該長邊面與該短邊面的邊緣部， 該長邊面的中央部朝向該放電空間的內側的方向彎曲， 在該放電容器的內表面形成有紫外線反射膜， 該紫外線反射膜是形成於該邊緣部的膜厚，比形成於 該放電容器的其他內表面的膜厚還要厚。 2.如申請專利範圍第1項所述的準分子燈，其中， 上述短邊面相對於連結該長邊面與該短邊面的邊緣部 ，該短邊面的中央部朝向該放電空間的內側的方向彎曲。 φ 3.如申請專利範圍第1項或第2項所述的準分子燈， 其中， 上述紫外線反射膜是包含二氧化矽粒子與氧化鋁粒子 -21 -