TW200932406A - Electrical discharge machining - Google Patents

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200932406 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於一種放電加工而且更特別的關於所謂 的高速放電加工（HSEDM)，高速放電加工用來於諸如燃氣 渦輪機用葉片之元件中形成複數個孔。 【先前技術】 放電加工係用於以火花蝕刻對工件加工之製程。該工 件與電極間通常呈現介電流體，藉發生電能火花蝕刻之週 期脈衝以沖蝕該工件而產生穴或孔或在不同情況下成形工 件。爲了提供火花蝕刻，該工件與電極間必須沒有實質接 觸，且典’型地透過適當的感測器與伺服馬達控制，維持一 間隙。須知，該沖蝕殘屑必須從沖蝕處移除，而且在傳統 之放電加工期間此通常需要一回縮循環（retraction cycle)。 —替代例係所謂之高速放電加工（HSEDM)。在高速放 電加工內利用高壓介電流體泵以維持該工件與電極間之間 隙中的介電流體壓力於70〜100巴（bar)級。由於該高壓介 電流體出現高壓，因此，該製程比傳統放電加工（EDM)更有 效率’容許更快速移除殘屑，以致沖蝕速率更快。亦須知， 藉高速放電加工，可使用數個電極在單一工具夾持具上， 以容許在正常情況下，若干沖蝕及加工製程同時及並列進 行。高速放電加工的沖蝕台間並不需要回縮循環排淨殘 屑’因爲該工件與電極間的該間隙中之高壓介電流體流更 有效率移除沖蝕過程產生的殘屑。高速放電加工之電極通 200932406 常以加工製程所需速度簡單地向前進給’以達成材 與移除所需速率。須知，連續作業導致加工製程顯 快速。 在附圖第1圖中示意顯示典型高速放電加 置。該配置1包括電極夾持具2，其對工件4提供t 透過發電機5提供放電以在該工件4內鑽出或成形 穴或孔。依據高速放電加工，在相對高壓（70~100 I 將介電流體供入穴或孔中，該穴或孔由電極3與工 〇 之間隙漸次形成，此高壓介電流係透過泵6促使介 供給源7令介電流體承受如於電極3與工件4間之 示壓力來達成。此高壓沖洗並移除放電製程發生的 如上述一伺服馬達8或其他裝置迫使電極3連續移 由監測該間隙之電壓’該伺服馬達8可以維持固定 間隙。該間隙中如果連續累積殘屑，該馬達8將回 極3以避免短路。然而，因高壓介電流體流而快速 〇 屑’因此’—般無需如同傳統放電加工有電極回縮 容許沖洗。在此等情況下，按照正常發展程序，該 達8將僅以維持跟上材料移除與/或沖蝕速率所需速 極向下移’該伺服馬達8的定速運動容許快速鑽孔 鑽孔太快速，短路的可能性即上升，在此等情況下 服馬達8不但回縮以容許清除電子短路與殘屑，而 重新安置沖蝕用間隙的正確尺寸。 高速放電加工及特別鑽孔已用於有關燃氣渦 料沖鈾 著地更 工的配 I極3。 或加工 3 )下， 件4間 電流體 間隙所 殘屑。 動。藉 尺寸之 縮該電 移除殘 循環以 伺服馬 度將電 ，但若 ，該伺 且最後 輪機之 200932406 引擎渦輪葉片形成孔與其他特點方面。此等諸如渦輪 之元；件對於孔的幾何形狀與表面完整性有非常嚴格 求。然而’高速放電加工受制於高生產成本，而且典 孔成形穿透時間、電極消耗與元件再加工的需要變 大。電極之相對消耗率（wear factor)大於100%並非罕 亦即’電極必須沖蝕的長度大於鑽孔或沖蝕的深度。 因素也增加了製造的複雜性。須知，高速放電加工如 ©不一致’且相當不可預測，導致不管電極消耗是否如 「先前技藝」之第2圖所示爲縱長的、錐形的或有微 耗，在週期時間與電極消耗方面有極大的變化。在此 況下，製程之連續運轉有賴極熟練操作員的實務經驗 適當時機的介入。 有關單一電極，放電加工製程致使電極成錐形係 常。亦已知結合髙速放電加工使用之多電極工具除了 之錐形耗損外，亦有個別電極微差地消耗。在此等情祝 Q 彼等變成錐形之電極製造出口端受限制之錐形孔。多 極工具中參差不齊的電極將導致某些電極未完全貫通 件與穿透而留下閉塞孔。而且，如果該伺服馬達須更 饋送該等電極以完成該等孔之成形，在許多案例裡多 極中某些過長之電極引起背壁（back wall)衝擊沖餓，並 損害該元件之其他部分。此背壁衝擊沖蝕顯示於第3 如可看出，在方向20鑽出一孔21 。如果電極穿透: 且繼續沖蝕元件22,即有背壁衝擊沖蝕23。儘管高速 葉片 的要 型的 化很 見， 此等 所指 標示 差消 等情 及在 屬平 電極 i下， 數電 該工 深入 數電 因此 圖。 孔21 放電 200932406 加工有其優點，對於相當大長徑比（length to diameter ratios)之鑽孔可能仍有諸多問題。 【發明內容】 根據本發明之態樣，提供一放電加工方法，包括對一 工件提供一電極，於其間有一間隙以達成放電沖蝕；該間 隙充以壓力範圍介於70至100巴間之介電流體；使用中當 該電極消耗以及該工件加工時，該電極與/或該工件可移位 以維持該間隙；該方法的特徵在於工件總成與/或該電極與 〇 /或該介電流體受震動以在該間隙內之介電流體引起旋渦 真空。 替代地，根據本發明之態樣，提供一放電加工配置，1 包括：電極；電極夾持具；驅動機構，維持使用中該電極 與工件夾持具內工件間的間隙；介電源（dielectric source)，配置以在該間隙內呈現介電流體流與維持該介電 流體之壓力於70至100巴；該配置的特徵在於該配置包含 〇 震動源，以於使用中激勵震動該工件與/或該電極與/或該介 電流體之總成，達到在該間隙中該介電流體內引起旋渦真 空。 通常該震動係超音波。 典型地’該沖蝕在工件上產生穴。該沖餓一般係連續 的。典型地，該震動係固定或在一頻率範圍內可變。可能 地’該震動係在一頻率範圍內可手動調整。替代地，該配 置或方法整合感測器測定沖蝕率，以及有一控制器接收來 200932406 自感測器的訊號，作爲沖蝕率指示，以及根據沖蝕率指示 及加工工件的質量/幾何形狀，調整震動頻率。 典型地，該電極設在一伺服馬達上以容許該電極相對 於該工件移動。可能地，一工具夾持具提供單一電極。替 代地，一工具夾持具提供多數電極。 【實施方式】 如前文所指爲了達到適當之加工速度以及和此等加 工製程之一致，殘屑之移除很重要。藉由在火花與火花間 Ο 之時刻以介電流體沖出殘屑，移除殘屑。此製程顯示於第 4圖。當如第4a圖所示火花放電引起的高溫產生一氣泡 時，該氣泡將如第4b圖所示向中心壓擠。此火花與火花之 間的時間已知爲關閉時間（off time)，應足夠長以容許介電 流體沖洗移除殘屑。該「關閉時間」將決定放電加工的整 體鑽孔週期時間。欠缺充份的殘屑移除將增加週期時間， 而且，不良之殘屑移除增加電極的錐形消耗。在第4a圖中 ❹ 可見電極30離工件表面32有一間隙31。在放電期間，電 漿通道33從工件表面32產生殘屑34也釋出一些電極殘屑 35。由於火花33的熱量，因此，在介電流體37內產生氣 泡36。如先前指出在高速放電加工期間，於70至100巴之 相對髙壓下提供此介電流體37。 如第4b圖所示’在所謂關閉時間的期間，該氣泡36 向中心壓擠，容許殘屑34, 35進入介電流體流37。在此關 閉期間’除殘屑34，35外，亦須知，部分溶融的金屬從火 200932406 花中移除產生焊疤38。任何未移除之熔融金屬凝固且變成 所知之重鑄層（recast layer)，此等重鑄層對形成工件32表 面之材料的改變可能有不利作用。 第4c圖顯示該工件32與該電極30間的結合發生在 進一步放電加工前不久。在此等情況下須知，該殘屑3 4, 3 5 懸浮容納於介電流體37中，且因此將在高速放電加工提供 的相對高壓下被沖走。爲了依要求沖蝕與鑽孔，焊疤38將 ^ 逐漸周遍形成於該工件32的表面上。 〇 配合高速放電加工使用之該等電極一般係中空的，而 且係由諸如黃銅此類材料製成。使用中空管狀電極的一個 缺點係該砂心或針狀結晶留存在中空管的中央。在此等情 況下’該電極可能貿然地回縮而導致鑽孔或沖蝕製程的減 速。該伺服馬達回縮係因當開始要穿透該工件時，砂心偏 向電極中空中心的側邊而且接觸到該電極的內壁。須知， 如第4d圖所示，電極39有一中空中心40供介電流體41 〇 流入。該電極39不會均勻地穿透工件42，而且不幸地，當 該工件在該穿透電極39的一側變得薄且弱時，該工件42 的砂心4 3會傾斜。由於砂心4 3與該電極如所示作此種接 觸，因此，該間隙電壓的監測會導致該伺服馬達中斷進一 步加工，減少加工時間加工次數。 在上述情況下，儘管高速放電加工有利，因短路所引 起中斷以及不充份殘屑移除而在有關一致性與沖蝕/鑽孔 速度方面造成的不利問題及限制卻可能限制其效能。藉本 -10- 200932406 發明的態樣’透過使用震動且特別是超音波震動，幫助殘 屑的消散以及減少短路至最少。 超音波震動典型地係因壓電晶體應用交流電位而膨 脹與收縮產生’該膨脹與收縮（震動）以與交流電位相同 的頻率發生。已知在包括關於零件清潔、焊接與鑽孔的一 些產業製程中使用超音波震動，超音波震動在—液體內可 引起漩渦真空’此亦可說該氣泡或紊流禁止平滑流動與加 _ 壓，震動一般促進擾動與攪拌。

G 本發明之態樣結合震動，特別地例如超音波震動，與 筒速放電加工程序。第5圖提供顯示根據本發明態樣之放 電加工配置50之示意圖示。一工具夾持具51對工件夾持 具54內之一工件53提供諸電極52夾持具。爲鑽孔與沖蝕， 該工具夾持具51如前述配合放電加工操作夾持具操作，且 一般被沿箭頭55之方向朝該工件53驅動。在此等情況下 一介電流體流56透過一適當分配系統57,以提供介電流體 〇 流於該電極52與該工件53間之間隙中。此介電流體與在 壓力下提供之殘屑58 —起流動。此壓力一般藉一泵（未顯 示）達成，且壓力係介於70至100巴級。該介電流體流移 除該放電加工製程在該工件53內形成複數個穴或孔59時 產生的殘屑。一般而言，該加壓介電流體流透過該等個別 電極52之中央中空之中心部分，透過自一端進入孔或穴 59，然後沿箭頭方向60出去。 如上述，該介電流體流5 6之加壓移除放電加工製程 -11 - 200932406 所造成之大多數殘屑，但速度可能不足以避開轉變爲短 路，該短路可能導致一提供該電極或該等電極之伺服馬達 (未顯示）沿箭頭55方向反向運動，直到該短路消除與該 殘屑清除爲止。該沖蝕製程之感測器將測定間隙電壓作爲 殘屑增進之指示器讀數》 依照本發明之態樣，該工件5 3直接或如第5圖所示， 透過工件夾持具54受震動，在此等情況下，如果使用超音 波震動，該工件夾持具54即扮演如音極（sonotrode)。

G 該音極工件夾持具54透過增幅器連軸器63連結訊號 電測轉換器62或用別的方法，係爲了在至少該工件5 3、電 ' 極52與/或該介電流體流56之總成內傳遞超音波震動。依 照本發明態樣，該訊號電測轉換器62連結至超音波產生器 64以產生依照本發明態樣使用之超音波震動。 該超音波產生器64通常以交流電供應，以產生一用 來達成本發明態樣之超音波震動頻率範圍。該訊號電測轉 Q 換器62包括一電子機械元件，其從該產生器64將電子震 動轉換爲機械震動以連結至上述總成。當供至該總成時， 該增幅器63用來放大震動，導向更高震動（超音波）能量， 該音極形式之工件夾持具係一機械元件，其有效率地集中 與傳送該超音波震動至該工件。 該超音波震動如上述用以加強該高速放電加工配置 之殘屑移除製程，也就是說藉該高壓介電流體流促進殘屑 之移除，。該介電流體如所示，提供該電極52與該工件53 -12- 200932406 間之絕緣’而高壓流動負責沖刷該殘屑。爲了鑽孔與沖蝕 目的’一放電加工機發電機65用來供應電能脈衝以提供火 花放電於該等電極與該工件間的間隙之該火花放電。該電 極或工具夾持具扮演導引角色，以依照必要加工程序，適 當地對需要鑽孔或沖蝕的工件52之零件提供該電極6 2。該 電極62傳輸放電火花至該工件。此等放電火花切削與沖蝕 該工件成與該呈現之所提供電極對等且相似之幾何圖形。 如前述，有效地提供諸電極，此等電極與一伺服馬達結合， 〇 該伺服馬達負責進給該電極62，使之朝向與進入該工件 5 2 ’確保用於所需放電加工沖蝕之固定「加工間隙」。 如以上指出，先前技術之高速放電加工’有一之主要問 題係不可預測性，其即導因於造成超過所需期望的作業干 預與監測之不可預測性，。其可予瞭解須知，有很多變數 包括該電極內之成分變異、工件內介電流體之成分變異、 放電加工機（EDM)發電機的不準確性以及其他因素可能影 Q 響放電加工，。在此等情況下，先前技術利用高壓介電流 體以移除殘屑可能不適當充份，。藉如所示著之本發明的 觀點態樣，如已指出將超音波震動引入至少部分由工件、 複數個電極與介電流體形成之總成，。該超音波震動在該 等電極與該工件間的該間隙中也就是說在加壓的介電流體 流提供旋渦真空。此旋渦真空促進強力的殘屑移除以及增 強從放電加工火花沖鈾放電留下的焊疤移除熔融金屬。如 前述，在此等熔融金屬凝固前移除有利於作業中元件的操 -13- 200932406 作性能。由於更有效與完整地移除殘屑，較少火花與短路 可能發生，此短路導致該伺服馬達回縮該電極較少，以排 除短路且允許該殘屑的移除。在此等情況下，由於較少中 斷之可能性，該等電極可以固定速率移向該工件，如此， 放電加工更有可預測性。而且，放電加工製程可以在更短 期間內完成。 第6圖提供沖蝕深度對加工時間之圖式說明，如所示 線71爲傳統高速放電加工機配置而線，72爲放電加工機配 〇 置結合高速加壓介電流體流與超音波震動，在該流體中引 起旋渦真空以增強殘屑移除。如所見一理論上1 5,000微米 深的孔可以比傳統高速放電加工在更短期間內生產。 被誘發進入加壓介電流體流中的該旋渦真空可有效 地沖刷該工件表面，更有效率地移除熔融金屬，導致機械 元件或工件的完整性改善。而且，藉著引進超音波震動， 關於如上第5圖所述當電極內的砂心傾斜觸及該電極之 Q 「管路（piping)」中斷可以減少該等超音波震動如所指出引 起之旋渦真空氣泡崩潰且釋放高能量而從該間隙中移去殘 屑。因此’該等超音波震動與該加壓介電流體結合以強化 殘屑移除。提供超音波震動以引起旋渦真空的又一重要性 在於減少孔或穴中該電極與工件間之橫向火花（lateral sparking)。橫向火花導因於塡補（bridging)該電極的側邊與 該工件間之間隙的殘屑。此等殘屑塡補產生該電極之錐形 與伴隨之差別消耗’如先前指出，與電極差別型式之消耗 -14- 200932406 有關之此等問題業已周知。藉由減少殘屑的堆積，橫向火 花減少且因此，依照本發明態樣之放電加工機配置所鑽 出或加工的開口與孔更爲一致。關於背壁衝擊與爲了達成 所期望全部特徵需要依賴多重切削等要件減至最少。 藉由結合加壓介電流體流與超音波震動在該流體內 引起旋渦真空一般在加工次數較少變異之加工次數減少以 及無論電極消耗是否是縱長的、錐形的或微差的，電極消 耗均減少方面實現諸多優點。消耗消耗減少電極消耗將減 Ό 少放電加工成本。放電加工的更一致將如前所述在減少背 壁衝擊與載切削方面改善性能，並在根據本發明之態樣所 鑽出孔元件與工件之表面完整性方面改善。 產生器64所產生之超音波震動將典型地提供一些固 定之震動頻率。所用震動頻率的選擇可以經由一適當可用 頻率範圍之調整手動地決定。替代地且有利地，可使用一 控制機構調整與改變該震動頻率。在此等情況下，將使用一 Q 閉環（closed loop)控制系統以改變與調整震動頻率，該頻率 取決於該被加工工件之質量、位置與幾何形狀。在此等情況 下，藉由使用一適當之感測器以測定沖蝕率如沖蝕速率與/ 或殘屑濃度與/或其他回饋參數，可改變所用震動頻率。 須知，爲了增加介電流體的有效性，可加入添加劑， 此等添加劑可改變介電流體之電流活動性，其在特別有關 本發明之態樣方面，可用來增加在該介電流體內震動產生 旋渦真空之效果。 -15- 200932406 典型地，工件如以上參考第5圖所述震動。然而，亦 須知，此外，在一總成內，該電極可獨自或結合該工件被 震動，以在工件與電極間之間隙內之介電流體內產生旋渦 真空。在此等情況下，依據本發明之態樣，該工具或更特 別地引導該電極52之提供之該工具夾持具51，也可如同音 極，在一總成內提供超音波震動。 依據本發明之態樣，配合放電加工使用及加工之典型 工件係利用於燃氣渦輪機內之渦輪葉片與多重噴嘴導流 (nozzle guide varies)。可利用單一或複數個電極以在諸如 渦輪葉片之工件上生產複數個穴或孔。可對電極施以震 動，此等電極可具有包括實ά電極等許多幾何形狀。在後 一實例中，可藉伺服馬達控制電極震動。 儘管超音波震動較佳，卻須知，藉由在在介電流體流 內產生旋渦真空而增強殘屑移除方面，提供超音波頻率範 圍外之震動，可提供本發明態樣之某些或所有益處。此等 Q 震動可直接施加於工件或電極。 電極可採取一電線型式，在電線放電加工中，如所指 出，電極係由非常細之銅、黃銅或漆包線製成。該電線以 預定速度越過複數個導線，朝工件解捲。在電線放電加工 中，利用有關上述本發明態樣之實施例相同提供製程，該 電線電極漸進地移向該工件，而且依本發明之態樣，使用 加壓介電流體流以及震動引起旋渦真空，以增強殘屑移除。 須知，可使用放電加工於表面加工（texturing -16- 200932406 surfaces)。在此等情況下’利用依據本發明態樣之震動也 允許有效率地移除在此等過程期間形成的殘屑。 利用放電加工作表面改質（surface modifications)也可 受益於震動，該震動取決於預期給予該工件材料數個部位 所需之性質。可調整該震動程度且特別是超音波震動，以 達成所需最終結果。 工件與元件之雕刻可能對表面完整性有一有害影 響，此種劣化可能發生在用於燃氣渦輪機引擎之多數渦輪 葉片，詳定該處任一雕刻部位記號之定位以減少元件損壞 的潛在根源。在任何雕刻過程期間，藉由施以震動而且特 別是超音波邊動，可改進該表面完整性，並因此對在一工 件上此等雕刻之定位提供較大之彈性。 熟於此技藝人士當知本發明之態樣修改與變更。因 此，可捨單一震動源，而結合多震動源至一工件夾持具與/ 或一電極工具夾持具。在此等情況下，依據本發明之態樣’ 可在該工件、電極與介電流體之總成內引起不同型式之震 動，以增進殘屑移除與操作。 依據本發明態樣之放電加工方法一般涉及適當地與 一典型地由多個工件夾持具與工具夾持具界定之治具結 合，對工件提供電極，。依據典型放電加工製程’電極與 工件間之相對運動藉一適當之機構提供以確保維持一適當 之間隙供火花沖蝕與放電。在壓力下，將介電流體流供入 該電極與該工件間之該間隙內，以此作爲沖刷與移除沖蝕 -17- 200932406 過程結果之殘屑之主要手段。依據本發明之態樣’適當震 動在該介電流體流內引起旋渦真空’而其產生係爲進一步 增進殘屑移除。所提供之震動可爲固定之頻率或可手動調 整或透過控制回路以控制，且通常增進殘屑之移除。因此， 如果重複短路而因此回縮以避免短路與允許殘屑移除係由 一控制器決定，則關於該介電流體流壓力、震動性質以及 該工件與該電極間之間隙即可調整，以減少連續加工製程 中之中斷。 ❹ 【圖式簡單說明】 現在將參考附圖，舉例說明本發明之諸態樣： 第1圖示意顯示典型的放電加工機配置； 第2a與2b圖顯示先前技藝之消耗電極·， 第3圖顯示帶有不理想的背壁沖蝕之渦輪葉片截面； 第4圖係提供有關沖蝕之放電加工製程之工作台的 示意圖式； 第5圖係根據本發明諸態樣之放電加工機配置；以及 第6圖係先前技術之放電加工與根據本發明態樣之 放電加工其沖蝕深度對加工時間之圖示比較。 【主要元件符號說明】 1,50 2 3,30,39,52 放電加工機配置 電極夾持具 電極 工件 發電機 4>22,32,42,53 5,65 -18- 200932406 6 泵 7,37,4 1,56 介 9 介 8 伺 20 方 2 1 孔 22 元 23 背 3 1 間 33 電 34,35,58 殘 36 氣 38 焊 40 中 43 砂 51 工 54 工 55, 60 刖 57 分 59 穴 62 訊 63 增 64 超

電流體流 電流體供給 服馬達 向 件 壁衝擊沖蝕 隙 漿通道/火花 屑 泡 疤 空中心 心 具夾持具 件夾持具 頭 配系統 /孔 號電測轉換器 幅器連軸器 音波發生器，震動源 -19-

Claims (1)

1. 200932406 十、申請專利範圍： 1. 一種用於放電加工之方法，其包括’· 將電極（3, 30, 39, 52)對向工件（4, 22, 32, 53)，並於其 間具有一間隙，以實現放電沖蝕，該間隙充以壓力範圍 在70至100巴之介電流體（7, 56);當在使用中該電極消 耗以及工件被加工時，該電極與/或該工件可移動以維持 該間隙；該方法的特徵在於，該工件（53)與/或該電極（52) 與/或該介電流體（5 6)之總成受到震動，以在該間隙內之 該介電流體內引起旋渦真空。 2. 如申請專利範圍第1項之方法，其中該震動爲超音波。 3. 如申請專利範圍第1或第2項之方法，其中該沖蝕在工 件內生成穴（5 9)。 4. 如申請專利範圍第1、第2或第3項之方法，其中該沖蝕 爲連續的。 5. 如前述申請專利範圍中任一項之方法，其中該震動係固 Q 定或在一頻率範圍內爲可變。 6. 如前述申請專利範圍中任一項之方法，其中該震動係在 一頻率範圍內可手動調整。 7. 如申請專利範圍第1至第5項中任一項之方法，其中該 方法倂用一感測器，以測定沖蝕率，以及一控制器，接 收來自感測器的訊號作爲沖蝕率指示以及根據沖蝕率指 示及被加工工件的質量/幾何形狀調整震動頻率。 8·如前述申請專利範圍中任一項之方法，其中提供該電極 -20- 200932406 於一伺服馬達（8)上，以容許該電極相對於該工件移動。 9. 如前述申請專利範圍中任一項之方法’其中一工具夾持 具（51)提供單一電極。 10. 如前述申請專利範圍第1至第8項中任一項之方法，其 中一工具夾持具（51)呈現多數個電極。 11. 一種放電加工配置，其包括： 電極（3，30, 39, 52); 驅動機構（8)，在使用時，於該電極與該工件間維持一 間隙； 一介電源，配置成將介電流體流（7，37，56)供入在該 間隙內，以及維持該介電流體在該間隙內之"壓力於70 至100巴； 該配置的特徵在於該配置包含：震動源（64)，在使用 時提供該工件（53)與/或該電極（52)與/或該介電流體（56) 之總成的震動激勵’以在該間隙內之該介電流體內引起 旋渦真空。 12. 如申請專利範圍第11項之配置，其中該震動通常爲超 音波。 13. 如申請專利範圍第11或第12項之配置，其中該沖蝕在 工件內形成穴（59)。 14. 如申請專利範圍第11至第13項之配置，其中該沖蝕爲 連續的。 15. 如申請專利範圍第11至第14項中任一項之配置，其中 -21- 200932406 該震動係固定或在一頻率範圍內爲可變。 16.如申請專利範圍第12至第15項中任一項之配置，其中 該震動係在一頻率範圍內可手動調整。 1 7 .如申請專利範圍第1 1至第1 6項中任一項之配置，其中 該配置包含一感測器，測定沖蝕率，以及一控制器，接 收來自感測器的訊號作爲沖蝕率指示，以及根據沖蝕率 指示及加工工件的質量/幾何形狀調整震動頻率。 18. 如申請專利範圍第17項中之配置，其中該沖蝕率與加 速沖蝕及/或該間隙中的殘屑密集度及/或間隙電壓有 關。 19. 如申請專利範圍第11至第ί8項之配置，其中提供該電 極於一伺服馬達（8)上，以容許該電極相對於該工件移 動。 20. 如申請專利範圍第11至第19項中任一項之配置，其中 一工具夾持具（5 1)提供單一電極。 Q 21.如申請專利範圍第11至第19項中任一項之配置，其中 一工具夾持具（51)提供多數個電極。 -22-