TW200812816A - Enhanced imaging of features - Google Patents

Description

200812816 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於用於使特徵及特 ，^丄々 竹倣圖案成像的成像系統及 方法。本發明可用於製造（ 哭。 1〗如）電子顯不器之彩色濾光 【先前技術】

V 用於製造顯示器與丰導I#雷； 、千¥體電子為件之普通技術涉及若干 成像步驟。通常，在各步驟中’透過光工具遮罩使塗布有 光阻或其他敏感材料之基板經受輕射曝光以實現某一變 化、。各步驟均具有-定失敗風險。各步财之失敗可能性 會減小總程序良率及增加成品之成本。 -特定範例係平板顯示器(例如液晶顯示器)之彩色濾光 器之製造。由於高材料成本及通常低程序良率，彩色滤光 器製造可能係-極其昂貴程序。傳統光微影處理涉及❹ 塗布技術(例如’旋塗、狹縫與旋轉或非旋轉 光阻材料塗敷至基板H經由光卫具遮罩使材料曝光， 並加以顯影。 已提出在顯示器（尤其是彩色濾光器）之製造中使用雷射 誘導熱傳遞程序。在此類程序中，以一施體元件覆蓋一彩 色濾光器基板（亦稱為接收器元件），接著使該施體元件成 影像曝光以將一著色劑選擇性從施體元件傳遞至接收器元 件。較佳曝光方法使用雷射光束誘導著色劑至接收器2件 之傳遞。二極體雷射由於其調變容易、低成本及小大小而 尤佳。 122737.doc 200812816 雷射誘導’’熱傳遞”程序包括：雷射誘導"染料傳遞，，程 序、雷射誘導”嫁化傳遞”程序、雷射誘導u剝餘傳遞”程序 及雷射誘導”質量傳遞”程序。雷射誘導熱傳遞程序期間所 傳遞之著色劑包括合適的以染料為主或以顏料為主之組合 物。可傳遞額外元件，例如一或多個黏結劑。 ㈢知直接成像糸統採用有限數目的成像光束。習知直接 成像系統亦採用具高斯（Gaussian)強度分佈之光束。頒予

Kwon等人之美國專利6,242，14〇說明具均勻能量分佈之雷 射光束、或藉由顫化而掃描之雷射光束的使用。其他習知 系統採用數百個個別調變平行光束以減少完成影像所花費 .之時間。可很容易獲得具大量此類”通道，，之成像頭。例 如，Kodak Graphic C〇mmunications c_da c〇mpany，British

Columbia所製造之SQUAREsp〇t⑧型號熱成像頭，c_da具 有數百個獨立通道。各通道可具有超過25 mW之功率。可 對成像通道陣列加以控制以將影像寫入一串列長條（其係 緊密鄰接以形成一連續影像）中。 即使入射於已成㈣介上之輸出㈣條件發生極小變化 可以在雷射誘導熱傳遞程序中造成成像人工產物，例如帶 狀物與粗链邊緣。成像通道陣列所發射之輸出輻射之變化 可起因於功率、光束大小、光束形狀、焦點及光束相干性 之通道對通道變化…產物可能並不唯一地歸因於成像 糸統。已成像媒介本身也可能造成帶狀物及其他成像人工 產物。 某 些先前技術多通道成像系 統應用校準方法，其將一成 122737.doc 200812816 像陣列中之所有通道之輻射 了輪出凋整為相等。其他校準方 法猎由凋整陣列中之通道之輸出一 人知作成像頭之所有通 條成像並嘗試在橫跨該長條之已記錄光學特性 中建立均勻性。Ej> 44 A2，、US 6,618，158說明用於橫 ~夕通迢成像陣列建立一均勻 通道間之變力^佈或減小成像陣列之 ,=質在彩色滤光器之生產中尤其重要1色濾光器 m間隔開彩色元件（該等元件通常具有三個色彩， =紅、綠及藍）之重複圖案。由於彩色元件形成-重複 圖案’所以成像程序所引人的任何週期性變化均可導致人 ^察μ視覺差拍°沿著彩色元件之邊界的粗糖邊緣可 ν致無色空隙，其進一步負面影響彩色濾光器之品質。 /直需要允許製造特徵圖案之高品質影像的成本有效且 成像方法及系統。—直需要降低與重複特徵圖案之成 像（採用-多通道成像頭）相關聯之成像人工產物（例如，彩 色渡光裔中之彩色元件$ PI安、 【發明内容】 圖案）之可見性的成像方法。 本發明之*方面提供_ ^ I* * ^ 八3猎由雷射誘導熱傳遞使一特徵 成像的方法。該方法包合太4人 ^ U ^ S 一施體元件與一接收器元 件的-基板上沿著對應掃描線在一掃描方向上掃描複數個 了獨立控制光束。該方法藉由操作該等光束之一連續群組 以將-材料從施體元件傳遞至接收器元件來使一特徵成 象及使D亥特试成像的同時’控制與沿著該特徵之一第 ㈣特徵之_第—部分相對應的該等光束之一 122737.doc 200812816 或多個光束之一第一邊緣子群 二邊緣延伸的該特徵之一第二 或多個光束之一第二邊緣子群 特欲之一内部部分相對應的該 内部子群組之強度的強度。 組以及與沿著該特徵之一第 部分相對應的該等光束之一 組的強度以具有不同於與該 等光束之一或多個光束之一 在本發明之某些範例性具體實施例中，藉由―多通道成 像頭產生該等光束。該等光束未必為可見光束，而可為紅

外線光束、可見光束或某—其他合適波長龍内之光束。 在夕通道成像頭之一掃描期間可使多個特徵成像。在某些 具體實施例中，該等光束提供—非對稱強度輪廓。 本％月之某些範例性具體實施例具有以下特徵中的一或 多個特徵： 在夕通道成像頭之一掃描期間使複數個特徵成像且控 制该成像頭使得使一第一特徵之一内邊緣成像的光束之強 度不同於用以使一第二特徵之一内邊緣成像的光束之強 度； •在多通道成像頭之一掃描期間使複數個特徵成像且控 制該成像頭使得使一第一特徵之一外邊緣成像的光束之強 度不同於用以使一第二特徵之一外邊緣成像的光束之強 度； •使複數個特徵成像且用以使該等特徵之一特徵成像的複 數個光束所提供之強度輪廓不同於用以使該等特徵之另一 特徵成像的光束所提供之強度輪廓； •以相對於一特徵非對稱之強度輪廓使該特徵成像； 122737.doc 200812816 •以彼此不同的第一與第二強度輪廓使第一與第二特徵成 本發明之其他方面提供用於使特徵圖案成像的程式產 品0 本文說明本發明之其他方面及本發明之具體實施例之特 徵。 【實施方式】

在以下整個說明中，提供特定細節旨在使熟習此項技術 者更全面理解。不過，可以不詳細顯示或說明熟知元件以 避免徒然使该揭示内容模糊不清。因此，說明暨附圖應視 為解說性，而不應視為限制性。 用於顯示面板中之彩色濾光器通常包括一包含複數個彩 色元件之矩陣。6亥4彩色元件可包括（例如）紅、綠及/或藍 。色元件之圖案。可以其他色彩之彩色元件製造彩色濾光 器。可以各種合適組態之任何組態配置彩色元件。先前技 術條帶組態具有交替紅 '綠及藍色元件行，如圖1A所示。 先前技術鑲嵌組態具有沿兩方向（例如，沿著行與列）交替 之彩色元件，如圖1B所示。先前技術角接組態（未顯示）具 有以彼此具三角形關係之方式加以配置的紅、綠及藍色元 件之群組。彩色濾光器可具有其他組態。 圖1A顯示-先前技術"條帶組態"彩色渡光器1〇(其具有 複數個橫跨接收器元件18分別形成於交#行中之红、綠及 藍色元件！2、14及16)之-部分。藉由—黑色矩陣2〇之部 分顯示彩色元件12、14及16之輪廓。矩陣20可減少元件間 122737.doc 200812816 之月光戌漏。通常在細長條帶中使行成像，矩陣2〇將該等 細長條帶細分為個別彩色元件12、14及16。可藉由矩陣2〇 之區域22來遮罩相關LCD面板（未顯示）上之TFT電晶體。 圖1B顯示一配置於鑲嵌組態中之先前技術彩色濾光器10 之 4刀’其中彩色元件12、14及16係配置於行中且橫跨 並沿著行交替。 各衫色元件12、14及16可與矩陣20之相鄰部分重疊。使

彩色元件與矩陣2〇重疊係一種降低彩色元件必須與矩陣Μ 77 精度的方法。可藉由雷射誘導熱傳遞程序來應用彩 色疋件。雷射誘導熱傳遞程序包括一或多個影像形成材料 之成影像傳遞。影像形成材料可包含（無限制）染料或其他 合適影像形成材料，例如顏料與其他著色劑組合物。雷射 誘；熱傳遞私彳包括使用雷射輻射來促成著色劑（具有或 不具有黏結劑）之傳遞·的程序。雷射誘導熱傳遞程序之非 限制性範例包括雷射誘導，，染料傳遞”程序、雷射誘導，，熔 化傳遞，’程序、雷射誘導”剝蝕傳遞，，程序及雷射誘導”質量 傳遞’’程序。、 、圖3顯示-用以製造彩色遽光器1Q之習知雷射誘導熱傳 遞程序。正在使用多通道成像頭26將影像形成材料從施體 凡件24傳遞至下部接收器元㈣。接收器元件⑽常具有 一形成於其上之矩陣2〇(未顯 干1木，、、、員不）。儘官可使用熱傳遞程序 在接收器元件1 8上形成矩陳2 〇 η , /线㈣，不過通常藉由微影技術形 成矩陣20。 橫跨施體元 施體元件24包括一 影像形成材料（未顯示 122737.doc •10- 200812816

件24掃描多通道成像頭％所發射之輻射時可將該影像形成 材料成影像傳遞至接收器元件18上。通常在獨立成像步驟 中使處光器H)之紅、綠及藍部分成像，各成像步驟使用一 適於待成像色彩的不同色彩施體元件。通常將濾光器之 紅、綠及藍色元件傳遞至接收器元件18使得彩色元件各與 矩陣20中之—對應開口對齊1應成像步驟完成時移除各 «元件24。傳遞彩色元件之後，已成像彩色濾光器可經 叉一或多個額外程序步驟（例如退火步驟），以改變已成像 彩色元件之一或多個實體特性（例如，硬度）。 —圖2示意性顯示一習知以雷射為主之多通道成像頭之一 範例，該成像頭採用一空間光調變器或光閥來形成複數個 成像通道。在所示範例中，線性光閥陣列1〇〇包括製造於 一半導體基板102上之複數個可變形鏡元件1〇1。可個別定 址鏡兀件101。鏡元件1〇1可為微機電（MEMS)元件，例如 可變形鏡微元件。雷射104使用一歪像光束擴張器（包含柱 面透鏡1〇8與110)可在光閥100上產生一照明線1〇6。照明 線106橫跨複數個元件101橫向擴展以便鏡元件ι〇ι各受照 明線1 06之一部分照射。頒予Gelbart之美國專利5,5 1 7 359 說明一種形成照明線之方法。 元件101處於其未致動狀態時，透鏡112通常使雷射照明 聚焦穿過孔徑光闌116中之孔徑114。藉由孔徑光闌116阻 斷來自已致動元件之光。透鏡118使光閥1〇〇成像以形成複 數個個別成影像調變光束120，可在一基板之區域上掃描 該等調變光束120以形成一已成像長條。該等光束各受元 122737.doc 11 200812816 件^之—控制。各光束係可操作以依據對應 =力狀態在已成像基板上使—，，影像像素"成㈣不使^ 像）7L件101各控制多通道成像頭之一通道。

同樣參考圖3,對影像資料作出回應而控制成像頭26之 通道㈣成成像長料，相對於彼此位移純ϋ元件18、 或多通道成像頭26、或兩者之組合。在某些具體實施例 中，成像頭26之影像係靜止的而接收器元㈣係移動的。 在-他”體貝把例中，接收器元件i 8係靜止的而成像頭％ 之影像係移動的。在其他具體實施例中，沿著—或多個掃 描=徑移動成像頭26與接收器元件18以產生成像頭％與接 收1§元件1 8間之所需相對運動。 可應用任何合適機制使成像頭26在接收器元件〗8上方移 動。通常使用平板成像器來使接收器元件18(其相對剛性） 成像’其係製造顯示面板之通常做法。平板成像器具有一 沿平坦方位固定接收器元件18之支撐物。頒予Gdhn之美 國專利6,957,773說明一種適於顯示面板成像之高速平板成 像裔。或者’可將撓性接收器元件丨8固定於一”鼓型，，支擇 物之一外部或内部表面以實現長條之成像。假設基板足夠 薄且支撐物之直徑足夠大，則甚至傳統上視為剛性之接收 器元件（例如玻璃）也可成像於以鼓為主之成像器上。 圖3顯示一於雷射誘導熱傳遞程序中已圖案化為具有複 數個紅條帶3〇、32、34及36之彩色濾光器接收器元件18的 一部分。在此程序中，將位於接收器元件1 8上之施體元件 24以及與複數個紅條帶30、32、34及3 6相對應之區域成像 i22737.doc -12 - 200812816 於接收器元件18上。此導致將影像形成材料從施體元件％ 傳遞至接收器元件18上以形成條帶30、32、34及36。在圖 3中，僅基於清晰之目的而將施體元件24顯示為小於接收 器元件18。施體元件24可視需要與接收器元件18之一或多 個部分重疊。

各組彩色濾光器元件構成一特徵圖案。在此情況下，該 等特徵係不連續的。條帶30、32、34及36係一此類不連^ 特徵之圖案的-範例。條帶3〇、32、34及36係沿次掃描方 向44彼此空間分離。多通道成像頭26包括複數個可個別定 址成像通道40。圖3中，成像頭26係位於一第一位置π 處。圖3將成像通道40與已傳遞圖帛間之對應性圖示為产 線4!。特徵（例如條帶30、32、34及36)在次掃描方向4 = 之尺度一般大於藉由成像通道40所成像之像素的寬度。可 藉由開啟一通道群組（其跨越特徵在次掃描方向44上之寬 度）同時在方向42上沿著-掃描路徑掃描該等通道來使= 類特徵成像。 雖然圖3中將多通道成像頭26顯示為 只丁馬具有與已成像圖案 相同之大小’不過未必如此。可藉由一合適光學系統(其 可修改成像長條在基板平面處之大小及/或形狀)來使 頭26所發射之成像光束成像。在接收器元件18上方沿主= 描方向42掃描（同時依據指定待寫入特徵 :^ ^ 〈圖案的影像資 料加以成影像調變）多通道成像頭26所產生之成像“、 以恰當方式驅動通道群組4δ以在需要形成= 生主動成像光束。驅動與特徵不對應之通道刊以便不$對 122737.doc -13- 200812816 應區域成像。 成像頭26之通道4〇可估 E ^ U Γ使一長條成像，該長條嘗 第一通道所成像之第一德丰田 食彳木之寬度係與 素/、最後通道所成像之最後 間之距離有關。接收器元 象敢後像素 牛8通吊太大以致於無法在一單 一長條内成像。因此，在技早 接收為7L件18上完成一影像 需要成像頭26之多個掃插。 冢通吊 多通道成像頭26沿次播沪女a / Λ 人知彳田方向44之移動可發生在沿主

描方向42完成各長條之成德 象後。或者，成像頭26可愈 描運動同步沿著次播炉古a m ^ 土伸 考人知彳田方向44相對於接收器元件i8 便補償藉由成像系統所實現之主掃描方向與影像相對= 收器元件18之所需放置間的可能歪斜。或者，採用-鼓型 成像器，可同時沿主掃描42與次掃描方向44移動成 %，從而將影像寫入在鼓上螺旋延伸之長條中。熟習此項 技術者應明白’可使用成像頭26與接收器元件㈣之相對 移動之其他可能圖案來將所需成像區域成像於接收 18 上。 ° 存，若干用於對準不同長條之選項，其包括：使鄰接長 條重豐-或多個已成像像素寬度並使—後續成像長條之第 通道與一鄰接先前成像長條之最後通道間隔開一與已成 像像素間之間距距離有關的距離。 返回參考圖3，在成像頭26之第一掃描期間使紅條帶 30、32及條帶34之部分34,成像。第一掃描完成時，成像頭 26沿次掃描方向44從第一位置38位移至一新位置38,(如虛 線所示）。在新位置38,處，鄰接成像頭26之最後通道化之 122737.doc -14- 200812816 先前位置定位成像頭26之第一通道46。在位置38，處，况主 掃描方向42掃描成像頭，從而使條帶34之其餘部分成 像。難以避免在條帶34之部分34»與34"間之邊界處出現可 見中斷（如線47所示）。此鄰接已成像長條間之可見中斷可 造成一形式之影像人工產物（稱為帶狀物）。 產生規則特徵圖案時，帶狀物可能變得更加明顯。圖案 、 之重複性質可導致一差拍效應，其會使已成像特徵之密度 • 變化所造成之任何帶狀物加重。在雷射誘導熱傳遞程序中 也可能出現其他成像人工產物。例如，使用雷射誘導熱傳 遞程序來使特徵（例如彩色濾光器之元件）之圖案成像時， 在特徵之邊緣處可能會出現粗糙邊緣與各種邊緣中斷。此 等邊緣中斷之出現可能由於許多原因，例如，成像頭之成 像通道之輸出功率的小功率變化。即使小功率變化也可能 影響從施體元件傳遞至接收器元件之影像形成材料量，尤 ，、在施版元件展現非線性成像特性之情況下。特徵之已成 # 料側與内側部分間之微差熱效應可導致粗糙邊緣，尤其 .當已成像特徵係一不連續特徵（其藉由未成像區域而與其 . *特谜刀離)日寸。剝離已成像施體元件時，機械效應(例 士 Μ傳遞至特徵邊緣之影像形成材料相關聯的不足剝離 或不足剝離速度、角度或方向控制）可導致粗糙邊 彖藉由使矩陣20與已傳遞影像形成材料重疊可遮罩此等 邊緣人工產物。不過’影像形成材料在退火後可能會收縮 並曝露邊緣中斷。圖4係-彩色濾光器之一部分（其具有紅 色το件12、綠色元件】4男@々 千4及1色元件16)的照片。可觀察到 122737.doc -15- 200812816 二個7L件間之邊緣中斷49。即使邊緣中斷49相對於元件 12、14及16而言相當小，也可能負面影響彩色濾光器之總 體視覺均勻性，降低其品質。邊緣中斷可包括特徵邊緣中 之突伸部分或缺口。 本發明提供以可產生強化結果之方式調整成像光束之強 度的系統及方法。圖5示意性顯示依據本發明之一方面在 一雷射誘導熱傳遞程序中所成像的一接收器元件Μ之一部 分。將特徵之重複圖案5〇成像於接收器元件“之一部分 上在所不範例中，圖案50係由十六個特徵5丨組成。在此 辄例中’圖案5G係位於藉由成像頭％所成像的—皁一長條 内。換言之，特徵圖案50係成像於一單一長條内，因而其 可在成像頭26之單一掃描内成像。 圖案50可形成另—圖案（例如彩色濾光器）之另—部分。 :於/月晰起見’圖5未顯示彩色施體元件24(其可位於接收 為凡件18之頂部上）。控制成像頭26之通道以將影像形成 材料從施體元件24傳遞至接收器元件I可執行後續掃 田。在此等後續掃描中，可在圖5所示特徵]間之空間内 ，其他特徵成像。其他特徵可包括不同色彩之特徵。在圖 之摩巳例中，特徵51各包含一條帶。 =此範例中’成像頭26具有數百個成像通道4q。藉由一 C中未通道40之群組48使各特徵51成像。基於清晰起見，圖 道接定位之成像通道40组成。可個別控制各通 24道4G可，，開啟，，以沿著-與該通道相對應之掃描線 122737.doc -16- 200812816 將〜像形成材料從施體元件24傳遞至接收器元件1 8，或可 !’關閉”以便不在該對應掃描線中該通道指向之部分中傳遞 衫像形成材料。基於清晰起見，未顯示，，關閉，，之通道㈣。 通道4〇開啟”時所產生之光束之強度亦可加以調整。強度 之調整可包含（例如）調整光束之功率。 在一特定範例中，各個別成像通道4〇可能能夠使大約5 诞米見之像素成像。因此，各群組48可使一大約ι⑽微米 覓（人掃彳田方向44)之特徵5 i成像。特徵5〗係沿次掃描方 向44間隔開一大約3〇〇微米之間距。在本發明之某些具體 只轭例中，採用雷射誘導熱傳遞程序使特徵成像，在該程 中強化已成像4寸破之邊緣部分以減少邊緣中斷。將參考 圖5所示圖案5〇說明本發明之方面之非限制性範例。 圖6係已成像媒介之一部分以及一用以使單一特徵$丨成 像之通道群組48(明確言之標示為通道群組48，）的詳細示意 圖。可個別控制群組48(中之各通道以發射一光束。控制群 組48中之通道之強度以提供一強度輪廓57。 邊緣通道子群組54,與54"(統稱為子群組54)分別與沿著 特徵5 1之邊緣56，與56”存在之區域之成像相關聯。參考次 掃描方向44，邊緣56,可稱為，，内邊緣，，，而邊緣％”可稱為 外邊緣’’。各邊緣通道子群組54包含一或多個通道（在圖6 所示具體實施例中為兩個通道）。可基於若干因素（例如， 通道之解析度、通道群組48,中之通道數及媒介特徵）來決 定各子群組54中欲包含之通道數。 在光學兀件中將曝光定義為光強度隨時間之積分。許多 I22737.doc -17-

200812816 媒介對曝光作出回應。曝光係與成像光束之強度以及與成 像光束相關聯之曝光時間有關。曝光可與成像光束之掃圹 速度有關。在某些媒介中，當一成像光束所產生之曝光等 於或起過與媒介相關聯之曝光臨界值時形成影像。在某歧 媒介中，該曝光臨界值取決於強度。在某些媒介中，必須 等於或超過一最小強度臨界值以便形成一影像。在圖6 中，將群組4以中之所有通道之強度控制為等於或高於與媒 介之曝光臨界值需要相對應之（Ithresh)的位準。藉由内部通 I子f、’且58之通道使已成像特徵5 1之内側或内部部分a，成 像。控制邊緣通道子群組54以產生強度不同於内部子群組 58中之通道之強度的光束。在此範例中，驅動子群組Η中 之通道以提供高於驅動内部子群組58中之通道所提供之強 度的強度。此在沿特徵51之邊緣56，與56，，延伸的邊緣區域 中產生增加之曝光位準。 邊緣子群組54,與54"中之通道之輸出的增加在邊緣56，及 56”處之已成像區域與周圍未成像區域⑼間產生一強度梯 度’該強度梯度比驅動群組48，中之所有通道以產生與子群 、·且5 8中之内部通道相關聯之較低能量強度位準之情況下的 強度梯度陡。 、“他們不希望f _特定操作原理約束，不過發明者言 :，、、更陡強度梯度導致在沿特徵51之邊緣56,與56”的i 緣區域中可將影像形成材料”更乾淨地”傳遞至接收器; 件。 圖6中 子群組54,與54，， 之通道係經控制以產生彼此實質 122737.doc -18- 200812816 上相等之強度。在本發明之某些具體實施例中，子群組μ, 與54”之通道係經控制以具有不同強度。 未必任何子群組中之所有通道皆經控制以具有相同強 度。例如： •邊緣通道子群組54,與54”之任一者或兩者内之選定 可經控制以具有與其他通道之強度不同的強度。 1内部通道子群組58奴選定通道可經控彻具有與其他 通道之強度不同的強度。 •内部通道子群組58内之選定通道可經控制以具有高於或 低於邊緣通道子群組54，與54，，之任一者或兩者中之通道之 強度的強度。 •内部子群組58内之通道可經控制以具有圖6a所示對稱強 度輪廓57或圖6B所示非對稱強度輪廓57。在本發明之某些 方面之範疇内可提供其他形狀之強度輪廓57。 在某些情況下，必須或需要在所需範圍内達成一特徵 ^ 特彳政5 1之光學孩、度或色彩密度）。藉由選擇性增加 子群組54’與54"中之通道的強度，可在維持更平滑邊緣的 同時保留所需影像特徵。内部通道子群組58中之通道之強 度位準與分佈可經控制以針對特徵51達成—所需總密度。 子群組54,與54”中之通道與内部子群組58中之通道的強 度位準間之所需關係可取決於各種因素，其包括但不受限 於： .所使用之雷射誘導熱傳遞媒介之類型（例如，雷射誘導 "染料傳遞"媒介、雷射誘導，，炫化傳遞”媒介、雷射誘導"剝 122737.doc -19、 200812816 蝕傳遞”媒介及雷射誘導" 田习丁邊¥貝κ傳遞”媒介等 •所採用媒介之特定配方 Α (例如，不同色彩配方）； 另^體^接收裔^件間隔，其可與矩陣20厚度及/或先前 成^""70件24之成像期間傳遞至接㈣元件18之影像形 ;:之存在成一函數關係而變化；及 •成像頭2 6之特徵。 圖7係依據本明夕 ^ . t 匕、 孚^明之一乾例性具體實施例所產生的一彩

立濾光為之包括紅色元件12、綠色元件Μ及藍色元件^之 P刀的知片。&用-雷射誘導熱傳遞程序（其係以類似於 ^考圖6所述方法之方式加以執行）執行各元件之成像。在 一獨立成像步驟（其中使-經恰當著色之施體成像以產生 已著色元件之一）中產生各元件。採用―多通道成像頭 6其中使用大約二十個通道之群組48來使元件12、14及 16中的各元件成像。各成像通道產生大約5微米寬之像 素各群組48中之邊緣通道子群組54,與54，，係用以使各特 徵之邊緣56,與56π成像。 在此範例中，邊緣通道子群組54，與54"係經控制以產生 光束’違專光束之強度比各對應群组4 8之内侧子群組5 8之 通道所發射之光束之強度大大約12%。如圖7所示，元件 12、14及16各具有實質上平滑邊緣。邊緣中斷之減少（與 圖4相比）導致彩色濾光器之此部分具有改良視覺特徵。 圖8係圖7所示相同彩色濾光器之一不同部分的照片。圖 8顯示如上所述所產生的紅色元件丨2,、綠色元件14t及藍色 元件161。在與圖7所示元件12、14及16中之對應元件相同 122737.doc -20- 200812816 2:間及斷長條中使各彩色元件12，、14，及16，成像。 .頭之早“期間在紅色施體元件上方形成元件12與 ’成像頭之單—掃描期間在綠色施體元件上方形成元件 ㈣’及成像頭之單_掃描期間在藍色施體元件上方形 :件16與16’。結合用以使元件12、14及16中之對應元件 成像的相同邊緣強化條件使各元件i2,m6•成像。 在圖8所示彩奔、、奮止 Λ"益之該部分中存在某些邊緣中斷 著 中 成 中 -=此範例中，邊緣中斷49看上去在綠色元件14中最顯 f射誘導熱傳遞媒介可具有非線性特性。在此範例 、”亲色轭體特有之曝光特性可能促成邊緣中斷49之形 f他額外或替代因素可促成邊緣中斷49之形成。圖8 邊緣中斷49看上去主要位於元件14，之外邊緣％"上。 元㈣，之内邊緣56,看上去實質上無中斷的。 圖9A與9B顯示此效庫 叮处忠门 _金〇 應之—可能原因。圖9A與9B係圖5所 =在影像形成材料傳遞之前的部分示意性斷面圖。圖 示與通道群組48㈣應的此等成像通道4〇。 成像期間，通常藉由草_描 構件（其可包括真空構件:）將施體 …4固定於接收器元件18。基於清晰起見，省略矩陣 20。矩陣20通常具有一獨特 娜成於矩陣2G中之腔内。又^構件可使施體元件 如施^件Μ與接收器元件18間之間隔可影響傳遞至接收 之材料之㈣。間隔之變化可造成從 =至接收H元件此影㈣成材料量之變化 熱傳遞成像程序期間，施體元件24之影 二 122737.doc 200812816 分可能並未傳遞至下部接收器元件，而是可能經受一相變 而變為氣體狀態。 圖9B顯示施體元件24之變形，其可能由於施體元件以與 接收器元件18間之”氣泡”而發生。施體元件24之一部分之 成像所造成的施體元件之變形可能引起橫跨長條之可變施 體-接收器元件間隔。在此範例中，正在成像冲六個獨立 •特徵5〗。各特徵51可具有一不同施體至接收器元件間隔。 • 如圖9B所示，各種特徵51係經受可變施體至接收器特 徵。如圖9B所示，可變施體至接收器間隔可存在於各種特 徵51之間，也可橫跨一給定特徵51。諸如可變施體至接收 器間隔之因素可能需要各種特徵以不同於其他特徵之方式 成像。可能需要一特徵之一邊緣以不同於相同特徵之另一 邊緣的方式成像。在本發明之某些具體實施例中，可以不 同強度操作不同特徵5 1之邊緣子群組54,與54，，。在本發.明 之某些具體實施例中，可以不同強度操作相同特徵51之邊 i 緣子群組54，與54”。 圖10顯示正在用以使一單一特徵51成像的一通道群組 48’。亦顯示一強度輪廓57。群組48，中之各通道具有可獨 立於群組48,中之其他通道加以控制的強度。通道群組料， 之強度輪廓57已經調整以減少已成像特徵5丨中之邊緣中 斷。第一邊緣通道子群組54,係負責使沿内邊緣56，延伸的 弟邊緣區域成像。第二邊緣通道子群組5 4"係負責使 沿外邊緣56,延伸的一第二邊緣區域成像。在此非限制性範 例中’各邊緣子群組54’與54”包括兩個通道。在本發明之 I22737.doc -22- 200812816 其他範例性具體實施例中，邊緣子群組54，與54f，包括其他 合適數目之通道。在本發明之其他範例性具體實施例中， 邊緣子群組54’係由與邊緣子群組54”不同數目之通道組 成。 、、’ 圖10中，邊緣子群組54,與54”係經控制以產生強度位準 與内部子群組58之通道之強度位準不同的光束。在所述具 體實施例中，邊緣子群組54,與54”係經控制以在特徵5〗之 • 邊緣56’與56!，附近提供高於特徵51之藉由内部子群組58之 通道所成像之區域中所提供之強度位準的強度位準。邊緣 子群組54”係經控制以發射強度高於邊緣子群組“，所發射 之光束之強度的光束。在所述具體實施例中，對應於邊緣 子群組54”之強度與對應於邊緣子群組54，之強度相差一強 度差ΔΙ。此強度差導致強度輪廓57非對稱。 非對稱強度分佈亦可用以減少由次掃描方向44上之運動 引起（或強化）之人工產物。在某些具體實施例中，特徵51 _ A像期間在:欠掃描方向44上發生成像頭26與施體元件24間 之相對運動。此類相對運動可造成特徵51之第一與第二邊 緣具有不同影像特徵。在此類情況下，可藉由採用通道子 群組54 (其產生之光束之強度與使特徵5 1之沿著第二邊緣 56存在之部分成像的子群組54”中之光束之強度不同）使特 徵51之沿著邊緣56,存在之部分成像來減少人工產物。在此 類情況下，強度輪廓57係非對稱。 在本發明之其他範例性具體實施例中，不同強度輪廓57 係用以使不同施體元件24成像。 122737.doc -23- 200812816 圖u示意性顯示依據本發明之„範例性具體實施制_ 成像系統200。純包括_多通道成像頭％、一平移單 凡22〇(其在藉由成像頭26執行的可成像媒介212之成像期 間建立可成像媒介212與成像頭26間之相對運動）。此相對 運動可石著與成像相關聯的一次掃描方向料及/或一主掃 描方向42。成像頭26與可成像媒介212間沿著次掃描方向 料之相對運動可以或可^發生在成像祕之各 之間。 成像頭26可包含具有可個職址之通道的任何合適多通 道成像頭，各通道能夠產生—具可加以控制之強度的成像 先束。成像頭26可提供一維或二維成像通道陣列。可使用 任何合適機制來產生成像光束。可以任何合適方式配置成 像光束。 本發明之某些具體實施例採用紅外線雷射。採用“Ο陣 發射器（在830 nm之波長下具有大約卿之總功率輸出）之 紅外線二極體雷射陣列已成功用於本發明中。替代雷射 (包括可見光雷射)亦可用以實施本發明。可藉由待成：媒 介之特性來激發所採用雷射源之選擇。 可成像媒介212可包括一施體元件24與一接收器元件 兩者均未顯示）。系統2〇〇亦包括系統控制器23〇。控制 裔230可包括微電腦、微處理器、微控制器或任何其他合 適的電性、機電及電光電路與系統之配置（其可將信號可 靠地發送至多通道成像頭26與平移單元22〇以依據至控制 器230之各種資料輸入使媒介212成像）。控制器可包括 122737.doc -24- 200812816 一控制器或複數個控制器。

240係輸入至系統控制器230。不加限制，圖案50可表示一 $成彩色渡光器之一部分的彩色特徵圖案。 =由系統控制器230可使用程式產品25〇來執行系統2〇〇 燏仔媒脰（包括R〇M、快閃RAM)等。 壓縮及/或加密於媒體上。 在本發明之一範例性I薇魯 “. 各種功此。一功能包括設定成像頭2 6之控制參數 以減少本文所述圖案50之特徵51之邊緣中斷。不加限制， 程式產品2 5 0可包含承載一組電腦可讀取信號之任何媒 體，該等電腦可讀取信號包含藉由電腦處理器加以執行時 可使電腦處理器執行一本文所述方法的指令。程式產品 250可知用各種形式中的任—形式。程式產品咖可包含 (例如）貫體媒體，例如磁性儲存媒體（包括軟碟、硬碟 機）' 光學資料儲存媒體（包括CD ROM、DVD)、電子資料 可視需要將該等指令 程式產品250將系 識別欲用以使一給 系統控制器230亦 之一範例性具體實施例中， 統控制器230組態成用以分析資料24〇以 定特徵5 1成像之特定通道4 〇之群組4 8。 徵5 1之邊緣部分成像

選擇欲使用子群組54,與54”來使特徵51 藉由系統控制器230可6知丸〜一 54”及5 8之識別。以 一操作者（其透過一 之指導下手動選擇 58) 〇 122737.doc 25- 200812816 控制器230設定控制參數，其包括針對子群組54，與μ”中 之通道以及内部子群組58中之通道設定強度。將該等強度 選擇成至少等於與正在成像之施體元件24相關聯叫⑽。 基於通道是否位於邊緣子群組54中來決定各通道之強度。 在某些情況下’額外基於諸如以下因素的其他因素來決定 強度： •通道在成像頭26中之什麼位置處(例如，通道編號為多 少）; •哪一邊緣子群組（54|或54")係通道所在之邊緣子群組； •若子群組包括一個以上通道，則通道位於子群組内的什 麼位置處； •圖案50内正在成像之特徵51的大小與位置； •不同施體元件之成像序列；及，額外考慮因素。 藉由控㈣器230可基於以上因素中的某些或全部自動設 定強度。通道控制參數之決定可基於合適演算法及/或輸 入至控制器230之資料進行，或在程式產品250内程式化。 控制參數可在成像之前進行決定或可隨著成像進展”操作 即時”進行決定。 以替代或附加方式，控制器23〇可允許在一操作者（其透 過一恰當使用者介面與系統控制器23〇通信）之指導下手動 调整通道強度。 在某些具體實施例中，控制器23〇維持強度資訊加，其 指定成像頭26之各通道40之強度（或，等效地，一強度增 加里）。強度貧訊可横跨成像頭26之通道變化。若決定一 I22737.doc -26- 200812816 通道屬於用於一特定特徵51之邊緣子群組54，或54”之範圍 内（即，該通道40將使該特徵之一邊緣部分成像之情況 下），則控制器230可將該通道之強度自動設定為強度資訊 所指定之值。 在某些具體實施例中，控制器23〇針對内側邊緣子群組 人外側邊緣子群組54”維持獨立強度資訊。在此類具體 、〗中控制為2 3 0決疋一通道是否位於子群組5 4，與5 4，， 之者中。若通道位於子群組54，與54,，之一者中，則控制 叩3 0取回適於該子群組及通道之強度資訊，並依據該強 度資訊設定通道之強度。 控制為230接著操作成像頭26與平移單元220，以使甩針 對各通道所決定之強度使媒介212成像。在某些具體實施 例中，使沿著特徵5丨之邊緣56，與56"的邊緣部分成像之邊 緣子群組54，與54，，之至少一者（在某些具體實施例中，係兩 者）中之通道之強度超過相同特徵51之内部子群組58中之 通道之強度至少3 %。 本文所述方法在特徵51具有條帶（其具有平行於主掃描 T向42延伸之邊緣）形式時適宜。該等條帶可為連續或中 斷條▼。在此類情況下，藉由全部沿著特徵之相同通道40 使特彳政之邊緣部分成像。其在可在成像頭％之單一長條中 使若干此類條帶特徵成像時尤其適宜。不㉟，本發明不受 限於使條帶成像。 ：本發明之某些範例性具體實施例中，在成像頭％之一 或夕個知描期間使一特徵5 j成像。特徵5 i可與另一特徵連 122737.doc -27- 200812816 續或不連續。 可依據影像資料（其包括半色調放映資料）使特徵5 i成 像。在半色調成像中，特徵包含半色調點。該等半色調點 之大小依據已成像特徵之所需明度或暗度變化。各半色調 點通常大於藉由成像頭26所成像之像素，且通常係由藉由 複數個成像通道所成像的一像素矩陣組成。通常按一選定. 赏幕線數（其通常藉由每單位長度半色調點數來定義）及一 選定螢幕角度（其通常藉由半色調點之定位角度來定義）來 使半色調點成像。在本發明之範例性具體實施例中，特徵 5 1可採用依據經選擇用以使該特徵成像之對應半色調螢 幕資料的螢幕密度進行成像。 在本發明之其他範例性具體實施例中，可採用由大小相 等點之變化空間頻率組成之隨機螢幕來使特徵51成像。·在 本發明之其他範例性具體實施例中，可採用一組合式半色 調與隨機螢幕（通常稱為"混合”螢幕）來使不連續特徵成 像。 雖然已使用應用於顯示器與電子器件製造中之範例性應 用σ兒明本發明，不過本文所述方法可直接應用於任何特徵 圖案（包括實驗室晶片（L0C)製造之生物醫學成像中所使用 之特徵圖案）之成像。L0C器件可包括若干重複特徵圖 尔本每明可應用於其他技術，例如醫學、列印及電子掣 造技術。 月白，5玄等範例性具體實施例僅解說本發明且熟習此 項技術者在不背離本發明之範疇情況下可設計上述具體實 122737.doc -28- 200812816 施例之許多變化例。 【圖式簡單說明】 藉由所附非限制性圖式解說本發明之具體實施例與應 用。所附圖式係基於解說本發明之概念的目的且可能未 比例繪製。 圖1A係一先前技術彩色濾光器之一部分的平面圖。 •圖係另-先前技術彩色遽光器之一部分的平面圖。 • 圖2係一範例性先前技術多通道成像頭之光學系統的部 分示意性透視圖。 圖3係一將不連續特徵之圖案成像於可成像媒介上之多 通道成像頭的示意圖。 圖4係藉由雷射誘導熱傳遞程序所生產之彩色遽光器中 存在之邊緣中斷的照片。 圖5係依據本發明之—方而兹 ^ 万面猎由一多通道成像頭所成像 之媒介的示意圖。 I 圖6係圖5之一部分的詳細視圖。 圖係依Α本發明之:一範例性具體實施例的一'對稱能量 強度輪廉。 圖6B係依照本發明之—範例性具體實施例的—非對稱能 量強度輪廓。 圖7係依據本發明之一範例性具體實施例所生產之彩色 濾光器之一部分的照片。 圖8係圖7所示彩色濾光器之另一部分的照片。 圖A係圖5之媒介在將影像形成材料從施體元件傳遞至 122737.doc -29- 200812816 接收器元件之前的斷面圖。 圖9B係圖5之媒介在將影傻 如像形成材料從施體元件傳遞至 接收益元件期間的斷面圖。 圖10係依據本發明之_範例性具體實施例藉由—多通道 成像頭所成像之媒介的示意性部分視圖。 圖11係依據本發明之一範 【主要元件符號說明】 10 彩色濾光器 12 (紅色）彩色元件 12， (紅色）彩色元件 14 (綠色）彩色元件 14, (綠色）彩色元件 16 (藍色）彩色元件 16, (藍色）彩色元件 18 接收器元件 20 黑色矩陣 22 區域 24 施體元件 26 多通道成像頭 30 紅條帶 32 、红條帶 34 條帶 34， 部分 34’， 部分 122737.doc ‘30- 200812816

36 紅條帶 38 第一位置 3 8， 新位置 40 可個別定址成像通道 41 虛線 42 主掃描方向 44 次掃描方向 45 最後通道 46 第一通道 47 邊緣中斷 48 通道群組 48’ 通道群組 49 邊緣中斷 50 特徵圖案 5 1 特徵 521 内部部分 54 通道子群組 54f 第一邊緣通道子群組 54，， 第二邊緣通道子群組 56， 内側外邊緣 56,丨 外側外邊緣 57 強度輪廓 58 内部通道子群組 60 未成像區域 122737.doc -31 - 200812816

100 線性光閥陣列 101 可變形鏡元件 102 半導體基板 104 雷射 106 照明線 108 柱面透鏡 110 柱面透鏡 112 透鏡 114 孔徑 116 孔徑光闌 118 透鏡 120 成影像調變光束 200 系統 212 可成像媒介 220 平移單元 230 系統控制器 232 強度資訊 240 資料 250 程式產品 122737.doc -32-

Claims (1)

1. 200812816 申請專利範圍： 1. 種 藉由雷射誘導熱傳遞使一特徵成像的方法，該方法 包含： 以、 在包含一施體元件與一接收器元件的—基板上，沿著 對應掃描線在-掃描方向上掃描複數個可獨立 束’各光束係可操作用於在該接收器元件上形成一對應 影像像素；〜 一藉由操作該等光束之-連續群組以將-影像形成材料 攸5亥施體元件傳遞曼古女技 _ ”寻遞至，亥接收為兀件來使_特徵成像，·及 使該特徵成像的同時，控制與沿著該特徵之一第一邊 ㈣伸的該特徵之—第—部分相對應的該等光束之一或 夕個光束之-第-邊緣子群組以及與沿著該特徵之—第 二邊緣延伸的該特徵之—第二部分相對應的該等光束之 '，夕個光束之-第二邊緣子群組的強度，以具有不同 =該特徵之一内部部分相對應的該等光束之一或多個 光束之一内部子群組之強度的強度。 2· Γ請求項1之方法’其包含將該等第—與第二邊緣子群 :之至少-者之該等光束之該等強度設定為超過該内部 平組之該等光束之至少某些光束之強度3%或更多。 3.如請求項1之方法，其包含^ τ ^ , 不同於该第二邊緣子群組 之该等光束之該等強唐 • m )方式設定該第一邊緣子群組之 違等光束之該等強度。 4·如請求項1之方法，其包含 执 將邊專光束之該群組之強度 為板跨該特徵提供-非，稱強度輪廓。 122737.doc 200812816 长項4之方法5其包含將該内部子群組之該等光束 之強度設定為在該特徵之該内部冑分中提供一非對稱強 度輪廊。

   如請求項1之方法，其包含： 隹持14忒等光束之各光束相關聯之強度資訊，該強度 資訊指定該光束位於用於任何特徵之該等第一與第二邊 彖子羊、、且之一者中的情況下欲針對該光束設定的一強 度； 、定那些光束位於用於該特徵之該第一邊緣子群組 中；及 —依據與該第—邊緣子群組之料光束相對應之該強度 資訊設定該等光束之強度。 如請求項1之方法，其包含： 々維持與該等光束之各光束相關聯之第—強度資訊，該 第一強度資訊指定該光束位於用於任何特徵之該第一邊 緣子群組的情況下欲針對該光束設定的一強度； 斤、准持與该等光束之各光束相關聯之第二強度資訊，該 弟二強度資訊指定該光束位於用於任何特徵之該第二邊 緣子群組的情況下欲針對該光束設定的一強度； 决疋那些光束位於用於該特徵之該第一邊緣子群組 中； 依據與該第-邊緣子群組之該等光束相對應之該第一 強度負§fl设疋该專光束之強度； 决疋哪些光束位於用於該特徵之該第二邊緣子群組 122737.doc 200812816 中；及 依據與該第二邊緣子群組之該等光束相對應之該第二 強度資訊設定該等光束之強度。 8. 一種用於在一接收器元件上形成一特徵之方法，該特徵 包含一第一邊緣部分與一第二邊緣部分，該方法包 操作一包含複數個可個別定址通道之成像頭，以s引導 與該等通道相對應之光束在-施體元件上沿著對應掃描 路徑掃描，並藉由一雷射誘導熱傳遞程序將材料從該施 體元件傳遞至該接收器元件，同時控制與該等通道相對 應的該等光束n歧與該特徵之—第_邊緣部分 相對應之光束以一第一強度操作’且與該特徵之一第二 邊緣部分相對應之光束以一不同於該第一強度之第二強 度操作。 9·如請求項8之方法，其包含以一不同於該等第一與第二 強度之至少一者的第三強度操作與該特徵之一内部部分 相對應之光束。 ι〇·如請求項9之方法，其中該第三強度係不同於該等第一 與弟一強度兩者。 11·如請求項9之方法，其中該第三強度係低於該等第一與 第二強度之至少一者。 12·如請求項η之方法，其中該第三強度係比該等第—與第 一強度之至少一者低至少3 %。 13·如请求項8之方法，其中該第一邊緣部分與第二邊緣部 分係在一次掃描方向上彼此空間分離。 122737.doc 200812816 1 4 ·如請求項$ 描路徑之方特徵包含一在平行於該等掃 之方向上連續的條帶。 1 5 ·如清求項8夕士 描路#之以’該特徵包含-在平行於該等掃 化之方向上中斷的條帶。 圖：：：8之方法’其中該特徵係-包含複數個特徵之 :特=特徵’且該方法包含操作該成像頭關時形成 6亥特被及該圖案之至少一其他特徵。 二Ό 16之方法，其巾該第_邊緣部分對應於該特徵 相2邊緣，且該方法包含將與該特徵之該内邊緣部分 一子應之光束之強度設定為不同於與該至少一其他特徵 之内邊緣部分相對應之光束之強度。 18.如：求項16之方法’其中該第二邊緣部分對應於該特徵 且該方法包含將與該特徵之該外邊緣部分 一子應之光束之強度設定為不同於與該至少一其他特徵 之一外邊緣部分相對應之光束之強度。 " 19=請4 16之方法，其包含將與該至少—其他特徵 -與第二邊緣部分相對應之該等通道之強度設 於針對與該特徵之該等第—與第二邊緣部分相對應之今 等通道所設定之該等強度。 20.如請求項16之方法，其中該特徵圖案係_重複圖案。 20之方法’其中該特徵圖案係-重複條帶圖 案’違4條帶平行於該等掃描路徑而延伸。 22·如請求項16之方法，其中該特徵圖案包含形成 光器之一部分的一彩色特徵圖案 乂 巍 122737.doc 200812816 23· —種用於形成複數個特徵之方法，該方法包含： 、使-成像頭沿著一掃描路徑相對於一接收器元件前 進’以糟由-雷射誘導熱傳遞程序將該複數個特徵從— 施體元件傳遞至該接收器元件，該成像頭包含-可.操作 以個別控制複數個光束之光閥，各光束能夠將一影像形 成材料從該施體元件傳遞至該接收器元件；及 操作該光閥以控制該複數個光束，其中傳遞一特徵之 邊緣部分的光束具有與傳遞該特徵之内部部分的光 同的強度。 24.如明求項23之方法，其包含調變該複數個光束以採用強 度比用於傳遞該特徵之該等邊緣部分之該等光束之強度 低的光束傳遞該特徵之該等内部部分。 又 25 -種藉由-雷射誘導熱傳遞程序形成複數個特徵之方 法，該方法包含·· 使-成像頭沿著-掃描路徑相對於_接收器元件前 進’以將該複數個特徵從-施體元件傳遞至該接收器元 .^該成像頭包含-鄰接定位成像通道陣列，各成像通 、糸可#作用於形成-可個別控制光束，各光束能夠將 -影像形成材料從該施體元件傳遞至該接收器元件；及 」桑作該成像頭以選擇性調變各光束，其中採用不同能 里強度之光束傳遞各特徵之邊緣部分。 ㈣導熱傳遞㈣形成_特徵之方法，該 方法包含： 使—成像頭沿著一掃描路徑相對於一接收器元件前 122737.doc 200812816 進；及 控制該成像❹形成具—非對稱強度輪廓之複數 =以：由將-影像形成材料從一施體元件傳遞至一 收态7L件而形成該特徵。 丧 2 7 ·如請求項2 6之方沐，社人人 ^ 〃、包έ控制該成像頭選擇性調變今 稷數個光束以採用不固故疮+ ? 士 文口亥 冋強度之光束傳遞該特徵之邊緣部 λ71 。

   认一種藉由—雷射誘導熱傳遞程序形成複數個特徵之方 法’該方法包含： 使一成像頭沿菩_搞> Μ /- 1 、 者知描路徑相對於一接收器元件前 進’以將該複數個特微你 m - l ^ 将谜仉一施體兀件傳遞至該接收器元 件，及 控制該成像頭採用第-複數個成像光束將-第-特徵 從該施體元件傳遞至該接收器元件；及採用第二複數個 成像光束冑第—特徵從該施體元件傳遞至該接收器元 件；其中該第—複數個成像光束與該第二複數個成像光 束具有不同強度輪廓。 29. -種承載一組電腦可讀取信號之程式產品，該等電腦可 讀取信號包含藉由-系統控制器加以執行時使該系統控 制器執行以下操作之指令： 操作一包含複數個可個別控制通道之成像頭，以在一 雷射誘導熱傳遞程序中沿著—掃描路徑將―或多個特徵 從一施體元件傳遞至一接收器元件；及 選擇性啟動該複數個可個別控制通道之通道，以採用 122737.doc 200812816 一第一強度傳遞該一或多個特徵之一第一邊緣部分及以 一第二強度傳遞該一或多個特徵之一第二邊緣部分，該 第二強度係不同於該第一強度。

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