TW200818999A - Laminating apparatus and lamination method using same - Google Patents

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200818999 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本，”-種印刷電路基材等製造時使用 使用此專之®層方法，更詳言之，係關於—種疊射置】^及 ，疊層方法，藉由使膜狀樹脂層密接服貼在 基材，而使得基材與膜狀樹脂層之間不殘存氣j材二 【先前技術】 $來，伴隨著電子裝置小型化、高性能化，印刷 之咼岔度化、多層化愈形進展，以電路基材 口 基材 ，裝縣板·_途者也增加。像賴;；^^為夕= 2化型樹脂組合物或感光性樹脂組合物作绫 層使用，在預先形成之内層電路之上，涂卞為电'、、巴緣 合物或感光性樹脂組合物，或將上述熱“月::且旨組 性樹脂組合物所構成之膜狀樹脂層予以疊層之方』逸Γ-或感光 用光阻膜，以卉推耔岡垒，、-人μ知鐘鋼後，再度使 被有效地使用τ_化响成祕之方法，即所謂建成法， 地疊iiiSi:的在ίΐ:Γ基材上，將膜狀樹脂層平坦 非隔膜式之真置像爾術，有_式_層裝置或 ^隔膜式真空疊層裝置’有 由製置::真空室-由:固定於支持塊心】構 工瑕i缸同74a而升降自如之下侧殼體構件75,所槿& 上逑上側殼_㈣曝婦魏76體 200818999 構件75内，配置有藉由缸筒裝置74b而升降自如之下側加壓塊 77。又，上述上側加壓塊76内，收納有加熱板78，同時，此加熱 板78之加壓面側，以隔膜79被覆，藉此，上述上侧加壓塊76之 内部=間（以隔膜79被覆之空間)成為密閉構造。能成為真空狀態 3 或加壓狀態。又，同樣地，上述下侧加壓塊77内亦收納有加熱板 j 80，同時，此加熱板80之加壓面側以隔膜81被覆，藉此，上述 • 下侧加壓塊77之内部空間（以隔膜81被覆之空間）亦成為密閉構 造，能成為真空狀態或加壓狀態。 並且’於將基板82予以加熱加壓時，將基板定位於真空 至71内之中央部，使空氣缸筒1上升，於在上侧殼體構件73 鲁 使下侧殼體構件75密接所形成之真空室71内於減壓狀態，以加 ，板78、80對保持在基板82表面之膜狀材料進行加熱，於此狀 態，將缸筒裝置74b伸長並使下侧加壓塊77上升，將基板82夾 ，在上下兩加壓塊76、77之間並加壓，在此加壓時，使上下兩加 壓塊76、77之内部空間其中之一或兩者成為加壓狀態，能以隔膜 79、81其中之一或兩者，將基板82表面之膜狀材料 如，參照專利文獻1)。 ^又，就非為隔膜式之真空疊層裝置(非隔膜式真空疊層裝置) 而言:有人提出如圖32之疊層成形裝置。此疊層成形裝置，具有 _ 真空=層機91及平坦化壓製機(presser)92，在真空疊層機91及平 土_化壓‘機92兩者，設有上下一對熱盤93a、93b、94a、94b。並 、 且，於真空疊層機91，於真空狀態將疊層材95、被疊層材96以 兩熱盤93a、93b予以加熱加壓，而將被疊層材疊層在疊層材 ▲ %，於平坦化壓製機92，在兩熱盤94a、94b彼此相對的面缓 衝材層設置可彈性變形之鏡面板(皆未圖示），將疊層材95、被疊 層材96以兩鏡面板予以加熱加壓，而使疊層材95之表面平坦化。 又，於上述，空疊層機91之中亦為，在兩熱盤93a、93b彼此相 =之，，^著緩衝材層設置可彈性變形之鏡面板(皆未圖示），於真 空氣態將疊層材95、被疊層材96以兩鏡面板予以加熱加壓，而另字 200818999 被疊層材96疊層於疊層材％ (例如，來昭 [專利文獻1]日本特開2003_18_號、=文獻2)。 [專利文獻2]日本特開2〇〇2·12〇1〇〇 報 【發明内容】 (發明欲解決之問題） 然而，於隔膜式真空疊層裝置，由於 〜3腿左右)，故於基板82之凹凸間.隔微細〇 ==度厚(2 (40"nm上)之情形，難以使膜狀材(m或凹凸深 板82與膜狀材料之間會殘存氣泡。另—方m反^’在田基 裝置，於能輕易地以強壓力對厚度薄之基材至尸^美车豐， 之觀點’較隔膜式真空疊層裝置更為有利，但加壓 裝置’由於係以上下一對熱盤93a、93b或鏡面柄蔣成形 疊層材96予以加壓，故與隔膜式真疊95、被 96之凹凸間隔微細(20師左右)戍凹&^置间樣，於被疊層材 以使叠層㈣雜』』 層材95之間會有氣泡殘存。 ^在被1層材96與豐 像這種事情而生，目的在於提供—種疊層裝置 3 :乃法，即使於基材之凹凸間隔微細或凹凸深之 脂層之間残存氣泡。紐冰基材並且於基材與膜狀樹 (解決問題之方式） 為了達成上述目的，本發明提供一種疊層裝 少η—對相對向之附設加熱機構之熱盤，二等《 對於表ί兩面1中由此真空絲裝置’ 胺此科hua/、甲至 ，、有凹凸之基材之上述凹凸面，疊層 巧树月日材料而形成疊層體’第1要旨為-種疊層裝置.斑上述膜 向之熱盤’在上述膜狀樹脂材料侧之面:設有將 膜狀树崎料予以加壓之雜加壓板，第2要旨為—種疊層方法， 200818999 係使用上述疊層裝置，在矣 :::疊層膜狀樹脂材料:形=體昇有凹凸之基材 另一者前進後退，藉由此直处厭勒:…皿，、甲至乂其可相對於 其一具有凹凸之美製裝置，對於表背兩面其中至少 此方式，本發料扣加叙雜加紐。以 材料之表面層二用上述彈性加壓板對於膜狀樹脂 於膜狀樹㈣办ΐ，耻’能藉由上述雜加壓板以強壓力對 「表面加壓，腾加麟，祕上棘性加壓板 :之=材與_脂二 ί s t於使用上述疊層裝置，故能發揮上述優異效果。 氟橡膠所^^上娜性加驗由耐熱性細橡膠或耐熱性 =巧構成之情形’上述彈性加壓板雜性優異，再者，藉由 錄4ϋΓΪΓ加壓板設置纖維層或將上述彈性加壓板加硫黏接於不 ίίϋ板體ί使用，能在上述彈性加壓板受壓製時，抑制上述 古士二歧在壓製之加财向及相對於此加壓方向成垂直之垂 ίϊ向Ϊ長’能對於基材之凹面上之膜狀樹脂材料與凸面上之膜 3月曰材料’解地傳達加壓力，改細狀翻旨材觸於基材之 ，、接服貼性，同時強度亦為優異’即使在高溫下反複加壓，亦能 抑制上述彈性加壓板之伸張變形。 ，者本發明中，於上述彈性加壓板具有纖維層之情形，即 使於咼溫下反複施行加壓，亦能抑制上述彈性加壓板之伸張變 开> ’膜狀樹脂材料對於基材之服貼性或密接性優異，能提高上述 200818999 彈性加壓板之耐久性。 又’本發明中，上述彈性加壓板之ShoreA 4 彈性力*猶之表面，施以屢印加工或化學性離層體接觸之 之表面i舨ίΓ: Γ於上述彈性加壓板在與膜狀樹脂材料接觸 之，面為粗糙化之情形，於以上述彈性加I板加， 力月中，於與述膜狀樹脂材料相對向之敎盤盘彈性 板狀體，於將此板狀體與彈性加壓板^接= 性優異，缺上述加紐之職性或密接 之』者上中板ίέ^ϊίΐΐ板狀體之間設有緩衝材 籍衡作田扳狀體製作寸之尺寸誤差等能藉著緩衝材之 loading)等。’能齡上述熱盤與板狀體之不均勻接觸(Partial 第2膜揉1於具備：第1膜捲繞親’捲繞有第1帶狀膜； 狀膜；第與此^膜捲繞輥相對向而設置之第2帶’ 第i、及第2 * 取輥，將捲繞在上述第1及第2膜捲繞輥之 % 之兩執般門===目對向狀g拉出並使通過上述真缝製裝置 狀給娜，對於從上述兩膜捲她拉出之兩帶 空堡I ’可藉由上述兩帶狀膜將暫時疊層體對真 200818999 ^Mus.ies 供給。 LD_2400)等製作，並對於本發明之疊層裝置 樹脂材料成為1樹脂材料捲繞輥，捲繞有使膜狀 上述基材在其間之第！ 構;真空顯裝置，將夾持… 盤間，並藉由此動作，在笑材之^H樹脂材料導入於上述兩熱 帶狀膜狀樹脂材料^以’形成將上述第1及第2 體之機構(捲取上述帶狀述帶狀疊層 ‘麵心 帶狀疊層體。本發連續或地)相連的 單面，也不需要為了形成在在基材之 =暫時疊層體π的上述自動片材裁切以;有= 料拉牽，第，只要能同樣地使帶狀4 發明之構成不限定於引導輥。 引¥輥也同樣地，本 述前S膜料於狀基板之情形，上 地供ί形成—連串相連的ΐίΐίΡ歇地或連續 f ^f25 f 1 几嘴②z ▼狀膜;引導該等之第1及第2引 10 200818999 導機構;捲取上述第1及帛2帶狀膜 . ^ 材料捲繞輥拉出並將基材夾持在其之將1 1 2樹脂 成帶狀疊層體，於第1及第2 ▼狀减持之狀悲’形 % 取之情形，於帶狀料卿㈣狀f與上速帶狀疊層體係分別捲 真空屋製裝置之兩G等。"、’此防止軟化的膜狀樹脂附著在 敎般又且ίί=祭ΐϊΐί面壓製裝置，其具有相對向之-對 g面董tr目對於另一者前進後退。“ „ . 、 兩”、、k對於由上述直空壓赞#詈所报#今田 層體之表背兩面予以加壓使平滑一 置斤形成之$ 疊層體之表背兩面平滑化使之_，能糾平面壓製裝置使 【實施方式】 [據以實施發明之最佳形態] 其次，將本發明之實施形態，依摅 不限於此等實施形態。 ㈤砰^兄明。惟本發明 上过、發明之疊層裝置之—實施形態。此實施形離中， 基板(圖2及圖3參照)流向(參照圖i之係從 上述運送膜釋出部1，如圖4擴大圈^之^游朝向下游。 捲繞輥(第1膜捲繞輥)11，捲繞有上側備；送膜 ί)Ϊ膜(第3捲_2、，捲繞有下側運送ΐ第2^ 空登層，置以=之相對向的上下一對熱盤 捲取部4(參照圖捲取在運送膜 …领清取輥(弟1膜捲取輥)14，且 200818999 從下側運送繼魏12 _之下_魏 疊層裝置2及平面纖置3之相對向的上下―=過真广 47、51之間後，捲取在運送膜捲取部4之下于輥^ : 本㈣巾，減係指具有 具體:ΐ上;:=二 層衣置2及千面堡製裝置3之目的，暫時疊層 體9之寬度寬10〜40mm左右。如果滲真二 置3之膜狀樹脂附著，則附著 以以 «品之支持舰。滲出之樹脂_著之部 === 厚度，會使·著概之厚度變厚該厚度，使b 上内下兩運送膜5、6之運送速度，通常 用么ϋ 所示’運入輸送帶(供給機構)13，如上所述，作 ^接又暫層體7，並將此暫時疊層體7對於 運 、6之間供給。暫時疊紐7，可藉由將與該暫時疊層 二邊，視需要，藉由使能以空氣缸筒说升 層體止…在上輕直之邊全體或械、中央部 ίίίί陳抵接而停止，以使得供給予上下兩運送心、6間之前， ίίϊ=。暫時疊層體7，係將具有凹凸之基材8a(以下，簡稱 2材㈣’與以重疊在此基材凹凸面之狀態(例如， «月曰材料8b之角或外側邊之中央部，以點狀或將周緣部之丄邊以 12 200818999 線狀加巧加壓或加壓等而黏接固定)暫時固定之膜狀樹脂材料8b =斤構成(,麥照圖2)。具有凹凸之基材8&，例如可使用施用銅、焊锡 等圖案等之印刷基板’又’也可使用建成法等使用之多疊層基板。 基材8a之厚度或縱橫尺寸，不特別限定，厚度以〇1〜1〇_之範 圍内為气、赌尺相15。〜_nm之範圍啸佳。離樹脂材料 8b(_真空豐層後成為膜狀樹脂層8c)，只要是具有黏著性或黏接性、 熱，性，或⑽__溫度以上軟化之樹雜為域分之樹脂 irt則不特別限制’尤以帶有電絕緣性者為有用。像這種樹 二i5物/要有環氧樹脂、環氧概所構成之触化性樹脂细 ^私^性不飽和化合物及光聚合起始綱構狀絲性樹脂 貫施形態之中’上述暫時疊層體7，由表背兩面具有 Ξΐΐ L以及預先暫時_於此基材8a之表背兩面之凹凸 浐材料mu脂材料8b(將捲繞在捲繞心軸之帶狀膜狀樹 材肋疊層龄，裁切成為短則材狀者) 所構成’於基材8a之表背兩面之中僅有—者 = 可僅將膜狀樹脂材料8b暫時目定在具有凹凸'之面。^ ^ ，Λ 暫日士ί:ΐ雜Ϊ空疊層裝置2 ’將以上下兩運送膜5、6運送過來的 料月:ί ^ a，以真空狀態加熱加壓，在基材8a疊層有膜狀 ί 二油二或籍= 能上ϊί;同之作動（伴隨絲塞桿1之上升及下降） 22 ^ 23 材料8b(參照圖2)之^^將暫層體7之上側膜狀樹脂 於下部L自====側彈性加⑽， U疋·千板狀之下侧絕熱材料％、下侧 13 200818999 Γ，26、真空疊層時將暫時疊層體7之下側膜狀樹脂材料8b(圖2 芩照)之表面予以加壓之橡膠製下侧彈性加壓板27(參照圖乃。 '又，上述兩彈性加壓板24、27固定在兩熱盤23、26之固定 方法、，不特別限定，可使用框體、螺栓、轴環等固定機構(未圖示 之方^，或於將兩彈性加壓板24、27與兩熱盤23、26之間密封 之狀心使其内部減壓，而將兩彈性加壓板％、27吸附固定為雨 熱盤23、26之方法等各種方法。 Λ ^ ’就其他的歡方法而言，在上述兩彈性加壓板24、^盘 ί ί ΐΛ、26之間’各設置金屬板24a、27a(參照圖8)，將兩彈 πϊί板27加硫黏接在該等兩金屬板24a、之-侧面， 同=兩熱盤23、26以螺栓、軸環等固 ： 將彈性域板24、27加硫雜之侧狀J。g另 封3適ίΪ用於將兩熱盤23、26與兩嫩24a、27a 定内部減壓，而將兩金屬板2如、2%吸附固 疋在?熱盤23、26之方法等。又，如圖8所示辦 f兩彈性加壓板24、27與兩熱盤23、 屬土板; 與兩熱盤23、26之間，各咬詈呈右舰^^兩金屬板24a、27a’ 將獅★段m 谷置具有橡轉性專之緩衝材24b、27b， ，性加聽24、27加雜胁❺ 並且可將彈性_板24、27之一側T : 2，兩側面， 如上所述，如果將彈性加壓板24加炉'、' 泰b使用。 祝之兩侧面，則於彈性加驗24或^^24a ' 時’可將蝴接有損傷的彈性加壓)反 到表面 式表月反向文裝而繼續生產，於裝 f材^用之方 上部板20之下表面。上側熱盤23，示)固定在 圖示)固定在上側絕熱材料.22，上;^=螺;冒等固定機齡 定在上側缝23下表面。又，下24 ’直接地黏接固 固定機構(未圖示)固定於下部板21 = 25，以螺栓、螺帽等 上表面。下側熱盤26，以螺 14 200818999 栓、螺帽等固定機構(未圖示)固定於下侧絕熱材料25，下侧彈性 加壓板27，直接地黏接固定於下侧熱盤26之上表面。又，如果將 上，(下部)板20(21)與上侧(下侧)熱盤23(26)，直接地以螺栓、螺 帽等固定麟目定，則上侧(下侧)鐘23(26)之熱 螺帽等而傳導到上部(下部)板2〇(21)，故不佳。匆、、系桎 於上下兩熱盤23、26，其内部適當地配置用以將彈性加壓板 =、27加熱之可控溫之加熱機構。財施形财，就上述加^ ，。上^熱f23、26之内部平行配置著多條鞍(she剛狀加 …為23a、26a。後述上下兩熱盤47、51，亦為同樣構造。 如s ί ΐ 2 ’具備可動真空框3G。此可動真空框30，

26 示上下兩絕熱材料仏25、上下兩熱盤I L 圖 、27、嫩⑽ 扩邱^巧亦同)所示’具有：大致四角形棒狀之上侧固定 框部31，以氣密狀固定在該上部 、，Ώ 疋 =3+2，以氣密狀固定在下部板21。於上側、固定:部二表】 ，赁嘴33固定在穿設於該上側固定框部之周二 真空抽吸用喷嘴33，在上下兩板20、21密土封契貝人時， _ 動框32之間之_3‘照圖 厭士 古而、t 了凋正此工間部34之壓力（亦即，虚為潠定 於多數部位，壓力再者’如果設置 可動框部36轉37,將此 之上部，苴全周突中你々u t '支持者。上述下侧固定框部35 所形成之凹溝35a，嵌合此突出形成部之外周面全周 形狀，以唇形襯塾較;圭疋有嫌密封構件38。密封構件38之 迟可動框# 36 ’以上下滑動自如地外嵌於下側固定框部％ 200818999 之突出开》成部，於此狀態，藉由彈菩 亦即，彈簧37之上部插入在上述，^持 框部35。 多個(圖9〜圖u中，僅圖示2個部 y表面所形成之 於下侧固定框部35之下端突出部说上。夢===，載置 藉由彈簧37，以上·ρ移動自如± ^精此，上述可動框部36 上述可動框部36之定框部…又， 定框部35之密封構件38。、 ⑺自如地抵接於下側固 溝36Ϊ嵌士'之上表面之全周形成有凹溝36b，此凹 :用此密封構㈣ 持氣密狀。又，此密封構件39妒口 '二吏上逑空間部34内保 圖η之^，4Ga、4Qb 她錄佳。圖9〜 <、種可動真空框3G，藉由越缸筒或空氣純29陕日刀同 :為密封空間(亦;， 端突出部35===2祕__賴部35之下 送膜面壓製裝置3 ’係將從真空疊層裝置2藉由上下兩運 圖1、2)二過來的疊層體9,定位在上下兩縣塊41、42(表昭 声體9之i ^猶等上下兩屢製塊41、42進行加熱加屢，使得疊 “制平滑化者(參照圖13)，如圖12所示，具有:立設 以螺^ m (圖12中僅顯示2根)支柱祝；上壓製塊μ， Γ Ϊ可機構43b固定於該等各支柱啊下屋製塊 動地安裝於上述各支柱43轉。此下顯塊42， 氣缸筒55連結’藉由此油私筒 ^同55之作動(活塞桿55a之上升及下降），能上下移動。 關於上述上下兩壓製塊41、42，此實施形態中，上壓製塊41 16 200818999 ί上！44，自上侧起依序地固平板狀之上侧絕熱材料 6、上侧”、、赢47、平板狀之上側缓衝材48及上侧可撓性全屬板 49 ’下壓f塊42在下部基底層.自下侧起依序ϋ ==50、下侧熱盤51、平板狀之下側緩衝材= 側可撓性金屬板53 〇 邱其熱材料46以螺栓、螺帽等固定機構(未圖示)固定於上 在2表面。上側熱盤47以螺栓、螺帽等固定機構(未 =材熱材料46 ’上侧可挽性金屬板49隔著上侧緩 衝材48 Μ螺枚、軸環等固定機構(未圖示)固定在上侧埶盤47。又， 螺栓、螺帽軸定機構(未圖稍定於下部基 = 下側錢51㈣栓、螺巾W_定機構(未圖示） 52^75G。下側可離金屬板53隔打側緩衝材 累权軸玉辰等固定機構(未圖不）固定在下側熱盤51。又，如 栓將下固 | 44(45)與上侧(下側)熱盤47(51)直接以螺 wi!!4 口（機構扣固定’壯側(下侧)鍾4职)之熱容易 ^47栓ίΓΐ等，導到上部(下部)基底層44(45)，故不佳。圖 器。a a為平行配置在上下兩熱盤47、51之内部之鞘狀加熱 取_^欠^送膜捲取部4，如® 5之擴賴所示，具備：上側捲 被上側運送膜5;〒侧捲取輥15，配置在下側運送膜6 門夕姐山ί側捲取輥14更為下側;配置於上下兩捲取輥14、15之 帶(未圖示）。又，不配置此排出輸送帶亦可。又，於 滑之疊藉Λ冷^扇卻機構，將表背兩面經平 硬化，祐^ ΐ 使豐層體表面之經軟化膜狀樹脂層8c 樹表面不錢形’啊雜容驗滲出之膜狀 树月曰層8c與運送膜5、6予以剝離。 詈？ t?明之魏裝置，如上所述，最大特徵在於:在真空疊層裝 置右_ L上下兩熱盤23、26位在靠暫時疊層體7侧之面，各設 直有將批疊層體7之膜狀樹脂㈣Sb之表面予以加壓之彈性加 17 200818999 壓板24、27。 膠il兩彈性加塵板24、27之構成材料，可使用耐熱性石夕酮橡 請:ΐϊίΐΐΐ膠材料或具有彈性之各種樹脂材料，使用 佳。藉由設置此纖維層，能提高上下兩 制上之耐久性，即使於高溫下反複施行加壓亦能抑 8b、推⑽㈣H/4、27之伸張變形’能發揮膜狀樹脂材料 一#狀麻層e對於基材8a之服雜或密接性優異效果。另 Z1性力趣24、27未設有纖維層之情形，藉由 = 硫黏接於金屬板24a、W，與設有 而酽沾^ P使於鬲溫下反複施行加壓，亦能抑制上下 樹脂芦之伸張變形’能發揮膜狀樹脂材料8b、膜狀 f、!· ί歸8a之服雜絲接性《躲。 访織為ί狀ί層^ί別限^ ’較佳為使用將化學纖維或玻璃纖維 ===；!於橡膠製板狀本體61之内部，設置1或 橡取二為布狀之纖維層62而一體化者(參照圖14)， k哉車層62而一體化者(參照圖15)。 為較特別限定’以不鎮鋼板在防銹之觀點’ 撕’以G.1〜·之範圍内為佳、更佳為 乙烯tii系3如:偏a乙稀系橡膠、含氣石夕酉同橡膠、四I 輯系橡^含橡膠、含氟填腈系橡膠、含氟丙稀酸 膠等，市販品‘橡膠、含氟聚酯橡膠、含氟三哄橡 elaSt_ 公 5Ί ^T2 司製「Kiny〇board」系列、Kurehae 「Daueru」系列、枉=以材FB」系列、Daikin卫業公司製 拉司得克(音譯)」U\=衣Vit〇n」糸列、道康寧公司製「喜 列、规公司製rti、M〇ntedis〇n公司製「TECNOFL〇N」系 又，上述纖維^心雷魯(音譯)」系列、「卡努_F」系列等。 織維層之纖維材料，以玻璃纖維或聚酯或其他極性 200818999 質材斜轉姉硬㈣料、聚§旨纽域轉極性軟 之觀點為卓糸極性軟質材料等，於與橡膠材料之黏接容易 尤佳旨或尼龍在紐及耐紐優異之觀點，為較佳。 f布(將吏用耐熱性膠，並於内部設置耐熱性尼龍 以「F-200>^ 列麵公司製Kiny〇b〇ard」系列，其中 定為彳f加歡24、27之硬度’⑽A硬度設 » !- ^ 軏佺。亦即，對於上下兩彈性加壓板24、27要求 離高剝離性，上述硬度對於抗斷裂強度與剝 重大。上述ShoreA硬度如果為40度以上，則上下雨猩 良好地伸張而不易斷裂’同時能獲得耐加壓疊 彈性：ίΞ H 下兩彈性加魏24、27剝離。該等上下兩 板24、27之杈佳硬度為5〇度以上，更佳為 又，本發明中，Sh〇reA硬度係依照ns Ζ2246(200_定^ 。 為佳27之厚度以“之範圍内 之紋採1 之乾圍内。上述厚度如果太薄，則纖維声 紋理滿在上下兩彈性加壓板24、27之表面，會有纖維層二 ^稷衣彳膜狀樹脂層8C之表面的傾向，而如果 从:办 ，下侧熱盤26對膜狀樹脂層8c之熱傳導=， ㈣盤26之溫度分佈會有變得不均勻之傾向。又，上 〜之 1^肉再者;^〜4〇〇/Zm之範圍内為佳，又更佳為2〇 下祕卜“ ^圍内。上述表面粗糙度^愈大，則加敎加壓後，上 下兩淨性加壓板24、27容易從膜狀樹脂層以或 & 上下兩彈性加壓板24、27之表:4下二運複= ，月曰層8e之表面而有損及疊層體9之表面鏡面 果太小，則與膜狀樹脂層8c或上下兩運送膜5、6之密接性會變 19 200818999 加熱加壓後，上下兩彈性加壓板24、27不級膜狀樹脂 ^定C剝離。又，本發明中，表面粗糙度k，係依照瓜腦〇1 (蓮） 〇。Λ發日1之+中，使用M1之疊層裝置，以如下方式製作疊層體 ° f先’事先準備將膜狀樹脂材料8b暫時固定於基材8a之凹凸 =而成之暫時疊層體7。接著，將暫時疊層體7供給予運入輸送帶 ，並且從此運入輸送帶13供給到上下兩運送用膜5、6之間。 給之暫時疊層體7被夾持在上下兩運送賊5、6，並運入 真空疊層裝置2。 ^

2匕真二$層裝置2，以如下方式進行真空疊層步驟。首先，將 上述暫時疊層體7以上下兩運送賴5、6，運送職空疊H ;θ ㈤_定位置)(參關i及圖16，此圖 你背上I兩運运用膜5、6未圖示。圖17及圖18亦同）。接著， 使油壓缸筒或空氣缸筒29作動，使下部板2 20 T2f 21 接將上下兩板20、21予以密封契合(參照圖10及圖17)。 此密封契合之後，使空間部34成為減壓狀態。具體而古 /、空抽吸时嘴33(參闕9)，將空間部34以直空泵制^ Ϊί it照圖17)。將上述空間部34 M力減壓至2_a ^下、、 其次，將油壓缸筒或空氣缸筒29作動'，使下 以上下兩彈性加壓板24、27夾壓暫時疊層體7祐— 升二 (參照圖1δ)，將膜狀樹脂材㈣貼合於基材面加f 作成疊層體9。上趣力之調整，具體⑽材=/-= j 麗之狀態，調整下·性加隸27之壓力即可;^ 齡4、27將暫時疊層體7之上下兩膜狀樹月旨材祕予 20 200818999 =真 ==的服貼於細之凹凸，但^ 上，加熱加壓時，上側熱盤23及下側熱盤％之、 向。另-方面，^果^^太服^丨^ ’有赫微小空隙之傾 u说之鞘狀加熱态23a、26a等來調整。— 較佳中，加壓條件設定在。.一之範圍内， 間部自f ΤΪ5 ’以真空抽噴嘴33釋放上述空 並運入於妙歡平賴置ϋ鱗於上下岐送賊5、6， 將上⑵上運以下方式進行平面壓製步驟。首先， 並定位在選定位置㈣=^用^、6^送到平面壓製裝置3内， ^之方式進仃加熱加壓，使疊層體9之膜狀樹_e 後，將疊層氣缸筒55 ’使下壓製塊42下降。之 5、6剝離，以排出輪送帶$出扇％冷部之後’從上下兩運送用膜 7〇-mv^f^ 30^°c ^ ^ 、叹疋為0·1〜2MPa，較佳為設定在〇·5〜 21 200818999 1.5MPa° 詈在施形態中，將彈性加壓板24、27各固定於設 ，板24、27，以強壓力對於膜狀樹脂材料Sb之表面進行加壓，於 此加壓時，藉由上述兩彈性加壓板24、27之彈性，能使加壓將 料8b之表面予以加壓之面)沿著基材8&之凹凸面 =性㈣。因此，即使基材8a之凹凸間隔微細或凹賊之情形， 亦此使上述加壓義狀概㈣8b _舰於紐8a 如與膜狀樹脂材料％之間不殘存氣泡。而且此實施形離中，由= 面壓製裝置3,，，藉由此平面壓製裝置3，能將以上述 -工$層裝置=形成之疊層體9之表背兩面扣加壓並使平滑化。 圖19，不本發明之疊層裝置之其他實施形態。此實施形態 ，，如上述實施形態，並非將暫時疊層體7藉由運入輸送帶13， 逐一Ϊ運入上下兩運送膜5、6之間而供給真空疊層裝置2。而是， 改用帶狀基板10c，並伴隨於此，'使用上侧帶狀膜狀樹脂材料1〇&、 下側帶狀膜狀樹脂材料1Gb，同時設有··各捲繞輥lla〜叫參照圖 20) ’將上，帶狀膜狀樹脂材料1〇a、下側帶狀膜狀樹脂材料1㈨ 捲繞;以及疊層體捲取輥14a，將從麟各捲繞輥lla〜…拉出之 上下兩帶狀膜狀樹脂材料l〇a、1〇b及帶狀基板1〇c導入於真空疊 ^裝置2而得到之帶狀疊層體9a(在雜基板1〇c之表面疊g上侧 帶狀膜狀樹，材料l〇a，在背面疊層下侧帶狀膜狀樹脂材料廳） 予以捲取。藉此，能將上下兩帶狀膜狀樹脂材料1〇a、1〇b及帶狀 基板10=對於真空疊層裝置2、平面壓製裝置3，連續地供給。 、，貫施形態之疊層裝置，由膜等釋出部ia、真空疊層裝置2， 平面壓製裝置3及膜等捲取部知所構成，真空疊層裝置2、平面 ，製^置3與上述實施形態為相同構造，且功能相同。又，此實 施形態中，由於未使用暫時疊層體7，故不使用自動片材裁切疊層 機及運入輸送帶13。 22 200818999 择上f膜轉出部,la，與上述實施職(之運送鶴繞部1)同 二僅具備上側運达膜捲繞輕11及下侧運送膜捲繞輥12，而且 下兩運送膜捲繞輕U、12以外，尚包含：上側樹脂材料 结H a ’捲繞有上侧帶狀膜狀樹脂材料1〇a;下側樹脂材 二輕lib，配置在較捲繞有下侧帶狀膜狀樹脂材料廳之上侧樹脂 材料捲繞輕11a更為下侧(與上侧雛材料捲、繞輥lla相對 狀基板10c捲繞之帶狀基板捲繞輥llc。又，此疊層裝置，具第 1引導輥12a，將從上側樹脂材料捲繞輥lla拉出之上侧帶' 膜 樹脂材料10a引導到上述真空壓製裝置2之兩熱盤23、26之、篦 2引導輥12b，將從(在較第1引導輕12a更為下侧，與此第i引 輥12a相對向而配置)下側樹脂材料捲繞輥llb拉出之下側膜 狀樹脂材料i〇b以與上側帶狀膜狀樹脂材料1〇a相對向之 、 引導至上述兩熱盤23、26之間。又，此疊層裝置，且備 & 導輥12c，將從帶狀基板纖輕llc拉出之帶狀基板⑽定位上 述上下兩帶狀膜狀樹脂材料10a、1〇b之間，❿引導至上教般 23、26之間。並且，此疊層裝置，具備疊層體捲取輥14& 上下兩帶狀膜狀樹脂材料l〇a、l〇b及帶狀基板1〇c導入至上 熱盤23、26之間，並使上述兩熱盤23、26作動 疊廣體9a予以捲取。 在此，如圖19所示，從各捲繞輥n、12、na〜Uc拉出之上 下兩運送膜5、6、上下兩帶狀膜狀樹脂材料1〇a.、1%及帶狀· l〇c，從上述膜等釋出部la起，自上侧朝向下侧，以上側運送 士侧帶狀膜狀樹脂材料跑、帶狀基板1Ge、下侧帶狀膜狀樹脂材 料鳩、下侧運达膜6之順序依序地送出。因此，能將上下兩脂 材料捲繞輥lla、lib配置於較上下運送膜捲繞輥n、12在基 流向(參照圖19之箭頭)之更上游侧(圖19之右側），將上下ς =狀樹脂材料10a、l〇b定位在上下兩運送膜5、6之間，並且將 帶狀基板捲繞輥11c配置於較上下兩樹脂材料捲繞輥lu、ub在 流向之更上流側(圖19之右側），而將帶狀基板1〇c定位在上下兩 23 200818999 帶狀膜狀樹脂材料10a、10b之間。又，上下表面樹脂材料捲繞輥 11a、11b亦可配置在較上下運送膜捲繞輥u、12在基板流向(參 照圖19之箭頭)之更下游侧。

又’上下兩帶狀膜狀樹脂材料1〇a、1〇b之樹脂面(與帶狀基板 l^c相對向之面)以被覆膜(未圖示)保護，使用時需要剝離被覆膜之 情形’在上下兩樹脂材料捲繞輥lla、llb附近，設置用以捲取被 覆膜之捲取輥(未圖示）。此捲取輥之驅動機構不特別限定，可設置 專用馬達等驅動機構，亦可使捲取輥外周與上下兩樹脂材料捲繞 報11a、lib之外周接觸，而將上下兩樹脂材料捲繞輥化、仙 之旋轉傳達給捲取輥而能捲取。 /处处上飞兩贡狀膜狀樹脂材料l〇a、，可使用與上述實施 形悲中所用膜狀樹脂材料8b完全相同之物(上述實施形態中，形 短狀’但此實施賴巾’軸長尺狀）’可使職繞在捲繞 圖示)之帶狀膜狀樹脂材料8b。又，上述帶狀基板恤，可 在帶狀基板捲繞輕lle，且可使用具有能捲取在疊 t ^具有可撓性之多數基 膜多胸彳膜雜者’或在具#可雛之長尺狀基底 ^ 8a)。帶狀基板/〇c之厚度号 、手产^特別、、:' .、成為: 及上下峨^ 使前t2—= 不僅具備JL娜取取部，樣， 體9相賴者mx捲取。此疊層 24 200818999 19^ 呈接晶爲触/* 构連达腰5、6之間。又，此膜等捲取部4a， 機構14c(參照圖21)，將疊層體捲取輕14a與上述 驅動。又，此實施形態中， 晶厚運达膜捲繞輥11釋出之上側運送膜5，通過直空 ====被捲取到膜等一 樣，通過直空釋出之下侧運送膜6亦同 接你卸^! 層置及千面壓製裝置3之後，被捲取在膜等 .帶狀膜狀。10口:=輥广1 lc釋出之上下兩 狀疊層體9a，並捲取在疊層體捲置3成為—體的' 狀二私Ϊΐη空疊層裝置2 ’上下兩運送膜5、6、上下兩帶狀膜 Γ Γ及帶狀基板10c於真空狀態被加熱加壓，在 =ίΪ:5二 3:從真空疊層裝置2 4過體二二平二 JC^MOa、10b及帶狀基板1〇c被加熱加 ;運 賴5 :6之間，上述帶狀钱體％之表背兩面被平滑化刊運 亡c中’得到之帶嶋體9a，】個基材 地被切斷。為了有效率地得至川固製品，製品 此實施形態中，由於在真空疊層裝置2與^面圭。 ，離，在相當於此距離量之帶狀疊層體9a之有 為解決此現象，如圖22所示，在上述兩爹 ，、、、法瓜成衣口口。 輥15b藉此調整輥15b使相當域裝置 ' =巧周整 25 200818999 短。藉此’能消除由於真空疊層裝置2與平面屢 衣衣置3之間的距離造成之浪費。又，亦 处聶 泡 龄奴咖(姆赴频㈣ ll^ u 〜、甲而要卬貝的自動片材裁切疊層 =1=貫施形態中，具有不需要昂貴_設備之‘。 ，基材8a之絕緣層(基底膜)之厚度為1〇〇#m以下之_， ^果2,緣層裁切成短冊片材狀，會_而捲曲，或強产^， 之形成我變得困難，但是在此實施， 於施以張力之狀態來操作帶狀基板咖，即使於 I1叫"以下之情形，亦能疊層上下兩=膜 狀树知材枓1如、勘及帶狀基板1〇e並使平滑化。 不且^在，之*層裝置之又另—實施形態。此實施形態 ‘Ϊί Ϊ ^所不貫_態中之上下兩運送膜捲繞輕1卜12、上 來能相η、15及兩驅動機構。其餘部分’與圖19所示實施 19^ 、 /、圖19所示貫施形態相同，同樣之部分標以相 =的付说。，實施形態亦與圖19職實施形紐揮同樣作用、效 讲^又1此貫施形態之中，從本發明之疊層裝置拉出之帶狀聶戶 命们ΐ"2，係在長邊方向連續形成，且帶狀疊層體9a夢由 i 層裝置鄰接配置之切斷裝置(未圖示)逐個製品地:刀 機構η:=發:r疊裝層r置可内配置在帶狀疊層體"之驅動 26 200818999 圖25顯示本發明之疊層裝置之又另一實施形態。此實施形態 不具備圖19所示實施形態中之捲取帶狀疊層體9a之疊層 ^、取輥14a。又，帶狀疊層體9a之驅動機構14c定位在圖25所 =位置’且不具備上下兩運送膜捲繞輥^、12、上下兩捲取輥〗4、 邻兩驅動^構。其餘部分，與圖19所示實施形態相同，同樣 2標，相同符號。此實施形態亦與圖19所示實施形態發揮同樣 〇册、、Ϊ果:此實施形態，可使用於當藉由本發明疊層裝置將上 貝二f狀樹脂材料1〇a、下侧帶狀膜狀樹脂材料1〇b加熱、加壓 該等兩帶狀膜狀樹脂材料10a、1%之端部溶解並滲 胺膜本發明疊層裝置之情形。具體而言，對感光性聚醯亞 中，^Ifr4?明之疊層裝置之又另—實施形態。此實施形態 :、f 貫施職中之帶狀基板10c改為使用基材(單片基 Ϊ L’ 裝置2供給。伴隨於此，藉由將圖19所示捲繞 送帶n ί入輸送帶13，能將基材(單片基板)8a以運入輸 供仏予直人上下兩帶狀膜狀樹脂材料伽、⑽之間，而 樣ild。其餘部分與圖19所示實施形態相同，同 揮同符號°此實施形態亦與圖19所示實施形態發

Hi °μ而且，此實施形態中，對於基材(單片基板)8a 材裁切叠層機等附帶設備，能將上下兩帶狀 胲狀樹爿曰材料l〇a、l〇b予以疊層。 中;星傷^^9本^^月^登層裝置之另—實施形態。此實施形態 捲取貫施雜巾之捲取帶狀疊層體9a之疊層體 仂罟\ a又，▼狀璺層體9a之驅動機構14cS位在圖27所干 ;將帶狀基板10c改為使用基材(單片基她對於 共、給。伴隨於此，將圖19所示捲繞報llc改為^備^ 13，能將基材8a以運入輸送帶 ^ 10b之間’而供給予真=入置上二 、圖19所不實施形態相同’相同之部分標以相同的符號: 27 200818999 此實施形態亦细19所示實施縣發揮同樣 施，中，對於基材8a不使用昂貴的自動片材裁^ ^等= 設備’而能將上下兩帶狀膜狀樹脂材料施、1%予以最曰機 從本發明之疊層裝置拉出之帶狀疊層體9a，-係】^ = ‘ 疊層於其上之上下兩帶狀膜狀樹脂材制a、I；b 基 • 之層體如藉由與本發明之4層裳置 但切斷裝置亦雖未圖示’ 明疊層裝置内。 轉機構…下游之本發 圖28顯示本發明之疊層裝f lt L丄 仏給件奴於此，藉由使圖19所千挫- „ ^:為具備運人輸送帶13， 輪送帶13遂一祕運入I» π工他， 刊、平乃丞芽反以運入 而徂μ吉^也運上下兩▼狀膜狀樹腊材料1〇a、鄕之間， 而供給予真空疊層裝置2。再者， 送膜捲繞輥11、12、上下兩接1yI , 口 不具備上下兩運 分，與圖19所亍無施开14、15及兩驅動機構。其餘部 每㈣ΞΛΙ 相同’相同之部分標以相同的符號。此 ，形恶亦與圖19所示實施形態發揮同樣 匕 了施形態中’不對於基材(單片基板)吏昂^典此 再者，此杏且曰上下兩贡狀膜狀樹脂材料l〇a、10b。 10a, 10b ^ , ϊί4；ίϊίι； 之情形。具體而言，著ί本發明疊層裝置 中，不具備胃19所示實施形離中 此貫施形態 位置，再者Λ驅動機構14C定位在圖29所示 疊層裝置2供I;隨於二基材(單片基板)8a ’對於真空 、 猎由將圖19所示捲繞輥llci改為具 28 200818999 能將基材(單片基板)8a以運人輸送帶13逐一地 ΐΐί 雛材料衞、廳之間，而供給予真空疊層 ί Γ糊19，不賊上下兩㈣難她11、12、 施开場加' ΡΠ、15及兩機構。其餘部分’姻19所示實 部分標以相同的符號。此實施形態亦與圖19 作Λ、效果。而且此實施形態中，對於 $，而处將土卜吏用Φ貴的自動片材裁切疊層機等附帶設 備而此將上下兩帶狀膜狀樹脂材料1〇a、1%予以疊層 從本發明^疊層裝置拉出之帶狀疊層體9a，係由丨個基 宜層於其上之上下兩帶狀膜狀樹脂材料10a、10b所構成土， 在長故方向間歇地形成之帶狀疊層體9a，藉由與本發明之最 置鄰接配置之切斷裝置(未圖示)而切成逐個製品。又，雖未衣 切斷裝置亦可配置在帶狀疊層體9a之驅動機構14c下游之本於明 疊層裝置内。再者，此實施賴，可㈣在藉由本發明 將上下兩f狀膜狀樹脂材料l〇a、1〇b加熱加壓時，樹脂不從上下 ，帶狀膜狀樹脂材料上l〇a、10b之端部溶解滲出並附著在^發 S層裝置之情形。具體而言，對感光性聚酸亞胺膜尊 又，圖1之中，係併設有真空疊層裝置2及平面壓製f 之連續疊層裝置，但不限於此，真空疊層裝置2及平面壓:二罟 可以獨立使用。又，圖i之中，為了運送暫時疊層體7 或避免從膜狀樹脂材料8b、膜狀樹脂層8c之滲出，併用上^兩運 送膜5、6，但是，為了控制調節像這種上下兩運送膜5、6之張力 及運送速度’連送膜釋出部la配置在真空疊層裝置2之暫萨最声 體7之運入口谢近，運送膜捲取部4配置在平面壓製裝置^ 層體9之運出口附近。又圖19、圖24、圖26及圖27 了為 樹脂從帶狀疊層體9a滲出，併用上下兩運送膜5、6，但是為了 $ 制調節像這種上下兩運送膜5、6之張力及運送速度，等: 部la配置在真空疊層裝置2之膜入口附近，膜等捲取/要 在平面壓製裝置3之膜出口附近。 ·配置 29 200818999 又’在上述真空疊層裝置2及平面壓製裝置3之中，可使用 上，板20、^L壓製塊41可上下移動，下部板21、下壓製塊42可 囱定者，f是’上部板2〇，由上壓製塊41之升降機構所產生之異 物塵埃之觀點，以圖1、圖19及圖24〜圖29之構成較佳。 又，圖1、圖19、圖24、圖26及圖27之中，顯示以真空疊 '襄置=及平面壓製裝置3處理時都使用上下兩運送膜5、6之情 ，，但是亦可僅將料上下兩運賴5、6用在以直㈣層裝置2 .處理時，或僅用在以平面壓製裝置3處理時。又/也可在真空疊 層裝置2，平面壓製裝置3各自地設置上下兩運送膜5、6。 圖30 ,、、、員示使用在上述各實施形態中之真空疊層裝置2之變形 3。中’在上述真空疊層裝置2未設置可動真空框30，大 ίγΞ ^ 狀之上侧固定框部63以氣密狀地固定在上部板20之 7 f四角形棒狀之下侧固定框部64固定於下部板21。 下邻』1 之」-真空抽吸用嘴嘴33未固定在上侧11 部63，在 、二卜者下側固定框部64設置真空抽吸用貫通孔65，通 ^此真工抽·貫通孔65，能將空間部34内之空氣進行真空抽 以弁Ρ夂白^^之中’设置:油壓缸筒或空氣缸筒66，將下部板21 升Ρ牛自如地方式支持及油壓 26通過下側絕埶妯祖％ ^冋次工虱缸同68,將在下侧熱盤 持;以油壓紅筒二寺板67以升降自如地方式支 述下侧固定框部64之上夕動。圖中，69為固定在上 時保持郎部34=狀减構件，作用在於真空疊層 之真空疊層裝n 上f各實施形態中所使用 同作用、效果。 ^上述各貫施形態之疊層裝置發揮相 又亦可在使用前述兩疊層梦罟途士政扣® 配置微黏著輥啖#立咕、主如ί:直貝他本發明豎層方法之前， 者戰赵曰波清潔斋等清潔褒置，以該等來清潔基板如 30 200818999 之表面或上下兩運送膜5、6之表面。 又係在真空豐層裝置2前或平面壓製 1 輪送帶13、排出輸送帶(未圖示），藉由運入^置上灸，配置運入 體7提供給上下兩運送膜5、6，並藉由排出將暫時疊層 運送膜5、6剝離之疊層體9排出，但可=:，將從上下兩 改為使用旋轉輥群或環狀(endless)輸送帶。5 : 兩输送帶13 以不易辦汙’不易起塵埃者為較好。又 輪送帶,I3材料 尺寸，長度以0.3〜3m之範圍内，較佳為〇 / ^兩輸送帶13之 運送速度通常為1〜25m/min之範_ f .〜.5m即可，又，其 疊層體9從平面壓製裝置3排出時 脹得到之冷空氣的冷卻冷 持於上下兩運製，3運送之疊層體9以夾 輸送帶。^膜6之狀‘懸冷部’並於冷卻後排出至後側排出 剝離裝置，ί如運送膜5、6剝離之剝離輥等 允m方弹I衣置（禾圖不）。於平面壓製裝置3後， 7古、田0己置用以儲存經加壓固定之疊層體9的貯藏部，或為提 之表面平滑性，亦可尚適當配置加壓裝置^。ίϊ 又靜在ΐ下兩運送膜5、6之膜線或各處紅除電棒等。 μ _ ^ 之，可將上下兩帶狀膜狀樹脂材料l〇a、l〇b及 ίί=ΐΐ„lla、llb，改為將帶狀基板捲繞親山配 動片材裁切疊層機上游，將從帶狀基板捲繞輥llc拉出之 祿基板10c插通於自動片材裁切疊層機，並將裁切成短冊片材 31 200818999 狀之膜狀樹脂材料8b暫時固定在帶狀基板收，而 晶 ，裝置2 ’亦可將帶狀絲10c及帶狀基板捲魏…、改于為如^ 26、圖27所不’將基材8a藉由運人輸送帶13逐__地乂上下而 =膜，脂材料術、勤之間，而供給予真空疊層裝置^兩 圖30之中，可將帶狀基板10c及帶狀基板捲繞輕nc 圖 圖29所册示，將基材(單片基板)8a藉由運入輸送帶13逐二地 下兩帶狀膜狀樹赌材料1()a、騰之間，並供給予真空疊層裝置 層二製t表’能使以本發明真空壓製裝置所疊 二irr步平賴製裝置平滑化之賤中，為了使膜狀樹 “狀:化之補製時間縮短’同時抑制樹脂 均勻ί材周圍渗出’能改翻狀樹脂材·邊部之樹脂厚 [貫施例] 要/===綱’嫩㈣睛明 [貫施例1] 疊層戶f不之真空疊層裝置2及平面屢製裝置3。藉由真空 調整^ 11〇。「i兩板20、21之熱盤23、26，將空間部34預先 (破璃轅P I，’將由環氧樹賴構成之熱硬化性樹脂組合物 月旨材料/C)fb聚對苯二甲酸乙二醋支持膜所構成膜狀樹 自動n+f在表月兩面具有凹凸之基板8a之表背兩面，藉由 刀$層機暫時固定，以使兩膜狀樹脂材料(樹脂層之 32 200818999 厚度38 // m)之樹脂面接觸上述基板8a之凹凸面(凹凸之厚度Μ以 m、凹凸間隔20/zm)，準備暫時疊層體7。 予又 其次，以聚對苯二曱酸乙二酯膜所構成之上下兩運送膜5、 6(厚度38 am、表面粗糙度0.5 /zm)，將上述暫時疊層體7運送到 真空疊層裝置2内之加壓固定位置後，使下部板21上升，盥上部 板20密封契合之後，進入減壓操作。 〃 將空氣從真空抽吸用喷嘴33以真空泵浦(未圖示)抽吸，使抽 吸開始30秒後之空間部34設定為i〇OPa，以厚度2mm、尺寸 X橫)63cmx63cm之上下兩彈性加壓板24、27，將暫時最芦 以 IMPa壓力加壓2G秒。就上下兩彈性域板24、27而^金 公司製「kiny〇b〇ardF200」直接固定在上下兩熱盤/%使用， 並在亡下兩熱盤23、26之内部，各内建9根鞘加熱器仏、施。 其次’使空間部34回到大氣壓，使下部板2 ，固定之暫時疊層體7(亦即，疊層體9)脑上下^ 足 真空疊層裝置2排出，而運送到平面壓製裝置3。、联0攸 其次，藉由平硫製裝置3進行疊層體9之壓製 可撓性金屬板49、53而言，使用壓製面平面度為3衣^= 板(SUS630H，厚度3_，就上下巧二之不鎊鋼 偏氟乙烯系橡膠(偏氟乙烯、六氟化材編二

^15轉’ Sh〇reA硬度70度者。又，於上 S 9 , 47a . 51a , 45 - ^ 將疊層f以1篇之壓力進行50秒加熱Μί。金屬板49、53 運送ίί平疊層體9以上下兩運送媒5、6 評價服貼性、排於得到之疊層體9，依以下基準 联/子叼g性、表面鏡面性，皺紋產生性。 33 200818999 [服貼性] 觀祭璺層體9之表面’並以50倍顯微鏡觀察膜狀樹脂層纪 是否沿著基板8a之凹凸疊層。 Ο…膜狀樹脂層8c沿者凹凸而充填，沒有微小空隙地服貼。 X…膜狀樹脂層8c未沿著凹凸而充填，或有微小空隙。、 [膜厚均勻性] ""μ 將疊層體9以橫切法切開’以電子顯微鏡觀察垂直切斷面， 測定疊層在基板8a凸面上之樹脂層厚度，將各厚度之差以如下方 式評價

〇…不滿0.5 //m。 X··.超過 0.5 /zm。 [表面鏡面性] 將疊層體9之膜狀樹脂層8c面以斜45度之角度照射到基板 8a後之日光燈反射光以目視觀察，並依如下方式評土 〇···接近鏡面之狀態。 、 X...不成鏡面。 [皺紋產生性] 觀察疊唐體9之表面，並觀察在膜狀樹脂層％之 產生皺紋。 另 〇..·沒有產生跋紋。 X...產生皺紋。 [實施例2] 以貝加例1之條件將基材放置在真空疊層裝置2敎挪 23、26中央部’運轉3〇萬次之後，與實施例i條件得到之^ 9:同樣地評價服貼性、膜厚均一性、表面鏡面性、毅紋產: [實施例3] ' ί件，並就真空疊層裝置2之上下兩彈性加壓: 24、27而二^將Sh0reA硬度60度、厚度4mm、表面粗糙度r /zm之3亂矽_橡膠加硫黏接在平面度3//m之不銹鋼 34 200818999 =S680H、厚度2mm)單面，並於未將含氟石夕g同橡膠加硫黏接之 ’以金陽公司製「KinyGbGa福作為緩衝材〔尺寸(縱X ^3cmx63Cm〕’固定在上下兩熱盤23、26，除了以外，以相同 如件形成疊層體9 ’同樣地評價服貼性、膜厚均勻性、表面鏡面性、 敲紋產生性。 [實施例4] 使用圖19所示之真空疊層裝置2及平面壓製裝置3，將連續 帶狀之環祕騎構成之熱硬錄樹驗合物(料轉移溫度8〇 對苯—愤?二§旨支賊所構成之連續帶細狀樹脂材料 〇a、10b，如圖20所示插通於表背兩面具有凹凸之帶狀基板衞(帶 狀基板10c之絕緣層為70//m之聚醯亞胺膜、凹凸之厚度 =間隔2G_ ’除此以外，以實施例2之條件形成連續帶狀疊 f體9a ’同樣地評價服雌、膜厚均句性、表面鏡面性、傲紋產 生性。 [實施例5] 除了實施例2之條件使用之兩膜狀樹脂材料肋之樹脂層厚产 ，m、基材8a之凹凸之厚度5〇//m、凹凸間隔5〇_以外二 貫施例2以相同條件形成疊層體9，並同樣地評價服貼性、膜^ 勻性、表面鏡面性、皺紋產生性。 [實施例6] 以實施例3之條件，並使用兩膜狀樹脂材料北之樹脂層厚度 68 =、基材8a之凹凸厚度5〇"m、凹凸間隔5〇轉，除此以^ 與貫施例3以相同條件形成疊層體9，並同樣地評貼性、膜厚 均勻性、表面鏡面性、皺紋產生性。 [實施例7] 以貫施例4之條件，並使用之連續帶狀兩膜狀樹脂材料ι〇&、 l〇b之^度抑/zm、帶狀基板1〇c(帶狀基板1〇c之絕緣層為7〇_ 之承fe亞胺膜、凹凸厚度5〇^m、凹凸間隔5〇^道)以外，與實施 例4以相同仏件开》成連續帶狀疊層體％，並同樣地評價服貼性、 35 200818999 膜厚均勻性、表面鏡面性、皺紋產生性。 [比較例1] 將圖1所示真空疊層裝置2、平面壓製裝置3，改為使用1台 平面壓製裝置3形成疊層體9，並同樣地評價服貼性、膜厚均勻 性、表面鏡面性、敵紋產生性。 [比較例2] - 就真空疊層裝置2之上下兩彈性加壓板24、27而言，使用不含 纖維層之ShoreA硬度60度、厚度4mm，表面粗糙度Rz3 //m之 含氟矽酮橡膠，除此以外與實施例2以相同條件形成疊層體9，並 同樣地評價服貼性、膜厚均勻性、表面鏡面性、皺紋產生性。 實施例1〜7及比較例1、2之評價結果如下表1所示。 [表 1] _ 服貼性 膜厚均勻性 表面鏡面性 皺紋發生性 實施例1 〇· 〇 〇 〇 實施例2 〇 〇 〇 〇 實施例3 〇 〇 〇 〇 實施例4 〇 ， 〇 〇 〇 實施例5 〇 〇 〇 〇 實施例6 〇 〇 〇 .〇 實施例7 ‘〇 〇 〇 .〇 比較例8 X X X X 比較例2 X X X 〇 由上表1可判斷，關於服貼性、膜厚均勻性、表面鏡面性、 皺紋產生性，實施例1〜7較比較例1更為優異。 【圖式簡單說明】 圖1顯示本發明疊層裝置之一實施形態構成。 圖2顯示暫時疊層體之剖面圖。 36 200818999 圖3顯示疊層體之剖面圖。 圖4顯示運送膜捲繞部之構成。 圖5顯示運送膜捲取部之構成。 圖6顯示真空疊層裝置之構成。 圖7顯示上述真空疊層裝置之要部構成。 圖8顯示上述真空疊層裝置之其他例之構成。 圖9顯示上述真空疊層裝置之可動真空框之作用剖面圖。 圖10顯示上述真空疊層裝置之可動真空框之作用剖面圖。 圖11顯示上述真空疊層裝置之可動真空框之作用剖面圖。 圖12顯示平面壓製裝置構成。 圖13顯示疊層體之剖面圖。 圖14顯示彈性加壓板之一剖面圖例。 圖15顯示彈性加壓板之其他剖面圖例。 圖16顯示上述真空疊層裝置作用之構成。 圖17顯示上述真空疊層裝置作用之構成。 圖18顯示上述真空疊層裝置作用之構成。 圖19顯示本發明之疊層裝置之其他實施形態構成。 圖20顯示膜等釋出部構成。 圖21顯示膜等捲取部構成。 圖22顯示調整輥説明圖。 圖23顯示本發明之疊層裝置之又另一實施形態構成。 圖24顯示本發明之疊層裝置之又另一實施形態構成。 圖25顯示本發明之疊層裝置又另一實施形態之構成/ 圖26顯示本發明之疊層裝置又另一實施形態之構成。 圖27顯示本發明之疊層裝置又另一實施形態之構成。 圖28顯示本發明之疊層裝置又另一實施形態之構成。 圖29顯示本發明之疊層裝置又另一實施形態之構成。 圖30顯示上述疊層裝置之變形構成圖例。 圖31顯示習知例之侧面圖。 37 200818999 圖32顯示另一習知例之構成。 【主要元件符號說明】 1運送膜釋出部 la釋出部 2真空疊層裝置(真空壓製裝置） 3平面壓製裝置 4運送膜捲取部 4a捲取部 5上侧運送膜(第1帶狀膜） 6下侧運送膜(第2帶狀膜） .7暫時疊層體 8a基材 8b 膜狀樹脂材料 8c膜狀樹脂層 9疊層體 9a帶狀疊層體 10a上侧帶狀膜狀樹脂材料 10b下侧帶狀膜狀樹脂材料 10c 帶狀基板 11a〜11c捲繞輥 12 下侧運送膜捲繞輥(第2膜捲繞輥) 12a第1引導輥 12b第2引導輥 12c第3引導輥 13 運入輸送帶(供給機構）. 13a暫時疊層體止動器 13 b 空氣缸筒 14 捲取輥 38 200818999 14a捲取輥 14b第1驅動機構(第1膜驅動機構) 14c疊層體驅動機構 15 下侧捲取輥(第2膜捲取親） 15a第2驅動機構(第2膜驅動機構) 15b調整輥 17 壓製台 18 支柱 19 固定機構 20 上部板 21 下部板 22 上側絕熱材料 23、26、47、51 熱盤 23a、26a加熱器 24 彈性加壓板 24a、 27a金屬板 25 下側絕熱材料 27 彈性加壓板 28 接頭 29 油壓缸筒或空氣缸筒 29a 活塞桿 30 可動真空框 31 上側固定框部 31a 貫通孔 32 可動框 33 真空抽吸用噴嘴 34 空間部 35 下侧固定框部 35a 凹溝 39 200818999 35b下端突出部 36 可動框部 36a 凹部 36b凹溝 37 彈簧 38 環狀密封構件 39 密封構件 40a、40b 密封構件 41、42壓製塊 _ 43 壓製台 43a 支柱 43b 固定機構 44 上部基底層 45 下部基底層 46 上侧絕熱材料 47a、51a 加熱器 48 上侧缓衝材 49 上侧可撓性金屬板 50 下側絕熱材料 • 52下侧缓衝材 53 下侧可撓性金屬板 ^ 54 接頭 55 油壓缸筒或空氣缸筒 • 55a活塞桿 61 板狀本體 62 纖維層 63 上側固定框部 64 .下侧固定框部 真空抽吸用貫通孔 65 200818999

66 油壓缸筒或空氣缸筒 67 支持板 68 油壓缸筒或空氣缸筒 69 環狀密封構件 71 真空室 72 支持塊 73 上侧殼體構件 74a 空氣缸筒 74b 缸筒裝置’ 75 下側殼體構件 76 上側加壓塊 77 下侧加藶塊 78 加熱板 79 隔膜 80 加熱板 81 隔膜 82 基板 91 真空疊層機 92 平坦化壓製機 93a 、93b、94、94b熱盤 95 疊層材 96 被疊層材

Claims (1)

1. 200818999 十、申請專利範圍： 1·-種疊層裝置，毅有真空賴裝置，其具有麵向之 加熱機構的熱盤，且該一對熱盤中至少其一可相對於去义ς 後退；藉由該真空壓製裝置，將膜狀樹脂材料疊層於在表背= •中至面上具有凹凸的基材之該凹凸面，而形成疊層體， 其特徵在於： ~ 與該膜狀樹脂材料相對向之該熱盤的膜狀樹脂材料侧之 設有用以將膜狀樹脂材料加壓之彈性加壓板。 2·如申請專利範圍第1項之疊層裝置，其中，該彈性加壓板 • 耐熱性矽酮橡膠或耐熱性氟橡膠所構成。 ’、 3·如申請專利範圍第丨或2項之疊層裝置，其中，該彈性加壓板 具有纖維層。 、4.如申請專利範圍第丨或2項之疊層裝置，其中，該彈性加壓 之Shore Α硬度為40度以上。 5.如申請專利範圍第！或2項之疊層裝置，其中，該彈性加壓板 之與膜狀樹脂材料接觸的表面經過粗糙化。 6·如申請專利範圍第1或2項之疊層裝置’其中，在與該膜狀樹 月曰材料相對向之熱盤與彈性加壓板之間，設有板狀體，此板狀體 φ 與該彈性加壓板係黏接固定。 7.如申請專利範圍第6項之疊層裝置，其中，該熱盤與該板狀體 之間設有緩衝材。 ‘ 8·如申請專利範圍第1或2項之疊層裝置，其中，包含： . 弟1膜捲繞概，捲繞有第1帶狀膜; 弟2膜捲繞輕，與此弟1膜捲繞親相對向設置，捲繞有第2 帶狀膜； 第1及第2膜捲取輥，將捲繞在該第1及第2膜捲繞輥之第1 及第2帶狀膜以相對向狀態拉出並使通過該真空壓製裝置之兩熱 盤之間而捲取之； 、 供給機構，以在基材之至少單面暫時固定有膜狀樹脂材料之 42 200818999 暫時疊層體，供給至從該兩膜捲繞輥拉出之兩帶狀膜之間所形成 之間隙。 9·如申凊專利範圍第8項之豐層裝置，其中，具備捲取輥驅動機 構，其配合兩熱盤每一次之作動而間歇驅動該第丨及第2膜捲取 輥。 10·如申請專利範圍第1或2項之疊層裝置，其中， 具備： "” 第1樹脂材料捲繞輥，捲繞有使膜狀樹脂材料成為帶 之第1帶狀膜狀樹脂材料； 第2_㈣捲輪’捲財將_第丨_材料捲繞輕相 十向没置之膜狀樹脂材料成為帶狀而成之第2帶狀膜狀樹脂材料； 之*i將基材供給至形成於從該兩樹脂材料捲繞輕拉出 之兩帶狀膜狀樹脂材料之間之間隙； 並具備： 5 第1及第2引導機構，將從該第i及第 狀樹脂材·相對向狀態引導到該= 面疊層該第1及第2帶狀膜狀樹脂材料以5 =，月兩 拉伸機構，用以拉伸該帶狀疊=场成讀璺層體;及 如申請專利範圍第10項之疊層裝置，复 板或帶狀基板。 甲該基材為早片基 U·如申請專利範圍第1〇項之疊 13·申請專利範圍第10項之疊層裝置，其中句人： 弟1膜捲繞輥，捲繞有第1帶狀膜； 第2膜捲繞輥，捲繞有第2帶狀膜； 43 200818999 第1及第2引導機構，引導該第1及第2帶狀膜； 捲取輥，捲取該第1及第2帶狀膜； 將從第1及第2樹脂材料捲繞輥拉出，且其中間夾著基材之 第1及第2帶狀膜狀樹脂材料’在以從該兩膜捲繞輥拉出之兩帶 狀膜夾持之狀態，形成帶狀疊層體，並將第1及第2帶狀膜，與 該帶狀疊層體分別地捲取。

   14·如申請專利範圍第1或2項之疊層裝置，其中，具有平面壓製 裝置，其設有相對向之兩熱盤，且該兩熱盤中之至少一者可相對 於另一者如進後退，以該平面壓製裝置之兩熱盤，將藉由該真空 壓製裝置所形成之疊層體之表背兩面予以加壓使其平滑化。 15· —種疊層方法，其特徵在於： 使用申請專利範圍第1至14項中任-項之疊層裝置，在表背g ΐΐ中之一具有凹凸之基材之該凹凸面，將膜狀樹脂材料予Ϊ 豐層而形成疊層體。 ' 十一、圖式： 44