TW200816348A - Apparatus and method for transferring substrate - Google Patents

Description

200816348 九、發明說明： 【發明所屬之技術頜域】 本發明是關於/種移載基板的裝置及其方法’更具體 地，是關於一種從容器中撤出基板的移載基板之裝置及其 方法。 【先前技術】 Ο u 近來，由於半導體晶圓的直徑從200mm增加到 3〇〇mm，被稱爲前端開口 整合盒（front open unified pod， 簡稱F〇Up)的密封晶圓容器正被用來保護晶圓不受空氣 中雜質和化學污染物所侵害。同樣地，由於半導體芯片是 在全自動的系統中製造，因此被安裝在處理設備上的設備 鈾女而模組（equipment front end module，簡稱 EFEM)，其 作爲晶圓容器和位於處理設備内的裝載加鎖室（1〇ad 1〇ck ehamber)之間的介面。 、用於移載晶圓的移载單元安裝在上述efem的内部。 =載單元包括多個刀片，所述刀片撤出多個裝載在晶圓容 =:的日日圓。a些刀>1移載被撤出的晶圓到處理設備内的 裝載加鎖室。 【發明内容】 器内取出基板的基板 本發明提供一種可有選擇地從容 移载裝置及其方法。 200816348 本發明的實施例提供一種用以從一容器内撤出基板並 移載所述基板的裝置。所述裝置包括：多個刀片，在移载 過程中’所述基板分別放置在所述刀片上；多個撤出件， 刀別文裝在所述刀片的一端，以在從所述容器撤出所述美 板時從所述刀片向上突出；以及一驅動單元，用以有選^ 地使所述撤出件從所述刀片突出。 在一些實施例中，所述撤出件可具有一中空形狀而界 定一空腔，且被安裝以在一耦接孔内上升和下降，所述库馬

接孔形成於所述刀片的一端。所述撤出件可在其頂部被贫 封。 ^ 在另外的一些實施例中，所述驅動單元可包括：多個 供應線，分別形成於所述刀片，所述供應線連接所述撤出 件的所述空腔，以供應氣體至所述空腔；多個閥，用以分 別打開和關騎述供應線；以及—控制器，用: 控制所述閥。 # 在又些貫施例中，所述撤出件可包括從其外表面向 外延伸的阻擋部，以防止所述撤出件從所述㊣接孔脫離。 在又一些實施例中，所述撤出件可包括—旋轉桿，所 述旋轉桿的-端可連接所述刀片，而另—端則可以旋轉以 從所述刀片向上突出。所述撤出件還可包括—垂直地連接 所述奴轉桿的一端的旋轉轴，所述旋轉軸旋轉而使所述旋 轉桿伙所返刀片突出，所述驅動單元包括：—線，其一端 被缠繞在所述旋轉魅μ，以及· 一 3Β. 、 所述線的另-端動"，用以旋轉和纏繞 7 200816348 在又一些實施例中，所述裝置可進一步包括一連接所 述旋轉軸的彈性件，以提供彈力給所述旋轉軸而使所述於 轉桿處於非突出於所述刀片的位置。 疋 本發明的實施例提供一種用以從一容器的内部撤出式 • 板並移载所述基板的方法，所述方法包括：移動多個刀^ 到所述谷裔内，所述刀片分別设有_用以從所述容器的内 邻撤出所述基板的撤出件；經由有選擇地操作與要被撤出 的基板對應的撤出件來從所述容器撤出基板；以及移载 C% 述被Μ出的基板到一預設位置。 在一些實施例中，所述有選擇地操作所述撤出件的步 驟可包括有選擇地使所述撤出件從所述刀片突出。所述有 選擇的突出所述撤出件的步驟可包括有選擇地供應氣^ 所述撤出件的中空部。 _ 、在一些實施例中，其中所述撤出件分別可旋轉地連接 所述刀片，且所述撤出件的操作包括旋轉所述撤 所述刀片突出。 处 〇 在一些實施例中，所述旋轉所述撤出件以從所述刀片 / 突出的步驟包括有選擇地提供拉緊力給纏繞在與所述撤 件連接之所述旋轉軸上的線，所述旋轉軸。 【實施方式】 以下結合圖Μ0Β詳細描述本發明的最佳實施例。然 而，本發明可以不同的形式實施，其範圍的解釋不應去心 限制於這裡所闡述的實施例。更加合適地說，提供 施例使本發明的揭露是詳盡和完整的，並將本發明的^ 8 200816348 充分地傳達給熟知本領域技藝者。因此，爲了清楚地説明， 圖示中的元件的尺寸有可能被誇大。 雖然在以下的描述中基板是以晶圓（w)作爲例子， 但本發明不限於此。 圖1繪示半導體設備1的示意圖，而圖2繪示圖1的 ΕΙΈΜ 100的内部的剖視圖。 • 如圖1所示，半導體設備1包括處理設備200、設備 前端模組（EFEM) 100以及介面壁290。處理設備200 〇 包括至少一個裝載加鎖室220、移載室240以及多個處理 室260。舉例來説，處理室260可以包括用以化學汽相沉 積设備的腔室、用以干姓刻設備的腔室、以及加熱爐管的 腔室。位於處理室260中心的是具有移載機械手臂28〇安 裝其上的移載室240。移載機械手臂280在裝載加鎖室220 和處理至260之間搬運晶圓。與外部環境相比，處理設備 200保持絕對高水平的清潔度，且一隔斷壁將處理設備2〇〇 與外部環境分開。可作爲晶圓容器和處理設備2〇〇之間的 介面的EFEM 100安裝於處理設備200的一側，其中，所 U 述晶圓容器保存和移載晶圓。 請參照圖2，EFEM100包括架體120、負载站14〇以 • 及移載單元400。架體120為六面體形狀並包括形成於一 後壁121的入口 124,晶圓經由該入口 124移载於架體 和處理設備200之間。其中，所述後壁121為靠近處理設 備200的一侧。爲了使架體120的内部保持一定程度的^ 潔度，可以在架體120的頂壁形成進氣口 126 (經=該= 9 200816348 底壁設置排部用流入架體120内）和在架體120的 與該職㈣料部轉氣線路128 安裝在前壁123=/3有晶圓容器10的負載站1仙 12卜負載站un、，刖土 123面對EFEM 100的後壁 員戟站140可以單個或多個安 10可以是FOUP，即是用以料曰门\斤使用的曰曰圓容器 氣中的雜質和化ι、==:曰圓在移載過程中不受空 可以ϋ過ili 的密封晶圓承載器。容器1〇

上或從負系統(未圖示)而謝負载站H0

*移餅置ί H載，所料载歸統例如是架 (overhead transfer) . ( J 導躭車輛（AGV)或導執道行車她GV) 木胜120具有開啓裝置13〇,用來開啓和關閉放 站140上的容器10的門14。當容器1〇的門14被開户文壯 120 123 122，以舄晶圓提供移載通道。 EFEM 1〇〇内部設有用以將晶圓從容器1〇移 裝置200的裝載加鎖室220的移載單元400。_ 3給= 據本發明的移載單元400的立體圖。 、胃不艮 請參照圖3，移載單元400包括刀片420、固定體44〇 以及固定體移動部460。 一 作爲保存晶圓的部分，刀片420由第一至第五刀片 420a，420b，420c，420d，420e 形成。第一至第五刀片 42如， 420b，420c，420d，420e與固定體440的一端耦接，從而 它們之間是一個位於另外一個之上而依次設置。在第一至 200816348 第五=f 42〇a，420b，420c，420d，42〇e之間的間隙與形 成於容器10内部的狹槽之間的間隙相同。下面會對刀片 420進行詳細説明。 曰 十用來旋轉或線性移動固定體440的移動部46〇耦接於 固定體440的下方。被移動部46〇固定到固定體44〇的刀 片420移動到容器1〇内，以從容器1〇撤出晶圓並將晶圓 移載到裝载加鎖室220。本實施例是提供5個刀片。然而， 在本發明中，刀片420的數量並不受限制，其數量是可以

Ο 變更的。 ^定體44G的上部可以安裝感應器（未圖示）。此感 應器是爲了檢查容器丨〇内部的狀態，例如，確 量，晶圓是否放置在狹槽内，等等。 圖4緣示根據本發明第一實施例第一刀片偷的内部 的立肢圖由於第一至第五刀片420b，420c，420d，420e ^有與第-77片42Ga相同的結構和功能’因此省略對其之 ^田迟同松地’如圖4所示，第一刀片42〇a沿其中心線對 稱’，此也*切對稱部分進行重復説明。 —刀片42Ga具有從固定體44G至其端部逐漸加寬的 ^’且在其端部形成兩個第—突出部低。第一輕接孔 凹、隹a f —突出部422a的上表面。第—減孔424a ^弟大出〇M22a的上表面。第一撤出件50〇a (將在 後面說明）安裝於第一麵接孔伽内。 隹 圖5%不圖4中第一撤出件5〇〇a的立體放大圖。 11 200816348 如上所述，第一撤出件500a安裝在.第一耦接孔424a 内。第一撤出件500a包括第一主體部52〇a、第一入孔54〇a 以及第一阻擋部560a。 第一主體部520a為内空的圓柱體狀。第一主體部52〇a 的向度相應於第一编接孔424a的高度，從而當第一主體部 520a降下時，第一主體部520a不會從第一刀片420a突出。 • 第一主體部520&在其内部界定一個空腔，從而當氣體 經由第一供應線620a (將在下面説明）供應到第一主體部 f、 520a B守，所供應的氣體錯由施加的壓力頂起第一主體部 520a。 第一入孔540a形成於第一主體部520a的外表面。第 一入孔540a為允許由第一供應線62〇a供應的氣體進入第 一主體部520a的内部的通道。 第一阻擋部560a從第一主體部520a的外表面向外延 伸。第一阻擋部560a防止第一主體部520a被氣體過渡頂 起而從第一輕接孔424a脫離。 第一撤出件500a由舉起單元600驅動。舉起單元600 〇 包括第一供應線620a、第一閥640a以及泵660。 苐一供應線620a設置於第一刀片420a内，且兩個第 一分線622a從第一供應線620a的一端分支。第一分線622a 與第一主體部520a的内部相通，以供應氣體到第一主體部 520a的内部。 第一閥640a安裝在第一供應線620a上，以打開和關 閉第一供應線620a。泵660安裝在第一供應線62〇a的另 12 200816348 一端，泵660在此強制地供應氣體到第一供應線62加。這 裡，所供應的氣體可以是不與晶圓反應的惰性氣體。 圖6A和圖6B繪示圖4中的基板移載單元4〇〇的操作 示意圖，而圖7繪示根據本發明移載晶圓的方法的流程圖。 睛蒼照圖6A，第一至第五撤出件5〇〇a，5〇〇b，5〇〇c， 500d，500e分別设置在第一至第五耦接孔42如，42扑， 、424c，424d，424e内；而第一至第五供應線620a，620b， 620c，620d，620e 及第一至第五分線 622a，622b，622c， f) 622d，622e則分別與第一至第五撤出件5〇〇a，5〇〇b，5〇〇c， 500d，500e 連接。第一至第五閥 64〇a，64〇b，64〇c，64〇d， 640e分別安裝在第一至第五供應線62〇a，62〇b，62〇c， 620d，620e上，而第一至第五供應線62〇a，62〇b，62〇c， 620d，620e分別連接到泵660。 舉起單元600還包括控制器680。控制器680控制第 一至第五閥640a，640b，640c，640d，640e的打開和關閉 以及栗660的運作。 、 下面，結合圖6A至圖7描述有選擇移載晶圓的方法。 〇 首先，在步驟S10,第一至第五刀片420a，420b，420c， 420d，420e被移入容器1〇。第一至第五刀片420a，42〇b， 420c，420d，420e分別插入形成在容器1〇内的狹槽。這 裡，第一至第五晶圓W1，W2，W3，W4，W5分別保持 在相應的狹槽内，且第一至第五晶圓W1，W2，W3，W4， W5分別被置於第一至第五刀片42〇a，420b，420c，420d， 420e 上。 13 200816348 接下來，在步驟S20，位於要從第一至第五晶圓wi， W2，W3，W4，W5中撤出的晶圓下面的撤出件被有選擇 地激活。控制器660控制第一至第五撤出件500a，500b， 500c，500d，500e 的上升。 例如，爲了撤出第三和第五晶圓W3，W5,控制器680 打開第三和第五閥620c，620e。當第三和第五閥620c，620e 被打開時，如圖6B所示，氣體流經第三和第五供應線 620c ’ 620e ’從而通過第三和第五供應線62〇c，620e供應 C、 的氣體穿過第三和第五分線622c，622e並進入第三和第五 主體部 520e ’ 520e。 從而，第三和第五主體部52此及52〇e從第三和第五 刀片420c，420e向上突出。 當第三和第五主體部520c，520e從第三和第五刀片 420c，420e突出時，在步驟S3〇中，在第三和第五刀片 420c ’ 420e被撤出時第三和第五晶圓W3，W5從容器1〇 ，出。接下來，在步驟S4〇中，被撤出的晶圓被移載到預 Q 定位置，例如到位於處理設備200内的裝載加鎖室22〇。 ' 、如上所述，裝载在容器内的多個晶圓可以有選擇地被 移载到在處理設備2〇〇内的裝載加鎖室22〇。 圖8繪示根據本發明第二實施例之第一刀片42加 部之立體圖。 罘一刀片420a具有從固定體440開始逐漸加寬的形 、’亚具有兩個形成在其末端的第一突出部422a。第一突 14 200816348 出部422a具有兩個安裝其上的第一撤出件15〇〇&(將在後 面具體描述）。 第一刀片420a上形成γ型的第一狭槽1424a。第一狹 槽1424a具有第一線162加以及兩個安裝其内的第一軸棍 1622a (將在後面具體描述）。 如上所述，第一突出部422a具有安裝其上的第一撤出 件1500a。第一撤出件1500a包括第一旋轉桿152〇a、第一 主體部1540a以及第一旋轉轴i56〇a。 弟一$疋轉桿1520a和第一旋轉軸1560a相互垂直地從 第一主體部1540a延伸。第一旋轉軸1560a可旋轉地連接 在第一突出部422a的一側，且籍由旋轉第一旋轉軸 1560a，第一旋轉桿1520a從第一刀片420a向上突出。 第一撤出件1500a由驅動單元1600驅動。驅動單元 1600包括第一線1620a、第一驅動器1630a以及控制器 1660。 第一線1620a纏繞在上述第一旋轉軸1560a上，且第 一線1620a的拉緊力給第一旋轉軸1560a提供了旋轉力。 第一線1620a的另一端纏繞在第一驅動器1630a上，第一 驅動器1630a藉由旋轉來纏繞或展開第一線1620a，從而 將拉緊力傳遞給第一線1620a。 上述兩個第一軸棍1622a設置在第一狹槽1424a的上 表面。上述兩個第一轴棍1622a接觸第一線1620a並可以 旋轉，從而當第一線1620a被第一驅動器1630a驅動時， 第一軸棍1622a導引第一線1620a的移動路徑。 15 200816348 第一控制益1660與第一驅動器163〇a連接，以驅動第 一驅動器1630a。 弟撤出件1500a還包括第一彈性件i6g〇a。第一彈 性件1680a設置在第一旋轉軸1560a上，並提供在第一旋 轉轴1560a的樞軸轉動方向上的彈性力。下面會根據其功 能而描述第一彈性件1680a。 _ 圖9A和圖9B繪示圖§中的移載單元400的示意圖。 請蒼照圖9A，第一至第五撤出件15〇〇a，15〇〇b， c l500c，1500d，1500e分別設在第一至第五刀片420a， 4201)’420(：，420(1，42〇6上。第一至第五線162〇&，162〇|3, 1620c，1620d，1620e的一端分別連接第一至第五撤出件 1500a，1500b，1500c，1500d，150〇e，而第一至第五線 1620a ’ 1620b ’ 1620c ’ 1620d ’ 1620e 的另一端則分別連 接弟一至第五驅動器 1630a，1630b，1630c，1630d，1630e。 控制器1660用來控制第一至第五驅動器i63〇a，163〇b， 1630c ， 1630d ， 1630e 。 % 同樣地，第一至第五彈性件1680a，1680b，1680c， U 168〇d，1680e分別設在第一至第五旋轉軸156〇a，156〇b， 1560c，1560d，1560e 上。第一至第五彈性件 168〇a，168〇b， 1680c，1680d，1680e提供順時針方向的彈性力。從而， 第一至第五線 1620a，1620b，1620c，1620d，620e 依靠彈 性力而以纏繞的狀態保持在第一至第五旋轉軸1 56Qa， 1560b，1560c，1560d，1560e上，因此第一至第五撤出件 16 200816348 1500a，1500b，1500c，1500d，1500e 不會從第一至第五 刀片 420a，420b，420c，420d，420e 突伸到外面。 下面，結合圖9A和圖9B描述可有選擇地移載基板的 方法。 首先，在步驟S10,第一至第五刀片420a，420b，420c， 420d，420e移動到容器10的内部。第一至第五刀片420a， ' 420b，420c，420d，420e分別插入形成於容器10内的狹 槽之下。這裡，第一至第五晶圓Wl，W2，W3，W4，W5 f......)，分別保持在這些狹槽内，從而第一至第五晶圓Wl，W2， W3，W4，W5分別配置在所插入的第一至第五刀片420a， 420b，420c，420d 及 420e 的頂部。 接下來，在步驟S20，位於要從第一至第五晶圓wi， W2 ，W4及W5中撤出的晶圓的下方的撤出件被激 活。第一至第五撤出件 1500a，1500b，1500c, 1500d，1500e 的操作由控制器1660控制。 例如，當要撤出第一和第五晶圓W3，W5時，控制器 、 1660使第三和第五驅動器i63〇c，163〇e工作。當第三和 :’ 第五驅動器163〇c，1630e工作時，如圖9B所示，第三和 »五驅動H 163Ge，163&沿著順時針方向旋轉，以纏繞第 三和第五線1620c，1620e。 虽第二和第五線1620c ’ 1620e被纏繞時，拉緊力通過 弟一和苐五線分別傳遞給弟二和第五旋轉軸1° 1560=從而分別纏繞在第三和第五旋轉軸l56〇c，156如 上的第三和第五線162〇c，l620e被展開，而第三和第五旋 17 200816348 轉軸1560c，1560e在逆時針方向上樞軸轉動。相應地，第 三和第五旋轉桿1520c，1520e與第三和第五旋轉軸 1560c，1560e —致地在逆時針方向上樞軸轉動並從第三和 第五刀片420c，420e向上突起。 在步驟S30中，當第三和第五旋轉桿1520c，1520e 從第三和第五刀片420c，420e伸出時，第三和第五刀片 ' 420c，42〇e從容器10撤出，以將第三和第五晶圓W3， W5從容器10内撤出。接下來，在步驟以〇中，撤出的晶 p 圓被移載到預定的位置（例如處理設備的裝載加鎖室 220)。 如上所述，裝載容器内的多個晶圓可以有選擇地撤 出’並移載到位於處理設備200内的裝載加鎖室220。 圖10A和圖10B繪示根據本發明第三實施例之移載單 元400的操作示意圖。 分別設置在第一至第五旋轉軸1560a，1560b，1560c， 1560d，1560e上的第一至第五彈性件168〇a，168〇b， “ l680c，1680d，1680e提供逆時針方向的彈性力，而第一 至第五線 1620a，1620b，1620c，1620d，1620e 分別籍由 第一至第五驅動器 1630a，1630b，1630c，1630d，1630e 維持在拉緊狀態。因此，第一至第五旋轉軸156〇a，156〇b， 156jc ’ 1560d，1560e維持著在順時針方向上樞軸安裝的 狀態，從而第一至第五撤出件15〇〇a，15〇〇b，15〇〇c， 1500d，1500e不會從第一至第五刀片42〇a，42〇b，42〇c， 420d，420e 突出。 18 200816348 如上所述，如果要撤出第三和第五晶圓W3、W5，控 制為1660插作弟二和弟五驅動杰163〇c、163 0e。當第二 和第五驅動器1630c、1630e操作時，如圖ιοΒ所示，第 三和第五驅動器1630c、1630e在逆時針方向上旋轉，以解 繞第三和第五線1620c、1620e。

U 當第三和第五線1620c、1620e被展開時，第三和第五 彈性件1680c、1680e分別促使第三和第五旋轉軸156〇c、 1560e在逆時針方向上樞軸轉動，從而第三和第五線 1620c、1620e分別從第三和第五驅動器163〇c、⑹如解 繞，並分別纏繞在第三和第五旋轉軸156〇c、156如上。同 樣地，當第三和第五旋轉轴1560c、1560e及第三和第五旋 轉桿1520c、1520e —起在逆時針方向上樞軸轉動時，第三 和第五旋轉桿1520c、1520e分別從第三和第五刀I 420c 、420e向上突出。 因此，根據本發明，裝載在容器内的多個基板可以 選擇地被卸載。 雖然本發明已以較佳實施例揭露如上，然其幷非用以 本發明’任何熟習此技藝者，林脫離本發明之精神= 圍内，當可作些許之更動與潤飾，因此本發明之 已 當視後附之申請專利範圍所界定者爲准。 圓 【圖式簡單說明】 圖1繪示一半導體設備的示意圖。 圖2緣示圖1中的即_的内部的剖視圖。 圖3緣示根據本發明之基板移载單糾立體圖。 19 200816348 圖4綠示根據本發明第—較佳實施例之基板移 的内部組件的立體圖。 T兀 圖5繪示圖4中的撤出件的放大立體圖。 圖6A和圖6B緣示圖4的基板移載單元的 圖。 ^叫、 =綠示根據本發明之移餘板的方法的流程圖。 圖^示根據本發明第二較佳實施例之 的内部的立體圖。 ^私早兀

圖。圖9A和圖9B緣示圖8的基板移載單元的操作示意 三較實施例之基板 圖10A和圖10B繪示根據本發明第 移載單元的操作示意圖。 【主要元件符號說明】 1 :半導體設備 100 :設備前端模組 200 :處理設備 290 :介面壁 220 ·裝載加鎖室 240 ·移載室 260 :處理室 280 ·機械手臂 120 :架體 140 :負载站 400 ·移载單元 20 200816348 121 :後壁 123 :前壁 124 :入口 126 :進氣口 127:排氣口 128 :排氣線路 10 :容器 130 :開啓裝置 14 :門 122 :開口 420 :刀片 440 :固定體 460 :固定體移動部 422a :第一突出部 520a、1540a :第一主體部 540a ··第一入孔 560a :第一阻擋部 600 :舉起單元 660 :泵 680、1660 :控制器 1424a ··第一狹槽 420a、420b、420c、420d、420e :第一至第五刀片 424a、424b、424c、424d、424e :第一至第五耦接孔 500a、500b、500c、500d、500e ··第一至第五撤出件 21 200816348 620a、620b、620c、620d、620e :第一至第五供應線 640a、640b、640c、640d、640e :第一至第五閥 622a、622b、622c、622d、622e :第一至第五分線 W1、W2、W3、W4、W5 :第一至第五晶圓 1500a、1500b、1500c、1500d、1500e :第一至第五撤 出件 1560a、1560b、1560c、1560d、1560e:第一至第五旋 轉軸

1620a、1620b、1620c、1620d、1620e:第一至第五線 1630a、1630b、1630c、1630d、1630e:第一至第五驅 動器 1680a、1680b、1680c、1680d、1680e:第一至第五彈 性件

Ci 22

Claims (1)

1. 200816348 十、申請專利範圍： 1· -種用以從-容器内撤出基板並移載 裝置，所述裝置包括： J 多個刀片，在移载過程中，所述基板分別放置在所述 刀片上； 多”，分別安裝在所述刀片的一端，當所述基 板從所述谷為撤出時，所述撤出件從所述刀片向上突 以及 $ Γ Ο 出 一驅動單兀’用以選擇地使所述撤出件從所述刀片突 2·如申請專利範圍第1JM所述之用以從 基板並移載所述基板縣置，其中所雜出件 形狀而界定-空腔，且被安裝以在一耦接孔 ； 降，所述耦接孔形成於所述刀片的一端。 才才下 3‘如申請專利範圍第2項所述之用以從 ;『載所述基板的装置，其中所述撤出件在;了= 4. 如申請專利範圍第2項所述之 基板並移載所述基板的裝置，其中所述驅動單==放出 多個供應線，分別形成於所述刀片上 =、 接所f撤出件的所述空腔，以供應氣體至所述空炉4連 f個閥’用以分別打開和關閉所述供應線^及 一控制ϋ ’用崎擇性地翻所述闕。 5. 如申請專利範圍第2項所述之用以從—容器内撤出 23 200816348 ^板並移载所述基板的裝置，其中所述撤出件包括從其外 ^向外延伸的阻擋部，以防止所述撤出件從所述 脫雜。 6.如申請專利範圍第丨項所述之用以從—容器内撤出 基板並移载所述基㈣裝置，其中所述撤出件包括一旋轉 桿’所述旋轉桿的-端可旋轉地連接所述刀片，而另—端 則可以旋轉方式從所述刀片向上突出。

   Ο 7:如申请專利fell第6項所述之用以從—容器内撤出 基板亚移载所述基板的裝置，其巾所述撤$件還包括一垂 直地連接所述旋轉桿的—端的旋轉軸，所述旋轉軸旋轉而 使所述旋轉桿從所述刀片突出，所 -線，其-端被纏繞在所述旋轉軸=括. 一驅動器，用以旋轉和纏繞所述線的另一端。 8.如申請專利範㈣7項所述之肋從—容器内撤出 基板亚移载所述基板的裝置，進—步包括_連接所述旋轉 軸的彈性件，以提供彈力給所賴熱而使所述旋轉桿處 於非突出於所述刀片的位置。 9. -種用以從_容器的内部撤出基板並移載所述基 板的方法，所述方法包括： 移動多個刀片到所述容器内，所述刀片分別設有一用 以從所述容器的内部撤出所述基板的撤出件； 經由有選擇地操作與要被撤出的基板對應的 從所述容器撤出基板；以及 V 移載所述被撤出的基板到一預設位置。 24 200816348 ίο.如申請專利範圍第9項所述之用以從哭的内 部撤出基板並移載所述基板的方法，其中所述有選^地操 作所述撤出件的步驟包括有選擇地使所述撤出件從所述刀 片突出。 11. 如申請專利範圍第10項所述之用以從一容器的内 部撤出基板並移載所述基板的方法，其中所述有選S的突 出所述撤出件的步驟包括有選擇地供應氣體到所述撤出件 的中空部。 12. 如申請專利範圍第9項所述之用以從—容器的内 部撤出基板並移制述基㈣方法，其中所述撤分別 地且旋轉地連接所述刀片，且所述撤出件的操作包括旋轉 所述撤出件以從所述刀片突出。 ， ^丨3.如申請專利範圍第12項所述之用以從一容器的内 部撤出基板並移載所述基板的方法，其中所述旋轉^述撤 出1以從所述刀片突出的步驟包括有選擇地提供拉緊力給 、纏'繞在與撤出件連接之所述旋轉軸上的線。 25