TW200815267A - Work conveying device and electronic-component conveying device - Google Patents

Description

200815267 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於用以搬運晶片型電子零件等許多工件之工 件搬運裝置，更詳細而言係有關藉由使設有作為收納工件 之收納部之貫通孔之搬運盤，移動於搬運台上，以搬運工 件之形式之工件搬運裝置及電子零件搬運裝置。 【先前技術】

入以往’製造晶片型電子零件時係製作晶片型電子零件並 檢查特性後，因應於特性而進行良品或不良品之筛選。而 且’亦因應於特性，將獲得之晶片型電子零件區分為複數

导為了將此等作業予以自動化而提高生產性，從@ H 有各種製造裝置。 〃 例如於下述專利文獻1中，揭示此種電子零件搬運f置 之-例。於該電子零件搬運裝置中，$了搬運電子零：， 以與盤基座之搬運面接觸之方式配置有圓板狀之搬運盤。

圓板狀之搬運盤係德έ士 A # U ’、連、、、σ於鉍轉驅動源，以便可旋轉於其中

心軸周圍。然後，沿签I 、 般運k之周向，形成複數收納從漏

斗依序供給之1個雷早愛彳生 I 甩千零件之貝通孔。於該各貫通孔内， 從漏斗提供有電子零件。搬運盤—面滑動於盤基座之搬運 面上心轉’错此將電子零件往搬運盤之周向搬運。 於此’在將電子零件往抽 卞彳搬運盤之周向搬運之期間，進杆 電子零件之特性測定。缺德 …、後’為了根據測定結果來篩選声 品、不良品，或因應於牲4 ^ 、、 值予以區分，使用適當之電； 零件取出機構，從上述貫 1貝通孔取出已測定特性之電子零 120537.doc 200815267 件 此外，於上述搬運時為了保4 4 1示符私子零件之姿勢，於上述

搬運面形成連結於上述貫通L 义貝逋孔之吸引用凹部，該吸引用凹 部連接於真空吸引源等。 另-方面，取出結束特性測定之電子零件時，使用圖4 厂、構U '亦gp如圖4所示，於電子零件搬運裝置⑻ 中，上述搬運盤102具有貫通孔1〇2a。於貫通孔職收納

有電子零件1()4。此外’搬運盤1〇2之一面嶋係與盤基座 103之搬運面103a抵接。 然後，於盤基座103之搬運面10;^，噴出孔⑺孙係於電 子零件104之取出位置開口。喷出孔1〇补係從搬運面i〇3a 往與搬運面103a相反側之面103c側延伸，且連接於壓縮空 氣供給軟管105。壓縮空氣供給軟管1〇5連接於壓縮機或汽 缸等壓縮空氣供給源。 結束測定之電子零件104藉由搬運盤1 02之旋轉而來到電 子零件取出位置時，於貫通孔l〇2a之一部分，臨向孔徑比 貫通孔1 02a之開口部小之上述噴出孔1 〇3b。然後，從喷出 孔103b喷射壓縮空氣。藉由壓縮空氣之壓力，電子零件 104往貫通孔1〇2a之外方移動而取出電子零件1〇4。 若根據此方法，由於不造成機械式衝擊即可取出電子零 件104，因此不易產生電子零件1〇4之損傷。 [專利文獻1]日本特開2004-226101號公報 【發明内容】 [發明所欲解決之問題] 120537.doc 200815267 .然而，如前述，搬運盤102係與盤基座1〇3獨立地一面滑 動於盤基座103之搬運面1〇3a上一面移動。因此，於藉由 上述壓縮空氣取出電子零件1〇4後，搬運盤1〇2會進一步旋 轉。其結果’上述噴出孔職會藉由搬運盤⑽之一面 102b而再度關閉。 此情況下，壓縮空氣完全排出至貫通孔咖内，電子究 件104被取出，然後停止供給壓縮空氣後^⑻㈣ 搬運盤102之一面102b關閉之情況下，不會產生問題。 然而’於提高搬運速度之情況時，維持l缩空氣殘留於 喷出孔103b内之狀態下，喷出 、 贺出孔1〇3b之開口部可能會由搬 内:產4二。於该情況下，I缩空氣殘留於噴出孔難 内而產生餘壓。 因此，若搬運盤1〇2進一步旋轉，收納有在上述電子零 應"之電子零件之下-貫通孔移動至上述 Μ而被取出。故不應取出之電子零件可能會由於餘 ί 故，以往之電子零件搬運裝置於取”子欠 件刚後，為了不立即旋轉移動搬 子零 ’必須使搬運盤⑽待機特定時 乂：王排出空氣 餘塵而需要待機時間，益法 、Ρ ’為了釋放上述 運轉。 電子零件搬運裝置進行高速 特別是隨著電子零件之尺 職之尺寸縮小。因此，若=j、’亦必須使上述喷出孔 空氣噴出旦π右、 贺出孔103b之大小變小，由於 工孔贺出里不充分，因此必 由於 機時間。而且，即使待機時間變;拉f用以除去餘塵之待 ^長，仍具有難以充分釋放 120537.doc 200815267 餘壓之問題。 本表明之目的在於提供—種解決上述以往技術之缺點， 於收納有工件之貫通孔，具備使高I氣體從喷出孔噴出， I二貝通孔取出工件之構造，可解決上述因餘屡所造成之 題口此可防止工件之非預期之飛出，且可謀求包含工 件取出步驟在内之搬運步驟之高速化之工件搬運裝置及電 子零件搬運裝置。 衣置及电 [解決問題之技術手段] 關於本發明之工件搬運裝置之特徵為具備：搬直 運ϋ運面；搬運盤，其係具有配置為盘前 :;運:之前述搬運面相對向之第-面及與第-面相反側 =弟面’亚具備貫通第_、第二面之貫通孔；及驅動裝 使連結於Γ述搬運盤及/或前述搬運台，以便可於 能月運盤之$ —面與前述搬運台之搬運面相對向之狀 恶，使珂述搬運盤對於拋遥； ； < 狀 件插入前述搬前面滑動一面移動;… 皿心月j逑貝通孔之狀態， 可述搬運面移動，藉此搬運 21搬運盤對於 運面形占古 之件，於珂述搬運台之搬 孔，2 其係延伸於搬運方向；及噴出 用使取b置設^可與料貫 、 以使I縮氣體喷出，以取出插入前述貫通孔之‘；t ，於W述搬運盤之第一面， 刚述工件 及前述吸引用凹部之吸引溝設置為連通前述嗔出孔 係連結於前述吸引用凹部；及芦2包含：吸引裝置，其 結於前述噴出孔；進—㈣成：體供給裂置，其係連 ，有輔助噴出孔，其係連接於 120537.doc 200815267 前述壓縮氣體供給裝置，且於二、+、ia 、， 直且於則述搬運台之搬運面，位於 可述工件取出位置’並朝向前述吸引溝開口。 於 於關於本發明之工件搬運裝置 置中則述搬運盤宜具有中 心軸；該搬運盤宜構成為粒±义、丄、 構成為精由^驅動機構旋轉於前述中 〜軸周圍，藉此前述工件搬運路 崎仏延伸於m述搬運盤之周 向；前述吸引用凹部宜以延伸於 要士人、， 之周向之方式而設 置於珂述搬運台之搬運面。於卜 、 h况下，由於搬運路徑在 搬運盤内延伸於周向，因此可啤

」成衣工件搬運裝置之小型化 ’且可謀求減少設置空間。 於本發明中，工件不限定於電子 _ ^ ^ ^ 电卞冬件，電子零件以外之 其他工件亦可。當'然由於電子零件小型化進展，其尺寸非 常小，但使用關於本發明之電子零件搬運裝置，可有效地 解決搬運時之餘壓所造成之問題。亦即，關於本發明之工 件搬運裝置適宜使用在電子零件搬運裝置。 【實施方式】 [發明之效果] 於關於本發明之工件搬運裝置中，以與搬運台之搬運面 相對向之方式配置搬運盤，於工件插入設置於搬運盤之貫 通孔之狀態下，搬運盤對於搬運面移動，藉此搬運工件。、 4後，於該搬運面設置有與貫通孔相連之吸引用凹部，因 此藉由吸引，電子零件會保持於適當姿勢。 而且，於工件取出位置，從上述噴出孔喷出壓縮空氣， 藉由壓縮氣體之壓力，可迅速從貫通孔取出搬運至工件取 出位置之工件。 120537.doc -10- 200815267 N况下本發明由於上述輔助喷出孔連接於壓縮氣體 供給敦置，而該辅助噴出孔位於工件取出位置，因此被吸 引保持之工件係由輔助噴出孔噴出之壓縮氣體解除吸引， 因此會更迅速地從貫通孔取出工件。 亦即’於未設有輔助噴出孔之情況下，不僅為了取出工 件i先必須藉由來自噴出口之壓縮氣體，施加足以解除 :士述吸引保持所吸著之工件之吸引之壓力。因此，必須 麸^出孔噴出同壓且大量之壓縮氣體，且由於先解除吸引 /件才私動，因此具有取出工件需要較長時間之問題 。而且，由於必須噴出高壓之壓縮氣體，目此喷出孔内傾 向留有餘壓，傾向產生前述問題。 對於此，本發明中，上述輔助噴出孔設置於工件取出 位置：且該辅助噴出孔在吸引溝開口，因此首先可藉由從 輔力賣出孔噴出之壓縮氣體來解除上述吸引。然後，於解 二:引之同時，或於解除吸引後，藉由從噴出孔噴射之壓 鈿虱體’工件會從貫通孔移動。此情況下，由於已解除吸 =、，因此即使從噴出孔不噴出甚高壓之壓縮氣體，仍可從 貝通孔確貫取出工件。&，於喷出孔内難以產生餘壓，藉 不而待機日寸間’或縮短待機時間，即能以高速來搬運、 取出工株. 而且，亦可防止餘壓造成工件非期望之飛出。 x下苓考圖式來說明本發明具體之實施型態，藉此以 闡明本發明。 ^ ^、（b)係表示關於本發明之一實施型態之電子零件 搬運裝置之筒闰4、" 間圖式之正面圖、及後述之搬運盤除外之狀態 120537.doc 200815267 之間圖式之正面圖。 電子零件搬運裝置1具有基座板2。本實施型態中，基座 板2係於叹置空間往上下方向延伸而直立設置。當然基座 板2從上下方向傾斜亦可，或基座板2往水平方向延伸而配 置亦可。 於基座板2之一面2a上，配置有搬運台3。於本實施型態 中，搬運台3為圓板狀之板，但亦可具有角板狀等其他形 狀。搬運台3係對於基座板2固定。搬運台3係在與基座板2 側相反側之面具有搬運面3a。 於搬運面3a上，配置有搬運盤4。搬運盤4具有圓板狀之 形狀。搬運盤4配置為可旋轉於中心軸牦之周圍，該中心 軸4a連結於簡圖式地表示之驅動裝置5。搬運盤々係構成如 藉由驅動裝置5而順時針地旋轉移動。 士此外，本實施型態中，搬運盤4係於中心軸蚀之周圍順 r針地旋轉，但搬運盤4固定，搬運台3旋轉於中心軸周圍 亦可，而且搬運台3及搬運盤4雙方以不同速度旋轉於中心 軸4a之周圍，或者反方向地旋轉均可。 亦即，只要搬運盤4構成如對於搬運台3之搬運面仏相對 地移動即可。 、搬運盤4係含例如金屬或合成樹脂等硬質材料。於此搬 運=4之外周附近，複數貫通孔仆係衿周向整齊排列配置 、—貝通孔4b係構成收納作為工件之電子零件之收納部。該 複數貫通孔4b係於周向形成2排。 ^ 设數貫通孔4b所組成之排數當然不限定，以1排或3排以 ^〇537.d〇( -12- 200815267 上之型態來配置複數貫通孔4b亦可。 於圖3係以部分下切剖面圖來表示沿著圖2之A_A’線之部 分。從圖3可知’搬運盤4係具有··抵接或接近於搬運台3 之搬運面3a上之第一面4c、及與第一面乜相反側之面之第 二面4d。貫通孔朴係從第—面化往第二㈣貫通。貫通孔 4b之第二面牝之開口部為電子零件何進入之大小。 本實施型態中’貫通孔4b係設置為在第二面相具有矩形 之開口形狀。 回到圖2(a)，電子零件係從搬運盤4之第二面州則，由電 子零件供給裝置7插入上述貫通孔4七。作為該電子零件供 、、口衣置7，可使用漏斗或適當之電子零件供給裝置，並未 特別限定。

而且’藉由順時針地旋轉上述搬運盤4，搬運盤4會以搬 運盤4之第一面4c滑動於搬運台3之搬運面“上之方式而移 動。其結果’收納於貫通孔4b中之電子零件6被往搬運盤4 之周向搬運，而於其搬運路徑之中途配置有特性测定裝置 8 °特性測定裝置8具有例如抵接於電子零件之電極之複數 探針’其係為了測定電子零件6之電性特性而設置。因應 於5亥測定結果來進行良品或不良品之判斷，或因應於特性 值來進行搬運來之電子零件之分群。 作為上述測定裝置8，可因應於測定之特性而使用各種 電性計測裝置。 另一方面，於圖2(b)中，如同取下上述搬運盤4，使搬 運台3之搬運面3a露出之狀態，於搬運面3a上，2道吸引用 120537.d〇c -13- 200815267 凹部3b，3c設置於同心圓上。此吸引用凹部3b，3c係配置為 介由後述之吸引溝，而與配置於搬運台3上之搬運盤4之貫 通孔4b之一部分相連。於同心圓上設置2道吸引凹部3b，3c 係因複數貫通孔在周向整齊排列配置有2排。亦即，一方 之吸引凹部3b係位於複數貫通孔4b所組成之2排中之外側 排之徑向外側，吸引凹部3c則位於貫通孔4b之小孔徑排之 徑向外側。然後，於外側排之貫通孔4b，介由後述之吸引 溝而連接有吸引凹部3b，於内側排之貫通孔扑係藉由後述

之吸引溝而連接有内側之吸引凹部3c。如圖2(b)所示，吸 引用凹部3b，3c連接於真空吸引源等吸引源。 如圖3所示，上述貫通孔4b係於第一面物側，與延伸於 搬運盤4之徑向之吸引溝46相連。此吸引溝^之一部分設 置在與上述吸引用凹部补或吸引用凹部孔重疊之位置。 因此’藉由從吸引用凹部3b，3c利用吸引源1〇進行吸 引’藉由其負壓以將電子零件在貫通孔仆内保持於正確 位置。 *另一方面’於電子零件取出裝置9,如圖2(b)所示，複 數贺出孔11在搬運面仏開口。 圖1(a)及(b)係於上述搬運路徑 邱公夕措4加工 且5丄1干取出I置9之 p刀之扠式側面剖面圖及模式正面圖。 本只施型恶中，於搬 貫通靖連之方式而f主面4c側’以與上述 溝心開口之方式，於^ 弓丨溝46 ’而以朝向該吸引 ;搬運面3a之工件取出位罟〇 + 11之側方設置有辅助噴出孔12。 之肅 120537.doc 200815267 此：助喷出孔12係與嘴出孔11之嘴出孔主體部㈣通 。贺出孔11具有：上述喷出讲φ獅加” + 、出孔主體# 、及與搬運面3a 機等ιίΓ嘴部m。喷出孔主體部lla連接於汽缸或麼縮 主體；u:貌給源X。由於上述輔助嘴出孔12與喷出孔 =叫a相連，因此不僅從喷出孔u之噴嘴部…，從輔 助貝出孔12亦喷出壓縮空氣。 。另-方面，如上述，輔助喷出孔12係於吸引溝扑内開口 、。因此’壓縮空氣不僅從噴出孔u之喷嘴部山，亦從上 述辅助噴出孔12噴出。另一方面 “ 負出$方面，吸引溝4e内係藉由上述 二：吸引而成為負壓。然而，藉由從上述辅助喷出孔⑵共 %空乳’首先會解除負壓’藉其而容易從貫通孔卿 出作為工件之電子零件6。亦即，由於負壓首先被解除， 因此精由來自喷出孔11之壓縮空氣，對於電子零件6賦予 些微壓力’即可迅速從貫通孔外取出電子零件6。故，於 上述負壓解除後，從上沭喑ψ 3+ 和枝^ 攸上述噴出孔11之噴嘴部lib喷出壓縮 二虱，藉此以從貫通孔4b迅速取出電子零件石。 如上述，於本實施型態中，辅助喷出㈣在吸引溝^内 開口’壓縮空氣供給至吸引溝46而解除負壓。由於預先解 除吸引溝4e内之負壓’因此藉由來自喷出孔r喷嘴部 之壓縮空氣’使作為工件之電子零件6從貫通⑽飛出 時，壓力低亦可。因此，於噴出孔11内，不易產生餘壓。 故，即使後續於該位置不應取出之電子零件6接著移動至 痛之噴出孔"上，仍不易因餘壓而產生該電子零件6 之非期望之飛出。 120537.doc 200815267 接著，說明本實施型態之電子零件搬運袭置之動作。 如圖2所示，使用電子突杜 >，審壯μ t ~ 叩电于令件搬運裝置丨來篩選特性而搬運 電子零件時，從電子零件供應裝置7,將電子零件逐一插 入上述搬運盤4之貫通孔仆。然後，藉由驅動驅動裝置5， 以使搬運盤4往順時針方向旋轉。其結果，會於搬運盤4之 周向，順時針地搬運收納於貫通孔朴之電子零件6。此情 況下，藉由從吸引用凹部3以進行吸引，以於貫通孔4b 内，將電子零件6保持於正確姿勢而進行搬運。 然後，於特性測定裝置8’測定搬運來之電子零件6之特 性’亚因應於特性結果來進行電子零件之區分。亦即，於 ^零件取出裝置9取出電子零件時，於特定位置僅取出 於不同位置取出不良品’或因應於特性值，決定於 複數不同位置取出雷+烫/生 出冤子零件。如此因應於特定測定結果， =子零件取出裝置9中特定之電子零件取出位置取出電 ^件’此控制係於電子零件搬運裝置旧接控制機構， 因應於從特性測定裝置8獲得 裝置9即可。 獲仟之心結果來驅動電子零件 於上述電子零件取出位置9,若收納於貫通孔朴 =子零件6藉由搬運盤4之旋轉而搬運來，貫通孔朴會重 ®於设在應取出電子零件之位 辅助噴出孔12臨向吸引溝4e。贺出孔心此時，上述 因此’由於壓縮空氣從輔助噴出孔12供給至吸引溝^ 故解除吸引溝4e内之負壓。另一 + tb 另方面，壓縮空氣從噴出孔 之”部…朝向電子零件6喷射，但如上述，由於吸引 120537.doc 200815267 溝㈣之負壓被解除，因此用以 力較小即可完成。因脐^ 兒于零件6所需之壓 _ ^ r , ’取出電子零件6後，可降低卜、十、 所需壓力，故於噴屮了丨，， ^ J 1+低上述 貝出孔11之噴出孔主體 11b内不易產生餘壓。 餵。MU内或噴嘴部 故’不需要前述待機時 況，僅設置短暫之待機心” 吏疋-置待機時間之情 運裝置之搬運效率。 性地k鬲搬 上述實施型態中’搬運盤具有圓板狀之形狀 4a之周圍順時針地被旋 少 ' 心軸 轉驅動，但搬運盤未必須呈右Ρ! 4 狀之形狀。而且，亦可將搬 、’、_板 等其他方向移動，,1使 如搬運盤往直線狀 …。 置於搬運盤之貫通孔並非往月 向搬運’而疋往其他方向搬運。亦即周 裝置不限定於使圓板狀之搬之件搬運 之行動。 $皿對於搬運台之搬運面旋轉 而且’上述電子零件搬運裝置搬運作為卫件之 ，但亦可用於搬運電子零件 I子零件 1 4，、他工件之用途。 而且，上述實施型態中，使用壓縮空 但亦可使用氮等其他惰性氣體。 ’…乳體， 【圖式簡單說明】 圖:⑷、㈨係表示本發明之第一實施型態之工 壯 置中错由塵縮空氣取出作為工件之電子零件之部八衣 之部分下切側面剖面圖及模式平面圖。 π之構造 圖2⑷為本發明之一實施型態之電子零件搬運妒置 面圖’⑻係用以說明設置於搬運面之吸5|溝之正面圖，正 120537.doc 200815267 圖3係放大表示沿著圖2之A-A，線之部分之側面剖面圖。 圖4係用以說明以往之電子零件搬運裝置中取出電子零 件之部分之模式正面剖面圖。

【主要元件符號說明】 1 電子零件搬運裝置 2 基座板 3 搬運台 3a 搬運面 3b，3c 吸引溝 3d 第一面 3e 第二面 4 搬運盤 4a 中心軸 4b 貫通孔 4c 溝 4e 吸引溝 5 驅動裝置 6 電子零件 7 電子零件供給裝置 8 特性測定裝置 9 取出裝置 10 吸引源 11 喷出孔 11a 喷出孔主體部 120537.doc -18- 200815267 11b 噴嘴部 12 輔助噴出孔

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Claims (1)

1. 200815267 十、申請專利範圍： 1. 一種工件搬運裝置，其特徵為包含： 搬運台，其係具有搬運工件之搬運面； 搬運盤’其係呈右？5?里# μ '、 置為與前述搬運台之前述搬運面 相對向之第-面及與第_面相反側之第二面，並包括貫 通第一、第二面之貫通孔；及 驅動衣置’其係連結於前述搬運盤及/或前述搬運台， 以便可於使前述搬運盤之第—面與前述搬運台之搬運面 相對向之狀悲，使前述搬運盤對於搬運面一面滑動一面 移動，且於工件插入前述搬運盤之前述貫通孔m 刖述搬運盤對於前述搬運面移自，藉此搬運前述工件； 於蝻述搬運台之搬運面形成有：吸引用凹部，其係延 伸於搬運方向’及噴出孔’其係於工件取出位置設置為 可與前述貫通孔重疊，且用以使壓縮氣體噴出，以取出 插入别述貫通孔之前述工件； 於前述搬運盤之第一面，形成有設置為連通前述噴出 孔及前述吸引用凹部之吸引溝； 進一步包含： 吸引裝置，其係連結於前述吸引用凹部；及 壓縮氣體供給裝置，其係連結於前述噴出孔· 進一步形成有辅助噴出孔，其係連接於前述壓縮氣 體供給裝置，且於前述搬運台之搬運面，位於前述工件 取出位置，並朝向前述吸引溝開口。 2·如請求項1之工件搬運裝置，其中前述搬運盤具有中心 120537.doc 200815267 軸，該搬運盤構成為藉 心軸周園一 ▲動裝置而旋轉於前述中 之周向· 牛之搬運路徑延伸於前述搬運盤 V 置二：以用凹部係以延伸於搬運盤之周向之方式而設 置於則述搬運台之搬運面。 3.二種^零件搬運裝置，其特徵為：其係 之工件搬運褒置，且搬運電子零件而作為前述工件。1戍

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