TW200807603A - Factory automation system and related method for wafer fabrication facility - Google Patents

Description

200807603 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係有關於一種整合運輸控制之系統及方法， 特別是有關於一種用於一晶圓製造廠中實現整合運輸控 制之系統及方法。 【先前技術】 半導體元件的製造包含一系列的製造步驟的效能， # 這些製造步驟依照一特定順序且通堂在一段特定時間内 利用各種高科技產品以及量測機台設備來完成。一個晶 圓製造廠（或稱’’fab”）中的晶圓物料流系統的主要功能在 於可在正確時間點將晶圓傳送到每一設備上，並追蹤整 個製程中晶圓的位置以及狀態。 自動化物料搬運系統（automated material handling system，AMHS)被用於晶圓製造廠，用以比手動裝置所能 完成的更有效、更一致以及更安全地實現自動化功能。 _ 儘管半導體的尺寸由200微米（mm)進展到300微米而使 得製造過程在某些方面變得經濟，然而，其也產生了製 程上的額外需求。此類需求包含跨樓層（cross-floor)以及 跨階段（cross-phase)運輸以及增加運輸容量的必要性，這 些組合常造成交通壅塞(traffic jam)。此外，對於AMHS 的硬體投資係非常大的。 當一晶圓載具（carrier)(例如一前開式晶圓盒（front opening unified pod, F0UP))包括欲傳送的晶圓時，一製 0503-A32460TWF/Jasonkung 6 200807603 造執行系統（manufacturing execution system，MES)將決 定此晶圓盒應該傳送到晶圓製造廠中的那個目的 (destination)。一般而言，此決定單單只靠生產資料，並 不考慮晶圓製造廠中的即時流量狀態。一旦決定了目 的，製造執行系統傳送一傳送請求到一物料控制系統 (material control system，MCS)，此物料控制系統利用一 路徑搜尋引擎計算一詳細的運輸路徑，並接著通知一傳 送管理者逐步執行此傳送。目前為止，當在決定運輸路 徑時，路徑搜尋引擎並不會將生產資料列入考慮。 【發明内容】 有鑑於此’本發明提供一種工廠自動化系統，適用 於一晶圓製造廒（fab)，此晶圓製造廠包括複數隔間 (bay)，其中每一隔間包括由一隔間内（intrabay)高架式晶 圓運輸（0HT)系統互連之複數製造設備，以及一第一隔間 之間（interbay)高架式晶圓運輸系統以及一第二隔間之間 南架式晶圓運輸糸統用以互連隔間内焉架式晶圓運輸糸 統。工廠自動化系統包括一製造執行系統（MES)、一物料 控制系統（MCS)以及一整合運輸控制（ITC)系統。製造執 行系統（MES)用以提供關於晶圓製造廠内正被處理中之 晶圓批次（lot)資訊。物料控制系統用以提供關於晶圓製造 廠内之晶圓運輸之流量資訊。整合運輸控制系統用以依 據一傳送請求’利用製造執行糸統產生之晶圓批次資訊 以及物料控制系統產生之晶圓流量資訊，選取包含複數 0503-A32460TWF/Jasonkung 7 200807603 晶圓之一晶圓載具（carrier)之一目的以及到該選取目的 之一路徑。 為使本發明之上述和其他目的、特徵、和優點能更 明顯易懂，下文特舉出較佳實施例，並配合所附圖式， 作詳細說明如下。 【實施方式】 第1A圖顯示一依據本發明實施例之300微米晶圓製 造廠之示意圖。當其包含分別如第1圖所示之參考號碼 102以及104所標示之多重階段，以及分別如第1圖所示 之參考號碼106以及108標示之多樓層時，晶圓製造廠 100可被視為一”極大晶圓製造廠（Giga fab)”。一個”跨樓 層（cross-floor)傳輸作業’’包含將一個晶圓載具或FOUP， 由樓層106、108之其中一者傳送到另一者。類似地，一 個”跨階段（cross-phase)傳輸作業”包含將一個晶圓載具 或F0UP，由階段102以及104之其中一者傳送到另一者。 每一階段102、104包括多個隔間（bay)l 10，每個隔 間110包括製程工具或設備112。每個隔間110中的設備 112係藉由一隔間内（intrabay)高架式晶圓運輸（overhead transport, 0HT)系統114彼此互連。隔間110間係藉由一 隔間之間（interbay)OHT系統116彼此互連，此隔間之間 0HT系統116以下將被視為一所謂的超級公路（super highway)。誠如熟悉此技藝人士所知，0HT系統114以 及隔間之間0HT系統116包括高架式軌道，而軌道上 0503-A32460TWF/Jasonkung 8 200807603 OHT運輸車（vehicles)(未繪示）負責運輸來自設備112,或 者送到設備112的包含多個欲處理的晶圓的FOUP，且通 常經由倉儲（stocker)120。一包括升降機之跨樓層運輸系 統122係被用來實現FOUP的跨樓層傳送。 第1B圖顯不晶圓製造廠100中其中一個階段（例如 階段104)之運輸系統之簡化示意圖。如第1B圖所示，隔 間内OHT系統除了藉由超級公路116互連外，也被第二 OHT系統124所互連，其中第二OHT系統124包括軌道 126、128以及130。值得注意的是，從OHT系統124的 一點到另一點的FOUP運輸將慢於同一；F〇UP從超級公 路116的上述相同兩點間的傳輸，因為使用前者時，至 少必須行經部分較大的距離。如同以下將詳細描述，依 據本實施例，假設一 FOUP將被從晶圓製造廠1 〇〇中的 一位置132傳送到一位置134,若FOUP包含一高優先權 批次5例如一超級熱批（super hot lot)時，FOUP的隔間之 間運輸可透過超級公路116加以實現。相反地，若FOUP 未包含一高優先權批次時，FOUP的隔間之間運輪將透過 0HT系統124加以實現，此0HT系統124以下將視為外 部中心（outside bay)。 第2圖顯示一依據本發明實施例之包含一整合運輸 控制（ITC)系統201之工廠自動化系統200之區塊圖，其 可實現於第1圖所示之晶圓製造廠1〇〇中。相應於一個 FOUP將被從晶圓製造廠100裡的一目的傳送到另一目的 的決定，一製造執行系統202用來決定此目的，並產生 0503-A32460TWF/Jasonkung 9 200807603 一傳送請求到一包括一物料控制系統(MCS)206以及一自 動化物料搬運系統（AMHS) 208的運輸系統204。如第2 圖所示，AMHS 208包含數個控制模組，共同以一參考號 碼209表示。依據本實施例，整合運輸控制（11^)系統201 包括一與一核心（kernel)212連接之整合派遣引擎210。核 心212包括一控制單元214以及一資料槽（po〇l)216。如 同以下將詳細描述，控制單元214包含一超級熱批/控制 晶圓流量控制（“SHL/CWTC”)單元218、一極大晶圓製造 廠（Giga fab)運輸控制（GTC)單元222，以及一運輪許可控 制（TAC)224。資料槽216包含AMHS即時資料226、AMHS 靜態資料228以及產品批次財產資料230。 如前述，整合運輸控制（ITC)系統的一方面係為 SHL/CWTC單元218。SHL/CWTC單元218的目的係$ 以減少超級公路116 (第1A圖與第1B圖）上的流量。 於一實施例中，可利用靜態流量控制技術以強制使用隔 間之間（interbay)OHT系統、或外部中心124 (第1A圖與 第1B圖）來實現包括控制晶圓（control wafer，CW)批次 的F0UP之傳送。此更可藉由即時流量控制技術的使用 以強制於超級公路Π 6的流量符合或超過其流量規格白勺 流量（例如多於16個傳送作業）時，使用外部中心124傳 送，並用以拒絕會造成外部中心124的流量符合或超過 其流量規格（例如多於28個傳送作業）的流量。 第3圖顯示依據一實施例之SHL/CWTC單元218之 操作流程圖。首先，於步驟300，開始一傳送作業。相應 0503-A32460TWF/Jasonkung 10 於此傳送作業的開始，於 關於一超級熱批。此處所用a一 ，判斷是否此傳送係有 級優先權的—批次。超級埶之一 1 超級熱批，，係為具有頂 是移動至任何細㈣面:、：:：=製程工具的入口總 關，執行步驟302，判齡θ又。又傳迗係與一超級熱批無 (cw)批次。若否，執行步：否二送係5,-控制晶圓 於一特定模組。若否，/ 判斷是否傳送係有關 上是否交通壅塞-步驟3m，判斷超級公路… 公路116上有多/㈣中’交通S塞係定義為超級 路η 6上交通壅夷日士 :的傳送作業。假設判斷出超級公 業係為—，，到設執=驟地，判斷是否此傳送作 中心以上是否交通奎χ右疋，亍步驟烟，判斷外部 上的交通產塞俜定^^ ° —實施例中’外部中心以 送作業。’、㊉為外部中心、124控制超過28個的傳 若於步驟306中的幻I a 、 為否，執行步驟、1為否或於步驟3⑽中的判斷 轨仃』31〇,將傳送作 似地，若於步驟304中 Ν中'“24。類 傳送作業導向超級公路116H否’執行步驟312，將 後，接著執行步驟 6；_在步^ 310或步驟犯完成 中的判斷為否或者於诗#此傳达作業。若於步驟306 驟训，拒絕此中的判斷為是時，執行步 斷係驟301':°2、3°3以*3°6的判 、、办定卿七 丁/、統202所提供的批次（lot)資訊來下 、疋”員似地’步驟304以及遍的判斷係依據運輸系 0503-A32460TWF/Jas〇nkung 11 200807603 物料控制 統204所提供的流量資訊來下決定 系統(MCS)206。 如前述，整合運輸控制（ITC)系統2〇〇的另— =單=儒單元220的目的係用來減少= ^^启儲處於/不處於交通壅塞係定*洛a /刀鐘有超過4個作業傳送進入/出去倉儲別3哉為母 送作業關於傳送到一倉儲（“到 寸^ ’當傳 以維持與每個倉儲有關的傳送4::二其/標係用 一個倉儲具有4個或更多的傳送作業時，= = =;若 s tVil ! 广作：關於：一倉儲到設備的傳送(“來自倉儲。、二 守，則嘗試從最不忙碌的倉儲中選 鲈 、、迗） 此外，過程中禁止在接近地 ;：年:曰圓盒。 前述的每-過程係定義為靜態流量=:=送。 跨越衷置（例如倉銘、升降機⑽er))m=所有 2:’二由拒絕所有手動的倉健物的傳=;二4 220也貫現了即時流量控制。 早tl 第4圖顯示_依據—實施例之 流程圖。首先，於步驟400,接收到—個操作 的指令。接著，於步驟4 02，判斷是否社史^業到倉儲 到-地理鄰近的倉儲 =求的傳达作業係 儲中的傳送作業數量係大於/ = 404，判斷是否在倉 s 说/ η 、大於4。右於步驟404的立丨齡匕从 …步㈣6’ _是否請求的傳送係為= 〇503>A32460TWF/Jas〇nkung 12 200807603 送。若否，執行步驟408，找到一替代的倉儲，並接著到 步驟410，判斷是否在所有替代的倉儲上的傳送作業數量 係大於4。若是，執行步驟412，選取一個具有最少傳送 作業的倉儲；否則，於步驟414，將傳送作業移動到步驟 408所找到的替代的倉儲。在步驟412或步驟414完成 後，或者於步驟404的判斷為否時，執行步驟416，執行 傳送作業。類似地，若於步驟402的判斷為是或者於步 驟406的判斷為是時，執行步驟418，拒絕傳送作業。 值得注意的是，步驟402以及406的判斷係依據製 造執行系統202所提供的批次資訊來下決定。類似地， 步驟404、410以及412的判斷係依據運輸系統204所提 供的流量資訊來下決定；特別是，物料控制系統（MCS) 206 〇 如前述，整合傳輸控制（ITC)系統200的另一面係為 GTC單元222。GTC單元222的目的係用來減少跨樓層 傳送間發生的交通壅塞數量。一實施例中，可利用靜態 流量控制技術以平衡跨樓層裝置及其埠的使用負載來實 現上述目的。此外，也可在所有跨越裝置（例如倉儲、升 降機）上的傳送係大於4時，依據批次特性（例如虛擬 (dummy)以及群組（bank) FOUPs)，藉由限制不必要的跨樓 層運輸以及藉由選取一同樓層目的以防止使用跨樓層的 傳輸來實現上述目的。 第5圖顯示依據一實施例之一 GTC單元222之操作 流程圖。首先，於步驟500，接收到一個跨樓層/跨階段 0503-A32460TWF/Jasonkung 13 200807603 傳送作業請求。接著，於步驟502，判斷是否所有跨樓層 /跨階段裝置符合或超過其流量規格。一實施例中，若一 跨樓層/跨階段裝置所控制的傳送作業數量係大於4時， 此跨樓層/跨階段裝置係視為超過其流量規格。若於步驟 502的判斷為是，執行步驟504，判斷是否此傳送請求係 有關於一包含一虛擬（dummy)或一群組（bank)批次的 FOUP。若是，於步驟505，將傳送作業指向一同樓層倉 儲。若於步驟504的判斷為是，執行步驟506，判斷目的 類型。若步驟506判斷出目的係為一倉儲時，於步驟508, 將此傳送作業指向一同樓層倉儲。若步驟506判斷出目 的係為一設備時，於步驟510，將此傳送作業指向此特定 設備。若於步驟502的判斷為否或者於步驟510完成時， 執行步驟512，識別出具有最少傳送作業數量的裝置，並 接著到步驟514，識別出步驟512所識別出的裝置的埠。 在步驟505、508、或514完成後，執行步驟516，執行 此傳送作業。 值得注意的是，步驟504以及506的判斷係依據製 造執行系統202所提供的批次資訊來下決定。類似地， 步驟502、512以及514的判斷係依據運輸系統204所提 供的流量資訊來下決定；特別是，物料控制系統（MCS) 206。 上述說明提供數種不同實施例或應用本發明之不同 特性的實施例。實例中的特定元件以及製程係用以幫助 闡釋本發明之主要精神及目的，當然本發明不限於此。 0503-A32460TWF/Jas〇nkung 14 200807603 因此，雖然本發明已以較佳實施例揭露如上，然其 並非用以限定本發明，任何熟悉此項技藝者，在不脫離 本發明之精神和範圍内，當可做些許更動與潤飾，因此 本發明之保護範圍當視後附之申請專利範圍所界定者為 準。

0503-A32460TWF/Jas〇nkung 15 200807603 【圖式簡單說明】 第1A圖係顯示—依據本發明實施例之 製造廠之示意圖。 试木日日圓 第1B圖係顯示第u圖中所示之 射;:個階段之運輪系統之簡化示意圖。 圓衣以 » 2目_* —可實現—依據本發 運輸㈣系狀工廢自動化系統之區塊圖。]之正口 第圖係”、員不-依據第2圖所示之整合運輪控制李 統之：倉儲流量控制程序實施例之操作流程圖。 絲之：二圖係-不一依據第2圖所示之整合運輸控制系 路流量控制程序實施例之操作流程圖。 弟5圖係顯示—依據第2圖所示之整 統之一跨樓層運輸程序實施例之操作流_。系 【主要元件符號說明】 〜晶圓製造廠； 1〇2、104〜階段； 106、108〜樓;s · , 要曰， 110〜隔間； 112〜設備； _ 一 OHT〜南架式晶圓運輸； Π4〜隔間内高架式晶圓運輪系統； Π6〜超級公路； 120〜倉儲； 122〜跨樓層運輸系統； 124〜第二鬲架式晶圓運輸系統； 126、128、13〇〜軌道；132、134〜位置丨 爪〜整合運輪控制；〜工廄自動化系統； 0503-A32460TWF/Jas〇nkunc 16 200807603 201〜整合運輸控制系統； 202〜製造執行系統(MES); 204〜運輸系統；， 206〜物料控制系統(MCS); 208〜自動化物料搬運系統（AMHS); 209〜控制模組； 21〇〜整合派遣引擎； 212〜核心；

214〜控制單元； 216〜資料槽； 218〜超級熱批/控制晶圓流量控制（“8111^/0%1^，，)單 元； 220〜倉儲運輸控制（STC)單元； 222〜極大晶圓製造廠運輸控制（GTC)單元； 224〜運輸許可控制（TAC); 226〜AMHS即時資料； 228〜AMHS靜態資料； 230〜產品批次財產資料； 300、301、302、303、304、306、308、310、312、 314、316〜步驟； 400 、 402 、 404 、 406 、 408 、 410 、 412 、 414 、 416 、 418〜步驟； 500 、 502 、 504 、 505 、 506 、 508 、 510 、 512 、 514 、 516〜步驟。 0503-A32460TWF/Jasonkung 17

Claims (1)

1. 200807603 十、申請專利範圍： 1. 一種工廠自動化系統，適用於一晶圓製造廠（fab)， 該晶圓製造廠包括複數隔間（bay)，其中每一該等隔間包 括由一隔間内（intrabay)高架式晶圓運輸（OHT)系統互連 之複數製造設備，以及一第一隔間之間（interbay)高架式 晶圓運輸系統以及一第二隔間之間高架式晶圓運輸系統 用以互連該隔間内高架式晶圓運輸系統，該工廠自動化 系統包括： 一製造執行系統（MES)，用以提供關於該晶圓製造廠 内正被處理中之晶圓批次（lot)資訊； 一物料控制系統（MCS)，用以提供關於該晶圓製造廠 内之晶圓運輸之流置貧訊1，以及 一整合運輸控制（ITC)系統，用以回應一傳送請求， 利用該製造執行系統產生,之晶圓批次資訊以及該物料控 制系統產生之流量資訊，選取含有複數晶圓之一晶圓載 具（carrier)之一目的地以及到該選取目的地之一路徑。 2. 如申請專利範圍第1項所述之工廠自動化系統，其 中該整合運輸控制系統包括一超級熱批（super hot lot)控 制單元，用以減少該第一隔間之間高架式晶圓運輸系統 上的流量。 3. 如申請專利範圍第2項所述之工廠自動化系統，其 中該超級熱批控制單元包括由一群組選出之複數裝置， 該群組包含： 一第一防止裝置，用以防止經由該第一隔間之間高 0503-A32460TWF/Jasonkung 18 200807603 架式晶圓運輸系統之晶圓載具傳 括控制晶圓批次； /、中該晶圓载具包 門二ί二防止裝置’用以當符合或超過該第-P門之 間同木式晶圓運輸系統的流量 同日]之 ΚΗ ΗΒ ^ ^ χ L日守，防止經由該箆一 隔間之^架式晶圓運輸系統之傳送；以及田㈣ 一第三防止裝置，用以杏锌 門古加彳曰门 田付3或超過該第二隔間之 間冋木式晶圓運輸系統的流量 I同間之 p ee ^ ^ ^ 里規格時，防止經由該第二 隔間之間尚杀式晶圓運輪系統之傳送。 一 4·如申請專利範圍第J項所 甘 中嗜ΤΤΓ Φ 4 k ^ 、心丄掀自動化糸統，其 σ C更包括一倉儲（st〇cker)流量抻剎留一 m i xfe A ^ w r 里#工制單兀，用以減少 由；自或达到該晶圓製造廠 乂 交通壅塞(traffic^)。 4數讀所造成的部分 5.如申請專利範圍第 中兮会f ^ 4項所述之工削動化系統，其 T 口亥层错流I控制單元 群組之至少—者之裝置於由下列裝置所組成的 一限制裝置，用以將來自或送到每— 分傳送限制至—最大數H及 F 2絕裝置’用以拒絕所有送到該等倉儲之其中一 位L运’其中該倉儲係鄰近於該晶11載具之-預傳送 ^如申請專利範圍第】項所述之工薇自動化系統，其 制系統包括一極大晶圓製造薇，齡） 政月』工早兀，用以減少於跨樓層（cross-floor)傳送時所 發生的部分交通壅塞。 卞吓 °5〇3-A32460TWF/Jas〇nkung 19 200807603 請專利範圍第6項所述之工廠自動化系統，其 ㈣極大晶圓製造廠運輸控制單元更包括選自於由下列 衣置所組成的群組之至少一者之裝置· -平衡裝置’用以平衡跨樓層裝置及其埠之一使用 負載； 裝置，用以當在所有跨樓層裝置中依照批次 ^性之-最大傳送作業數超過—既定最大值時，限制跨 樓層運輸；以及 -替代裝置，用以當特定條件符合時，以一同樓層 目的替代一跨樓層目的。 制、二一種實曰現一工廠自動化系統之方法，適用於-晶圓 衣以廠，该晶圓製造廠包括複數隔間，其中每一該 間包括由-隔間内高架式晶圓運輪系統；連：制： 備，以及一第一隔間之間高架式晶圓運輪系統二 間之間尚架式晶圓運輸系統用以互連該隔間内高 -傳送請求，包括： 心關於-晶圓繼 由-製造執行系統_s)中得到關 批次（lot)資訊； 、·^味豕之 、旦由一物料控制系統（MCS)中得到關於該傳送請求之 流量資訊；以及 目的以 利用該批次資訊以及該流量資訊，以選取 及到该選取目的之一路控以完成該傳送妹长' 9·如申請專利範圍第8項所述之者 — 貝兄一工廠自動化 20 0503-A32460TWF/Jasonkung 200807603 系、、充之方法’其中該利用該批次 以選取該目的以及到該選取目的之該辭 下列步驟：叙之步私更包括 ，^傳达凊求係有關於—超級熱批之傳， 透過該第一 1¾ 夕p弓丄★ t 、、守，女排 隔間之間鬲架式晶圓運輸系統傳送； =該傳送請求係有關於—控制晶圓批次之傳 女排透過該第二隔間之間 ^ 5 及 <間间木式阳圓運輪系統傳送；以 ★若該傳送請求係有關於—特定模組之士 边過該第二隔間之間高牟^日 、、^t，女排 间回木式晶0運輸系統傳送。 •如申請專利範圍第9項所述之實 系統之方法，其中該利用 ' 廠自動化 丨、/、印而斗 批一人貝訊u及該流量眘邙， 运取该目的以及到該選取目的之該路徑 、: 下列步驟： < ^ ‘更包括 若該傳送請求係與一超級熱批、一 者一特定模組之傳送無關、該第—隔間:間==或 運輸系統上的流量已超過該第 ：：晶圓 輪系統之-限制、且該選取目 :㈣式晶圓運 一者時，域該傳送請求；轉_程設備之其中 若該傳送請求係舆-超級熱批、— 者一特定模組之傳送無關、該第-隔間：間；=:或 運輸系統上的流量已超過該第—隔間之二二=圓 J系統之該限制、該選取目的係為該製程:;㈡運 者、且該外部中心上的流量未超過該外部中 0503-A32460TWF/Jas〇nkung 21 200807603 時’安排透過該等隔間内高架 者傳送；以及 …木式曰曰因運輸系統之其中— 右㈣送請求係與—超級熱批、— 者—特⑽組之傳送無關、 ::加二人或 運輸系統上的流量已超過該第—隔=二晶圓 :系::r制、該選取目的係為該製 已超過該外部中心之該限制 11‘如申請專利範圍第8項所述之實現—工廠自動 :選中該利用該批次資訊以及該流量資訊， 下列步驟到該選取目的之該路徑之步驟更包括 限制來自或送到每一複數倉儲之部分傳送至一 數，·以及 取人 拒絕所有送到該等倉儲之其中一者之傳送，盆 倉儲係鄰近於該晶圓载具之一預傳送位置。 ’、 / 12.如申請專利範圍帛8項所述之實現-工廠自動化 糸統之方法，其中該利用該批次資訊以及該流量資訊， 以選取該目的以及到該選取目的之該路徑之步驟更包 下列步驟： 平衡跨樓層裝置及其埠之一使用負載； 當在所有跨樓層裝置中依照批次特性之 JAr ^ s 取人得运 邗菓數超過一既定最大值時，限制跨樓層運輪；以及 當特定條件符合時，以一同樓層目的替代—跨樓層 0503.A32460TWF/Jas〇nkune 22 200807603 ㈣* 廠自動化“，適用於-晶圓製造薇 H^aaS1製造廠包括複數_，其中每-該等隔間 = 隔，高架式日日日®運輪“互連之複數製造設 ，以及-弟—隔間之間高架式晶圓運輸系統以及一第 =之間高架式晶圓運輸系統用以互連該隔間内高架 式日日圓，輪系統，該工廠自動化系統包括：

   =貝5fl提供裝置’ S以提供關於該晶圓製造薇 内正被處理中之批次資訊； 第—貝Λ提供裝置，用以提供關於該晶圓製造廠 内之晶圓運輸之流量資訊；以及 一選取裝置’用以依據-傳送請求，利用該批次資 訊以及該流量資訊，選取包含複數晶圓之一晶圓載具之 一目的以及到該選取目的之一路徑。 如申請專利範圍第13項所述之工薇自動化系 統’其中该選取裝置包括一超級熱批控制單元，用以減 少該第-隔間之間高架式晶圓運輸系統上的流量。 15·如申請專利範圍第14項所述之1廠自動化系 統’其中該超級熱批控制單元包括選自於由下列裝置所 組成的群組之至少一者之裝置： -苐-防止裝置，用以防止經由該第一隔間之間 架式晶圓運輸系統之晶圓載具傳送，其中該晶圓載具 括控制晶圓批次 一第二防止裝置 用以當符合或超過該第-隔間之 0503-A32460TWF/Jasonkung 23 200807603 間高架式晶圓運輪系統的流量規袼時，# 隔間之間高架式晶圓運輸系統之傳送；以及、、'二由該弟一 間置，用以當符合或超過該第二隔間之 =木式運輸紐的流量規格時，防止經由 岡曰〗之間咼架式晶圓運輸系統之傳送。 、·先其中该坻取裝置更包括一倉儲 減少由來自或送到該晶圓製造廢内之複數=:、： 部分交通奎塞(traffic細）。 夂数层储所造成的 17.如巾料利職f 16項所述之丄 統，其中該倉儲流量控制單元包括 '、 組成的群組之至少一者之裝置:括、自於由下列裝置所 一限㈣置，肋將來自或送到每— 为傳送限制至一最大數；以及 。儲之邛 -拒絕裝置，用以拒絕所有送到該等 =送，其中該倉儲係鄰近於該晶圓載具之—預傳送 統 元 統 :如申請專利範圍第13項所述之工廠自動化李 用、中該選取裝置包括—極大晶圓製造廠運輸控制單 減少於跨樓層傳送時所發生的部分交通壅塞。 9.如申請專·㈣18項所述之 由下列I置所組成的群組之至少一者之裝置· 一平衡裝置，用以平衡跨樓層裝置及其埠之一使用 0503-A32460TWF/Jas〇nkung 24 200807603 負载之裘置； 一限制裴置，用以卷 特性之一最大傳送作業:在所有跨樓層裝置中依照抚次 樓層運輪之裝置；以及1超過—既定最大值時，限制跨 w η裝置 目的替代-跨樓層：：當特定條件符合時，以 層 20.如申請專利範圍第η項 統’其中該第-資訊提供裝置包括—製造執，自έ動化系 21·如申請專利範圍第13項所述之自、= 統’其中該第二資訊提供裝置包括—物料控化糸 0503-A32460TWF/Jasonkung 25