RU2008131791A - Способ нанесения покрытия на внутреннюю поверхность трубы - Google Patents
Способ нанесения покрытия на внутреннюю поверхность трубы Download PDFInfo
- Publication number
- RU2008131791A RU2008131791A RU2008131791/02A RU2008131791A RU2008131791A RU 2008131791 A RU2008131791 A RU 2008131791A RU 2008131791/02 A RU2008131791/02 A RU 2008131791/02A RU 2008131791 A RU2008131791 A RU 2008131791A RU 2008131791 A RU2008131791 A RU 2008131791A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- target
- magnetic field
- pipe
- electrodes
- coating
- Prior art date
Links
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Plasma Technology (AREA)
Abstract
1. Способ нанесения покрытия на внутреннюю поверхность трубы, включающий коаксиальное размещение в вакуумной камере электродов, в качестве одного из которых используют обрабатываемую трубу, а в качестве второго - мишень, длина которой не меньше длины обрабатываемой поверхности, инициирование вакуумного электрического разряда между электродами путем создания разности потенциалов и воздействие плазмы разряда на наружную поверхность мишени при наложении на разрядную зону скрещенного с электрическим магнитного поля, отличающийся тем, что магнитное поле создают пропусканием электрического тока через мишень или через мишень и проводник, расположенный в полости, выполненной в мишени. ! 2. Способ по п.1, отличающийся тем, что магнитное поле создают пропусканием переменного электрического тока.
Claims (2)
1. Способ нанесения покрытия на внутреннюю поверхность трубы, включающий коаксиальное размещение в вакуумной камере электродов, в качестве одного из которых используют обрабатываемую трубу, а в качестве второго - мишень, длина которой не меньше длины обрабатываемой поверхности, инициирование вакуумного электрического разряда между электродами путем создания разности потенциалов и воздействие плазмы разряда на наружную поверхность мишени при наложении на разрядную зону скрещенного с электрическим магнитного поля, отличающийся тем, что магнитное поле создают пропусканием электрического тока через мишень или через мишень и проводник, расположенный в полости, выполненной в мишени.
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что магнитное поле создают пропусканием переменного электрического тока.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2008131791/02A RU2390579C2 (ru) | 2008-08-04 | 2008-08-04 | Способ нанесения покрытия на внутреннюю поверхность трубы |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2008131791/02A RU2390579C2 (ru) | 2008-08-04 | 2008-08-04 | Способ нанесения покрытия на внутреннюю поверхность трубы |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2008131791A true RU2008131791A (ru) | 2010-02-10 |
| RU2390579C2 RU2390579C2 (ru) | 2010-05-27 |
Family
ID=42123446
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2008131791/02A RU2390579C2 (ru) | 2008-08-04 | 2008-08-04 | Способ нанесения покрытия на внутреннюю поверхность трубы |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2390579C2 (ru) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109735812B (zh) * | 2018-09-06 | 2021-02-26 | 中国科学院金属研究所 | 一种大长径比管件内腔磁控溅射设备和制备α-Ta涂层的方法 |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2039845C1 (ru) * | 1992-07-08 | 1995-07-20 | Институт сильноточной электроники СО РАН | Способ вакуумной обработки внутренней поверхности труб |
| RU2146724C1 (ru) * | 1998-07-01 | 2000-03-20 | Институт сильноточной электроники СО РАН | Способ нанесения композиционных покрытий |
| RU2217527C1 (ru) * | 2002-07-17 | 2003-11-27 | Алтайский государственный технический университет им. И.И.Ползунова | Ионно-лучевая установка выравнивания поверхности оксидных материалов |
| JP4621914B2 (ja) * | 2005-04-19 | 2011-02-02 | 国立大学法人 長崎大学 | 極細管内壁面のコーティング方法およびコーティング装置 |
| JP4693120B2 (ja) * | 2006-03-15 | 2011-06-01 | 国立大学法人 長崎大学 | 極細長軸体へのコーティング方法および極細長軸体へのコーティング装置 |
-
2008
- 2008-08-04 RU RU2008131791/02A patent/RU2390579C2/ru active
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| RU2390579C2 (ru) | 2010-05-27 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| RU2016129486A (ru) | Система и способ для лечения плазмой с использованием энергетической системы направленного диэлектрического барьерного разряда | |
| CA2905931C (en) | Microwave plasma spectrometer using dielectric resonator | |
| MX377148B (es) | Dispositivo y sistema de calentamiento inductivo para la generacion de aerosol. | |
| EA201791234A1 (ru) | Плазменный источник с полым катодом | |
| CL2014002921A1 (es) | Sistema de tratamiento de plasma y recubrimiento al vacio y tratamiento de superficies, comprende un mecanismo de plasma, un catado de magnetrón, un ánodos, una descarga de arco remoto, una cubierta de cátodos, una cubierta de ánodos, un sistema magnético, un suministro de energía de cátodo, y un suministro de energía de descarga de arco; método para recubrir un sustrato. | |
| AR095602A1 (es) | Sistema y método de recubrimiento de un sustrato | |
| RU2015128048A (ru) | Источник плазмы | |
| EA201100220A1 (ru) | Способ и установка для подготовки поверхности диэлектрическим барьерным разрядом | |
| EP2587519A3 (en) | Film formation apparatus and film formation method | |
| MY170814A (en) | Magnetron electrode for plasma processing | |
| RU2013134628A (ru) | Комбинированный ионный затвор и модификатор | |
| RU2008131791A (ru) | Способ нанесения покрытия на внутреннюю поверхность трубы | |
| WO2010062040A3 (ko) | 플라즈마 처리장치 및 플라즈마 안테나 | |
| TW200644031A (en) | Flat or substantially flat luminous structure | |
| RU2013116732A (ru) | Устройство для электропитания компонента в системе выпуска отработавшего газа | |
| WO2010120079A3 (ko) | 플라스마 표면 처리 장치 및 방법 | |
| MX360902B (es) | Proceso y dispositivo para generar un plasma energizado mediante una energia de microondas en el campo de una resonancia ciclotronica electronica (rce) para ejecutar un tratamiento de superficie o aplicar un recubrimiento alrededor de un componente filiforme. | |
| EA201492247A1 (ru) | Устройство и способ предотвращения повреждения подложки в плазменной установке, в которой применяют dbd | |
| RU2012100143A (ru) | Генератор высокочастотного излучения на основе разряда с полым катодом | |
| WO2010001036A3 (fr) | Dispositif générateur d'ions à résonance cyclotronique électronique | |
| RU2013123637A (ru) | Способ образования каналов на катоде в несамостоятельном дуговом разряде | |
| EA200601832A1 (ru) | Способ ионной обработки поверхности диэлектрика и устройство для осуществления способа | |
| RU2402637C2 (ru) | Устройство для нанесения покрытия на внутреннюю поверхность трубы | |
| RU2634534C2 (ru) | Устройство для нанесения покрытий в вакууме | |
| RU2010127142A (ru) | Способ локального нагрева участка поверхности катода |