JP2023031680A - 切削装置 - Google Patents

Abstract

【課題】加工点後方への切削水の連れ周りを抑制し、加工点に効率良く切削水を供給できる切削装置を提供すること。【解決手段】切削装置は、被加工物を保持する保持テーブルと、保持テーブルに保持された被加工物を切削する切削ブレード２１を有する切削ユニット２０と、切削ブレード２１に切削水を供給する切削水供給ノズルと、を備える。切削ブレード２１は、円形基台６１と、円形基台６１の外縁に形成された切り刃部６２とを含み、切削ユニット２０は、回転可能なスピンドル２２の回転軸に固定された固定フランジ７１と、固定フランジ７１との間に切削ブレード２１を挟持するナット７２と、を含み、固定フランジ７１と、円形基台６１と、ナット７２と、の少なくともいずれかの外周９２，９３，９１，９４に、凹凸９９が形成されることを特徴とする。【選択図】図５

Description

本発明は、切削ブレードによって被加工物を加工する切削装置に関する。

切削ブレードによって被加工物を切削する切削装置において、加工点に直接切削水を供給することが難しい場合、加工点の手前で切削ブレードに切削水を供給し、切削ブレードの回転によって加工点に切削水を供給する切削装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。

特開２０１０－０４２４９０号公報

しかし、切削ブレードの回転に連れ回って切削水が加工点を通過してしまい、加工点に効率的に切削水が供給されず加工点の冷却や洗浄効果が低くなるという問題があった。また、加工点を通過した切削屑を含む切削水が切削ブレードの上方まで連れ回って切削ブレードの上方から垂れてしまうと、汚れが被加工物に再付着する恐れがあった。

本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、加工点後方への切削水の連れ周りを抑制し、加工点に効率良く切削水を供給できる切削装置を提供することである。

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の切削装置は、被加工物を保持する保持テーブルと、該保持テーブルに保持された被加工物を切削する切削ブレードを有する切削ユニットと、該切削ブレードに切削水を供給する切削水供給ノズルと、を備え、該切削ブレードは、円形基台と、該円形基台の外縁に形成された切り刃部とを含み、該切削ユニットは、回転可能なスピンドルの回転軸に固定された固定フランジと、該固定フランジと、の間に該切削ブレードを挟持するナットと、を含み、該固定フランジと、該円形基台と、該ナットと、の少なくともいずれかの外周に、凹凸が形成されることを特徴とする。

また、上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の切削装置は、被加工物を保持する保持テーブルと、該保持テーブルに保持された被加工物を切削する切削ブレードを有する切削ユニットと、該切削ブレードに切削水を供給する切削水供給ノズルと、を備え、該切削ブレードは、切り刃部を有し、該切削ユニットは、回転可能なスピンドルの回転軸に固定された固定フランジと、該固定フランジとの間に該切削ブレードを挟持する押さえフランジと、該押さえフランジと、該切削ブレードと、を該固定フランジに固定するナットと、を含み、該固定フランジと、該押さえフランジと、該ナットと、の少なくともいずれかの外周に、凹凸が形成されることを特徴とする。

本発明は、加工点後方への切削水の連れ周りを抑制し、加工点に効率良く切削水を供給できる。

図１は、実施形態１に係る切削装置の構成例を示す斜視図である。 図２は、図１の切削ユニットの要部を示す分解斜視図である。 図３は、図１の切削水供給ノズルの要部を示す斜視図である。 図４は、図１の切削ユニットの要部の第１例を示す正面図である。 図５は、図１の切削ユニットの要部の第１例を示す断面図である。 図６は、図１の切削ユニットの要部の第２例を示す正面図である。 図７は、図１の切削ユニットの要部の第２例を示す断面図である。 図８は、図１の切削ユニットの要部の第３例を示す正面図である。 図９は、図１の切削ユニットの要部の第３例を示す断面図である。 図１０は、実施形態２に係る切削装置の切削ユニットの要部を示す分解斜視図である。 図１１は、図１０の切削ユニットの要部の第４例を示す正面図である。 図１２は、図１０の切削ユニットの要部の第４例を示す断面図である。 図１３は、図１０の切削ユニットの要部の第５例を示す正面図である。 図１４は、図１０の切削ユニットの要部の第５例を示す断面図である。 図１５は、実施形態１に係る切削装置の作用効果を説明する図である。

本発明を実施するための形態（実施形態）につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換又は変更を行うことができる。

〔実施形態１〕
本発明の実施形態１に係る切削装置１を図面に基づいて説明する。図１は、実施形態１に係る切削装置１の構成例を示す斜視図である。図２は、図１の切削ユニット２０の要部を示す分解斜視図である。図３は、図１の切削水供給ノズル３０の要部を示す斜視図である。切削装置１は、図１に示すように、保持テーブル１０と、切削ユニット２０と、切削水供給ノズル３０と、移動ユニット４０と、制御ユニット５０と、を備える。

実施形態１において、切削装置１が加工する加工対象である被加工物１００は、例えば、シリコン、サファイア、シリコンカーバイド（ＳｉＣ）、ガリウムヒ素などを母材とする円板状の半導体デバイスウエーハや光デバイスウエーハなどである。被加工物１００は、図１に示すように、平坦な表面１０１の格子状に形成される複数の分割予定ライン１０２によって区画された領域にデバイス１０３が形成されている。被加工物１００は、実施形態１では、表面１０１の裏側の裏面１０４に粘着テープ１０５が貼着され、粘着テープ１０５の外縁部に環状フレーム１０６が装着されているが、本発明ではこれに限定されない。また、本発明では、被加工物１００は、樹脂により封止されたデバイスを複数有した矩形状のパッケージ基板、セラミックス板、又はガラス板等でも良い。

保持テーブル１０は、凹部が形成された円板状の枠体と、凹部内に嵌め込まれた円板状の吸着部と、を有する。保持テーブル１０の吸着部は、ポーラス状のポーラスセラミック等から形成され、図示しない真空吸引経路を介して図示しない真空吸引源と接続されている。保持テーブル１０の吸着部の上面は、被加工物１００が載置されて、載置された被加工物１００を吸引保持する保持面１１である。保持面１１は、実施形態１では、被加工物１００が表面１０１を上方に向けて載置され、載置された被加工物１００を裏面１０４側から粘着テープ１０５を介して吸引保持する。保持面１１と保持テーブル１０の枠体の上面とは、同一平面上に配置されており、水平面であるＸＹ平面に平行に形成される。保持テーブル１０は、移動ユニット４０のＸ軸移動ユニット４１により水平方向に平行なＸ軸方向に移動自在で、不図示の回転駆動源により鉛直方向であり保持面１１に対して垂直なＺ軸方向と平行な軸心周りに回転自在に設けられている。

切削ユニット２０は、図２及び図３に示すように、切削ブレード２１と、スピンドル２２と、スピンドルハウジング２３と、マウントユニット２４と、ブレードカバー２５と、を備える。スピンドル２２は、水平方向に平行でＸ軸方向に直交するＹ軸方向と平行な軸心回りに回転可能に設けられており、スピンドル２２の基端部に連結された不図示のモータにより軸心回りに、前方（図２に示す－Ｙ方向）から後方（図２に示す＋Ｙ方向）に向かって見て時計回り（図３の矢印方向）に回転する。スピンドル２２は、先端の外周が、先端（図２に示す－Ｙ方向）に向かうにしたがって徐々に外径が縮小するようにテーパ状に形成されている。スピンドル２２は、先端にマウントユニット２４を介して切削ブレード２１が装着される。

切削ブレード２１は、実施形態１では所謂ハブブレードであり、図２に示すように、中央に装着穴６３が形成された円盤状の円形基台６１と、円形基台６１の外縁に形成され、円形基台６１の外縁から突出する環状の切り刃部６２とを含む。切削ブレード２１は、装着穴６３でマウントユニット２４を介してスピンドル２２の先端に装着され、回転軸となるスピンドル２２により前方から後方に向かって見て時計回りに回転されることで被加工物１００を切削する。円形基台６１は、例えば、アルミニウム合金などの金属から構成される。切り刃部６２は、例えば、ダイヤモンドやＣＢＮ（Cubic Boron Nitride）等の砥粒と、金属や樹脂等のボンド材（結合材）とからなり所定厚みに形成されている。

スピンドルハウジング２３は、スピンドル２２の先端を露出させ、かつ、先端を除く部分を収容することで、スピンドル２２が挿通されている。スピンドルハウジング２３は、スピンドル２２を軸心回りに回転可能に支持する。

マウントユニット２４は、実施形態１では、図２に示すように、固定フランジ７１と、ナット７２と、ネジ７３と、を含む。固定フランジ７１は、前後方向（図２に示すＹ軸方向）に伸長する円柱状のボス部８１と、ボス部８１の後方側からボス部８１の径方向外向きに突出して一体的に形成された円板状のフランジ部８２と、フランジ部８２のさらに後方側に突出して一体的に形成された円筒部８３と、を備える。固定フランジ７１は、ボス部８１と、フランジ部８２と、円筒部８３とが、それぞれの中心軸が互いに重なり、この中心軸がＹ軸方向に沿って配されている。

固定フランジ７１は、ボス部８１、フランジ部８２及び円筒部８３にわたって、内側に装着穴８４が形成されている。装着穴８４は、基端（図２に示す＋Ｙ方向）側が、先端に向かうにしたがって徐々に内径が縮小するようにテーパ状に形成されており、スピンドル２２の先端の外周に隙間なく嵌め合わせされる。固定フランジ７１は、ネジ７３を装着穴８４に挿入して、スピンドル２２の回転軸の先端に形成されたネジ穴２７に螺合して締め付けることにより、スピンドル２２の回転軸の先端に固定される。

ボス部８１は、切削ブレード２１が後方側の面６７側から装着される。ボス部８１は、具体的には、図２に示すように、切削ブレード２１の円形基台６１の装着穴６３に後方側の面６７側から挿入される。ナット７２は、中央に形成された装着穴の内周に形成されたネジ溝が、切削ブレード２１が装着されたボス部８１の外周面８５の先端に形成されたネジ溝８８に螺合されて締め付けられる。このように、ナット７２は、固定フランジ７１との間に切削ブレード２１を軸心方向に沿って挟持して、固定フランジ７１とともに切削ブレード２１をスピンドル２２の先端に固定する。

ナット７２の後方側の面８６は、装着された切削ブレード２１の前方側の面６６と対向し、ナット７２は面８６で切削ブレード２１の前方側の面６６を支持する。また、フランジ部８２の前方側の面８７は、装着された切削ブレード２１の後方側の面６７と対向し、フランジ部８２は面８７で切削ブレード２１の後方側の面６７を支持する。また、ボス部８１の外周面８５は、装着された切削ブレード２１の円形基台６１の装着穴６３の内周側の面と対向し、ボス部８１は外周面８５で切削ブレード２１の円形基台６１の装着穴６３の内周側の面を支持する。

ブレードカバー２５は、スピンドルハウジング２３の先端側に装着されており、スピンドル２２の先端に装着された切削ブレード２１の上方、前方及び後方を覆う。ブレードカバー２５は、内部に複数の水路が形成されており、図３に示すように、複数の水路の上側の他端には不図示の切削水供給源が接続されている。切削水供給源が供給する切削水は、例えば純水である。

切削水供給ノズル３０は、図３に示すように、ノズル３１と、ノズル３２と、ノズル３３とを備える。ノズル３１、ノズル３２及びノズル３３は、それぞれ、ブレードカバー２５の内部に形成された各水路の下側の一端に設けられている。

ノズル３１は、図３に示すように、不図示の切削水供給源からブレードカバー２５内に形成された水路を通して供給される切削水を切削ブレード２１の切り刃部６２の側方部分に供給するブレードクーラーノズルである。ここで、切り刃部６２の側方部分は、切り刃部６２の側面のうち、加工点の近くを通過している部分である。また、加工点は、被加工物１００において回転中の切削ブレード２１により切削加工されている領域のことを指し、回転中の切削ブレード２１と被加工物１００とが接触している領域である。

ノズル３２は、不図示の切削水供給源からブレードカバー２５内に形成された水路を通して供給される切削水を切削ブレード２１の切り刃部６２の前方部分に供給するシャワーノズルである。ここで、切り刃部６２の前方部分とは、回転方向に沿って加工点の前方（手前）を通過している切り刃部６２の外周面及び側面の部分である。

ノズル３３は、不図示の切削水供給源からブレードカバー２５内に形成された水路を通して供給される切削水を切削ブレード２１の切り刃部６２より前方の被加工物１００上に供給するスプレーノズルである。

スピンドルハウジング２３は、保持テーブル１０に保持された被加工物１００に対して、移動ユニット４０のＹ軸移動ユニット４２によりＹ軸方向に移動自在に設けられ、かつ、移動ユニット４０のＺ軸移動ユニット４３によりＺ軸方向に移動自在に設けられている。スピンドルハウジング２３により回転可能に支持されたスピンドル２２、スピンドル２２の先端に装着された切削ブレード２１、スピンドルハウジング２３の先端側に装着されたブレードカバー２５、及び、ブレードカバー２５に設けられた切削水供給ノズル３０のノズル３１，３２，３３は、スピンドルハウジング２３とともに移動する。

切削装置１は、移動ユニット４０によりスピンドル２２の先端に装着された切削ブレード２１を保持テーブル１０に保持された被加工物１００に対して所定の位置にセットし、ノズル３１，３２，３３により切削水を供給し、かつ、切削ブレード２１を回転させながら被加工物１００に対して分割予定ライン１０２に沿って相対的に移動させることにより、切削ブレード２１で被加工物１００を分割予定ライン１０２に沿って切削加工する。切削装置１は、ノズル３２により切削ブレード２１の前方部分、すなわち回転方向に沿って加工点の前方（手前）に供給した切削水を、切削ブレード２１の前方から後方に向かって見て時計回りの回転によって加工点に向けて導く。

制御ユニット５０は、切削装置１の各構成要素の動作を制御して、切削ユニット２０による切削加工処理を切削装置１に実施させる。制御ユニット５０は、実施形態１では、コンピュータシステムを含む。制御ユニット５０が含むコンピュータシステムは、ＣＰＵ（Central Processing Unit）のようなマイクロプロセッサを有する演算処理装置と、ＲＯＭ（Read Only Memory）又はＲＡＭ（Random Access Memory）のようなメモリを有する記憶装置と、入出力インターフェース装置とを有する。制御ユニット５０の演算処理装置は、制御ユニット５０の記憶装置に記憶されているコンピュータプログラムに従って演算処理を実施して、切削装置１を制御するための制御信号を、切削装置１の入出力インターフェース装置を介して切削装置１の各構成要素に出力する。

次に、本明細書は、実施形態１に係る切削装置１の要部である凹凸９９について説明する。実施形態１では、円形基台６１の外周９１と、固定フランジ７１のフランジ部８２及び円筒部８３のそれぞれの外周９２，９３と、ナット７２の外周９４と、の少なくともいずれかに、凹凸９９（図４～図９参照）が形成される。凹凸９９は、実施形態１では、図４、図６及び図８に示すように、凹凸９９が形成される外周の全周にわたって、連続して周方向に等間隔に配置された複数の凸部により形成されている。凹凸９９を構成する複数の凸部は、径方向に突出し、なおかつ、スピンドル２２の軸方向に、切削ブレード２１の切り刃部６２よりも厚い一定の厚みを有して形成される。凹凸９９を構成する凸部の径方向の長さと、スピンドル２２の軸方向の厚みとは、スピンドル２２の回転に伴って回転移動することにより、回転する切削ブレード２１及びマウントユニット２４によって作り出される前方から後方に向かって見て時計回りの周方向に沿った空気の流れを乱すことが可能な十分な長さと、厚みと、に形成される。このため、凹凸９９は、スピンドル２２の回転に伴って回転移動することで、回転する切削ブレード２１及びマウントユニット２４によって作り出される周方向に沿った空気の流れを乱すことにより、ノズル３２により加工点の前方に供給された切削水が切削ブレード２１の回転に連れ回ることを抑制する。

凹凸９９を構成する凸部は、径方向外側が周方向に沿って形成されたコの字状、すなわち矩形状であってもよいし、径方向外側に向かって尖った形状であってもよい。凹凸９９は、例えば、矩形状の複数の凸部が凸部の周方向の幅と同程度の間隔で周方向に配置されて構成された歯車形状であってもよいし、尖った形状の複数の凸部が一定のピッチで周方向に配置されて構成された鋸刃形状であってもよい。また、凸部は、１周にわたって所定の間隔で連続的に形成されてもよいし、１周にわたって形成されず、一部分、または複数箇所に部分的に形成されていてもよい。

次に、本明細書は、凹凸９９の具体的な様態である第１例、第２例及び第３例について説明する。図４は、図１の切削ユニット２０の要部の第１例を示す正面図である。図５は、図１の切削ユニット２０の要部の第１例を示す断面図である。図６は、図１の切削ユニット２０の要部の第２例を示す正面図である。図７は、図１の切削ユニット２０の要部の第２例を示す断面図である。図８は、図１の切削ユニット２０の要部の第３例を示す正面図である。図９は、図１の切削ユニット２０の要部の第３例を示す断面図である。

実施形態１に係る切削装置１の第１例は、図４及び図５に示すように、固定フランジ７１のフランジ部８２の外周９２と、ナット７２の外周９４とに、凹凸９９を形成したものである。第１例は、フランジ部８２の外周９２を階段状の二段となる形状に形成することで、切削ブレード２１の円形基台６１と、ナット７２と、切り刃部６２を挟んで図５の左右（図５に示す－Ｙ方向及び＋Ｙ方向、前後）対称な形状となり、切削ブレード２１の切り刃部６２を挟んで前後に対称に凹凸９９が形成できるようにしている。第１例は、図４に示すように、凹凸９９が形成された外周９２，９４の直径が等しく、外周９２，９４に形成されたそれぞれの凹凸９９が、スピンドル２２の軸方向（前後方向）に重なるように配置されている。また、第１例は、図５に示すように、外周９４に形成された凹凸９９と、切削ブレード２１の切り刃部６２と、外周９２に形成された凹凸９９とが、前後方向に等間隔に配置されている。このため、第１例は、スピンドル２２の回転時に、スピンドル２２とともに回転する切削ブレード２１及びマウントユニット２４が偏心しづらく、バランスを取りやすいものとなっている。

実施形態１に係る切削装置１の第２例は、図６及び図７に示すように、第１例において、切削ブレード２１の切り刃部６２より後方側に形成する凹凸９９、すなわち固定フランジ７１のフランジ部８２の外周９２に形成する凹凸９９の位置を、切削ブレード２１の切り刃部６２に近付けるように変更したものである。第２例は、第１例よりも切り刃部６２より後方側の凹凸９９が切削ブレード２１の切り刃部６２に近付けられたことにより、この凹凸９９による切削水が切削ブレード２１の回転に連れ回ることを抑制する作用が第１例よりも高められる。

第２例は、図６に示すように、凹凸９９が形成された外周９２，９４の直径が異なり、外周９２，９４に形成されたそれぞれの凹凸９９が、スピンドル２２の軸方向（前後方向）に重ならないように配置されている。また、第２例は、図７に示すように、外周９４に形成された凹凸９９と、切削ブレード２１の切り刃部６２と、外周９２に形成された凹凸９９とが、異なる直径で形成されている。このように、第２例は、図６及び図７に示すように、固定フランジ７１のフランジ部８２の外周９２に形成される凹凸９９と、ナット７２の外周９４に形成される凹凸９９とが切削ブレード２１の切り刃部６２を挟んで前後に非対称に形成されている。このような第２例は、切削ブレード２１の円形基台６１やマウントユニット２４のうち凹凸９９が形成されていない部分を削ったり穴をあけたりする等して、スピンドル２２とともに回転する切削ブレード２１及びマウントユニット２４の偏心を防止し、バランスを取ることができる。

実施形態１に係る切削装置１の第３例は、図８及び図９に示すように、第２例において、切削ブレード２１の切り刃部６２より前方側のナット７２の外周９４に形成していた凹凸９９の位置を切削ブレード２１の円形基台６１の外周９１に形成するように変更したものである。第３例は、第１例及び第２例よりも、切り刃部６２より前方側の凹凸９９が切削ブレード２１の切り刃部６２に近付けられたことにより、この凹凸９９による切削水が切削ブレード２１の回転に連れ回ることを抑制する作用が第１例及び第２例よりも高められる。第３例は、第２例と同様に、２つの凹凸９９が切削ブレード２１の切り刃部６２を挟んで前後に非対称に形成されており、切削ブレード２１の円形基台６１やマウントユニット２４のうち凹凸９９が形成されていない部分を削ったり穴をあけたりする等して、スピンドル２２とともに回転する切削ブレード２１及びマウントユニット２４の偏心を防止し、バランスを取ることができる。

第１例～第３例は、いずれも、切削ブレード２１の切り刃部６２を挟んで前後の両側に凹凸９９が形成されているが、本発明ではこれに限定されず、切削ブレード２１の切り刃部６２の前後の片方側のみに凹凸９９が形成されてもよい。また、第１例～第３例は、いずれも、切削ブレード２１の切り刃部６２を挟んで前後の両側に１箇所ずつ凹凸９９が形成されているが、本発明ではこれに限定されず、切削ブレード２１の切り刃部６２の前後のいずれかの片方側に２箇所以上に凹凸９９が形成されてもよい。

以上のような構成を有する実施形態１に係る切削装置１は、円形基台６１の外周９１と、固定フランジ７１のフランジ部８２及び円筒部８３のそれぞれの外周９２，９３と、ナット７２の外周９４と、の少なくともいずれかに、凹凸９９が形成される。このため、実施形態１に係る切削装置１は、凹凸９９がスピンドル２２の回転に伴って回転移動することで、回転する切削ブレード２１及びマウントユニット２４によって作り出される周方向に沿った空気の流れを乱すことにより、ノズル３２により加工点前方に供給した切削水が加工点後方へ連れ周ることを抑制するため、加工点を通過した切削水が切削ブレード２１の上方から垂れてしまって被加工物１００に汚れが再付着する恐れを抑制できるとともに、加工点を通過して加工点後方に連れ回る切削水が減少することで、ノズル３２により供給した切削水を加工点に十分に効率良く供給できるという作用効果を奏する。

〔実施形態２〕
本発明の実施形態２に係る切削装置１－２を図面に基づいて説明する。図１０は、実施形態２に係る切削装置１－２の切削ユニット２０－２の要部を示す分解斜視図である。図１１は、図１０の切削ユニット２０－２の要部の第４例を示す正面図である。図１２は、図１０の切削ユニット２０－２の要部の第４例を示す断面図である。図１３は、図１０の切削ユニット２０－２の要部の第５例を示す正面図である。図１４は、図１０の切削ユニット２０－２の要部の第５例を示す断面図である。図１０～図１４は、実施形態１と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。

実施形態２に係る切削装置１－２は、実施形態１において、切削ユニット２０を切削ユニット２０－２に変更したものであり、その他の構成は同じである。切削ユニット２０－２は、図１０に示すように、切削ユニット２０において、切削ブレード２１を、環状の切り刃部６２を有し、円形基台６１を有さない所謂ハブレスブレードである切削ブレード２１－２に変更し、マウントユニット２４を、さらに押さえフランジ７４を含むように変更したものである。実施形態２では、固定フランジ７１のボス部８１、フランジ部８２及び円筒部８３やナット７２は、その各形状が、切削ブレード２１－２の形状等に合わせて変更されているが、その機能は実施形態１と同様である。

実施形態２では、ボス部８１は、図１０に示すように、切削ブレード２１－２の切り刃部６２の中央に形成された装着穴６３に後方側の面６７側から挿入される。実施形態２では、ボス部８１は、さらに、押さえフランジ７４の中央に形成された装着穴７６に後方側の面８９側から挿入される。実施形態２では、ナット７２は、中央に形成された装着穴の内周に形成されたネジ溝が、切削ブレード２１－２及び押さえフランジ７４が装着されたボス部８１の外周面８５の先端に形成されたネジ溝８８に螺合されて締め付けられる。このように、実施形態２では、ナット７２は、押さえフランジ７４と切削ブレード２１とを固定フランジ７１に固定して、押さえフランジ７４に固定フランジ７１との間に切削ブレード２１－２を軸心方向に沿って挟持させることにより、固定フランジ７１及び押さえフランジ７４とともに切削ブレード２１－２をスピンドル２２の先端に固定する。

実施形態２では、押さえフランジ７４の後方側の面８９は、装着された切削ブレード２１－２の前方側の面６６と対向し、押さえフランジ７４は面８９で切削ブレード２１－２の前方側の面６６を支持する。また、実施形態２では、ボス部８１の外周面８５は、装着された切削ブレード２１－２の切り刃部６２の装着穴６３の内周側の面と対向し、ボス部８１は外周面８５で切削ブレード２１－２の切り刃部６２の装着穴６３の内周側の面を支持する。また、実施形態１と同様に、フランジ部８２は面８７で切削ブレード２１－２の後方側の面６７を支持する。

実施形態２では、固定フランジ７１のフランジ部８２及び円筒部８３のそれぞれの外周９２，９３と、押さえフランジ７４の外周９５と、ナット７２の外周９４と、の少なくともいずれかに、実施形態１と同様の形状及び性質の凹凸９９（図１１～図１４参照）が形成される。

次に、本明細書は、実施形態２に係る切削装置１－２の要部である凹凸９９の具体的な様態である第４例及び第５例について説明する。実施形態２に係る切削装置１－２の第４例は、図１１及び図１２に示すように、固定フランジ７１のフランジ部８２の外周９２と、ナット７２の外周９４とに、凹凸９９を形成したものである。第４例は、固定フランジ７１のフランジ部８２の形状を、切り刃部６２を挟んで、押さえフランジ７４とナット７２の形状と図１２の左右対称になる形状に形成することで、第１例と同様に、切削ブレード２１の切り刃部６２を挟んで前後に対称に凹凸９９を形成することを可能としている。よって、スピンドル２２の回転時に、スピンドル２２とともに回転する切削ブレード２１及びマウントユニット２４のバランスを取りやすいものとなっている。

実施形態２に係る切削装置１－２の第５例は、図１３及び図１４に示すように、第４例において、切削ブレード２１の切り刃部６２より後方側にある固定フランジ７１のフランジ部８２の外周９２に形成していた凹凸９９の位置を、押さえフランジ７４の外周９５に形成するように変更したものである。

第５例は、第４例よりも凹凸９９が切削ブレード２１の切り刃部６２に近付けられたことにより、この凹凸９９による切削水が切削ブレード２１の回転に連れ回ることを抑制する作用が第４例よりも高められる。また、第５例は、第４例と同様に、固定フランジ７１の形状を、押さえフランジ７４の形状と、同様に形成することで、切削ブレード２１の切り刃部６２を挟んで前後に対称に凹凸９９を形成することを可能としている。よって、スピンドル２２の回転時に、スピンドル２２とともに回転する切削ブレード２１及びマウントユニット２４のバランスを取りやすいものとなっている。

以上のような構成を有する実施形態２に係る切削装置１－２は、実施形態１の切削装置１において、切削ブレード２１が円形基台６１を有さない切削ブレード２１に変更し、マウントユニット２４がさらに押さえフランジ７４を含むように変更し、凹凸９９を形成する位置の候補の１つである円形基台６１の外周９１を押さえフランジ７４の外周９５に変更したものである。このため、実施形態２に係る切削装置１－２は、実施形態１と同様の作用効果を奏するものとなる。

次に、本発明の発明者は、実施形態１に係る切削装置１の作用効果を確認した。図１５は、実施形態１に係る切削装置１の作用効果を説明する図である。図１５は、作用効果を確認した際に得られた結果をまとめて示している。

図１５の「比較例」の右の欄は、実施形態１に係る切削装置１において凹凸９９が形成されていない従来相当の切削装置が、切削水を供給しながら、切削ブレードが装着されたスピンドルを回転させたときの切削水の様子を、模式図で示している。図１５の「実施例」の右の欄は、実施形態１に係る切削装置１の第１例が、切削水を供給しながら、切削ブレード２１が装着されたスピンドル２２を回転させたときの切削水の様子を、模式図で示している。

図１５に示すように、凹凸が形成されていない従来相当の切削装置では、多くの水量の切削水が切削ブレードの回転にしたがって切削ブレードの上方まで連れ回ってしまい、加工点に留まって加工点における切削ブレードや被加工物の洗浄や冷却の効果を発揮する切削水の流量が少なくなることが確認された。一方で、凹凸９９が形成された実施形態１に係る切削装置１の第１例では、従来と比較して切削ブレード２１の回転にしたがって連れ回る切削水の水量が大きく低減され、切削水の多くが加工点に供給されて加工点における切削ブレード２１や被加工物１００の洗浄や冷却の効果を発揮する切削水の流量が多くなり、切削水は被加工物１００の上面（表面１０１）に沿って排出されることが確認された。これにより、図１５に示す実施例では、固定フランジ７１のフランジ部８２の外周９２と、ナット７２の外周９４とに、凹凸９９を形成することにより、ノズル３２により加工点前方に供給した切削水が加工点後方へ連れ周ることを抑制し、ノズル３２により供給した切削水を加工点に効率良く供給できることが明らかになった。

また、図１５では、第１例に従って凹凸９９を形成したものを示したが、第２例や第３例など、その他の凹凸９９を形成した場合でも、図１５に示す例と同様の傾向の、ノズル３２により加工点前方に供給した切削水が加工点後方へ連れ周ることを抑制し、ノズル３２により供給した切削水を加工点に効率良く供給できるという結果が得られた。

また、実施形態２に係る切削装置１－２についても、凹凸が形成されていない従来相当の切削装置と、凹凸９９が形成された実施形態２に係る切削装置１－２の第４例や第５例とを、実施形態１と同様の比較をしたところ、実施形態１と同様に、凹凸９９を形成することにより、ノズル３２により加工点前方に供給した切削水が加工点後方へ連れ周ることを抑制し、ノズル３２により供給した切削水を加工点に効率良く供給できるという結果が得られた。

なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではない。即ち、本発明の骨子を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。

１，１－２ 切削装置
１０ 保持テーブル
２０，２０－２ 切削ユニット
２１，２１－２ 切削ブレード
２２ スピンドル
２４ マウントユニット
３０ 切削水供給ノズル
３１，３２，３３ ノズル
６１ 円形基台
６２ 切り刃部
７１ 固定フランジ
７２ ナット
７４ 押さえフランジ
９１，９２，９３，９４，９５ 外周
９９ 凹凸
１００ 被加工物

Claims (2)

1. 被加工物を保持する保持テーブルと、
   該保持テーブルに保持された被加工物を切削する切削ブレードを有する切削ユニットと、
   該切削ブレードに切削水を供給する切削水供給ノズルと、を備え、
   該切削ブレードは、円形基台と、該円形基台の外縁に形成された切り刃部とを含み、
   該切削ユニットは、
   回転可能なスピンドルの回転軸に固定された固定フランジと、該固定フランジと、の間に該切削ブレードを挟持するナットと、を含み、
   該固定フランジと、該円形基台と、該ナットと、の少なくともいずれかの外周に、凹凸が形成されることを特徴とする切削装置。
2. 被加工物を保持する保持テーブルと、
   該保持テーブルに保持された被加工物を切削する切削ブレードを有する切削ユニットと、
   該切削ブレードに切削水を供給する切削水供給ノズルと、を備え、
   該切削ブレードは、切り刃部を有し、
   該切削ユニットは、回転可能なスピンドルの回転軸に固定された固定フランジと、該固定フランジとの間に該切削ブレードを挟持する押さえフランジと、該押さえフランジと、該切削ブレードと、を該固定フランジに固定するナットと、を含み、
   該固定フランジと、該押さえフランジと、該ナットと、の少なくともいずれかの外周に、凹凸が形成されることを特徴とする切削装置。

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