JP2017058174A - リニアゲージ - Google Patents

Abstract

【課題】被測定物の表面形状や材質に応じて測定子の押付け力を調節できるリニアゲージを提供する。【解決手段】リニアゲージ１は、測定子１０に連結されるシャフト１１と、シャフト１１の側面１１０を囲繞して支持しシャフト１１の軸方向（±Ｚ方向）の移動を可能にするエアスライダ１２と、シャフト１１をその軸方向に移動させる移動手段１３と、目盛り１４０を有するスケール１４と、シャフト１１とエアスライダ１２とスケール１４と移動手段１３とを収容するケース２と、エアスライダ１２からケース２内に排気されるエアをケース２外へ排気させる排気口１６と、排気口１６から排気されるエアの排気量を調節する絞り弁１７とを備え、絞り弁１７によってケース２の内部空間の圧力を調節することにより、被測定物の表面形状や材質に応じて測定子１０の押付け力を調節する。【選択図】図１

Description

本発明は、被測定物の厚みを測定するリニアゲージに関する。

ウェーハなどの被加工物を研削する研削装置は、被加工物を保持する保持面を有するチャックテーブルと、チャックテーブルに保持された被加工物に研削を施す研削砥石を有する研削手段とを少なくとも備えており、チャックテーブルで被加工物を保持しながら研削手段によって被加工物の上面を所定の厚みに至るまで研削している。

被加工物を研削する際には、被加工物の厚みを監視する必要があり、例えば２つのリニアゲージを用いて被加工物の厚みを測定している。具体的には、一方のリニアゲージでチャックテーブルの上面高さを測定し、他方のリニアゲージで被加工物の上面高さを測定して、それぞれのリニアゲージで測定した測定値の差を被加工物の厚みとして算出している（例えば、下記の特許文献１を参照）。そして、被加工物が所定の厚みに達したら研削を終了している。

リニアゲージとしては、例えば直動式のリニアゲージとテコ式のリニアゲージとがある。直動式のリニアゲージを用いて加工中の被加工物の厚みを測定する場合、測定子が一端に接続されたシャフトが直動すると、研削屑を含んだ研削水がリニアゲージの機構内に浸入して研削屑がシャフトを支持する支持手段に挟まるなどの問題があり、テコ式のリニアゲージが用いられることがある。

一方、テコ式のリニアゲージを用いて被加工物の厚みを測定する場合には、支点と測定点との距離によって測定値を補正する必要があり面倒である。その点、直動式のリニアゲージであれば、シャフトとともに直動するスケールの目盛りを読み取るだけで被加工物の厚みを容易に検出できる（例えば、下記の特許文献２を参照）。

特開２００８−０７３７８５号公報 特開２０１１−１２３０２２号公報

しかし、上記のようなリニアゲージにおいては、測定子を被測定物に押付ける押付け力を調節することができないため、被測定物の表面形状や材質に応じて押付け力を調節することができない。そのため、例えば、研削加工前の被測定物の表面が凸凹面となっている場合は、凸凹面で測定子が飛び跳ねないように測定子を強く押し当てる必要がある。また、軟らかい材質の被測定物の厚みを測定する場合には、測定子が軟質の被測定物に埋まらないように測定子を弱く押し当てる必要がある。

本発明は、上記の事情に鑑みてなされたものであり、被測定物の表面形状や材質に応じて測定子の押付け力を調節できるようにすることに本発明の解決すべき課題がある。

本発明は、被測定物の表面の変位を測定するリニアゲージであって、先端を被測定物の表面に接触させる測定子と、該測定子に連結されるシャフトと、該シャフトを収容する筒の内側の支持面を該シャフトの側面に対面させ該支持面から該シャフトの側面に向けてエアを吹き付け該シャフトの側面と該支持面との間にエアを介在させ該シャフトを支持し該筒の上方と下方とからエアを排出させ該シャフトの軸方向の移動を可能にするエアスライダと、該シャフトに連結され該シャフトの軸方向の位置を検出するためのスケールと、該シャフトを軸方向に移動させる移動手段と、該シャフトと該エアスライダと該スケールと該移動手段とを収容するケースと、該エアスライダから該ケース内に排気されるエアを該ケース外へ排気させる排気口と、該排気口から排気される排気量を調節するバルブと、を備える。

上記移動手段は、シリンダとピストンとにより構成され、該ピストンを該シリンダから突き出す方向に移動させ上記シャフトを被測定物から離間させる方向に移動させるときの第１の力と、上記ケース内から該ケース外へ排気させるエアの排気量を調節することにより該ケース内の圧力を調節して該シャフトを突き出す方向に移動させる第２の力と、の力の差が被測定物に対する該シャフトの該測定子の押付け力を調節する調節機能を有する。

本発明にかかるリニアゲージは、先端を被測定物の表面に接触させる測定子と、測定子に連結されるシャフトと、シャフトの側面を囲繞して支持しシャフトの軸方向の移動を可能にするエアスライダと、シャフトをその軸方向に移動させる移動手段と、シャフトに連結されシャフトの軸方向の位置を検出するためのスケールと、シャフトとエアスライダとスケールと移動手段とを収容するケースと、エアスライダからケース内に排気されるエアをケース外へ排気させる排気口と、排気口から排気されるエアの排気量を調節するバルブとを備えるため、バルブによってケース内の圧力を調節することにより、シャフトの軸方向の動きを調節することができる。これにより、被測定物に対する測定子の押付け力を調節することができる。

また、上記リニアゲージでは、上記移動手段が、シリンダとピストンとにより構成され、ピストンをシリンダから突き出す方向に移動させ上記シャフトを被測定物から離間する方向に移動させるときの第１の力と、上記ケース内からケース外へ排気させるエアの排気量を調節することによりケース内の圧力を調節してシャフトを突き出す方向に移動させる第２の力と、の力の差が、被測定物に対する上記測定子の押付け力を調節する調節機能を有するため、被測定物の表面形状や材質に応じて、測定子の押付け力を調節して被測定物に押付けることができ、被測定物の厚みを正確に測定することができる。

リニアゲージの構成を示す斜視図である。 絞り弁の開閉により、ケース内の圧力を調節して測定子の押付け力を調節する状態を示す断面図である。 絞り弁を開けるとともに、移動手段によりシャフトを上昇させ、被測定物から測定子を退避させる状態を示す断面図である。 レギュレータでケース内の圧力設定を調節して測定子の押付け力を調節する状態を示す断面図である。 レギュレータでケース内の圧力設定を調節するとともに、移動手段によりシャフトを上昇させ、被測定物から測定子を退避させる状態を示す断面図である。 圧縮スプリングにより測定子が上昇した状態を示す断面図である。 圧縮スプリングを伸縮させ測定子の押付け力を調節する状態を示す断面図である。 引張スプリングにより測定子が上昇した状態を示す断面図である。 引張スプリングを伸縮させ測定子の押付け力を調節する状態を示す断面図である。

図１に示すリニアゲージ１は、被測定物の表面の変位を測定する直動式のリニアゲージの一例である。リニアゲージ１は、先端部１０ａを被測定物の表面に接触させる測定子１０と、一端が測定子１０に連結されるとともに他端が連結部材３に連結され鉛直方向（Ｚ軸方向）に延在するシャフト１１と、シャフト１１の側面１１０を囲繞して支持しシャフト１１の軸方向（±Ｚ方向）の移動を可能にするエアスライダ１２と、シャフト１１をその軸方向に移動させる移動手段１３と、連結部材３を介してシャフト１１に連結されシャフト１１の軸方向に平行な方向に延在する目盛り１４０を有するスケール１４と、シャフト１１とエアスライダ１２とスケール１４と移動手段１３とを収容するケース２と、シャフト１１の軸方向に平行な方向に移動しスケール１４の目盛り１４０を読み取り鉛直方向に移動するシャフト１１の位置を検知する検知手段１５と、エアスライダ１２からケース２内に排気されるエアをケース２外へ排気させる排気口１６と、排気口１６から排気されるエアの排気量を調節する絞り弁１７と、を備えている。

リニアゲージ１を構成するケース２は、図２に示す載置台４によって下方から支持されている。シャフト１１は、四角柱状に形成され、ケース２を貫通しており、シャフト１１の一端に連結された測定子１０がケース２の下面から下方に突出している。

シャフト１１の形状は、四角柱状に限られず、回転しない形状、すなわち円柱でない形状であればよい。したがって、多角柱でもよいし、楕円柱でもよい。また、シャフト１１の側面１１０のうち、一面のみが平らな面に形成され、他の面が曲面に形成された柱状でもよい。このように、シャフト１１の側面１１０のうち、少なくとも一面が平らな面で形成されていれば、シャフト１１が回転方向に動くのを規制することができる。

エアスライダ１２は、シャフト１１を収容する筒１２０を有しており、筒１２０は、ケース２の内側の載置面２ａ上に配設されている。筒１２０は、シャフト１１の形状に対応させて、シャフト１１を収容するための横断面四角形状の穴が形成されており、該穴にシャフト１１を挿通させてシャフト１１の周囲を支持できる構成となっている。また、筒１２０には、図２に示すように、シャフト１１の側面１１０から均等な間隔を設けて側面１１０に対面させる内側の支持面１２１と、支持面１２１からシャフト１１の側面１１０に向けてエアを吹き付ける複数の噴出口１２２と、図示しないエア供給源に接続された流入口１２３と、流入口１２３と各噴出口１２２とを連通させる流路１２４とを備える。支持面１２１は、シャフト１１の形状に対応して４つの平面状の面から構成されている。

エアスライダ１２では、筒１２０の支持面１２１をシャフト１１の側面１１０に対面させた状態で、支持面１２１の各噴出口１２２からシャフト１１の側面１１０に向けてエアを吹き付けて側面１１０と支持面１２１との間にエアを介在させシャフト１１を支持することできるとともに、筒１２０の上側排気口１２５と下側排気口１２６とから筒１２０内に流入したエアを排出させることにより、シャフト１１を軸方向（±Ｚ方向）に移動させることができる。

移動手段１３は、シャフト１１の近傍であって、ケース２の載置面２ａ上に配設されている。移動手段１３は、シリンダ１３０と、シリンダ１３０の内部においてシャフト１１の軸方向と平行な方向に移動するピストン１３１と、シリンダ１３０の内部にエアを流入させるための流入口１３２，１３３とを少なくとも備え、シャフト１１を軸方向に直動させることができる。

ここで、移動手段１３によって被測定物から離反する方向にシャフト１１を上昇させるときは、図示しないエア供給源が流入口１３２にエアを流入させてシリンダ１３０内にエアを供給することにより、シリンダ１３０の内部においてピストン１３１を上昇させる。そして、連結部材３にピストン１３１を接触させてからさらにピストン１３１を上昇させて連結部材３を上昇させることにより、連結部材３に連結されたシャフト１１を上昇させる。

一方、移動手段１３によってシャフト１１を被測定物に接近する方向に下降させるときは、図示しないエア供給源が流入口１３３にエアを流入させてシリンダ１３０内にエアを供給することにより、規制された速度でピストン１３１を下降させることにより、シャフト１１及びシャフト１１に連結される連結部材３の自重によってシャフト１１が下降する速度を制限することができる。そして、測定子１０の先端部１０ａが被測定物の上面に接触するまでシャフト１１を下降させる。

スケール１４は、図２に示すように、連結部材３の端部から垂下しており、シャフト１１の延在方向と平行に配設されている。検知手段１５は、ケース２の端部に接続されＺ軸方向に延在する支持板１５０と、支持板１５０の先端に配設された検知部１５１とを備えており、スケール１４の目盛り１４０と検知部１５１とが対面している。

排気口１６は、ケース２の上方側部に配設されている。排気口１６は、筒１２０の上側排気口１２５及び下側排気口１２６からケース２内に排気されるエアをケース２の外側へ排気させることができる。排気口１６には、排気口１６から排気されるエアの排気量を調節するバルブの一例として絞り弁１７が接続されている。なお、排気口１６の配設位置は、本実施形態に示した位置に限定されない。

絞り弁１７を絞ることにより、排気口１６から排気されるエアの排気量を減らしてケース２内の圧力を高くすることができ、絞り弁１７を開けることにより、排気口１６から排気されるエアの排気量を増やしてケース２内の圧力を低くすることができる。このようにして、ケース２の内部空間７における圧力を調節することにより、シャフト１１の軸方向の動きを調整して、被測定物に対する測定子１０の押付け圧力を調節することができる。このように構成されるリニアゲージ１は、例えば研削装置などの被測定物に研削加工を施す装置に搭載されて使用される。

次に、リニアゲージ１を用いて図２に示す被測定物６の厚みを測定する動作例について説明する。被測定物６は、ウエーハなどの被加工物の一例であり、特に限定されない。例えば、研削装置において被測定物６を研削加工する際には、保持テーブル５に被測定物６を保持させ、図示しない研削手段等によって被測定物６を所望の厚みに至るまで研削加工する。被測定物６の研削加工中は、リニアゲージ１を用いて被測定物６の厚みを常に測定して厚みの変化を監視する。研削加工には、被測定物を粗研削する粗研削と、粗研削された被測定物を仕上げ加工する仕上げ研削とが含まれており、以下では、粗研削時における被測定物の厚みを測定する場合について詳述する。

まず、図２に示すように、保持テーブル５に保持された被測定物６の上方にリニアゲージ１を位置付ける。次いで、移動手段１３は、シャフト１１を被測定物６に接近する−Ｚ方向に下降させる。このとき、エアスライダ１２の各噴出口１２２からシャフト１１の側面１１０に向けてエアを吹き付けることにより、シャフト１１の側面１１０と筒１２０の支持面１２１との間にエアを介在させシャフト１１を支持するとともに、側面１１０によってシャフト１１の回転方向の動きを規制する。

リニアゲージ１では、被測定物６の表面形状や材質に応じて、被測定物６に対する測定子１０の押付け力を調節する。この調節は、図２に示すように、ピストン１３１をシリンダ１３０から上方に突き出す方向（＋Ｚ方向）に移動させシャフト１１を被測定物６から離間させる矢印Ａ方向に作用する第１の力と、ケース２内から排気させるエアの排気量を調節することによりケース２の内部空間７の圧力を調節してシャフト１１をケース２の下面から下方に突き出す方向（−Ｚ方向）に移動させるときに矢印Ｂ方向に作用する第２の力との力の差Ｐを制御することにより行われる。すなわち、力の差Ｐが、測定子１０の押付け力の強弱を調節する調節機能を有する。力の差Ｐを大きくするほどシャフト１１を押下げて被測定物６に測定子１０を強く押付けることができ、力の差Ｐを小さくするほど被測定物６に測定子１０を弱く押付けることができる。

ここで、例えば、被測定物６の表面が凸凹面となっている場合は、図２に示すように、リニアゲージ１によって測定子１０の押付け力を強くする。具体的には、絞り弁１７を絞ることにより、排気口１６から排気されるケース２内のエアの排気量を減らして、ケース２の内部空間７における圧力を高くする。内部空間７の圧力が高まるにつれて矢印Ａ方向に作用する第１の力よりも、矢印Ｂ方向に作用する第２の力の方がより強くなる。このようにして生じる力の差Ｐを利用して、連結部材３とともにシャフト１１を降下させ、被測定物６に測定子１０を強く押付けることができる。このとき、測定子１０の先端部１０ａが被測定物６の凸凹面で飛び跳ねることはない。さらに、測定子１０を被測定物６に強く押付ける場合には、シリンダ１３０内に供給するエアを遮断してピストン１３１を下降させ連結部材３から離間させることにより、内部空間７内の高まった圧力で測定子１０を被測定物６に対して強く押付けることができる。

一方で、例えば、被測定物６が軟らかい材質で形成されている場合は、リニアゲージ１によって測定子１０の押付け力を弱くする。具体的には、絞り弁１７を開けることにより、排気口１６から排気されるケース２内のエアの排気量を増やして、ケース２の内部空間７における圧力を低くする。内部空間７の圧力が低くなるにつれて力の差Ｐが小さくなる。これにともない、測定子１０を被測定物６に対して弱く押付けることができる。このとき、軟らかい材質からなる被測定物６の表面に測定子１０の先端部１０ａが埋まることはない。

このように、リニアゲージ１で被測定物６の表面形状や材質に応じて、測定子１０の押付け力を調節しつつ、測定子１０の先端部１０ａで被測定物６に押付けたら、このときのスケール１４の目盛り１４０を検知部１５１が読み取り、その読み取った位置に基づいて、被測定物６の厚みを検出する。

被測定物６の厚みが所定値に達し測定を完了した後、図３に示すように、移動手段１３は、シャフト１１を被測定物６から離反する上方向（＋Ｚ方向）に上昇させる。具体的には、絞り弁１７を開くとともに、エア供給源が流入口１３２に所定のエアを流入させてシリンダ１３０内にエアを供給することにより、矢印Ａ方向の第１の力を矢印Ｂ方向の第２の力よりも大きくしてシリンダ１３０の内部においてピストン１３１を＋Ｚ方向に上昇させる。ピストン１３１を上昇させることにより連結部材３に接触させてさらに連結部材３を押し上げてシャフト１１を＋Ｚ方向に上昇させることにより、測定子１０の先端部１０ａを被測定物６から退避させる。

このように、本発明にかかるリニアゲージ１は、測定子１０に連結されるシャフト１１と、シャフト１１の側面１１０を囲繞して支持しシャフト１１の軸方向（±Ｚ方向）の移動を可能にするエアスライダ１２と、シャフト１１をその軸方向に移動させる移動手段１３と、目盛り１４０を有するスケール１４と、シャフト１１とエアスライダ１２とスケール１４と移動手段１３とを収容するケース２と、エアスライダ１２からケース２内に排気されるエアをケース２から排気させる排気口１６と、排気口１６から排気されるエアの排気量を調節する絞り弁１７とを備えるため、絞り弁１７によってケース２の内部空間７の圧力を調節することにより、シャフト１１の軸方向（±Ｚ方向）の動きを調節することができる。すなわち、シリンダ１３０からピストン１３１を突き出す矢印Ａ方向に作用する第１の力と、絞り弁１７でケース２の内圧を調節してケース２の下面からシャフト１１を突き出す矢印Ｂ方向に作用する第２の力との力の差Ｐを利用して、被測定物６に対する測定子１０の押付け力を調節することができる。これにより、被測定物６の表面形状や材質に応じた押付け力で測定子１０を被測定物６に押付けることができ、被測定物６の厚みを正確に測定することができる。

図４及び図５に示すリニアゲージ１ａは、リニアゲージの変形例であって、排気口１６にリリーフバルブ付きのレギュレータ１８が取り付けられたものである。リニアゲージ１ａでは、レギュレータ１８によって、ケース２の内部空間７を所望の圧力設定にすることができるとともに、リリーフバルブを通じてケース２内のエアを排気口１６から排気させることができる。なお、リニアゲージ１ａでは、上記絞り弁１７に替えてレギュレータ１８を備えた点以外は、上記リニアゲージ１の構成と同様である。

例えば、被測定物６の表面が凸凹面となっている場合は、図４に示すように、リニアゲージ１ａによって測定子１０の押付け力を強くする。具体的には、レギュレータ１８によって、排気口１６からリリーフバルブを通じて排気されるエアの排気量を減らして内部空間７の圧力を高めに設定する。レギュレータ１８の設定にしたがいケース２の内部空間７の圧力が高くなると、矢印Ａ方向に作用する第１の力よりも矢印Ｂ方向に作用する第２の力の方がより強くなる。これにともない生じる力の差Ｐを利用して、連結部材３とともにシャフト１１を降下させ、被測定物６に測定子１０を強く押付けることができる。

一方で、例えば、被測定物６が軟らかい材質で形成されている場合は、リニアゲージ１ａによって測定子１０の押付け力を弱くする。具体的には、レギュレータ１８によって、排気口１６からリリーフバルブを通じて排気されるエアの排気量を増やして内部空間７の圧力を低めに設定する。レギュレータ１８の設定にしたがいケース２の内部空間７の圧力を低くなると、力の差Ｐが小さくなり、測定子１０を被測定物６に対して弱く押付けることができる。

リニアゲージ１ａを用いて被測定物６の厚みを測定する動作及び移動手段１３で測定子１０を昇降させる動作は、上記リニアゲージ１と同様である。すなわち、リニアゲージ１ａで被測定物６の表面形状や材質に応じて、測定子１０の押付け力を調節しつつ、測定子１０の先端部１０ａで被測定物６に押付けたときのスケール１４の目盛り１４０を検知部１５１が読み取って被測定物６の厚みを検出する。被測定物６の厚みが所定値に達し測定を完了した後、図５に示すように、レギュレータ１８でケース２の内部空間７の圧力を低めに調節するとともに、移動手段１３は、シャフト１１を被測定物６から離反する上方向（＋Ｚ方向）に上昇させて、測定子１０の先端部１０ａを被測定物６から退避させる。

このように、リニアゲージ１ａは、排気口１６から排気されるエアの排気量を調節するレギュレータ１８を備えるため、レギュレータ１８によってケース２の内部空間７の圧力を所望の圧力設定にすることにより、シャフト１１の軸方向（±Ｚ方向）の動きを調節することができる。よって、リニアゲージ１と同様に、被測定物６の表面形状や材質に応じた押付け力で測定子１０を被測定物６に押付けることができ、被測定物６の厚みを正確に測定することができる。

本実施形態に示す移動手段１３は、シリンダ１３０内にエアを流入することによりピストン１３１を上昇させて連結部材３に接触させ、測定子１０を上昇させる構成となっているが、この構成に限定されず、例えば、図６に示すリニアゲージ１ｂのように、ケース２の載置面２ａに固定された圧縮スプリング１９０と、圧縮スプリング１９０に連結されたピストン１９１とにより構成される移動手段１９を用いてもよい。移動手段１９では、ケース２の内部空間７が常圧のときは、圧縮スプリング１９０の反発力によりピストン１９１を押上げて測定子１０が常に上昇した状態となっている。レギュレータ１８によってケース２の内部空間７の圧力を高くすることで、圧縮スプリング１９０の反発力よりも内部空間７の圧力が強くなると、図７に示すように、圧縮スプリング１９０が圧縮されて連結部材３とともにシャフト１１を降下させ、被測定物６に測定子１０を強く押付けることができる。被測定物６に測定子１０を弱く押付ける場合は、レギュレータ１８によりケース２の内部空間７の圧力を低めに調節して圧縮スプリング１９０の反発力が強くなるように調節すればよい。

また、例えば、図８に示すリニアゲージ１ｃのように、引張スプリング２００を有する移動手段２０を用いてもよい。移動手段２０は、引張スプリング２００の一端が連結部材３に連結されるとともに引張スプリング２００の他端がケース２の内側に連結された構成となっている。移動手段２０では、ケース２の内部空間７が常圧のときは、引張スプリング２００の反発力により連結部材３を引き上げ測定子１０が常に上昇した状態となっている。レギュレータ１８によってケース２の内部空間７の圧力を高くすることで、引張スプリング２００の反発力よりも内部空間７の圧力が強くなると、図９に示すように、引張スプリング２００が引っ張られて連結部材３とともにシャフト１１を降下させ、被測定物６に測定子１０を強く押付けることができる。被測定物６に測定子１０を弱く押付ける場合は、レギュレータ１８によりケース２の内部空間７の圧力を低めに調節して引張スプリング２００の反発力が強くなるように調節すればよい。

本実施形態では、粗研削時における被測定物６の厚みを測定する場合について説明したが、仕上げ研削を行う場合は、仕上げ研削後の被測定物６の表面に測定子１０の先端部１０ａの跡が残らないようにするために、リニアゲージ１，１ａ，１ｂまたは１ｃを用いて被測定物６に対する測定子１０の押付け力を弱めに調節することが好ましい。

１， １ａ，１ｂ，１ｃ：リニアゲージ ２：ケース ２ａ：載置面 ３：連結部材
４：載置台 ５：保持テーブル ６：被測定物 ７：内部空間
１０：測定子 １０ａ：先端部 １１：シャフト １１０：側面
１２：エアスライダ １２０：筒 １２１：支持面 １２２：噴出口
１２３：流入口 １２４：流路 １２５：上側排気口 １２６：下側排気口
１３ １３０：シリンダ １３１：ピストン １３２，１３３：流入口
１４：スケール １４０：目盛り １５：検知手段 １５０：支持板 １５１：検知部
１６：排気口 １７：絞り弁 １８：レギュレータ
１９：移動手段 １９０：圧縮スプリング １９１：ピストン
２０：移動手段 ２００：引張スプリング

Claims (2)

1. 被測定物の表面の変位を測定するリニアゲージであって、
   先端を被測定物の表面に接触させる測定子と、
   該測定子に連結されるシャフトと、
   該シャフトを収容する筒の内側の支持面を該シャフトの側面に対面させ該支持面から該シャフトの側面に向けてエアを吹き付け該シャフトの側面と該支持面との間にエアを介在させ該シャフトを支持し該筒の上方と下方とからエアを排出させ該シャフトの軸方向の移動を可能にするエアスライダと、
   該シャフトに連結され該シャフトの軸方向の位置を検出するためのスケールと、
   該シャフトを軸方向に移動させる移動手段と、
   該シャフトと該エアスライダと該スケールと該移動手段とを収容するケースと、
   該エアスライダから該ケース内に排気されるエアを該ケース外へ排気させる排気口と、
   該排気口から排気される排気量を調節するバルブと、を備えるリニアゲージ。
2. 前記移動手段は、シリンダとピストンとにより構成され、
   該ピストンを該シリンダから突き出す方向に移動させ前記シャフトを被測定物から離間させる方向に移動させるときの第１の力と、
   前記ケース内から該ケース外へ排気させるエアの排気量を調節することにより該ケース内の圧力を調節して該シャフトを突き出す方向に移動させる第２の力と、の力の差が被測定物に対する該シャフトの該測定子の押付け力を調節する調節機能を有する請求項１記載のリニアゲージ。

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