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JP2016110079A - Polarizer, manufacturing method of polarizer, and liquid crystal display device and image display device - Google Patents

Polarizer, manufacturing method of polarizer, and liquid crystal display device and image display device Download PDF

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JP2016110079A
JP2016110079A JP2015192554A JP2015192554A JP2016110079A JP 2016110079 A JP2016110079 A JP 2016110079A JP 2015192554 A JP2015192554 A JP 2015192554A JP 2015192554 A JP2015192554 A JP 2015192554A JP 2016110079 A JP2016110079 A JP 2016110079A
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JP
Japan
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polarizer
layer
metal
transparent
metal linear
Prior art date
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Pending
Application number
JP2015192554A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
祐一 宮崎
Yuichi Miyazaki
祐一 宮崎
洋一郎 大橋
Yoichiro Ohashi
洋一郎 大橋
増淵 暢
Noboru Masubuchi
暢 増淵
宇紘 舟津
Takahiro Funatsu
宇紘 舟津
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Dai Nippon Printing Co Ltd
Original Assignee
Dai Nippon Printing Co Ltd
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Publication date
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Abstract

【課題】ワイヤーグリッド型偏光子に関して、従来に比して量産性、耐摩耗性、作製精度を向上する。【解決手段】入射する電磁波の透過を偏光面に応じて制限する偏光子4において、偏光子4としての光学的機能を担う偏光層13を備え、前記偏光層13は、透過を制限する波長帯域の最短波長以下の線幅により金属材料による金属線状部11が、前記線幅の方向に離間して複数配置され、隣接する前記金属線状部11の間に、前記波長帯域の電磁波に対して透明の固体誘電体による透明固体誘電体部12が設けられる。厚み方向に係る前記金属線状部11の端面が、隣接する前記透明固体誘電体部12の端面より20nm以上突出している。【選択図】図2[PROBLEMS] To improve mass productivity, wear resistance, and manufacturing accuracy of wire grid polarizers as compared with conventional ones. A polarizer 4 for limiting the transmission of incident electromagnetic waves according to the plane of polarization includes a polarizing layer 13 having an optical function as the polarizer 4, and the polarizing layer 13 has a wavelength band for limiting transmission. A plurality of metal linear portions 11 made of a metal material with a line width equal to or shorter than the shortest wavelength are arranged apart from each other in the direction of the line width, and between adjacent metal linear portions 11 against electromagnetic waves in the wavelength band. A transparent solid dielectric portion 12 made of a transparent solid dielectric is provided. An end face of the metal linear part 11 in the thickness direction protrudes 20 nm or more from an end face of the adjacent transparent solid dielectric part 12. [Selection] Figure 2

Description

本発明は、ワイヤーグリッド型偏光子に関するものである。   The present invention relates to a wire grid polarizer.

従来、画像表示装置等では、偏光子を使用する構成が種々に提案されている。すなわち例えば、液晶表示装置では、透明電極を配置したガラス板により液晶材料を挟持して液晶セルが形成され、この液晶セルの両面に直線偏光板が配置されて液晶表示パネルが構成される。また近年、この液晶表示パネルの入射面(バックライト側面)に、反射型の直線偏光板を配置してバックライトによる照明光の利用効率を向上する工夫が図られている。   Conventionally, in image display devices and the like, various configurations using a polarizer have been proposed. That is, for example, in a liquid crystal display device, a liquid crystal cell is formed by sandwiching a liquid crystal material with a glass plate on which a transparent electrode is arranged, and a linear polarizing plate is arranged on both sides of the liquid crystal cell to constitute a liquid crystal display panel. In recent years, a device has been devised in which a reflective linear polarizing plate is arranged on the incident surface (backlight side surface) of the liquid crystal display panel to improve the use efficiency of illumination light by the backlight.

また画像表示装置では、直線偏光板と1/4波長板との積層による円偏光板を画像表示パネルのパネル面に配置することにより、外来光の反射防止を図る工夫も図られている。   In addition, the image display device has been devised to prevent reflection of extraneous light by arranging a circularly polarizing plate formed by laminating a linearly polarizing plate and a quarter-wave plate on the panel surface of the image display panel.

このような偏光子には、ポリビニルアルコール(PVA)にヨウ素等を含浸させた後、延伸して作製する構成(いわゆるシート・ポラライザーである)、ワイヤーグリッド型偏光子等が利用されている。特許文献1,2には、ワイヤーグリッド型偏光子に関する工夫が提案されている。   As such a polarizer, a configuration (so-called sheet polarizer), a wire grid type polarizer, and the like, which are made by impregnating polyvinyl alcohol (PVA) with iodine or the like and then stretching, are used. Patent Documents 1 and 2 propose a device relating to a wire grid polarizer.

このような偏光子において、シート・ポラライザーは、耐熱性が劣り、さらに厚みを薄くすることが困難な欠点がある。これによりシート・ポラライザーに代えてワイヤーグリッド型偏光子の利用が考えられる。しかしながらワイヤーグリッド型偏光子は、微細かつ複雑な凹凸形状を作製することが必要であることにより、量産性、耐摩耗性、作製精度が劣る問題がある。   In such a polarizer, the sheet polarizer has inferior heat resistance and further disadvantages that it is difficult to reduce the thickness. Accordingly, it is conceivable to use a wire grid type polarizer instead of the sheet polarizer. However, the wire grid type polarizer has a problem that mass productivity, wear resistance, and production accuracy are inferior because it is necessary to produce a fine and complicated uneven shape.

特開2006−330521号公報JP 2006-330521 A 特開2012−27221号公報JP 2012-27221 A

本発明はこのような状況に鑑みてなされたものであり、ワイヤーグリッド型偏光子に関して、従来に比して量産性、耐摩耗性、作製精度を向上することを目的とする。   The present invention has been made in view of such a situation, and an object of the present invention is to improve the mass productivity, wear resistance, and production accuracy of a wire grid polarizer as compared with the related art.

本発明者は、上記課題を解決するために鋭意研究を重ね、隣接する金属線状部の間に、透明の固体誘電体による透明固体誘電体部を設ける、との着想に至り、本発明を完成するに至った。   The present inventor has intensively studied to solve the above-mentioned problems, and has arrived at the idea that a transparent solid dielectric part made of a transparent solid dielectric is provided between adjacent metal linear parts. It came to be completed.

具体的には、本発明では、以下のようなものを提供する     Specifically, the present invention provides the following.

(1) 入射する電磁波の透過を偏光面に応じて制限する偏光子において、
偏光子としての光学的機能を担う偏光層を備え、
前記偏光層は、
透過を制限する波長帯域の最短波長以下の線幅により金属材料による金属線状部が、前記線幅の方向に離間して複数配置され、
隣接する前記金属線状部の間に、前記波長帯域の電磁波に対して透明の固体誘電体による透明固体誘電体部が設けられ、
厚み方向に係る前記金属線状部の端面が、隣接する前記透明固体誘電体部の端面より20nm以上突出している偏光子。
(1) In a polarizer that limits the transmission of incident electromagnetic waves according to the plane of polarization,
Provided with a polarizing layer responsible for the optical function as a polarizer,
The polarizing layer is
A plurality of metal linear portions made of a metal material with a line width equal to or less than the shortest wavelength of a wavelength band that restricts transmission are arranged apart in the direction of the line width,
A transparent solid dielectric portion made of a solid dielectric transparent to the electromagnetic wave in the wavelength band is provided between the adjacent metal linear portions,
The polarizer which the end surface of the said metal linear part which concerns on the thickness direction protrudes 20 nm or more from the end surface of the said adjacent transparent solid dielectric part.

(1)によれば、隣接する金属線状部の間に、透明の固体誘電体による透明固体誘電体部が設けられていることにより、金属線状部の損傷を従来に比して低減することができ、これにより従来に比して耐摩耗性を向上することができる。またこのように隣接する金属線状部の間に透明固体誘電体部を設ける構成は、金属線状部に対応する凹状溝による凹凸形状を作製した後、この凹状溝に金属線状部に係る材料を充填して作製することができ、これにより大面積の偏光子を効率良く生産することができ、従来に比して量産性を向上することができる。またこのようにして作製可能であることにより、金属線状部の作製精度も向上することができ、その結果、作製精度も向上することができる。またさらに厚み方向に係る前記金属線状部の端面が、隣接する前記透明固体誘電体部の端面より20nm以上突出していることにより、透明固体誘電体部に比して金属線状部の厚みを厚くすることができ、その結果、消光比を増大させて特性を向上することができる。   According to (1), since the transparent solid dielectric part by the transparent solid dielectric is provided between the adjacent metal linear parts, the damage of the metal linear parts is reduced as compared with the prior art. Thus, the wear resistance can be improved as compared with the conventional case. In addition, the configuration in which the transparent solid dielectric portion is provided between the adjacent metal linear portions as described above is produced by forming a concave / convex shape by a concave groove corresponding to the metal linear portion, and then relating the metal linear portion to the concave groove. It can be manufactured by filling a material, whereby a large-area polarizer can be efficiently produced, and mass productivity can be improved as compared with the conventional case. Moreover, by being able to be manufactured in this way, the manufacturing accuracy of the metal linear portion can be improved, and as a result, the manufacturing accuracy can also be improved. Furthermore, the end face of the metal linear part in the thickness direction protrudes 20 nm or more from the end face of the adjacent transparent solid dielectric part, thereby reducing the thickness of the metal linear part compared to the transparent solid dielectric part. The thickness can be increased, and as a result, the extinction ratio can be increased to improve the characteristics.

(2) (1)において、前記金属線状部の幅方向に係る前記端面の断面形状が、中央が突出する曲面形状である偏光子。
(2)によれば、より具体的構成により、従来に比して量産性、耐摩耗性、作製精度を向上することができる。
(2) The polarizer according to (1), wherein a cross-sectional shape of the end surface in the width direction of the metal linear portion is a curved shape protruding from the center.
According to (2), the mass productivity, the wear resistance, and the production accuracy can be improved by a more specific configuration as compared with the conventional case.

(3) (1)又は(2)において、前記金属線状部の材料による金属膜が、前記透明固体誘電体部の端面に設けられた偏光子。   (3) The polarizer according to (1) or (2), wherein a metal film made of the material of the metal linear portion is provided on an end surface of the transparent solid dielectric portion.

(3)によれば、透明固体誘電体部の端面に金属線状部の材料による金属膜が存在又は残存してなる構成において、従来に比して量産性、耐摩耗性、作製精度を向上することができる。   According to (3), in the configuration in which the metal film made of the material of the metal linear part exists or remains on the end surface of the transparent solid dielectric part, the mass productivity, the wear resistance, and the production accuracy are improved as compared with the conventional case. can do.

(4) (1)、(2)、(3)の何れかにおいて、
前記偏光層の少なくとも一方の面には、前記波長帯域の電磁波に対して透明な透明層が設けられた偏光子。
(4) In any one of (1), (2) and (3),
A polarizer in which a transparent layer that is transparent to electromagnetic waves in the wavelength band is provided on at least one surface of the polarizing layer.

(4)によれば、この透明層に、偏光層作製の為の層構成、偏光層の保護層等を適用して、より具体的構成により偏光子を構成することができる。   According to (4), the polarizer can be configured with a more specific configuration by applying a layer configuration for preparing a polarizing layer, a protective layer for the polarizing layer, and the like to the transparent layer.

(5) (4)において、
前記透明層が、前記偏光層の保護層である偏光子。
(5) In (4),
The polarizer whose said transparent layer is a protective layer of the said polarizing layer.

(5)によれば、偏光子の保護層を透明層に適用して、より具体的構成により偏光子を構成することができる。   According to (5), the polarizer can be configured with a more specific configuration by applying the protective layer of the polarizer to the transparent layer.

(6) (4)において、前記透明層が、前記透明固体誘電体部と一体の透明樹脂層である偏光子。   (6) The polarizer according to (4), wherein the transparent layer is a transparent resin layer integral with the transparent solid dielectric portion.

(6)によれば、例えば転写法により偏光層を転写する層構成に適用して、より具体的構成により偏光子を構成することができる。   According to (6), the polarizer can be configured with a more specific configuration by applying to a layer configuration in which the polarizing layer is transferred by, for example, a transfer method.

(7) (4)において、前記透明層が、前記透明固体誘電体部と一体の透明樹脂層と、前記透明樹脂層の基材である偏光子   (7) In (4), the transparent layer is a transparent resin layer integral with the transparent solid dielectric portion, and a polarizer which is a base material of the transparent resin layer

(7)によれば、透明層を、偏光層作製の為の層構成に適用して、より具体的構成により偏光子を構成することができる。   According to (7), the transparent layer can be applied to a layer structure for producing a polarizing layer to form a polarizer with a more specific structure.

(8) (1)、(2)、(3)、(4)、(5)、(6)、(7)の何れかにおいて、前記金属線状部の金属材料が、アルミニウム、ニッケル、クロム、銀の何れかを含む偏光子。   (8) In any one of (1), (2), (3), (4), (5), (6), (7), the metal material of the metal linear portion is aluminum, nickel, chromium A polarizer containing any of silver and silver.

(8)によれば、特定偏光面の入射光等を効率良く反射、又は吸収することができる偏光子を提供することができる。   According to (8), it is possible to provide a polarizer that can efficiently reflect or absorb incident light on a specific polarization plane.

(9)入射する電磁波の透過を偏光面に応じて制限する偏光子の製造方法において、
前記透過を制限する波長帯域の電磁波に対して透明の基材に、前記波長帯域の最短波長以下の溝幅による凹状溝を、前記溝幅の方向に複数配置してなる凹凸形状を作製する凹凸形状作製工程と、
前記凹状溝が作製されてなる側の面に金属層を作製することにより、前記凹状溝に金属材料を配置して、前記最短波長以下の線幅による線状の金属線状部を形成する金属線状部作製工程とを備え、
少なくとも隣接する前記凹状溝間の前記金属層を除去し、厚み方向に係る前記金属線状部の端面を、隣接する前記凹状溝に係る部材の端面より20nm以上突出させる偏光子の製造方法。
(9) In a method for manufacturing a polarizer that restricts transmission of incident electromagnetic waves according to a polarization plane,
Concavities and convexities that produce a concave-convex shape formed by arranging a plurality of concave grooves with a groove width equal to or shorter than the shortest wavelength of the wavelength band on a base material transparent to electromagnetic waves in a wavelength band that restricts transmission. Shape production process;
Metal forming a metal layer on the surface on which the concave groove is formed, thereby disposing a metal material in the concave groove to form a linear metal linear portion with a line width equal to or shorter than the shortest wavelength A linear part manufacturing process,
A method for producing a polarizer, wherein at least the metal layer between the adjacent concave grooves is removed, and an end surface of the metal linear portion in the thickness direction protrudes 20 nm or more from an end surface of a member related to the adjacent concave groove.

(9)によれば、隣接する金属線状部の間に、凹状溝に係る部材を設けることができることにより、金属線状部の損傷を従来に比して低減することができ、これにより従来に比して耐摩耗性を向上することができる。また金属線状部に対応する凹状溝による凹凸形状を作製した後、この凹状溝に金属線状部に係る材料を充填して作製することができ、これにより大面積の偏光子を効率良く生産することもでき、従来に比して量産性を向上することができる。またこのようにして作製可能であることにより、金属線状部の作製精度も向上することができ、その結果、作製精度も向上することができる。またさらに厚み方向に係る前記金属線状部の端面を、隣接する前記凹状溝に係る部材の端面より20nm以上突出させることにより、透明固体誘電体部に比して金属線状部の厚みを厚くすることができ、その結果、消光比を増大させて特性を向上することができる。   According to (9), since the member which concerns on a concave groove can be provided between adjacent metal linear parts, the damage of a metal linear part can be reduced compared with the past, and, thereby, conventionally As compared with the above, the wear resistance can be improved. In addition, after producing a concave-convex shape corresponding to the metal linear portion, the concave groove can be filled with a material related to the metal linear portion, thereby producing a large area polarizer efficiently. It is also possible to improve the mass productivity as compared with the prior art. Moreover, by being able to be manufactured in this way, the manufacturing accuracy of the metal linear portion can be improved, and as a result, the manufacturing accuracy can also be improved. Furthermore, the end face of the metal linear portion in the thickness direction is projected by 20 nm or more from the end face of the member related to the adjacent concave groove, thereby increasing the thickness of the metal linear portion as compared with the transparent solid dielectric portion. As a result, the extinction ratio can be increased and the characteristics can be improved.

(10) (9)において、
前記凹凸形状作製工程は、
賦型用金型を使用した賦型処理により、前記基材に前記凹凸形状を作製する偏光子の製造方法。
(10) In (9),
The uneven shape manufacturing step includes
The manufacturing method of the polarizer which produces the said uneven | corrugated shape in the said base material by the shaping process which uses the metal mold | die for shaping.

(10)によれば、賦型処理により効率良く凹凸形状を作製することができ、一段と量産性を向上し、作製精度を向上することができる。   According to (10), it is possible to efficiently produce a concavo-convex shape by a shaping process, further improving mass productivity and improving production accuracy.

(11) (9)又は(10)において、
前記金属線状部作製工程は、
蒸着、スパッタリング、電界メッキ、無電解メッキ、化学気相成長、原子層堆積法、酸化還元反応法、ナノ粒子の堆積法の何れかにより前記金属層を作製する偏光子の製造方法。
(11) In (9) or (10),
The metal linear part production process includes:
A method for producing a polarizer, wherein the metal layer is produced by any one of vapor deposition, sputtering, electroplating, electroless plating, chemical vapor deposition, atomic layer deposition, oxidation-reduction reaction, and nanoparticle deposition.

(11)によれば、より具体的構成により、従来に比して量産性、耐摩耗性、作製精度を確保して偏光子を製造することができる。   According to (11), with a more specific configuration, it is possible to manufacture a polarizer while ensuring mass productivity, wear resistance, and production accuracy as compared with the conventional case.

(12) (1)、(2)、(3)、(4)、(6)、(7)、(8)の何れかに記載の偏光子が、液晶セルの出射面側及び又は入射面側に配置された液晶表示装置。   (12) The polarizer according to any one of (1), (2), (3), (4), (6), (7), and (8) is provided on the exit surface side and / or the entrance surface of the liquid crystal cell. Liquid crystal display device arranged on the side.

(12)によれば、液晶セルの入出射面に配置する直線偏光板、液晶セルの入射面側直線偏光板のバックライト側に配置する反射型直線偏光板に適用して、液晶表示装置を構成することができる。   According to (12), the liquid crystal display device is applied to a linearly polarizing plate disposed on the incident / exiting surface of the liquid crystal cell and a reflective linearly polarizing plate disposed on the backlight side of the incident surface side linearly polarizing plate of the liquid crystal cell. Can be configured.

(13) (1)、(2)、(3)、(4)、(6)、(7)、(8)の何れかに記載の偏光子が、液晶表示パネルの入射面側直線偏光板と一体化されて配置された液晶表示装置。   (13) The polarizer according to any one of (1), (2), (3), (4), (6), (7), and (8) is an incident surface side linearly polarizing plate of a liquid crystal display panel. Liquid crystal display device that is integrated with the display.

(13)によれば、液晶セルの入射面側直線偏光板のバックライト側に配置する反射型の直線偏光板に適用して、この入射側直線偏光板と一体化して配置することにより、偏光子の配置に係る作業を簡略化することができる。   According to (13), it is applied to a reflective linear polarizing plate disposed on the backlight side of the incident surface side linear polarizing plate of the liquid crystal cell, and is integrated with the incident side linear polarizing plate so as to be polarized. The work related to the arrangement of the child can be simplified.

(14) (1)、(2)、(3)、(4)、(6)、(7)、(8)の何れかに記載の偏光子が、画像表示パネルのパネル面に配置された画像表示装置。   (14) The polarizer according to any one of (1), (2), (3), (4), (6), (7), and (8) is disposed on the panel surface of the image display panel. Image display device.

(14)によれば、1/4波長板との積層による反射防止フィルム等に適用して画像表示装置を構成することができる。   According to (14), the image display device can be configured by applying to an antireflection film or the like laminated with a quarter wavelength plate.

(15) (1)、(2)、(3)、(4)、(5)、(6)、7)、(8)の何れかにおいて、
前記金属線状部は、
前記透明固体誘電体部の端面より突出している側の端面に、入射光の反射を抑制する反射抑制層を備える偏光子。
(15) In any one of (1), (2), (3), (4), (5), (6), 7), (8),
The metal linear part is:
A polarizer comprising a reflection suppressing layer for suppressing reflection of incident light on an end surface protruding from an end surface of the transparent solid dielectric portion.

(15)によれば、金属線状部による反射を一方の側で抑制してこの種の偏光子の適用分野を拡大することができる   According to (15), it is possible to expand the field of application of this type of polarizer by suppressing reflection by the metal linear part on one side.

(16) (1)、(2)、(3)、(4)、(5)、(6)、(7)、(8)、(15)の何れかにおいて、
前記透明固体誘電体部と前記金属線状部との間には、密着力を強化する中間層が設けられた偏光子。
(16) In any one of (1), (2), (3), (4), (5), (6), (7), (8), (15),
A polarizer in which an intermediate layer for enhancing adhesion is provided between the transparent solid dielectric portion and the metal linear portion.

(16)によれば、凹状溝による透明固体誘電体部に金属線状部を作製する場合に、密着力の強化により高い信頼性により金属線状部を設けることができ、その結果、信頼性を向上することができる。   According to (16), when producing a metal linear part in a transparent solid dielectric part by a concave groove, the metal linear part can be provided with high reliability by strengthening the adhesion, and as a result, reliability Can be improved.

(17) (9)、(10)、(11)の何れかにおいて、
前記金属線状部作製工程は、
前記凹状溝に形成した前記金属線状部の端部に、入射光の反射を抑制する反射抑制層を作製する工程を備える偏光子の製造方法。
(17) In any one of (9), (10), and (11),
The metal linear part production process includes:
The manufacturing method of a polarizer provided with the process of producing the reflection suppression layer which suppresses reflection of incident light in the edge part of the said metal linear part formed in the said concave groove.

(17)によれば、金属線状部による反射を一方の側で抑制してこの種の偏光子の適用分野を拡大することができる。   According to (17), the application field of this kind of polarizer can be expanded by suppressing reflection by the metal linear part on one side.

(18) (15)又は(16)の何れかに記載の偏光子が、前記反射抑制層を作製した側の面が液晶セル側面に保持されて、前記液晶セルのバックライト側面に配置された液晶表示装置。   (18) The polarizer according to any one of (15) and (16) is disposed on the side surface of the backlight of the liquid crystal cell while the surface on which the antireflection layer is produced is held on the side surface of the liquid crystal cell. Liquid crystal display device.

(18)によれば、反射抑制層を作製している側を液晶セル側としてバックライト側に配置することにより、バックライトからの出射光は有効利用するようにして、外来光による反射を充分に抑制することができる。   According to (18), by arranging the side on which the antireflection layer is formed as the liquid crystal cell side on the backlight side, the light emitted from the backlight is used effectively, and the reflection by the extraneous light is sufficient. Can be suppressed.

本発明によれば、ワイヤーグリッド型偏光子に関して、従来に比して量産性、耐摩耗性、作製精度を向上することができる。   According to the present invention, mass productivity, wear resistance, and production accuracy can be improved with respect to the wire grid type polarizer as compared with the related art.

本発明の第1実施形態に係る画像表示装置を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the image display apparatus which concerns on 1st Embodiment of this invention. 図1の画像表示装置に係る偏光子の構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of the polarizer which concerns on the image display apparatus of FIG. 偏光層の断面形状を示す図である。It is a figure which shows the cross-sectional shape of a polarizing layer. 偏光子の製造工程を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the manufacturing process of a polarizer. 図4の各工程の説明に供する図である。It is a figure where it uses for description of each process of FIG. ロール版の説明に供する図である。It is a figure where it uses for description of a roll version. 本発明の第2実施形態に係るロール版の製造方法の説明に供する図である。It is a figure where it uses for description of the manufacturing method of the roll plate which concerns on 2nd Embodiment of this invention. 発明の第4実施形態に係る画像表示装置に適用される偏光子を示す図である。It is a figure which shows the polarizer applied to the image display apparatus which concerns on 4th Embodiment of invention. 発明の第5実施形態に係る画像表示装置に適用される偏光子を示す図である。It is a figure which shows the polarizer applied to the image display apparatus which concerns on 5th Embodiment of invention.

〔第1実施形態〕
〔画像表示装置〕
図1は、本発明の第1実施形態に係る画像表示装置を示す断面図である。この画像表示装置1は、液晶表示装置であり、液晶表示パネル2の背面にバックライト3が配置され、この液晶表示パネル2のバックライト3側に偏光子4が配置される。ここでバックライト3は、エッジライト型、直射型等、種々の構成の面光源装置を広く適用することができる。液晶表示パネル2は、直交ニコル配置又は平行ニコル配置による直線偏光板6、7により液晶セル5を挟持して構成され、液晶セル5は、透明電極を形成したガラス基板により液晶材料を挟持して形成される。これにより画像表示装置1は、液晶セル5に設けられた透明電極への印加電圧により画素単位で透過光を光強度変調して出力し、所望の画像を表示する。
[First Embodiment]
(Image display device)
FIG. 1 is a sectional view showing an image display apparatus according to the first embodiment of the present invention. The image display device 1 is a liquid crystal display device, and a backlight 3 is disposed on the back surface of the liquid crystal display panel 2, and a polarizer 4 is disposed on the backlight 3 side of the liquid crystal display panel 2. Here, as the backlight 3, various surface light source devices such as an edge light type and a direct light type can be widely applied. The liquid crystal display panel 2 is configured by sandwiching a liquid crystal cell 5 by linearly polarizing plates 6 and 7 having a crossed Nicol arrangement or a parallel Nicol arrangement, and the liquid crystal cell 5 sandwiches a liquid crystal material by a glass substrate on which a transparent electrode is formed. It is formed. As a result, the image display device 1 modulates the intensity of the transmitted light in units of pixels by the voltage applied to the transparent electrode provided in the liquid crystal cell 5 and outputs it, thereby displaying a desired image.

偏光子4は、ワイヤーグリッド型偏光子であり、透過軸方向と直交する偏光面による入射光を選択的に効率良く反射するいわゆる反射型の偏光子である。偏光子4は、液晶セル5の入射面側(バックライト3側)に配置された直線偏光板7の透過軸方向と、透過軸方向が一致するように配置され、これにより画像表示装置1は、バックライト3からの照明光の利用効率を向上する。この実施形態において、偏光子4は、事前に、直線偏光板7と一体化された後、液晶表示パネル2の製造工程に提供され、これにより画像表示装置1は、偏光子4に係る組み立て作業を簡略化することができる。   The polarizer 4 is a wire grid polarizer, and is a so-called reflective polarizer that selectively and efficiently reflects incident light from a polarization plane orthogonal to the transmission axis direction. The polarizer 4 is arranged so that the transmission axis direction of the linearly polarizing plate 7 arranged on the incident surface side (backlight 3 side) of the liquid crystal cell 5 coincides with the transmission axis direction. The use efficiency of the illumination light from the backlight 3 is improved. In this embodiment, the polarizer 4 is integrated with the linearly polarizing plate 7 in advance, and then provided to the manufacturing process of the liquid crystal display panel 2, whereby the image display device 1 is assembled by the polarizer 4. Can be simplified.

なおこの一体化は、偏光子4と直線偏光板7とを紫外線硬化性樹脂等による接着剤により貼り合せて実行されるものの、偏光子としての光学的機能を担う層である偏光層のみを転写法により転写して実行するようにしてもよい。なお転写法とは、例えば基材の上に所望の層を形成する場合に、この層を直接当該基材上に形成するのでは無く、一旦、離型性の支持体上に剥離可能に該層を積層形成して転写体を作製した後、工程、需要等に応じて、該支持体上に形成した層を、最終的に該層を積層すべき基材(被転写基材)上に接着、積層し、その後、該支持体を剥離除去することにより、該基材上に所望の層を形成する方法である。なおこの転写法による偏光層の配置に関して、この実施形態では、後述する賦型樹脂層による透明樹脂層と一体に配置される。   This integration is performed by bonding the polarizer 4 and the linearly polarizing plate 7 together with an adhesive such as an ultraviolet curable resin, but only the polarizing layer, which is a layer responsible for the optical function as the polarizer, is transferred. It may be transferred and executed by the method. The transfer method refers to, for example, when a desired layer is formed on a base material, the layer is not directly formed on the base material, but can be peeled once on a releasable support. After forming the transfer body by laminating the layers, the layer formed on the support is finally placed on the substrate (transfer base material) on which the layer is to be laminated according to the process, demand, etc. In this method, a desired layer is formed on the substrate by bonding and laminating, and then peeling and removing the support. Regarding the arrangement of the polarizing layer by this transfer method, in this embodiment, the polarizing layer is integrally formed with a transparent resin layer by a shaping resin layer described later.

また偏光子4は、直線偏光板7を省略するようにして、直線偏光板7に代えて液晶セル5の入射面に配置するようにしても良い。また直線偏光板6に代えて、液晶セル5の出射面に配置するようにしてもよい。なおこのように直線偏光板6に代えて液晶セルの出射面側に配置する場合には、透過軸方向と直交する偏光面による入射光を効率良く吸収するいわゆる吸収型により偏光子を構成することが望ましい。   Further, the polarizer 4 may be disposed on the incident surface of the liquid crystal cell 5 in place of the linear polarizer 7 so as to omit the linear polarizer 7. Further, instead of the linearly polarizing plate 6, it may be arranged on the exit surface of the liquid crystal cell 5. In this case, in the case where the polarizer is disposed on the exit surface side of the liquid crystal cell in place of the linear polarizing plate 6, a so-called absorption type that efficiently absorbs incident light from a polarization plane orthogonal to the transmission axis direction is configured. Is desirable.

〔偏光子〕
図2は、偏光子4の構成を示す図である。偏光子4は、入射する電磁波である入射光の透過を偏光面に応じて制限する偏光子であり、偏光子としての光学的機能を担う偏光層13が設けられる。偏光子4は、この偏光層13に、金属線状部11が、線幅の方向に離間して複数配置される。ここで金属線状部11は、透過を制限する電磁波の波長帯域の最短波長λmin以下の線幅Wmにより、金属材料により形成される。また金属線状部11は、この最短波長λmin以下のピッチPにより、規則的に又は不規則に繰り返し配置される。なおこれにより隣接する金属線状部11間の間隔Wt(後述する透明固体誘電体部12の幅である)は、デューティー比D(=Wm/P=Wm/(Wm+Wt))が0.2以上0.8以下、好ましくは0.3以上0.7以下になるように作製される。なお偏光層13の表面が曲面形状である場合もあることにより、線幅Wmは、線状部11の延長方向と、金属線状部11の繰り返し方向とに直交する方向から見た幅により定義される。なお最短波長λminは、この実施形態のように画像表示装置に適用して可視光域の全波長帯域に対してその透過を制限する場合、可視光域の最短波長380nm以下の、例えば、後述の如き値とすればよいものの、例えば紫外線による露光装置に適用して露光に供する紫外線の透過を制限する場合等においては、適宜、380nmとは異なる波長が適用される。
[Polarizer]
FIG. 2 is a diagram showing the configuration of the polarizer 4. The polarizer 4 is a polarizer that restricts the transmission of incident light, which is an incident electromagnetic wave, according to the polarization plane, and is provided with a polarizing layer 13 that has an optical function as a polarizer. In the polarizer 4, a plurality of metal linear portions 11 are arranged in the polarizing layer 13 so as to be separated in the line width direction. Here, the metal linear portion 11 is formed of a metal material with a line width Wm that is equal to or shorter than the shortest wavelength λmin of the wavelength band of the electromagnetic wave that restricts transmission. Further, the metal linear portions 11 are repeatedly arranged regularly or irregularly at a pitch P of the shortest wavelength λmin or less. As a result, the interval Wt between adjacent metal linear portions 11 (the width of a transparent solid dielectric portion 12 described later) has a duty ratio D (= Wm / P = Wm / (Wm + Wt)) of 0.2 or more. It is made to be 0.8 or less, preferably 0.3 or more and 0.7 or less. Since the surface of the polarizing layer 13 may have a curved surface shape, the line width Wm is defined by a width viewed from a direction orthogonal to the extending direction of the linear portion 11 and the repeating direction of the metal linear portion 11. Is done. Note that the shortest wavelength λmin is applied to the image display device as in this embodiment, and when the transmission is limited with respect to the entire wavelength band of the visible light region, the shortest wavelength of 380 nm or less, for example, described later For example, in the case of limiting the transmission of ultraviolet rays used for exposure by applying to an exposure apparatus using ultraviolet rays, a wavelength different from 380 nm is appropriately applied.

また金属線状部11は、この最短波長λminに対して、厚みHがλmin以下になるように形成され、この実施形態では断面略矩形形状により形成される。これらにより偏光子4は、ワイヤーグリッド型偏光子として機能するように構成される。なお偏光子4では、例えば可視光域の波長帯域において、最短波長380nm、中心波長550nm、最長波長780nm等の複数波長を設計基準波長に設定し、これらの設計基準波長で所望する光学特性(例えば消光比)を確保することができるように、金属材料及び透明誘電体材料の屈折率n及び減衰係数kを元に、シミュレーションによってピッチP、線幅Wm、厚みHに対応するP波透過率、S波透過率、消光比を算出することで、必要なピッチP、線幅Wm、厚みHの好適値が導きだされる。これにより、例えば波長550nmにおいて十分な消光比を確保する場合には、金属層にアルミニウム、透明誘電体に一般的な紫外線硬化樹脂(n=1.5、k=0 at550nm)を用いる場合、ピッチPは75nm以上175nm以下、好ましくは100nm以上150nm以下が望ましい。厚みは90nm以上200nm以下、好ましくは110nm以上160nm以下、更に好ましくは120nm以上150nmが望ましい。   The metal linear portion 11 is formed so that the thickness H is equal to or less than λmin with respect to the shortest wavelength λmin. In this embodiment, the metal linear portion 11 is formed in a substantially rectangular shape in cross section. Accordingly, the polarizer 4 is configured to function as a wire grid polarizer. In the polarizer 4, for example, in the wavelength band of the visible light region, a plurality of wavelengths such as the shortest wavelength 380 nm, the center wavelength 550 nm, and the longest wavelength 780 nm are set as design reference wavelengths, and desired optical characteristics (for example, at these design reference wavelengths) P wave transmittance corresponding to pitch P, line width Wm, thickness H by simulation based on the refractive index n and attenuation coefficient k of the metal material and the transparent dielectric material so that the extinction ratio) can be secured. By calculating the S wave transmittance and the extinction ratio, suitable values for the necessary pitch P, line width Wm, and thickness H are derived. Thus, for example, when a sufficient extinction ratio is secured at a wavelength of 550 nm, pitch is used when aluminum is used for the metal layer and a general ultraviolet curable resin (n = 1.5, k = 0 at 550 nm) is used for the transparent dielectric. P is 75 nm to 175 nm, preferably 100 nm to 150 nm. The thickness is 90 nm to 200 nm, preferably 110 nm to 160 nm, and more preferably 120 nm to 150 nm.

さらに偏光層13は、隣接する金属線状部11の間に、透過の制限を図る波長帯域の電磁波に対して透明な固体誘電体による透明固体誘電体部12が設けられる。このように隣接する金属線状部11の間に透明固体誘電体部12を設けることにより、偏光子4は、各種部材の接触等による金属線状部11の損傷を低減することができ、従来に比して耐摩耗性を向上することができる。またこのように隣接する金属線状部11の間に透明固体誘電体部12を設けた構成は、金属線状部11に対応する凹状溝による凹凸形状を作製した後、この凹状溝に金属線状部11に係る材料を充填して作製することができ、これにより大面積の偏光子を効率良く生産することができ、従来に比して量産性を向上することができる。またこのようにして作製可能であることにより、金属線状部11の作製精度も向上することができ、その結果、偏光子4としての作製精度も向上することができる。また充填により金属線状部11を作製する際に、必要に応じて凹状溝上に密着性や表面保護のための機能層を設けても良い。機能層については特に制限されないが、主としてSiまたはその化合物である、SiO、SiCなどが好ましい。 Further, the polarizing layer 13 is provided with a transparent solid dielectric portion 12 made of a solid dielectric transparent to an electromagnetic wave in a wavelength band for limiting transmission between adjacent metal linear portions 11. Thus, by providing the transparent solid dielectric part 12 between the adjacent metal linear parts 11, the polarizer 4 can reduce the damage of the metal linear part 11 by the contact of various members, etc. As compared with the above, the wear resistance can be improved. In addition, in the configuration in which the transparent solid dielectric portion 12 is provided between the adjacent metal linear portions 11 in this way, after forming an uneven shape by a concave groove corresponding to the metal linear portion 11, a metal wire is formed in the concave groove. Thus, it is possible to produce a large-area polarizer efficiently, and to improve mass productivity as compared with the related art. Moreover, by being able to be manufactured in this way, the manufacturing accuracy of the metal linear portion 11 can be improved, and as a result, the manufacturing accuracy as the polarizer 4 can also be improved. Moreover, when producing the metal linear part 11 by filling, you may provide the functional layer for adhesiveness or surface protection on a concave groove as needed. Although the functional layer is not limited in particular, it is mainly Si or a compound thereof, SiO 2, SiC, etc. are preferable.

ここで図3に線幅方向の断面形状を示すように、金属線状部11は、その1方の端面を、平坦面としても良く(図3(A))、線幅方向に係る中央部分が突出する曲面形状により作製しても良く、(図3(B))、これとは逆の曲面形状により作製してもよい。また図3(C)に示すように、隣接する金属線状部11をこの金属線状部11の材料により接続するようにして、この接続した部位の厚みdが、透過の制限を図る波長帯域の電磁波に対して十分に透明である場合には、このように隣接する金属線状部11をこの金属線状部11の材料により全面的に又は部分的に接続するようにしてもよい。このように隣接する金属線状部11をこの金属線状部11の材料により接続する場合には、後述する偏光子4の製造工程における金属線状部11に関する処理工程を簡略化することできる。   Here, as shown in the cross-sectional shape in the line width direction in FIG. 3, one end surface of the metal linear portion 11 may be a flat surface (FIG. 3A), and the central portion in the line width direction. May be produced with a curved surface shape protruding (FIG. 3B), or may be produced with a curved surface shape opposite to this. Further, as shown in FIG. 3C, the adjacent metal wire portions 11 are connected by the material of the metal wire portions 11, and the thickness d of the connected portions is a wavelength band for limiting transmission. In this case, the adjacent metal wire portions 11 may be connected entirely or partially by the material of the metal wire portions 11. Thus, when connecting the adjacent metal linear part 11 with the material of this metal linear part 11, the process process regarding the metal linear part 11 in the manufacturing process of the polarizer 4 mentioned later can be simplified.

しかしながらこの実施形態では、金属線状部11の端面形状がこのように種々の形状となる場合であっても、厚み方向に係る金属線状部11の端面が、隣接する透明固体誘電体部12の端面より20nm以上突出するように作成される。なおこの突出量Δdは、線幅方向に係る線状金属部11の中央部分と、隣接する透明固体誘電体部12の幅方向に係る中央部分との距離により定義される。突出量Δdは、この定義により計測した複数サンプリングの平均値により求められる。より具体的に、偏光層13は、金属線状部11に対応する凹状溝を作製して金属材料を配置することにより金属線状部11が形成され、隣接する凹状溝間の透明部材が透明固体誘電体部12を構成することになる。厚み方向に係る突出量Δdは、図3の例では、この凹状溝に係る透明部材の凹状溝付け根側端面の中央部と、隣接する金属線状部11の端面の中央部との、偏光層13の厚み方向に係る高さの差により求められる。このように金属線状部11を突出させることにより、金属線状部11は、透明固体誘電体部に比して厚みを厚くすることができ、その結果、偏光子4は、消光比を増大させて特性を向上することができる。なお消光比は、直線偏光による入射光を入射するようにして、この入射光の偏光面を透過軸方向としたときの透過率Tmaxと、この入射光の偏光面を吸収軸方向としたときに透過率Tminとの比である。   However, in this embodiment, even if the end surface shape of the metal linear portion 11 is thus various shapes, the end surface of the metal linear portion 11 in the thickness direction is adjacent to the transparent solid dielectric portion 12. It is created so that it protrudes 20 nm or more from the end face of. The protrusion amount Δd is defined by the distance between the central portion of the linear metal part 11 in the line width direction and the central part in the width direction of the adjacent transparent solid dielectric part 12. The protrusion amount Δd is obtained from an average value of a plurality of samplings measured according to this definition. More specifically, in the polarizing layer 13, the metal linear part 11 is formed by producing a concave groove corresponding to the metal linear part 11 and arranging the metal material, and the transparent member between adjacent concave grooves is transparent. The solid dielectric portion 12 is configured. In the example of FIG. 3, the protrusion amount Δd in the thickness direction is a polarizing layer between the central portion of the concave groove root side end surface of the transparent member related to the concave groove and the central portion of the end surface of the adjacent metal linear portion 11. It is calculated | required by the difference of the height which concerns on 13 thickness directions. By projecting the metal linear part 11 in this way, the metal linear part 11 can be made thicker than the transparent solid dielectric part, and as a result, the polarizer 4 increases the extinction ratio. Thus, the characteristics can be improved. The extinction ratio is such that the incident light by linearly polarized light is incident, the transmittance Tmax when the polarization plane of the incident light is the transmission axis direction, and the polarization plane of the incident light is the absorption axis direction. It is a ratio to the transmittance Tmin.

ここで金属線状部11に係る金属材料は、例えば各種の導体に係る金属、合金、金属化合物等を広く適用することができるものの、アルミニウム、ニッケル、クロム、銀の何れかによる金属、これら何れかの金属による合金、これら金属の化合物を適用することが望ましい。なお透過を制限する電磁波を効率良く反射する観点からは、アルミニウム、ニッケル、銀等の反射率の高い金属、合金、化合物を適用することが望ましましく、可視光に対しては特にアルミニウムが好ましい。またこれとは逆に、透過を制限する電磁波の反射を抑圧する観点からは、クロム等の反射率の低い金属、合金、化合物を適用することが望ましい。   Here, as the metal material related to the metal linear portion 11, for example, metals, alloys, metal compounds, and the like related to various conductors can be widely applied. However, any of these metals such as aluminum, nickel, chromium, and silver, whichever It is desirable to apply alloys of these metals and compounds of these metals. From the viewpoint of efficiently reflecting electromagnetic waves that limit transmission, it is desirable to apply metals, alloys, and compounds having high reflectivity such as aluminum, nickel, and silver, and aluminum is particularly suitable for visible light. preferable. On the other hand, from the viewpoint of suppressing the reflection of electromagnetic waves that limit transmission, it is desirable to apply a metal, alloy, or compound having a low reflectance such as chromium.

金属線状部11は、複数の層構造により作製するようにしても良い。このような層構造により作製することにより、例えば偏光層13の両面から入射する入射光に対して特性を異ならせ、偏光層13の両面の色合いを異ならせたりすることができる。   The metal linear portion 11 may be formed by a plurality of layer structures. By producing with such a layer structure, for example, the characteristics can be made different from incident light incident from both surfaces of the polarizing layer 13, and the hues of both surfaces of the polarizing layer 13 can be made different.

偏光子4(図2)は、透明フィルム材による基材15に、賦型樹脂層16が設けられ、この賦型樹脂層16の賦型処理により微細凹凸形状が作製されて透明固体誘電体部12が作製される。また微細凹凸形状が作製されてなる面に、蒸着、スパッタリング、電界メッキ、無電解メッキ等により金属層が作製されて金属線状部11が作製される。偏光子4は、所望する金属線状部11の上端面の形状(図3(A)〜(C))に応じて、その後、エッチング、切削、研磨等の処理により透明固体誘電体部12の端面が露出するように、金属線状部間である透明固体誘電体部12の端面の金属層が除去される。   In the polarizer 4 (FIG. 2), a molding resin layer 16 is provided on a base material 15 made of a transparent film material, and a fine concavo-convex shape is produced by molding processing of the molding resin layer 16 so that a transparent solid dielectric portion is formed. 12 is produced. In addition, a metal layer is formed on the surface on which the fine concavo-convex shape is formed by vapor deposition, sputtering, electric field plating, electroless plating, or the like, and the metal linear portion 11 is manufactured. The polarizer 4 is formed on the transparent solid dielectric portion 12 by a process such as etching, cutting, polishing, etc. according to the shape of the upper end surface of the metal linear portion 11 (FIGS. 3A to 3C) desired. The metal layer on the end surface of the transparent solid dielectric portion 12 between the metal linear portions is removed so that the end surface is exposed.

なお金属線状部11の作製においては、化学気相成長、原子層堆積法、酸化還元反応法、ナノ粒子の堆積法等の適用も可能である。ここで酸化還元反応法とは、酸化した金属材料を還元剤により還元して金属層を作製する金属層作製手法を意味し、例えば銀鏡反応で代表される金属層作製手法である。ここで還元剤は凹凸形状を形成する透明固体誘電体部に含まれていても良い。またナノ粒子の堆積法とは、アルミニウム等の金属によるナノ粒子を凹凸形状面に堆積させて金属層を作製する手法、又は凹状溝に選択的に堆積させて金属線状部を作製する手法であり、必要に応じて、ナノ粒子を堆積させた後、焼成等の工程を設けて堆積したナノ粒子を凹状溝に固定する。   In the production of the metal linear portion 11, chemical vapor deposition, atomic layer deposition, oxidation-reduction reaction, nanoparticle deposition, or the like can be applied. Here, the oxidation-reduction reaction method means a metal layer preparation method in which a metal layer is prepared by reducing an oxidized metal material with a reducing agent, and is, for example, a metal layer preparation method represented by a silver mirror reaction. Here, the reducing agent may be included in the transparent solid dielectric portion forming the uneven shape. In addition, the nanoparticle deposition method is a method in which a metal layer is produced by depositing nanoparticles such as aluminum on a concavo-convex surface, or a method in which a metal linear portion is produced by selectively depositing in a concave groove. Yes, if necessary, after depositing the nanoparticles, a step such as firing is provided to fix the deposited nanoparticles to the concave groove.

偏光子4は、この基材15に種々の透明部材を適用することができるものの、光学的異方性の小さなフィルム材が好ましく、この実施形態ではCOP(シクロオレフィンポリマー)やTAC(トリアセチルセルロース)フィルムが適用される。但し、製造工程でエッチング等のWetプロセスを適用する場合は、吸水による体積変化が大きいことによりTACフィルムは好ましくない。またこの実施形態のように、バックライト3と直線偏光板7との間に配置してバックライト3からの光の利用効率を向上する場合のように、入射光が偏光でなくても良い場合には、入射面側が基材となるように配置することを条件に、PET(ポリエステルテレフタレート)等の光学的異方性を有したフィルムも適用可能である。また他の基材に転写層を転写する場合、PETフィルムやポリオレフィンフィルム、離型層つきフィルム等、製造工程での意図しない剥離が生じない範囲で各種基材を適用可能である。賦型樹脂層16は、賦型処理可能な各種の硬化性樹脂を適用することができるものの、この実施形態では紫外線硬化性樹脂が適用される。なお基材15を加熱して軟化させた状態で賦型用金型に押圧して賦型処理しても良く、この場合、賦型樹脂層16は、基材15により構成されることになる。   Although various transparent members can be applied to the base material 15 as the polarizer 4, a film material having a small optical anisotropy is preferable. In this embodiment, COP (cycloolefin polymer) or TAC (triacetylcellulose) is used. ) Film is applied. However, when a wet process such as etching is applied in the manufacturing process, the TAC film is not preferable because the volume change due to water absorption is large. Also, as in this embodiment, when the incident light does not have to be polarized light, such as when it is arranged between the backlight 3 and the linearly polarizing plate 7 to improve the light utilization efficiency from the backlight 3 In addition, a film having optical anisotropy, such as PET (polyester terephthalate), can be applied on condition that the incident surface side is a base material. When transferring a transfer layer to another substrate, various substrates such as a PET film, a polyolefin film, a film with a release layer, and the like can be applied as long as unintentional peeling does not occur in the manufacturing process. Although various curable resins that can be subjected to a molding process can be applied to the molding resin layer 16, an ultraviolet curable resin is applied in this embodiment. In addition, in the state which heated the base material 15 and was softened, you may press to a shaping die and may perform a shaping process. In this case, the shaping resin layer 16 will be comprised with the base material 15. .

これにより偏光子4は、基材15と賦型樹脂層16との積層により、偏光層13の一方の面に、透過を制限する波長帯域の電磁波に対して透明な透明層が設けられる。偏光子4は、偏光層13の基材15側とは逆側面に、必要に応じて、透過を制限する波長帯域の電磁波に対して透明な透明層により、ハードコート層等の保護層を設けるようにしてもよい。   Thus, the polarizer 4 is provided with a transparent layer that is transparent to electromagnetic waves in a wavelength band that restricts transmission on one surface of the polarizing layer 13 by laminating the base material 15 and the shaping resin layer 16. In the polarizer 4, a protective layer such as a hard coat layer is provided on the side surface opposite to the base material 15 side of the polarizing layer 13 with a transparent layer that is transparent to electromagnetic waves in a wavelength band that restricts transmission, if necessary. You may do it.

なお偏光子4は、石英ガラス等の透明部材を基材15に適用することもでき、この場合、賦型用樹脂を使用した賦型処理により透明固体誘電体部12に係る微細凹凸形状を作製することができるものの、例えばエッチング処理により凹状溝を作製して透明固体誘電体部12に係る微細構造体凹凸形状を作製するようにしてもよい。なおこの場合、偏光子4は、基材15と賦型樹脂層16との積層による透明層に代えて、石英ガラス等の基材による透明層が偏光層13に設けられることになる。   The polarizer 4 can also be a transparent member such as quartz glass applied to the base material 15. In this case, a fine uneven shape related to the transparent solid dielectric portion 12 is produced by a molding process using a molding resin. However, the concave-convex shape of the fine structure according to the transparent solid dielectric portion 12 may be manufactured by, for example, forming a concave groove by an etching process. In this case, in the polarizer 4, a transparent layer made of a base material such as quartz glass is provided on the polarizing layer 13 instead of the transparent layer formed by stacking the base material 15 and the shaping resin layer 16.

〔製造工程〕
図4は、偏光子4の製造工程を示すフローチャートである。この製造工程は、ロールに巻き取った形態により長尺透明フィルム材による基材15が提供される。この製造工程は、ロールより基材15を引き出して搬送しながら、凹凸形状作製工程SP2により、基材15の表面に凹凸形状を作製する。
〔Manufacturing process〕
FIG. 4 is a flowchart showing manufacturing steps of the polarizer 4. In this manufacturing process, the base material 15 made of a long transparent film material is provided in a form wound on a roll. In this manufacturing process, a concavo-convex shape is formed on the surface of the base material 15 by the concavo-convex shape manufacturing step SP2 while the base material 15 is pulled out and conveyed from the roll.

より具体的に、この凹凸形状作製工程では、図5(A)に示すように、始めに、基材15に紫外線硬化性樹脂の塗工液を塗工した後、周側面に微細凹凸形状が作製されている賦型用金型であるロール版の周側面に基材15を押圧して搬送しながら、紫外線を照射して紫外線硬化性樹脂を硬化させ、その後、硬化した紫外線硬化性樹脂を基材15と一体にロール版より剥離する。これにより図5(B)に示すように、この工程では、ロール版の周側面に形成された微細凹凸形状を転写して、基材15の表面に、金属線状部11に対応する凹状溝21を作製してなる賦型樹脂層16を作製する。なおこれによりこの凹状溝21は、透過を制限する波長帯域の最短波長以下の、金属線状部11の線幅Wmに対応する溝幅により、また金属線状部11の繰り返しピッチPに対応するピッチにより作製されることになる。   More specifically, in this uneven shape manufacturing step, as shown in FIG. 5A, first, after applying an ultraviolet curable resin coating liquid to the base material 15, fine uneven shapes are formed on the peripheral side surface. While pressing and transporting the base material 15 to the peripheral side surface of the roll plate, which is a mold for molding, the ultraviolet curable resin is cured by irradiating ultraviolet rays, and then the cured ultraviolet curable resin is used. It peels from the roll plate integrally with the base material 15. As a result, as shown in FIG. 5B, in this step, the concave and convex grooves corresponding to the metal linear portions 11 are transferred to the surface of the base material 15 by transferring the fine irregularities formed on the peripheral side surface of the roll plate. The shaping resin layer 16 formed by producing No. 21 is produced. Accordingly, the concave groove 21 corresponds to the groove width corresponding to the line width Wm of the metal linear portion 11 that is equal to or shorter than the shortest wavelength of the wavelength band that restricts transmission, and also corresponds to the repetition pitch P of the metal linear portion 11. It is produced by the pitch.

続いて偏光子4の製造工程は、金属線状部作製工程SP3において、凹状溝21に金属材料を配置して金属線状部11を形成する。より具体的に、この実施形態では、蒸着、スパッタリング、電界メッキ、無電解メッキ等により、図5(C)に示すように、凹状溝21が作製されてなる凹凸形状面の全面に、金属層22を作製することにより、金属線状部11を作製する。   Then, the manufacturing process of the polarizer 4 arrange | positions a metal material in the concave groove | channel 21, and forms the metal linear part 11 in metal linear part preparation process SP3. More specifically, in this embodiment, as shown in FIG. 5C, a metal layer is formed on the entire surface of the concavo-convex shape formed by forming the concave groove 21 by vapor deposition, sputtering, electroplating, electroless plating, or the like. 22 is produced, and the metal linear part 11 is produced.

続いてこの製造工程は、金属除去工程SP4において、エッチング、研磨、切削等により、図5(D)に示すように、余分な金属層を削除する。なおこの金属層の除去にあっては、図3について上述した各形状に応じて、処理条件が設定される。より具体的に、例えばエッチングにより金属層を除去する場合には、エッチングに供する薬液の種類、濃度、温度、エッチング時間の管理により、金属線状部11の端面が突出するように設定することができる。また例えば研磨により金属層を除去する場合、研磨に供する研磨剤、この研磨剤による研磨液の温度、研磨液に添加する薬液の濃度、押圧力等の管理により、金属線状部11の端面が突出するように設定することができる。また金属除去工程SP4は、例えば切削した後に、エッチングにより端面を処理する場合のように、必要に応じてエッチング、研磨、切削等が組み合わされて実行される。   Subsequently, in this manufacturing process, an extra metal layer is deleted by etching, polishing, cutting, or the like in the metal removing process SP4 as shown in FIG. In removing the metal layer, processing conditions are set according to the shapes described above with reference to FIG. More specifically, for example, when the metal layer is removed by etching, the end face of the metal linear portion 11 may be set to protrude by managing the type, concentration, temperature, and etching time of the chemical solution used for etching. it can. For example, when the metal layer is removed by polishing, the end face of the metal linear portion 11 is controlled by controlling the polishing agent used for polishing, the temperature of the polishing solution by the polishing agent, the concentration of the chemical added to the polishing solution, the pressing force, and the like. It can be set to project. Further, the metal removal step SP4 is performed by combining etching, polishing, cutting, and the like as necessary, as in the case of processing the end face by etching after cutting, for example.

この実施形態では、これら各工程SP2〜SP4が、基材15を搬送しながら順次実行された後、ロールに巻き取って続く処理工程に搬送される。   In this embodiment, these processes SP2 to SP4 are sequentially executed while transporting the base material 15 and then transported to a subsequent process process after being wound on a roll.

このように最短波長以下の溝幅による凹状溝を複数配置してなる凹凸形状を作製した後、金属線状部を形成することにより、偏光子は、隣接する金属線状部の間に透明固体誘電体部を備えた構造とすることができ、これにより従来に比して耐擦傷性を向上することができる。また量産性、作製精度を向上することができる。   In this way, after forming a concavo-convex shape formed by arranging a plurality of concave grooves with a groove width equal to or shorter than the shortest wavelength, the polarizer is formed between the adjacent metal linear portions by forming a metal linear portion. It can be set as the structure provided with the dielectric material part, and, thereby, abrasion resistance can be improved compared with the past. Further, mass productivity and production accuracy can be improved.

また全体に金属層を作製した後、透明固体誘電体部に係る金属層を除去することにより、大面積の偏光子を効率良く量産することができ、一段と量産性を向上することができる。また賦型処理により凹状溝を複数配置してなる凹凸形状を作製することによって、大面積の偏光子を効率良く量産することができ、一段と量産性を向上することができる。   Moreover, after producing a metal layer on the whole and removing the metal layer which concerns on a transparent solid dielectric part, a large area polarizer can be mass-produced efficiently and mass-productivity can be improved further. In addition, by producing a concavo-convex shape formed by arranging a plurality of concave grooves by a shaping process, a large-area polarizer can be efficiently mass-produced, and mass productivity can be further improved.

またこのように量産性、耐摩耗性、作製精度を向上した上で、透明固体誘電体部の端面が突出するように設定することにより、この突出した部位により金属線状部11が損傷しないように保護することができ、一段と耐擦傷性を向上することができ、また長期の使用に係る光学的特性の劣化を有効に回避して信頼性を向上することができる。   In addition, by improving the mass productivity, wear resistance, and manufacturing accuracy in this way, by setting the end face of the transparent solid dielectric portion to protrude, the metal linear portion 11 is not damaged by the protruding portion. Thus, the scratch resistance can be further improved, and the reliability can be improved by effectively avoiding the deterioration of the optical characteristics associated with long-term use.

なお金属除去工程SP3に代えて、又は金属除去工程SP3に加えて、金属層の表面を透明化する工程を設けるようにしてもよい。なおここでいう透明化とは対応する波長帯域の電磁波に対して金属層表面を透明化する処理であり、例えばアルミニウムによる金属層の表面を酸化処理することにより、金属層表面のアルミニウムを酸化アルミニウムに変質させることにより実行される。なおこのようにして作製される透明層を、偏光子層の保護層として機能させるようにしてもよい。   Note that a step of making the surface of the metal layer transparent may be provided instead of or in addition to the metal removal step SP3. The transparency here is a treatment for making the surface of the metal layer transparent with respect to electromagnetic waves in the corresponding wavelength band. For example, by oxidizing the surface of the metal layer with aluminum, the aluminum on the surface of the metal layer is converted into aluminum oxide. It is executed by changing the quality. In addition, you may make it function the transparent layer produced in this way as a protective layer of a polarizer layer.

〔ロール版〕
図6は、ロール版の説明に供する図である。ロール版30は、周側面に微細凹凸形状が作製された賦型用金型であり、凹状溝21に対応する凸条による微細凹凸形状が周側面に形成されている。この実施形態において、この凸条は、円周方向に延長するように形成され、これにより賦型処理して基材15の長手方向に延長するように凹状溝21が作製される。
[Roll version]
FIG. 6 is a diagram for explaining the roll plate. The roll plate 30 is a mold for molding having a fine uneven shape on the peripheral side surface, and a fine uneven shape by a ridge corresponding to the concave groove 21 is formed on the peripheral side surface. In this embodiment, this ridge is formed so as to extend in the circumferential direction, whereby the concave groove 21 is formed so as to extend in the longitudinal direction of the base material 15 by shaping.

ロール版30は、切削加工が容易な金属材料による円筒形状又は円柱形状により母材31が形成され、この実施形態では、銅のパイプ材が母材31に適用される。この製造工程は、平滑化工程において、バイトを使用した母材31の周側面の切削処理により母材31の周側面を平滑化した後、電解溶出作用と、砥粒による擦過作用の複合による電解複合研磨法により母材31の周側面を超鏡面化する。   In the roll plate 30, a base material 31 is formed in a cylindrical shape or a columnar shape made of a metal material that is easy to cut. In this embodiment, a copper pipe material is applied to the base material 31. In this smoothing process, after the peripheral side surface of the base material 31 is smoothed by cutting processing of the peripheral surface of the base material 31 using a cutting tool in the smoothing step, electrolysis is performed by a combination of an electrolytic elution action and a rubbing action by abrasive grains. The peripheral side surface of the base material 31 is made into a super mirror surface by a composite polishing method.

続いてこの製造工程は、切削工程において、母材31を切削装置に装着した後、バイト32の先端を母材31の周側面に押し当て、この状態で矢印Bにより示すように母材31を回転させながら、矢印Cにより示すようにバイト32を母材31の管軸に沿った方向に移動させ、これにより母材31の周側面をらせん状に切削加工する。これによりこの製造工程は、円周方向に延長する断面矩形形状による、凹状溝21に対応する凸条を母材31の周側面に作製する。なおバイト32は、同時並列的に複数の凸条を作製可能に、先端が櫛歯状に形成されており、これによりこの工程では、ロール版の作製に要する時間を短縮する。   Subsequently, in this cutting process, after the base material 31 is mounted on the cutting device in the cutting process, the tip of the cutting tool 32 is pressed against the peripheral side surface of the base material 31, and in this state, the base material 31 is moved as shown by an arrow B. While rotating, the cutting tool 32 is moved in the direction along the tube axis of the base material 31 as indicated by the arrow C, and the peripheral side surface of the base material 31 is cut into a spiral shape. Thereby, this manufacturing process produces the protruding item | line corresponding to the concave groove | channel 21 by the cross-sectional rectangular shape extended in the circumferential direction on the surrounding side surface of the base material 31. FIG. Note that the tip of the cutting tool 32 is formed in a comb-like shape so that a plurality of protrusions can be manufactured simultaneously and in parallel, thereby reducing the time required for manufacturing the roll plate in this step.

なお凸条の延長方向にあっては、必要に応じて回転軸の延長方向としてもよく、回転軸方向に対して斜めに傾くようにしてもよい。   In the extension direction of the ridges, the extension direction of the rotation shaft may be used as necessary, or may be inclined obliquely with respect to the rotation axis direction.

〔第2実施形態〕
図7は、第3実施形態に係るロール版の製造方法の説明に供する図である。この実施形態では、このロール版の製造方法が異なる点を除いて、上述の実施形態と同一に構成される。
[Second Embodiment]
FIG. 7 is a diagram for explaining a roll plate manufacturing method according to the third embodiment. This embodiment is configured in the same manner as the above-described embodiment except that the roll plate manufacturing method is different.

この実施形態の製造工程は、平板の賦型版を使用した賦型処理により、凹状溝21による凹凸形状を形成してなる平版による複製版41を作製する。この製造工程は、この複製版41を定盤42に密接して、又は一定の間隔により隔てて、複数配置する(図7(A))。またその後、ニッケル等による電鋳処理により、表面に所望の厚みにより金属層43を作製し(図7(B))、その後、この金属層43を剥離する(図7(C))。   In the manufacturing process of this embodiment, a replica plate 41 using a lithographic plate formed by forming a concavo-convex shape by the concave groove 21 is manufactured by a forming process using a flat plate forming plate. In this manufacturing process, a plurality of the duplicate plates 41 are arranged in close contact with the surface plate 42 or separated by a predetermined interval (FIG. 7A). Thereafter, a metal layer 43 having a desired thickness is produced on the surface by electroforming with nickel or the like (FIG. 7B), and then the metal layer 43 is peeled off (FIG. 7C).

これによりこの工程は、1つの原版を使用して複数の複製版を作製し、この複数の複製版のタイリングにより、表面に微細凹凸形状を作製してなる大面積によるシート状版(43)を作製する。   Thus, in this step, a sheet-shaped plate (43) having a large area in which a plurality of duplicate plates are produced using one original plate, and fine unevenness is produced on the surface by tiling of the plurality of duplicate plates. Is made.

この製造工程は、全体が筒形状となるようにこのシート状版(43)の両端部を接続し、これによりスリーブ版を形成する。この実施形態は、円筒形状又は円柱形状による心材をこのスリーブ版に差し込んでこの心材の周側面にスリーブ版を配置し、これにより賦型処理に係る微細凹凸形状を周側面に作製してなるロール版を作製する。   In this manufacturing process, both end portions of the sheet-like plate (43) are connected so that the whole becomes a cylindrical shape, thereby forming a sleeve plate. This embodiment is a roll formed by inserting a core material in a cylindrical shape or a columnar shape into this sleeve plate and arranging the sleeve plate on the peripheral side surface of this core material, thereby producing a fine uneven shape related to the shaping process on the peripheral side surface. Make a plate.

この実施形態のように1つの原版を使用して作製した複製版のタイリングによりスリーブ版を作製してロール版を作製するようにしても、第1実施形態と同様の効果を得ることができる。またこの場合、タイリングに供する賦型版を傾けて配置すること等により、ロール版の周側面に形成される凸条の傾きを種々に設定することができ、簡易に所望の傾きによるロール版を作製することができる。   Even if a sleeve plate is produced by tiling a duplicate plate produced using one original plate as in this embodiment to produce a roll plate, the same effect as in the first embodiment can be obtained. . In this case, the inclination of the ridge formed on the peripheral side surface of the roll plate can be variously set by inclining and arranging the shaping plate used for tiling, and the roll plate with a desired inclination can be easily set. Can be produced.

なおこれに代えて、簡易的に、シート状版(43)から更に樹脂で再賦型した樹脂シートを心材に巻きつけて固定し、ロール版としてもよく、あるいは、電鋳処理により金属層43を作成する代わりに(図15(B),(C))、直接樹脂で再賦型したシートをそのままシート状版(43)として心材に巻きつけて固定しロール版としてもよい。   Instead of this, a resin sheet re-molded with a resin from the sheet plate (43) may be simply wound around the core material and fixed to form a roll plate, or the metal layer 43 may be electroformed. (FIGS. 15B and 15C), a sheet re-molded directly with resin may be wound around the core material as it is as a sheet-like plate (43) and fixed to form a roll plate.

〔第3実施形態〕
この実施形態では、1/4波長板と直線偏光板とを積層して作製される円偏光板による反射防止フィルムを画像表示パネルのパネル面に配置して画像表示装置を構成する。この実施形態の画像表示装置は、この反射防止フィルムを構成する直線偏光板に上述の実施形態に係る偏光子が適用される。
[Third Embodiment]
In this embodiment, an image display device is configured by arranging an antireflection film made of a circularly polarizing plate produced by laminating a quarter-wave plate and a linearly polarizing plate on the panel surface of the image display panel. In the image display device of this embodiment, the polarizer according to the above-described embodiment is applied to the linearly polarizing plate constituting the antireflection film.

この実施形態のように、1/4波長板と直線偏光板との積層による円偏光板を画像表示パネルのパネル面に配置して反射防止を図るようにして、この直線偏光板に偏光子を適用するようにしても、上述の実施形態と同様の効果を得ることができる。但し、この場合偏光子の出光面(観察者側)の反射率を抑制する必要があるため、光吸収性の金属材料が好適に用いられる。あるいは必要に応じて金属の黒化処理や、金属層の多層構造(観察者側を光吸収性材料にする)なども適用可能である。   As in this embodiment, a circularly polarizing plate formed by laminating a quarter wavelength plate and a linearly polarizing plate is arranged on the panel surface of the image display panel to prevent reflection, and a polarizer is attached to the linearly polarizing plate. Even if it applies, the same effect as the above-mentioned embodiment can be acquired. However, in this case, since it is necessary to suppress the reflectance of the light exit surface (observer side) of the polarizer, a light-absorbing metal material is preferably used. Alternatively, a metal blackening process or a multilayer structure of metal layers (using a light-absorbing material on the observer side) can be applied as necessary.

〔第4実施形態〕
図8は、本発明の第4実施形態に係る液晶表示装置に適用される偏光子を示す図である。この偏光子34は、直線偏光板7、偏光子4に代えて、液晶セル5のバックライト3側に、金属線状部11が液晶セル5側となる向きにより配置される。ここで金属線状部11は、一方の側の端面である液晶セル5側の端面に、金属線状部による反射を抑制する反射抑制層11Bが設けられる。これによりこの液晶表示装置では、バックライト3からの出射光は有効利用するようにして、液晶セル5側から入射する外来光による反射を充分に抑制して映り込みを充分に防止する。
[Fourth Embodiment]
FIG. 8 is a diagram showing a polarizer applied to the liquid crystal display device according to the fourth embodiment of the present invention. The polarizer 34 is arranged on the backlight 3 side of the liquid crystal cell 5 in the direction in which the metal linear portion 11 is on the liquid crystal cell 5 side, instead of the linearly polarizing plate 7 and the polarizer 4. Here, the metal linear portion 11 is provided with a reflection suppressing layer 11B that suppresses reflection by the metal linear portion on the end surface on the liquid crystal cell 5 side which is the end surface on one side. Accordingly, in this liquid crystal display device, the light emitted from the backlight 3 is effectively used, and reflection by extraneous light incident from the liquid crystal cell 5 side is sufficiently suppressed to sufficiently prevent reflection.

これによりこの実施形態では、凹状溝に上述の実施形態と同様にしてアルミニウム等による金属材料を配置して金属線状部11の本体部11Aを作製した後、反射層作製工程において、反射抑制層11Bが設けられる。ここで反射抑制層11Bは、本体層11Aに比して反射率の低い材料を適用することができるものの、凹状溝に配置した金属材料を黒色に変質させることにより(いわゆる黒化処理である)形成してもよく、一般的な黒化処理材料を適用してもよく、例えばナノ微粒子によるカーボン、黒化Ni、黒化Cu、黒化Al、黒化Zn、黒化Crの何れかの材料、またはこれらの何れかを主成分とする材料を適用することができる。また酸化第二銅(CuO)、酸化アルミニウム(Al)、四酸化三鉄(Fe)等、各種の低反射率の材料を適用してもよい。なお黒化処理は、例えば特開2012−208145号公報等に開示の手法を適用することができる。また黒化層11Aは、無電解メッキ、電解メッキ、ドライ製膜、ナノ粒子を持ったインキのコーティング、黒化層の形状により作製されたストライプパターンの転写等を適用することができ、アルミ表面を化学反応により処理して黒化させる処理も適用可能である。 Thus, in this embodiment, after the metal material made of aluminum or the like is disposed in the concave groove in the same manner as in the above-described embodiment to produce the main body portion 11A of the metal linear portion 11, the reflection suppressing layer is formed in the reflective layer producing step. 11B is provided. Here, although the reflection suppressing layer 11B can be applied with a material having a lower reflectance than the main body layer 11A, the metal material disposed in the concave groove is changed to black (this is a so-called blackening treatment). It may be formed, and a general blackening treatment material may be applied. For example, carbon, blackened Ni, blackened Cu, blackened Al, blackened Zn, or blackened Cr material using nano-particles Alternatively, a material containing any of these as a main component can be applied. Various low-reflectivity materials such as cupric oxide (CuO), aluminum oxide (Al 2 O 3 ), and triiron tetroxide (Fe 3 O 4 ) may also be applied. For the blackening process, for example, a method disclosed in JP 2012-208145 A can be applied. The blackened layer 11A can be applied with electroless plating, electrolytic plating, dry film formation, ink coating with nanoparticles, transfer of a stripe pattern produced by the shape of the blackened layer, etc. It is also possible to apply a treatment for blackening by treating with a chemical reaction.

このように金属線状部の端部に反射抑制層11Bを設ける場合にあって、この反射抑制層11Bの厚みが薄いと、充分に反射防止を図ることができないものの、厚みが厚すぎると作製が困難になったりする。これにより反射抑制層11Bは、1nm以上20nm以下の厚みにより作製される。   As described above, when the reflection suppression layer 11B is provided at the end of the metal linear portion, if the reflection suppression layer 11B is thin, sufficient antireflection cannot be achieved. It becomes difficult. Thereby, the reflection suppression layer 11B is produced with a thickness of 1 nm or more and 20 nm or less.

この実施形態では、液晶セル5のバックライト3側に、液晶セル側に低反射層を設けてなる偏光子を配置することにより、バックライト3からの出射光は有効利用するようにして、液晶セル5側から入射する外来光による反射を充分に抑制することができる。またこのように金属線状部の一方の端部に反射抑制層を設けて偏光子を構成することにより、この種のワイヤーグリッド型偏光子の適用分野を拡大することができる。   In this embodiment, by arranging a polarizer having a low reflection layer on the liquid crystal cell side on the backlight 3 side of the liquid crystal cell 5, the light emitted from the backlight 3 can be used effectively, and the liquid crystal cell 5 Reflection by extraneous light entering from the cell 5 side can be sufficiently suppressed. Moreover, the field of application of this type of wire grid polarizer can be expanded by providing a polarizer by providing a reflection suppressing layer at one end of the metal linear portion.

〔第5実施形態〕
図9は、図2及び図8との対比により本発明の第5実施形態に係る偏光子を示す断面図であり、より具体的に、図9(A)及び(B)は、それぞれ第1及び第4実施形態との対比により本実施形態の偏光子を示す図である。この実施形態では、凹状溝に金属線状部11を作製する際に、凹状溝上に密着性を強化する中間層35が設けられる。ここでこの中間層35は、特に制限されないが、主としてSiまたはその化合物である、SiO、SiCなどが好ましい。また厚み5nm以上10nm以下により作製される。
[Fifth Embodiment]
FIG. 9 is a cross-sectional view showing a polarizer according to a fifth embodiment of the present invention in comparison with FIGS. 2 and 8, and more specifically, FIGS. 9A and 9B are first views. It is a figure which shows the polarizer of this embodiment by contrast with 4th Embodiment. In this embodiment, when forming the metal linear part 11 in a concave groove, the intermediate | middle layer 35 which reinforces adhesiveness is provided on a concave groove. Here, the intermediate layer 35 is not particularly limited, but SiO 2 , SiC, or the like, which is mainly Si or a compound thereof, is preferable. Further, the thickness is 5 nm or more and 10 nm or less.

このためこの実施形態では、賦型処理により凹状溝を作製した後、蒸着、スパッタリング等により中間層35が作製され、その後、金属線状部に係る金属材料が配置される。   For this reason, in this embodiment, after producing the concave groove by the shaping process, the intermediate layer 35 is produced by vapor deposition, sputtering or the like, and then the metal material related to the metal linear portion is arranged.

この実施形態では、中間層35を設けることにより、高い信頼性により金属線状部を設けることができ、その結果、偏光子、液晶表示装置の信頼性を向上することができる。   In this embodiment, by providing the intermediate layer 35, the metal linear portion can be provided with high reliability, and as a result, the reliability of the polarizer and the liquid crystal display device can be improved.

〔他の実施形態〕
以上、本発明の実施に好適な具体的な構成を詳述したが、本発明は、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で、上述の実施形態を種々に組み合わせ、さらには上述の実施形態の構成を種々に変更することができる。
[Other Embodiments]
The specific configuration suitable for the implementation of the present invention has been described in detail above. However, the present invention is not limited to the scope of the present invention, and various combinations of the above-described embodiments, and further the configuration of the above-described embodiments. Can be variously changed.

すなわち上述の実施形態では、画像表示装置に適用して透過を制限する波長帯域が可視光域(波長380nm〜800nm)である場合について述べたが、本発明はこれに限らず、例えば紫外線や赤外線の透過を制限する場合等にも広く適用することができる。なおこのように可視光域以外の電磁波について透過を制限する場合には、必ずしも可視光において透明個体誘電体部の見た目が透明である必要は無く、可視光において不透明であってもよい。   That is, in the above-described embodiment, the case where the wavelength band that is applied to the image display device and restricts transmission is in the visible light range (wavelength of 380 nm to 800 nm) has been described. The present invention can be widely applied to the case where the transmission of light is limited. When the transmission of electromagnetic waves outside the visible light region is limited in this way, the transparent solid dielectric portion does not necessarily need to be transparent in visible light, and may be opaque in visible light.

また上述の実施形態では、本発明を画像表示装置に適用する場合について述べたが、本発明はこれに限らず、例えば露光装置、プロジェクタ、照明、サングラス、調光シート等、種々の光学装置や調光装置に広く適用することができる。   In the above-described embodiment, the case where the present invention is applied to an image display device has been described. However, the present invention is not limited thereto, and various optical devices such as an exposure device, a projector, illumination, sunglasses, a light control sheet, and the like can be used. It can be widely applied to a dimmer.

また上述の実施形態ではロール版による賦型用金型を使用した長尺フィルム材の賦型処理により偏光子を作製する場合について述べたが、本発明はこれに限らず、平板による金型を使用した枚葉の処理により作製する場合にも広く適用することができる。   Moreover, although the above-mentioned embodiment described the case where a polarizer was produced by the shaping process of the long film material using the shaping mold by the roll plate, the present invention is not limited to this, and a mold by a flat plate is used. The present invention can be widely applied to the case of manufacturing by processing the used single wafer.

1 画像表示装置
2 液晶表示パネル
3 バックライト
4、34 偏光子
5 液晶セル
6、7 直線偏光板
11 金属線状部
11A 本体部
11B 反射抑制層
12 透明固体誘電体部
13 偏光層
15 基材
16 賦型樹脂層
21 凹状溝
22、43 金属層
30 ロール版
31 母材
32 バイト
35 中間層
41 複製版
42 定盤
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Image display apparatus 2 Liquid crystal display panel 3 Backlight 4, 34 Polarizer 5 Liquid crystal cell 6, 7 Linearly polarizing plate 11 Metal linear part 11A Main part 11B Antireflection layer 12 Transparent solid dielectric part 13 Polarizing layer 15 Base material 16 Molding resin layer 21 Concave groove 22, 43 Metal layer 30 Roll plate 31 Base material 32 Byte 35 Intermediate layer 41 Replica plate 42 Surface plate

Claims (18)

入射する電磁波の透過を偏光面に応じて制限する偏光子において、
偏光子としての光学的機能を担う偏光層を備え、
前記偏光層は、
透過を制限する波長帯域の最短波長以下の線幅により金属材料による金属線状部が、前記線幅の方向に離間して複数配置され、
隣接する前記金属線状部の間に、前記波長帯域の電磁波に対して透明の固体誘電体による透明固体誘電体部が設けられ、
厚み方向に係る前記金属線状部の端面が、隣接する前記透明固体誘電体部の端面より20nm以上突出している
偏光子。
In a polarizer that limits the transmission of incident electromagnetic waves according to the plane of polarization,
Provided with a polarizing layer responsible for the optical function as a polarizer,
The polarizing layer is
A plurality of metal linear portions made of a metal material with a line width equal to or less than the shortest wavelength of a wavelength band that restricts transmission are arranged apart in the direction of the line width,
A transparent solid dielectric portion made of a solid dielectric transparent to the electromagnetic wave in the wavelength band is provided between the adjacent metal linear portions,
The end surface of the said metal linear part which concerns on the thickness direction protrudes 20 nm or more from the end surface of the said transparent solid dielectric material part which adjoins. Polarizer.
前記金属線状部の幅方向に係る前記端面の断面形状が、中央が突出する曲面形状である
請求項1に記載の偏光子。
The polarizer of Claim 1. The cross-sectional shape of the said end surface which concerns on the width direction of the said metal linear part is a curved surface shape from which the center protrudes.
前記金属線状部の材料による金属膜が、前記透明固体誘電体部の端面に設けられた
請求項1又は請求項2に記載の偏光子。
The polarizer according to claim 1, wherein a metal film made of a material of the metal linear portion is provided on an end surface of the transparent solid dielectric portion.
前記偏光層の少なくとも一方の面には、前記波長帯域の電磁波に対して透明な透明層が設けられた
請求項1、請求項2、請求項3の何れかに記載の偏光子。
The polarizer according to claim 1, wherein a transparent layer that is transparent to electromagnetic waves in the wavelength band is provided on at least one surface of the polarizing layer.
前記透明層が、前記偏光層の保護層である
請求項4に記載の偏光子。
The polarizer according to claim 4, wherein the transparent layer is a protective layer for the polarizing layer.
前記透明層が、前記透明固体誘電体部と一体の透明樹脂層である
請求項4に記載の偏光子。
The polarizer according to claim 4, wherein the transparent layer is a transparent resin layer integral with the transparent solid dielectric part.
前記透明層が、前記透明固体誘電体部と一体の透明樹脂層と、前記透明樹脂層の基材である
請求項4に記載の偏光子。
The polarizer according to claim 4, wherein the transparent layer is a transparent resin layer integral with the transparent solid dielectric portion and a base material of the transparent resin layer.
前記金属線状部の金属材料が、アルミニウム、ニッケル、クロム、銀の何れかを含む
請求項1、請求項2、請求項3、請求子4、請求項5、請求項6、請求項7の何れかに記載の偏光子。
The metal material of the said metal linear part contains either aluminum, nickel, chromium, or silver. Claim 1, Claim 2, Claim 3, Claim 4, Claim 5, Claim 6, Claim 7 The polarizer in any one.
入射する電磁波の透過を偏光面に応じて制限する偏光子の製造方法において、
前記透過を制限する波長帯域の電磁波に対して透明の基材に、前記波長帯域の最短波長以下の溝幅による凹状溝を、前記溝幅の方向に複数配置してなる凹凸形状を作製する凹凸形状作製工程と、
前記凹状溝が作製されてなる側の面に金属層を作製することにより、前記凹状溝に金属材料を配置して、前記最短波長以下の線幅による線状の金属線状部を形成する金属線状部作製工程とを備え、
少なくとも隣接する前記凹状溝間の前記金属層を除去し、厚み方向に係る前記金属線状部の端面が、隣接する前記凹状溝に係る部材の端面より20nm以上突出しているようにする
偏光子の製造方法。
In the method of manufacturing a polarizer that limits the transmission of incident electromagnetic waves according to the polarization plane,
Concavities and convexities that produce a concave-convex shape formed by arranging a plurality of concave grooves with a groove width equal to or shorter than the shortest wavelength of the wavelength band on a base material transparent to electromagnetic waves in a wavelength band that restricts transmission. Shape production process;
Metal forming a metal layer on the surface on which the concave groove is formed, thereby disposing a metal material in the concave groove to form a linear metal linear portion with a line width equal to or shorter than the shortest wavelength A linear part manufacturing process,
At least the metal layer between the adjacent concave grooves is removed, and the end surface of the metal linear portion in the thickness direction is projected by 20 nm or more from the end surface of the member related to the adjacent concave groove. Production method.
前記凹凸形状作製工程は、
賦型用金型を使用した賦型処理により、前記基材に前記凹凸形状を作製する
請求項9に記載の偏光子の製造方法。
The uneven shape manufacturing step includes
The method for manufacturing a polarizer according to claim 9, wherein the uneven shape is formed on the base material by a forming process using a forming mold.
前記金属線状部作製工程は、
蒸着、スパッタリング、電界メッキ、無電解メッキ、化学気相成長、原子層堆積法、酸化還元反応法、ナノ粒子の堆積法の何れかにより前記金属層を作製する
請求項9又は請求項10の何れかに記載の偏光子の製造方法。
The metal linear part production process includes:
The metal layer is produced by any one of vapor deposition, sputtering, electroplating, electroless plating, chemical vapor deposition, atomic layer deposition, oxidation-reduction reaction, and nanoparticle deposition. A method for producing a polarizer according to claim 1.
請求項1、請求項2、請求項3、請求項4、請求項5、請求項6、請求項7、請求項8の何れかに記載の偏光子が、液晶セルの出射面側及び又は入射面側に配置された
液晶表示装置。
The polarizer according to claim 1, claim 2, claim 3, claim 4, claim 5, claim 6, claim 7, or claim 8 is provided on the exit surface side and / or entrance of the liquid crystal cell. Liquid crystal display device arranged on the surface side.
請求項1、請求項2、請求項3、請求項4、請求項5、請求項6、請求項7、請求項8の何れかに記載の偏光子が、液晶表示パネルの入射面側直線偏光板と一体化されて配置された
液晶表示装置。
The polarizer according to any one of claims 1, 2, 3, 4, 5, 6, 7, and 8 is a linearly polarized light on an incident surface side of a liquid crystal display panel. A liquid crystal display device integrated with a plate.
請求項1、請求項2、請求項3、請求項4、請求項5、請求項6、請求項7、請求項8の何れかに記載の偏光子が、画像表示パネルのパネル面に配置された
画像表示装置。
The polarizer according to any one of claims 1, 2, 3, 4, 5, 6, 7, and 8 is disposed on a panel surface of an image display panel. Image display device.
前記金属線状部は、
前記透明固体誘電体部の端面より突出している側の端面に、入射光の反射を抑制する反射抑制層を備える
請求項1、請求項2、請求項3、請求子4、請求項5、請求項6、請求項7、請求項8の何れかに記載の偏光子。
The metal linear part is:
A reflection suppressing layer that suppresses reflection of incident light is provided on an end surface of the transparent solid dielectric portion that protrudes from the end surface. Claims 1, 2, 3, 3, 4, and 5 The polarizer according to claim 6, claim 7, or claim 8.
前記透明固体誘電体部と前記金属線状部との間には、密着力を強化する中間層が設けられた
請求項1、請求項2、請求項3、請求子4、請求項5、請求項6、請求項7、請求項8、請求項15の何れかに記載の偏光子。
An intermediate layer that reinforces adhesion is provided between the transparent solid dielectric portion and the metal linear portion. Claims 1, 2, 3, 3, 4, and 5 The polarizer according to claim 6, claim 7, claim 8, or claim 15.
前記金属線状部作製工程は、
前記凹状溝に形成した前記金属線状部の端部に、入射光の反射を抑制する反射抑制層を作製する工程を備える
請求項9、請求項10、請求項11の何れかに記載の偏光子の製造方法。
The metal linear part production process includes:
The polarization according to any one of claims 9, 10, and 11, further comprising a step of forming a reflection suppressing layer that suppresses reflection of incident light at an end of the metal linear portion formed in the concave groove. Child manufacturing method.
請求項15、請求項16の何れかに記載の偏光子が、前記反射抑制層を作製した側の面が液晶セル側面に保持されて、前記液晶セルのバックライト側面に配置された
液晶表示装置。
17. The liquid crystal display device according to claim 15, wherein the polarizer according to claim 15 is disposed on the side surface of the backlight of the liquid crystal cell while the surface on which the antireflection layer is formed is held on the side surface of the liquid crystal cell. .
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