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JP2015158000A - Nickel powder production process - Google Patents

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JP2015158000A
JP2015158000A JP2014034595A JP2014034595A JP2015158000A JP 2015158000 A JP2015158000 A JP 2015158000A JP 2014034595 A JP2014034595 A JP 2014034595A JP 2014034595 A JP2014034595 A JP 2014034595A JP 2015158000 A JP2015158000 A JP 2015158000A
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nickel
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貴広 植田
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide: a nickel powder containing no coarse particles, and production process thereof, which is suitable for an internal electrode of thin layered multilayer ceramic capacitor; and specifically a process for producing a nickel powder in which the average particle size is 0.1 to 0.3 μm and in which the ratio of coarse particles having a particle length size of 1.0 μm or more is 5 ppm or less of the total number of particles.SOLUTION: The nickel powder production process is characterized in comprising: a first step for forming a water slurry in which the raw material nickel powder is at high dispersion state in water, and wet classification treating the water slurry to form a nickel slurry; a second step for drying the nickel slurry obtained from the first step to form a nickel powder, and heat the nickel powder under a reduction atmosphere; and a third step for dry classification treating the nickel powder obtained in the second step.

Description

本発明は、積層セラミックコンデンサ(multilayer ceramic capacitors:MLCC)の内部電極として好適に用いることができるニッケル粉末の製造方法に関する。   The present invention relates to a method for producing nickel powder that can be suitably used as an internal electrode of a multilayer ceramic capacitor (MLCC).

従来、ニッケル粉末は、厚膜導電体を作製するための導電ペーストの材料として使用されてきている。この厚膜導電体は、電気回路の形成、積層セラミックコンデンサ及び多層セラミック基板等の積層セラミック部品の電極等に用いられ、特に積層セラミックコンデンサでは、小型・高容量化の要求から高積層化が進み、そのために用いる導電ペーストの使用量も大幅に増加している。このため、導電ペーストに使用する金属粉末としては、高価な貴金属の使用を避け、安価なニッケルなどの卑金属が主流となっている。   Conventionally, nickel powder has been used as a material for a conductive paste for producing a thick film conductor. This thick film conductor is used for the formation of electric circuits, the electrodes of multilayer ceramic components such as multilayer ceramic capacitors and multilayer ceramic substrates, etc. Especially in multilayer ceramic capacitors, the increase in the number of layers is progressing due to the demand for smaller size and higher capacity. The amount of conductive paste used for that purpose has also increased significantly. For this reason, as the metal powder used for the conductive paste, the use of expensive noble metals is avoided, and inexpensive base metals such as nickel are mainly used.

この積層セラミックコンデンサは、例えば、次のような方法で製造される。
まず、ニッケル粉末と、エチルセルロース等の樹脂と、ターピネオール等の有機溶剤等とを混練して得られた導電ペーストを、誘電体グリーンシート上にスクリーン印刷して内部電極を作製する。次に、印刷された内部電極が交互に重なるように誘電体グリーンシートを積層し、圧着する。その後、積層体を所定の大きさにカットし、有機バインダとして使用したエチルセルロース等の樹脂の燃焼除去を行うための脱バインダ処理を行った後、1300℃まで高温焼成してセラミック体を得る。そして、このセラミック体に外部電極を取り付け、積層セラミックコンデンサを作製するものである。
This multilayer ceramic capacitor is manufactured, for example, by the following method.
First, a conductive paste obtained by kneading a nickel powder, a resin such as ethyl cellulose, and an organic solvent such as terpineol is screen-printed on a dielectric green sheet to produce an internal electrode. Next, dielectric green sheets are laminated and pressure bonded so that the printed internal electrodes are alternately overlapped. Thereafter, the laminate is cut into a predetermined size, subjected to a binder removal treatment for removing the resin such as ethyl cellulose used as an organic binder, and then fired at a high temperature to 1300 ° C. to obtain a ceramic body. Then, an external electrode is attached to this ceramic body to produce a multilayer ceramic capacitor.

ところで、内部電極となる導電ペースト中の金属粉末は、上記のように、貴金属よりもニッケルなどの卑金属が主流となってきていることから、積層体の脱バインダ処理では、ニッケル粉末などが酸化しないように、酸素含有量を極めて微量にした雰囲気下にて行われている。   By the way, as described above, the base powder such as nickel is more prevalent than the precious metal in the metal powder in the conductive paste to be the internal electrode. Therefore, the nickel powder or the like is not oxidized in the binder removal treatment of the laminate. Thus, it is performed in an atmosphere in which the oxygen content is extremely small.

さらに、近年、小型化及び大容量化が求められている積層セラミックコンデンサにおいて、その小型化及び大容量化を達成するために、積層セラミックコンデンサを構成する内部電極及び誘電体共に、薄層化が進められている。特に、内部電極に使用されるニッケル粉末の粒径は、0.5μm以下が主流となっている。
この内部電極に使用されるニッケル粉末はさまざまな特性が求められているが、その一つに粗大粒子を含まないことが重要となっている。その理由は、粗大粒子を含むと、内部電極層から粗大粒子が突き出してしまい、別の内部電極層と接触して短絡を起こしてしまうからである。
Further, in recent years, in a multilayer ceramic capacitor that is required to be downsized and increased in capacity, in order to achieve the downsizing and increase in capacity, both the internal electrode and the dielectric constituting the multilayer ceramic capacitor are reduced in thickness. It is being advanced. In particular, the particle diameter of nickel powder used for the internal electrode is mainly 0.5 μm or less.
The nickel powder used for the internal electrode is required to have various characteristics, and it is important that one of them does not contain coarse particles. The reason is that if coarse particles are included, the coarse particles protrude from the internal electrode layer, and contact with another internal electrode layer causes a short circuit.

この粗大粒子の混在に対応するために、ニッケル粉粒子の形成の際に、粗大粒子の発生を抑制する方法が提案されている(特許文献1)。また、ニッケル粉粒子が形成された後に、水中分散させ湿式分級機で粗大粒子除去をする方法(特許文献2)、もしくは、乾式分級機で粗大粒子除去をする方法(特許文献3)が提案されている。
しかしながら、これらの方法では、特に、薄層化が十分に期待できる平均粒径が0.3μm以下の微粒子の領域において、粗大粒子が含まれていないニッケル粉末を安定的に製造することが難しく、粗大粒子を含まないニッケル粉末を作製する製造方法が求められている。
In order to cope with this mixture of coarse particles, a method of suppressing the generation of coarse particles during the formation of nickel powder particles has been proposed (Patent Document 1). Moreover, after nickel powder particles are formed, a method of dispersing in water and removing coarse particles with a wet classifier (Patent Document 2) or a method of removing coarse particles with a dry classifier (Patent Document 3) has been proposed. ing.
However, in these methods, it is difficult to stably produce nickel powder that does not contain coarse particles, particularly in the region of fine particles having an average particle size of 0.3 μm or less that can be sufficiently expected to be thinned. There is a need for a production method for producing nickel powder that does not contain coarse particles.

特開2007−138291号公報JP 2007-138291 A 特開2004−292950号公報JP 2004-292950 A 特開平11−253886号公報Japanese Patent Laid-Open No. 11-253886

本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであって、薄層化された積層セラミックコンデンサの内部電極を作製するために、好適なニッケル粉末およびその製造方法を提供することを目的とする。
具体的には、平均粒径が0.1〜0.3μmであり、粒子の長径が1.0μm以上の粗大粒子が5ppm以下であるニッケル粉末の製造方法を提供することを目的とする。
The present invention has been made in view of such problems, and it is an object of the present invention to provide a suitable nickel powder and a method for manufacturing the same in order to produce a thin-layered multilayer ceramic capacitor internal electrode. .
Specifically, it aims at providing the manufacturing method of nickel powder whose average particle diameter is 0.1-0.3 micrometer, and whose coarse particle whose particle | grain major axis is 1.0 micrometer or more is 5 ppm or less.

本発明者は、ニッケル粉末が水スラリー中で高分散状態を形成し、その状態から湿式分級を施し、その後還元雰囲気下での加熱を経て、さらに乾式分級することで、薄膜化された積層セラミックコンデンサの内部電極を形成する好適なニッケル粉末が得られることを見出し、本発明の完成に至ったものである。   The inventor of the present invention has formed a thin ceramic film in which nickel powder forms a highly dispersed state in a water slurry, is subjected to wet classification from that state, then heated in a reducing atmosphere, and further subjected to dry classification. The present inventors have found that a suitable nickel powder for forming an internal electrode of a capacitor can be obtained, and the present invention has been completed.

すなわち本発明に係る発明の第1の発明は、原料ニッケル粉末が水中で高分散状態となる水スラリーを形成し、その水スラリーを湿式分級処理してニッケルスラリーを形成する第1工程と、第1工程により得られたニッケルスラリーを固液分離後に固相成分を乾燥してニッケル粉末を形成し、還元雰囲気下でニッケル粉末を加熱する第2工程と、第2工程で得られたニッケル粉末を乾式分級処理する第3工程とを含むことを特徴とするニッケル粉末の製造方法である。   That is, the first aspect of the invention according to the present invention includes a first step of forming a water slurry in which the raw nickel powder is highly dispersed in water, and wet-classifying the water slurry to form a nickel slurry; After solid-liquid separation of the nickel slurry obtained in one step, the solid phase component is dried to form nickel powder, and the nickel powder obtained in the second step is heated in a reducing atmosphere. And a third step of performing a dry classification process.

本発明の第2の発明は、第1の発明における原料ニッケル粉末が、湿式還元法を用いて生成されたニッケル粉末であることを特徴とするニッケル粉末の製造方法である。   According to a second aspect of the present invention, there is provided a nickel powder manufacturing method characterized in that the raw material nickel powder in the first aspect is a nickel powder produced by a wet reduction method.

本発明の第3の発明は、第2の発明における原料ニッケル粉末が、ニッケル塩水溶液と、還元剤と、パラジウムと銀とを含むアルカリ性コロイド溶液とからニッケル粉末を晶析させる湿式還元法を用いて生成されたニッケル粉末であることを特徴とするニッケル粉末の製造方法である。   The third invention of the present invention uses a wet reduction method in which the raw material nickel powder in the second invention crystallizes nickel powder from an aqueous nickel salt solution, a reducing agent, and an alkaline colloidal solution containing palladium and silver. A nickel powder production method, characterized in that the nickel powder is produced.

本発明の第4の発明は、第1から第3の発明の第2工程における還元雰囲気が、1〜50体積%の水素を含む不活性ガス雰囲気であることを特徴とするニッケル粉末の製造方法である。   According to a fourth invention of the present invention, the reducing atmosphere in the second step of the first to third inventions is an inert gas atmosphere containing 1 to 50% by volume of hydrogen. It is.

本発明の第5の発明は、第1から第4の発明の第2工程における還元雰囲気下でニッケル粉末を加熱する工程の加熱温度が、150〜350℃であることを特徴とするニッケル粉末の製造方法である。   According to a fifth aspect of the present invention, there is provided a nickel powder characterized in that the heating temperature in the step of heating the nickel powder in a reducing atmosphere in the second step of the first to fourth aspects is 150 to 350 ° C. It is a manufacturing method.

本発明の第6の発明は、第1から第5の発明における第3工程を経て得られたニッケル粉末の1.0μm以上の粒径を有する粗大粒子の数が、全粒子数の5ppm以下であることを特徴とするニッケル粉末の製造方法である。   In the sixth invention of the present invention, the number of coarse particles having a particle diameter of 1.0 μm or more of the nickel powder obtained through the third step in the first to fifth inventions is 5 ppm or less of the total number of particles. It is a manufacturing method of nickel powder characterized by being.

本発明の第7の発明は、第6の発明における第3工程を経て得られたニッケル粉末の平均粒径が、0.1〜0.3μmであることを特徴とするニッケル粉末の製造方法である。   7th invention of this invention is the manufacturing method of nickel powder characterized by the average particle diameter of the nickel powder obtained through the 3rd process in 6th invention being 0.1-0.3 micrometer. is there.

本発明の第8の発明は、第6又は第7の発明における第3工程を経て得られたニッケル粉末の酸素含有量が、1.5質量%以下であることを特徴とするニッケル粉末の製造方法である。   The eighth invention of the present invention is the production of nickel powder characterized in that the oxygen content of the nickel powder obtained through the third step in the sixth or seventh invention is 1.5% by mass or less. Is the method.

本発明に係るニッケル粉末の製造方法によれば、平均粒径が0.1〜0.3μmで、その粒子の粒子長径が1.0μm以上の粗大粒子の含有量が5ppm以下のニッケル粒子を製造可能である。
そのため、薄膜化された積層セラミックコンデンサの内部電極に用いれば、粗大粒子に起因する内部電極の短絡を引き起こす可能性を低減でき、コンデンサの製品歩留まりを向上させることができ、工業上顕著な効果を奏するものである。
According to the method for producing nickel powder according to the present invention, nickel particles having an average particle diameter of 0.1 to 0.3 μm and coarse particles having a particle major axis of 1.0 μm or more and a content of 5 ppm or less are produced. Is possible.
Therefore, if it is used for the internal electrode of a thin-film multilayer ceramic capacitor, the possibility of causing a short circuit of the internal electrode due to coarse particles can be reduced, the product yield of the capacitor can be improved, and a remarkable industrial effect can be achieved. It is what you play.

本発明の製造方法を示す製造フロー図である。It is a manufacturing flowchart which shows the manufacturing method of this invention. 本発明により得られたニッケル粉末の走査型電子顕微鏡写真(5000倍)である。It is a scanning electron micrograph (5000 times) of the nickel powder obtained by this invention.

本発明の製造方法は、図1の製造フロー図に示されるように、原料ニッケル粉末を水スラリーにして高分散状態とした後に、湿式分級処理を行う第1工程と、水スラリーの湿式分級処理により形成されたニッケルスラリーを乾燥後、還元雰囲気下での加熱処理を行う第2工程と、加熱後のニッケル粉末の乾式分級処理を行う第3工程からなることを特徴とするものである。   As shown in the manufacturing flow diagram of FIG. 1, the manufacturing method of the present invention includes a first step of performing wet classification after the raw nickel powder is made into a water slurry to be in a highly dispersed state, and wet classification of the water slurry. After the nickel slurry formed by the above method is dried, it is composed of a second step of performing a heat treatment in a reducing atmosphere and a third step of performing a dry classification treatment of the heated nickel powder.

なお、本発明以外の粗大粒子除去を行う処理工程としては、得られたニッケル粉末を用いた高分散状態の水スラリーを作製し、一度湿式分級した後に固液分離と乾燥によりニッケル粉末を得る第1方法、得られたニッケル粉末を用いた高分散状態の水スラリーを作製し一度湿式分級した後に複数回さらに湿式分級した後に固液分離と乾燥によりニッケル粉末を得る第2方法、得られたニッケル粉末を一度乾式分級しニッケル粉末を得る第3方法、得られたニッケル粉末を一度乾式分級した後に複数回さらに乾式分級を行いニッケル粉末を得る第4方法、第1、2方法で得られたニッケル粉末の乾式分級を行うことによってニッケル粉末を得る第5方法などが考えられる。   In addition, as a processing step for removing coarse particles other than the present invention, a highly dispersed water slurry using the obtained nickel powder is prepared, and once wet-classified, nickel powder is obtained by solid-liquid separation and drying. 1 method, a second method of obtaining a nickel powder by solid-liquid separation and drying after preparing a highly dispersed water slurry using the obtained nickel powder, once wet-classifying, then further wet-classifying multiple times and then solid-liquid separation and drying The third method to obtain nickel powder by dry-classifying the powder once, the fourth method to obtain nickel powder by dry-classifying the obtained nickel powder once, and then the nickel powder obtained by the first and second methods A fifth method for obtaining nickel powder by performing dry classification of the powder is conceivable.

高分散状態の水スラリー処理を経る第1、2、5方法では、高分散状態の水スラリーとする際にニッケル粉末の表面が水中で高圧摩砕されることで表面大部分が水酸化物となることが多く、乾燥した後もニッケル粉末の表面は水酸化物支配的な状態となる。そのため、この粉末と石油系溶剤などを用いて内部電極ペーストとした際に、用いられる石油系の溶剤とニッケル粉末が上手く馴染まず、粉末のみが再凝集し粉末と溶剤が分離しやすい状態が発現することが多く、好ましい内部電極ペーストは得られない。   In the first, second, and fifth methods that undergo high-dispersion water slurry treatment, the surface of the nickel powder is high-pressure ground in water when forming a highly-dispersed water slurry, so that the majority of the surface is a hydroxide. In many cases, the surface of the nickel powder becomes hydroxide-dominated even after drying. Therefore, when using this powder and petroleum-based solvent as an internal electrode paste, the petroleum-based solvent and nickel powder used do not fit well, and only the powder re-aggregates and the powder and solvent are easily separated. In many cases, a preferable internal electrode paste cannot be obtained.

得られたニッケル粉末を一度乾式分級しニッケル粉末を得る第3方法では、粗大粒子が十分なレベルにまで除去できていないことが多く、粗大粒子除去の信頼性が低い状態となる。   In the third method in which the obtained nickel powder is once dry-classified to obtain nickel powder, coarse particles are often not removed to a sufficient level, and the reliability of coarse particle removal is low.

得られたニッケル粉末を、一度乾式分級した後に複数回さらに乾式分級を行いニッケル粉末を得る第4方法では、繰り返して乾式分級を行うことで、粗大粒子除去の信頼性を高めることは可能であるが、乾式分級機の機内付着、堆積が発生し連続的な処理による生産が困難になる問題点が発現する。   In the fourth method in which the obtained nickel powder is once subjected to dry classification and further subjected to dry classification a plurality of times to obtain nickel powder, it is possible to improve the reliability of removing coarse particles by repeatedly performing dry classification. However, there is a problem that the adhesion and accumulation of the dry classifier occur and the production by continuous processing becomes difficult.

以上のことから、本発明以外に考えられる第1〜5方法などの分級処理工程では、好適なMLCC用ニッケル粉末を得ることは困難であり、生産および特性面において求められるニッケル粉末を得る方法は、本発明に係るニッケル粉の製造方法が適したものである。   From the above, it is difficult to obtain a suitable nickel powder for MLCC in the classification treatment steps such as the first to fifth methods considered other than the present invention, and the method for obtaining the nickel powder required in terms of production and characteristics is as follows. The method for producing nickel powder according to the present invention is suitable.

<ニッケル粉の製造方法>
以下、本発明の詳細な説明を行う。
本発明は、湿式還元法、CVD法やプラズマ法などの気相法、噴霧熱分解法等、種々の方式により得られたニッケル粉末を原料ニッケル粉末に用いることができるが、湿式分級前に水スラリーとすることから、容易に水スラリーとすることができる湿式還元法により得られたニッケル粉末に適用するのが好適である。以下に湿式還元法にて得られたニッケル粉末を原料ニッケル粉末の具体例として説明するが、もちろんこれに限定されることはない。
<Manufacturing method of nickel powder>
Hereinafter, the present invention will be described in detail.
In the present invention, nickel powder obtained by various methods such as a wet reduction method, a gas phase method such as a CVD method or a plasma method, or a spray pyrolysis method can be used as a raw material nickel powder. Since it is made into a slurry, it is suitable to apply to the nickel powder obtained by the wet reduction method which can be easily made into a water slurry. The nickel powder obtained by the wet reduction method will be described below as a specific example of the raw material nickel powder, but is not limited to this.

[原料ニッケル粉末]
湿式還元法によってニッケル粉末を得る工程は、公知の方法を用いればよく、還元剤とニッケル塩水溶液と必要に応じて錯化剤や分散剤を添加してニッケル粉末を晶析させる。
本発明では、平均粒径が0.1〜0.3μmの原料ニッケル粉末を得るために、特許第4957172号公報に記載されているパラジウムと銀とを含むアルカリ性コロイド溶液をさらに添加することが望ましい。
[Raw material nickel powder]
The step of obtaining the nickel powder by the wet reduction method may use a known method, and the nickel powder is crystallized by adding a reducing agent, an aqueous nickel salt solution and, if necessary, a complexing agent or a dispersing agent.
In the present invention, in order to obtain raw material nickel powder having an average particle diameter of 0.1 to 0.3 μm, it is desirable to further add an alkaline colloidal solution containing palladium and silver described in Japanese Patent No. 4957172. .

[第1工程]
第1工程は、上記方法により得られたニッケル粉末を原料ニッケル粉末として用い、その原料ニッケル粉末を水スラリーにして高分散状態とした後に、湿式分級する工程である。
湿式還元法によって得られたニッケル粉末(原料ニッケル粉末)と反応溶液とを、公知の方法で固液分離し、その固相成分に純水を添加し、ニッケル粉末を純水中で高分散させた水スラリーを形成し、それを湿式分級機で分級させる方法が望ましい。
湿式還元法以外の方法で得られたニッケル粉末の場合は、直接純水を添加して純水中で高分散させ水スラリーとすればよい。また水スラリーとする前に不純物成分を除去するために洗浄を加えてもよい。
[First step]
The first step is a step of performing wet classification after using the nickel powder obtained by the above method as a raw material nickel powder, making the raw material nickel powder into a water slurry to a highly dispersed state.
The nickel powder (raw material nickel powder) obtained by the wet reduction method and the reaction solution are solid-liquid separated by a known method, pure water is added to the solid phase component, and the nickel powder is highly dispersed in pure water. A method of forming a water slurry and classifying it with a wet classifier is desirable.
In the case of nickel powder obtained by a method other than the wet reduction method, pure water may be added directly and highly dispersed in pure water to form a water slurry. In addition, washing may be added to remove the impurity component before forming the water slurry.

高分散させる方法としては、湿式カウンタージェットミル、攪拌槽の内壁とほぼ同径の径の攪拌羽根が高速回転することによりスラリー中の粉末粒子表面を磨砕する湿式粉砕機、例えばアルティマイザー(スギノマシン株式会社製)やTKフィルミックス(特殊機化工業株式会社製)等がある。また、別の手段としては、ポンプにより加圧したスラリーを段階的に狭くした流路に通して加速し、ダイヤモンドの固いプレートに衝突させて磨砕する装置、例えば、マイクロフルイダイザー(みずほ工業株式会社製)やナノマイザー(吉田機械工業株式会社製)等を用いることができる。   As a high dispersion method, a wet counter jet mill, a wet pulverizer that grinds the surface of the powder particles in the slurry by rotating a stirring blade having the same diameter as the inner wall of the stirring vessel at high speed, for example, an optimizer (Sugino) Machine Co., Ltd.) and TK Philmix (made by Special Machine Industry Co., Ltd.). As another means, an apparatus that accelerates slurry pressurized by a pump through a narrowed flow path and collides with a diamond hard plate, for example, a microfluidizer (Mizuho Industrial Co., Ltd.) Company) and Nanomizer (manufactured by Yoshida Machinery Co., Ltd.) can be used.

ここで、最初に湿式分級を行う理由について述べる。
製品の粗大粒子除去レベルを担保するためには最終工程で分級処理がなされていることが望ましい。そのため最終工程は乾式分級か湿式分級になる。
仮に湿式分級である場合は、仕上がったニッケル粉末表面が水酸化物となりペーストにした際に先に述べた不具合が発生しやすい。よって最終工程は乾式分級となる。
Here, the reason why wet classification is performed first will be described.
In order to ensure the coarse particle removal level of the product, it is desirable that classification processing is performed in the final process. Therefore, the final process is dry classification or wet classification.
In the case of wet classification, the above-described problems are likely to occur when the finished nickel powder surface becomes a hydroxide to form a paste. Therefore, the final process is dry classification.

すでに述べたように粗大粒子除去の信頼性を担保するために乾式分級を1回のみ、もしくは複数回繰り返して行うことは非現実的である。そのため、分級を繰り返して粗大粒子除去の信頼性を担保するためには、最終処理の乾式分級の前に別の手法で分級しておくことになり、その分級方法は湿式分級が望ましいことになる。   As already mentioned, it is impractical to repeat the dry classification only once or a plurality of times in order to ensure the reliability of removing coarse particles. Therefore, in order to ensure the reliability of removing coarse particles by repeating the classification, classification is performed by another method before the dry classification of the final treatment, and the classification method is preferably wet classification. .

湿式による分級には、サイクロン方式、遠心分離方式による装置、例えば、ハイドロサイクロン(日本化学機械製造株式会社製)、LCSS(株式会社CMS社製)、ナノカット/マイクロカット(Krettek社製)等を用いることができる。   For the wet classification, an apparatus using a cyclone system or a centrifugal system, for example, a hydrocyclone (manufactured by Nippon Chemical Machinery Co., Ltd.), LCSS (manufactured by CMS Co., Ltd.), nano cut / micro cut (manufactured by Krettek) or the like is used. be able to.

[第2工程]
第2工程は、分級後のニッケルスラリーの固液分離と、固相成分の乾燥後に、得られたニッケル粉末を還元雰囲気下で加熱する工程である。
この第2工程の役割は、高分散状態の水スラリーの形成から湿式分級までに形成されたニッケル粉末表面の過剰な水酸化物を除去するものである。
[Second step]
The second step is a step of heating the obtained nickel powder in a reducing atmosphere after solid-liquid separation of the nickel slurry after classification and drying of the solid phase component.
The role of the second step is to remove excess hydroxide on the surface of the nickel powder formed from the formation of the highly dispersed water slurry to the wet classification.

湿式分級後の乾燥は公知の方法を用いればよく、この乾燥後に得られたニッケル粉末の還元雰囲気での加熱の条件は、用いる還元雰囲気として水素濃度が1〜50体積%となる量の水素ガスと不活性ガスからなる混合ガスを用い、加熱炉に供給するのが望ましい。
水素ガス濃度が1体積%未満であると、ニッケル粉末表面の水酸化物等の除去が十分に進行せず、効果が明確に現れない。一方、水素ガス濃度が50体積%より多くても、その効果に変わりはない。
不活性ガスは特に限定されず、窒素ガス、アルゴンガスなどが使用できる。
The drying after the wet classification may be performed using a known method, and the heating conditions of the nickel powder obtained after the drying in a reducing atmosphere are as follows: the amount of hydrogen gas in which the hydrogen concentration is 1 to 50% by volume as the reducing atmosphere to be used It is desirable to use a mixed gas consisting of an inert gas and supply it to the heating furnace.
When the hydrogen gas concentration is less than 1% by volume, the removal of hydroxide and the like on the surface of the nickel powder does not proceed sufficiently, and the effect does not appear clearly. On the other hand, even if the hydrogen gas concentration is higher than 50% by volume, the effect is not changed.
The inert gas is not particularly limited, and nitrogen gas, argon gas, or the like can be used.

さらに、加熱温度は150〜350℃であることが望ましい。加熱温度が150℃未満であると、ニッケル粉末表面の水酸化物等の除去が十分に進行せず、効果が明確に現れない。加熱温度が350℃より高い場合、ニッケル粉末同士のネッキング、焼結による粗大粒子の発生が生じてしまうので望ましくない。
加熱に用いる炉は、還元雰囲気で使用できるものであれば特に限定されず、バッチ炉、ローラーハース炉またはプッシャー炉などを用いることが出来る。
Furthermore, the heating temperature is desirably 150 to 350 ° C. When the heating temperature is less than 150 ° C., the removal of hydroxide and the like on the surface of the nickel powder does not proceed sufficiently, and the effect does not appear clearly. When the heating temperature is higher than 350 ° C., coarse particles are generated due to necking and sintering of nickel powders, which is not desirable.
The furnace used for heating is not particularly limited as long as it can be used in a reducing atmosphere, and a batch furnace, a roller hearth furnace, a pusher furnace, or the like can be used.

[第3工程]
第3工程では、第2工程における還元雰囲気下で加熱して得られたニッケル粉末を乾式分級するものである。
第2工程を経たニッケル粉末は、弱い凝集体の乾燥粉末を形成しているので、乾式分級を加えることによって、ニッケル粉末中の粗大粒子が低減され、かつ一定レベルの分散性を有している。
[Third step]
In the third step, the nickel powder obtained by heating in the reducing atmosphere in the second step is subjected to dry classification.
Since the nickel powder that has undergone the second step forms a dry powder of weak agglomerates, the addition of dry classification reduces the coarse particles in the nickel powder and has a certain level of dispersibility. .

なお、乾式分級の代わりに湿式分級とすることも可能であるが、ニッケル粉末を再度水スラリーとし、湿式分級後に乾燥または還元雰囲気下での加熱が必要となる点から製造コストが増大することになり好ましくない。乾式分級では、マイクロスピン(日本ニューマチック工業株式会社製)、カウンタージェットミルAFG(ホソカワミクロン株式会社製)等の装置を用いることができる。   It is also possible to use wet classification instead of dry classification, but the nickel powder is made into a water slurry again, and the manufacturing cost increases from the point that drying or heating in a reducing atmosphere is required after wet classification. It is not preferable. In dry classification, devices such as microspin (manufactured by Nippon Pneumatic Industry Co., Ltd.), counter jet mill AFG (manufactured by Hosokawa Micron Co., Ltd.) and the like can be used.

<本発明によるニッケル粉の特性>
[粗大粒子数]
本発明に係るニッケル粉末の特徴は、粒径が1.0μm以上の粗大粒子の個数が、全粒子個数の5ppm以下であることにある。粗大粒子の個数が5ppmを超えると、薄層化された積層セラミックコンデンサの内部電極に用いると、内部電極層から粗大粒子が突き出してしまい、別の内部電極層と接触し短絡し、積層セラミックコンデンサの製品歩留まりが悪化しやすい。なお粒径は走査型電子顕微鏡(SEM)の画像から計測された直径である。
<Characteristics of nickel powder according to the present invention>
[Number of coarse particles]
The nickel powder according to the present invention is characterized in that the number of coarse particles having a particle size of 1.0 μm or more is 5 ppm or less of the total number of particles. If the number of coarse particles exceeds 5 ppm, the coarse particles protrude from the internal electrode layer when used for the internal electrode of the thin-layered multilayer ceramic capacitor, and contact with another internal electrode layer to cause a short circuit. Product yield tends to deteriorate. The particle diameter is a diameter measured from a scanning electron microscope (SEM) image.

[平均粒径]
さらにニッケル粉末は、平均粒径が0.1〜0.3μmとするのが好ましい。
平均粒径が0.1μm未満のニッケル粉末は、熱処理時に粒子同士のネッキングや焼結による粗大粒子が発生しやすくなる。一方、平均粒径が0.3μmを超える領域においては、ニッケル粉を用いた電極の膜厚も厚くなるために、本手法で得られるレベルにまで粗大粒子を低減する必要はない。そのため、本手法の適用は、必要のない工程処理を行うことになりコスト高と過剰品質を招いてしまうので望ましくない。
[Average particle size]
Further, the nickel powder preferably has an average particle size of 0.1 to 0.3 μm.
Nickel powder with an average particle size of less than 0.1 μm is liable to generate coarse particles due to necking or sintering between particles during heat treatment. On the other hand, in the region where the average particle diameter exceeds 0.3 μm, the film thickness of the electrode using nickel powder also increases, so that it is not necessary to reduce the coarse particles to the level obtained by this method. For this reason, the application of this method is not desirable because unnecessary process processing is performed, resulting in high costs and excessive quality.

[酸素含有量]
ニッケル粉末の酸素含有量は1.5質量%以下であるのが好ましい。酸素含有量が1.5質量%を超えると、積層セラミックコンデンサの還元雰囲気下での焼成時にニッケル粉末の体積収縮が大きくなり、電極の連続性が保てないことや、酸化物の還元によるガス発生にてコンデンサ内にクラックやデラミネーションを発生させ、結果としてコンデンサの容量低下を引き起こすからである。
[Oxygen content]
The oxygen content of the nickel powder is preferably 1.5% by mass or less. When the oxygen content exceeds 1.5% by mass, the volumetric shrinkage of the nickel powder increases during firing of the multilayer ceramic capacitor in a reducing atmosphere, and the continuity of the electrode cannot be maintained, and the gas due to oxide reduction This is because generation of cracks and delamination in the capacitor causes a decrease in the capacitance of the capacitor.

以下に、本発明の実施例を用いて詳細に説明するが、本発明は、これらの実施例によって何ら限定されるものではない。なお、ニッケル粉末の評価は以下のようにして行なった。   Hereinafter, the present invention will be described in detail using examples, but the present invention is not limited to these examples. The nickel powder was evaluated as follows.

[平均粒径]
走査型電子顕微鏡(SEM、JSM−5510、日本電子株式会社製)を用い、倍率10000倍のSEM像(視野:縦9.6μm×横12.8μm)の写真を得た。このSEM像を画像解析ソフト(Mac−View、株式会社マウンテック製)を用いて像内の粒子形状の全様が見える粒子の面積と個数を計測し、これらから各粒子の直径を求め平均値により算出した。
[Average particle size]
A scanning electron microscope (SEM, JSM-5510, manufactured by JEOL Ltd.) was used to obtain a photograph of an SEM image (field of view: vertical 9.6 μm × horizontal 12.8 μm) at a magnification of 10,000. This SEM image is measured using image analysis software (Mac-View, manufactured by Mountec Co., Ltd.) to measure the area and number of particles in which the entire shape of the particle shape can be seen, and from these, the diameter of each particle is obtained and averaged. Calculated.

[粗大粒子の数]
走査型電子顕微鏡を用い、倍率5000倍のSEM像(視野:縦19.2μm×横25.6μm)の写真を100視野得る。この100視野のSEM像を、画像解析ソフトを用いて像内の粒子形状の全様が見える粒子の面積と個数を計測し、これらから各粒子の直径を求め、直径が1.0μm以上のものを粗大粒子としてカウントした。
[Number of coarse particles]
Using a scanning electron microscope, 100 views of a SEM image (field of view: length 19.2 μm × width 25.6 μm) at a magnification of 5000 times are obtained. This 100-field SEM image is measured using the image analysis software to measure the area and number of particles that can be seen in their entire shape, and the diameter of each particle is obtained from them. Were counted as coarse particles.

[ニッケル粉末の酸素含有量]
ニッケル粉の酸素含有量は、分析装置(LECO社製、TC436AR)にて測定した。
[Oxygen content of nickel powder]
The oxygen content of nickel powder was measured with an analyzer (manufactured by LECO, TC436AR).

湿式還元法によってニッケル粉末を得る工程においては、以下のとおりである。
パラジウムと微量の銀とゼラチンからなるアルカリ性コロイド溶液に、アルカリ性のヒドラジン溶液を混合し、ニッケルを還元するためのアルカリ性コロイド溶液を作製した。
作製したアルカリ性コロイド溶液におけるパラジウム、銀、ゼラチンの含有量は、始液となるニッケル塩水溶液中のニッケルの全質量に対して、パラジウム:50質量ppm、銀:0.5質量ppm、ゼラチン:500質量ppmとした。なお、溶液中のパラジウムおよび銀の含有量は、ICP発光分光分析法により分析した。
The step of obtaining nickel powder by the wet reduction method is as follows.
An alkaline hydrazine solution was mixed with an alkaline colloidal solution composed of palladium, a small amount of silver and gelatin to prepare an alkaline colloidal solution for reducing nickel.
The content of palladium, silver, and gelatin in the prepared alkaline colloidal solution was palladium: 50 mass ppm, silver: 0.5 mass ppm, gelatin: 500 with respect to the total mass of nickel in the nickel salt aqueous solution as the starting solution. The mass was ppm. The contents of palladium and silver in the solution were analyzed by ICP emission spectroscopic analysis.

上記ニッケルを還元するためのアルカリ性コロイド溶液の作製は、具体的には、次のように行った。
まず、純水300Lに所定量のゼラチンを溶解させた後、ヒドラジンの濃度が0.02g/Lとなるようにヒドラジンを混合し、ゼラチンとヒドラジンを含む溶液を作製した。
次に、純水と所定量のパラジウム塩と銀塩の10Lの混合溶液を作製し、先に作製したゼラチンとヒドラジンを含む溶液に滴下して、コロイド溶液を得た。
The production of the alkaline colloid solution for reducing the nickel was specifically performed as follows.
First, after a predetermined amount of gelatin was dissolved in 300 L of pure water, hydrazine was mixed so that the concentration of hydrazine was 0.02 g / L to prepare a solution containing gelatin and hydrazine.
Next, a 10 L mixed solution of pure water, a predetermined amount of palladium salt and silver salt was prepared, and dropped into the previously prepared solution containing gelatin and hydrazine to obtain a colloidal solution.

このコロイド溶液に、水酸化ナトリウム水溶液を添加し、pHを10以上とした後、さらにヒドラジンをニッケル重量:ヒドラジン重量が1:3.75となるまで添加して、パラジウムと微量の銀からなる複合コロイド粒子が混合されたアルカリ性ヒドラジン溶液を作製し、ニッケルを還元するためのアルカリ性コロイド溶液とした。なお、この時点で、全溶液量は、400Lとなるように純水を更に添加した。   A sodium hydroxide aqueous solution is added to this colloidal solution to adjust the pH to 10 or more, and hydrazine is further added until the nickel weight: hydrazine weight becomes 1: 3.75, so that the composite composed of palladium and a small amount of silver is added. An alkaline hydrazine solution mixed with colloidal particles was prepared and used as an alkaline colloid solution for reducing nickel. At this time, pure water was further added so that the total solution amount was 400 L.

そして、このアルカリ性コロイド溶液に、ニッケル塩水溶液としてニッケル濃度が100g/Lの塩化ニッケル水溶液を25L滴下して、ニッケルの還元を行い、原料ニッケル粉末を得た。   And 25 L of nickel chloride aqueous solution whose nickel concentration is 100 g / L was dripped at this alkaline colloid solution as nickel salt aqueous solution, nickel was reduced, and raw material nickel powder was obtained.

得られた原料ニッケル粉末を、水スラリーとして水中で高分散状態にし、湿式分級する工程は、以下のとおりである。
得られたニッケル粉末と湿式還元反応後液とを分離し、ニッケル粉末のケーキに6L純水を添加し、羽根攪拌型の攪拌機で懸濁させた。次に、アルティマイザー(スギノマシン株式会社製)により、2000気圧で対向衝突させる処理、得られた水スラリーを静置、上澄み液をデカンテーションにより除去することを10回繰り返し、ニッケル粉分散水スラリーとした。
The process of making the obtained raw material nickel powder highly dispersed in water as a water slurry and performing wet classification is as follows.
The obtained nickel powder was separated from the solution after the wet reduction reaction, 6 L pure water was added to the nickel powder cake, and suspended with a blade stirring type stirrer. Next, the process of opposing collision at 2000 atmospheric pressure by an optimizer (manufactured by Sugino Machine Co., Ltd.), the obtained water slurry is allowed to stand, and the supernatant liquid is removed by decantation is repeated 10 times to obtain a nickel powder dispersed water slurry. It was.

次に、ハイドロサイクロン(NHC−1型(日本化学機械製造株式会社製))の使用圧力1.2MPa、流体を純水とした処理量200L/hrになるように調整し、ニッケル粉分散水スラリーを処理した。その後、固液分離と真空乾燥を行い、ニッケル粉末を得た。   Next, the operating pressure of hydrocyclone (NHC-1 type (manufactured by Nippon Chemical Machinery Co., Ltd.)) was adjusted to 1.2 MPa, the treatment volume was 200 L / hr with pure fluid, and nickel powder dispersed water slurry Processed. Thereafter, solid-liquid separation and vacuum drying were performed to obtain nickel powder.

乾燥したニッケル粉末を還元雰囲気下で加熱する工程においては、得られたニッケル粉末について、水素濃度1.4体積%の水素−窒素混合ガス雰囲気で、加熱温度200℃、加熱時間60分の処理を行った。   In the step of heating the dried nickel powder in a reducing atmosphere, the obtained nickel powder is treated in a hydrogen-nitrogen mixed gas atmosphere having a hydrogen concentration of 1.4% by volume at a heating temperature of 200 ° C. and a heating time of 60 minutes. went.

得られたニッケル粉末を乾式分級する工程においては、マイクロスピン(MP−250日本ニューマチック工業株式会社製)において、分散圧0.6MPa、供給ノズルφ6mm、ニッケル粉末の給粉量0.5kg/hrで処理した。   In the step of dry classification of the obtained nickel powder, in microspin (MP-250 manufactured by Nippon Pneumatic Industry Co., Ltd.), the dispersion pressure is 0.6 MPa, the supply nozzle is 6 mm, the amount of nickel powder supplied is 0.5 kg / hr. Was processed.

図2に得られたニッケル粉末のSEM像(倍率5000倍)を示す。得られた試料の平均粒径は0.18μmであった。
これら一連の試料を3ロット作成し、3ロットともに粗大粒子数、平均粒径について評価した。その結果を表1に示す。
FIG. 2 shows an SEM image (5000 times magnification) of the nickel powder obtained. The average particle size of the obtained sample was 0.18 μm.
Three lots of these series of samples were prepared, and the number of coarse particles and the average particle size were evaluated in all three lots. The results are shown in Table 1.

(比較例1)
実施例1における湿式還元法により得られた原料ニッケル粉末を、水中で高分散状態とし湿式分級する第1工程を省略した以外は実施例1と同一条件にてニッケル粉末を作製した。
すなわち、ニッケル粉末を生成させ、固液分離、真空乾燥した後、水素含有ガス雰囲気下での還元処理を施した後、乾式分級の処理をしてニッケル粉を作製した。
これら一連の試料を3ロット作製し、3ロットともに粗大粒子数、平均粒径について評価した。その結果を表1に示す。
(Comparative Example 1)
A nickel powder was produced under the same conditions as in Example 1, except that the first step of making the raw nickel powder obtained by the wet reduction method in Example 1 highly dispersed in water and performing wet classification was omitted.
That is, nickel powder was produced, solid-liquid separated and vacuum dried, then subjected to a reduction treatment in a hydrogen-containing gas atmosphere, and then subjected to a dry classification treatment to produce nickel powder.
Three lots of these series of samples were prepared, and the coarse particle number and average particle size were evaluated in all three lots. The results are shown in Table 1.

(比較例2)
実施例1における湿式還元法によりニッケル粉末を乾式分級する第3工程を省略した以外は実施例1と同一条件にてニッケル粉末を作製した。
すなわちニッケル粉末を生成させ、水中で高分散状態とし湿式分級した後、固液分離、真空乾燥したものを、水素含有ガス雰囲気下で加熱処理をした。
これら一連の試料を3ロット作製して、3ロットともに粗大粒子数、平均粒径について評価した。その結果を表1に示す。
(Comparative Example 2)
A nickel powder was produced under the same conditions as in Example 1 except that the third step of dry-classifying the nickel powder by the wet reduction method in Example 1 was omitted.
That is, nickel powder was produced, made into a highly dispersed state in water, wet-classified, solid-liquid separated, and vacuum-dried, and then heat-treated in a hydrogen-containing gas atmosphere.
Three lots of these series of samples were prepared, and the number of coarse particles and the average particle size were evaluated in all three lots. The results are shown in Table 1.

(比較例3)
実施例1における湿式還元法により得られたニッケル粉末を、水中で高分散状態とし湿式分級する第1工程と、ニッケル粉末を乾式分級する第3工程とを省略した以外は実施例1と同一条件にてニッケル粉末を作製した。
すなわちニッケル粉末を生成させ固液分離、真空乾燥したものを、水素含有ガス雰囲気下で加熱処理をした。
これら一連の試料を3ロット作製して、3ロットともに粗大粒子数、平均粒径について評価した。その結果を表1に示す。
(Comparative Example 3)
The same conditions as in Example 1 except that the first step of wet-classifying the nickel powder obtained by the wet reduction method in Example 1 into a highly dispersed state in water and the third step of dry-classifying the nickel powder were omitted. Nickel powder was prepared.
That is, the nickel powder produced, solid-liquid separated and vacuum dried was heat-treated in a hydrogen-containing gas atmosphere.
Three lots of these series of samples were prepared, and the number of coarse particles and the average particle size were evaluated in all three lots. The results are shown in Table 1.

表1より、第1工程から第3工程までこの順に処理した実施例1では、1.0μm以上の粗大粒子が5ppm以下のニッケル粉末が得られていることが分かる。一方、第1工程か第3工程うちのどちらかもしくは両方とも省略した比較例1〜3は1.0μm以上の粗大粒子の量が5ppmを超えて存在していることが分かる。
また、実施例1では、湿式分級を行い酸素含有量が上昇したが、その後に還元加熱を行っているので、実用レベルである1.5質量%以下に抑えられている。
From Table 1, it can be seen that in Example 1 processed in this order from the first step to the third step, nickel powder having coarse particles of 1.0 μm or more and 5 ppm or less was obtained. On the other hand, it can be seen that in Comparative Examples 1 to 3 in which either or both of the first step and the third step are omitted, the amount of coarse particles of 1.0 μm or more exceeds 5 ppm.
In Example 1, wet classification was performed to increase the oxygen content. However, since reduction heating was performed thereafter, it was suppressed to a practical level of 1.5 mass% or less.

Claims (8)

原料ニッケル粉末が水中で高分散状態となる水スラリーを形成し、前記水スラリーを湿式分級処理してニッケルスラリーを形成する第1工程と、
前記第1工程により得られた前記ニッケルスラリーを固液分離後に固相成分を乾燥してニッケル粉末を形成し、還元雰囲気下で前記ニッケル粉末を加熱する第2工程と、
前記第2工程で得られたニッケル粉末を乾式分級処理する第3工程と
を含むことを特徴とするニッケル粉末の製造方法。
Forming a water slurry in which the raw material nickel powder is highly dispersed in water, and subjecting the water slurry to wet classification to form a nickel slurry; and
A second step of drying the solid phase component after solid-liquid separation of the nickel slurry obtained in the first step to form a nickel powder, and heating the nickel powder in a reducing atmosphere;
And a third step of dry-classifying the nickel powder obtained in the second step.
前記原料ニッケル粉末が、湿式還元法を用いて生成されたニッケル粉末であることを特徴とする請求項1に記載のニッケル粉末の製造方法。   The method for producing nickel powder according to claim 1, wherein the raw material nickel powder is nickel powder produced by a wet reduction method. 前記原料ニッケル粉末が、ニッケル塩水溶液と、還元剤と、パラジウムと銀とを含むアルカリ性コロイド溶液とからニッケル粉末を晶析させる湿式還元法を用いて生成されたニッケル粉末であることを特徴とする請求項2に記載のニッケル粉末の製造方法。   The raw material nickel powder is a nickel powder produced by a wet reduction method in which nickel powder is crystallized from an aqueous nickel salt solution, a reducing agent, and an alkaline colloidal solution containing palladium and silver. The manufacturing method of the nickel powder of Claim 2. 前記第2工程における還元雰囲気が、1〜50体積%の水素を含む不活性ガス雰囲気であることを特徴とする請求項1〜3項のいずれか1項に記載のニッケル粉末の製造方法。   The method for producing nickel powder according to any one of claims 1 to 3, wherein the reducing atmosphere in the second step is an inert gas atmosphere containing 1 to 50% by volume of hydrogen. 前記第2工程における還元雰囲気下でニッケル粉末を加熱する工程の加熱温度が、150〜350℃であることを特徴とする請求項1〜4項のいずれか1項に記載のニッケル粉末の製造方法。   The method for producing nickel powder according to any one of claims 1 to 4, wherein the heating temperature in the step of heating the nickel powder in a reducing atmosphere in the second step is 150 to 350 ° C. . 前記第3工程を経て得られたニッケル粉末における1.0μm以上の粒径を有する粗大粒子の数が、全粒子数の5ppm以下であることを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載のニッケル粉末の製造方法。   The number of coarse particles having a particle diameter of 1.0 μm or more in the nickel powder obtained through the third step is 5 ppm or less of the total number of particles. The manufacturing method of the nickel powder as described in 2. 前記第3工程を経て得られたニッケル粉末の平均粒径が、0.1〜0.3μmであることを特徴とする請求項6に記載のニッケル粉末の製造方法。   The nickel powder production method according to claim 6, wherein an average particle diameter of the nickel powder obtained through the third step is 0.1 to 0.3 μm. 前記第3工程を経て得られたニッケル粉末の酸素含有量が、1.5質量%以下であることを特徴とする請求項6または7に記載のニッケル粉末の製造方法。   The method for producing nickel powder according to claim 6 or 7, wherein the oxygen content of the nickel powder obtained through the third step is 1.5 mass% or less.
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