JP2009032388A - 磁気ヘッド検査方法および検査装置 - Google Patents

Abstract

【課題】
磁気ヘッドアッセンブリをヘッドクランプ台にセットする交換作業を自動化することができ、磁気ヘッド検査処理のスループットを向上させることができる磁気ヘッド検査方法あるいは検査装置を提供することにある。
【解決手段】
この発明は、トレイではボスピンあるいは受け孔、載置台ではピンあるいは孔、ヘッドクランプ台では位置決めピンにそれぞれ磁気ヘッドアッセンブリの取付基部の取付孔を嵌合させて磁気ヘッドアッセンブリを位置決めし、トレイではボスピンあるいは受け孔、載置台ではピンあるいは孔、クランプ台では位置決めピンをそれぞれ基準として吸着コレットをそれぞれに位置決めして、磁気ヘッドアッセンブリの取付基部を吸着してトレイからクランプ台まで磁気ヘッドアッセンブリを高い位置決め精度を必要とせずにハンドリングロボットにより移送することで、ヘッドクランプ台に磁気ヘッドアッセンブリを容易に載置することができる。
【選択図】 図１

Description

この発明は、磁気ヘッド検査方法および検査装置に関し、詳しくは、磁気ヘッド検査装置のヘッドクランプ台に磁気ヘッドアッセンブリ（磁気ヘッド＋サスペンションスプリング）をセットして、磁気ヘッドアッセンブリの状態で磁気ヘッドの検査をし、その検査終了後に検査済みの磁気ヘッドアッセンブリをヘッドクランプ台から取外して検査対象となる新しい磁気ヘッドアッセンブリをヘッドクランプ台にセットする磁気ヘッドアッセンブリの交換作業を自動化することができ、磁気ヘッド検査処理のスループットを向上させることができるような磁気ヘッド検査方法あるいは検査装置に関するものである。

最近においては、磁気ディスクの高密度化が進み、現在では数百ギガオーダのハードディスク駆動装置（ＨＤＤ）が主流となってきている。このような磁気ディスクの高記録密度化に伴い、磁気ヘッドの浮上量は低下してきている。
最近の磁気ヘッドアッセンブリは、１５ｍｍ〜２０ｍｍ程度のサスペンションスプリングの先端に０．数ｍｍ〜１ｍｍ角程度の大きさのスライダが付き、薄膜磁気ヘッドとディスクの間隔は、数ｎｍから十ｎｍの距離までに接近してきている。
このような関係にある、ＨＤＤの情報記録媒体としての磁気ディスクと磁気ディスクに対してデータの読み書きを行う磁気ヘッド（磁気ヘッドアッセンブリ）とは、製造段階でそれぞれの検査装置により精密な性能検査が行われている。

また、ＨＤＤは、現在では自動車製品や家電製品、音響製品の分野にまで浸透し、３．５インチから１．８インチに、さらには１．０インチ以下のハードディスク駆動装置が各種製品に内蔵され、使用されている。それによりＨＤＤの低価格化と大量生産化の要請がある。そのため、磁気ヘッド検査装置にあっても多量の磁気ヘッドを効率よく検査でき、かつ、検査装置を小型化せよとの要請がある。
磁気ディスクあるいは磁気ヘッドの検査効率を向上するために、複数の検査デッキを設けて検査デッキ間での磁気ヘッドからの信号を分配しあるいは選択的に切換えて信号を受けて処理をする検査装置はすでに公知である（特許文献１，２）。
特開２００１−５２３１９号公報 特開２００６−１７９１０７号公報

従来の磁気ヘッド検査装置の検査デッキは、１キャリッジに、１スピンドルあるいは２スピンドルであり、通常は、各スピンドル対応に１測定部という構成を採っている。そして、磁気ヘッドは、磁気ヘッドアッセンブリ単位で検査終了後に検査対象となる新しい磁気ヘッドアッセンブリと検査済みのものとが交換される。この場合の交換は、現在のところ人手による手作業となっている。
磁気ヘッドの交換中はテストは中止され、磁気ヘッドからの読出信号を受ける測定部はテスト待ち状態に入る。そのため、磁気ヘッドアッセンブリ（磁気ヘッド）の検査効率が落ちる。一方、磁気ヘッドアッセンブリは小さくなり、磁気ヘッド検査のために必要となる、ヘッドキャリッジのヘッドクランプ台へ取付孔（突起孔）を介して行う磁気ヘッドアッセンブリの取付、そしてそこからの取外は、作業性がよくない。そのため、ヘッド検査のスループットは、この磁気ヘッドアッセンブリの交換作業に左右されてしまうと言っても過言ではない。

磁気ヘッドの検査を効率化するためには、特許文献１に示されるように２本の磁気ヘッドアッセンブリを１枚のディスクの両側に対向するように配置して交互に磁気ヘッドを検査することが考えられるが、この場合には対向配置した一方の磁気ヘッドの検査中に他方の磁気ヘッドを交換することが必要になる。
現在の磁気ヘッドアッセンブリの大きさと形状は前記したように小さく、磁気ヘッドの浮上量が数ｎｍから十ｎｍとディスクに接近して取付けられる状況では一方の磁気ヘッド検査中に同じディスク上にあった他方の磁気ヘッドアッセンブリを、たとえ磁気ディスク上の位置からその周辺近傍に退避させて磁気ヘッドアッセンブリの交換をするとしても、検査中の交換作業は慎重に行わなければならず、検査中の磁気ヘッドの電気的な測定に対して交換作業によるノイズ発生等の問題が生じる。
そこで、２スピンドルにして特許文献２に示されるような測定部の切換えを行いスループットの向上を図ることが考えられるが、一方の磁気ヘッドテスト中に他方の磁気ヘッドの交換が完了する保証はなく、同時検査ではクロストークノイズが他方の磁気ヘッドに乗り易い上、検査が終了したスピンドル側の磁気ヘッドアッセンブリを人手により交換するとなると検査処理のスループット向上には限界がある。

次に考えられることは、磁気ヘッドアッセンブリの交換作業を自動化することである。ハンドリングロボット等により磁気ヘッドアッセンブリをトレイ（あるいはパレット）から取出してヘッドキャリッジのヘッドクランプ台へ自動的に位置付けて磁気ヘッドアッセンブリを取付け、検査終了後にそこから自動的に磁気ヘッドアッセンブリを取外しを行うには、ハンドリングロボットに高い位置決め精度が要求される。
しかも、ヘッドクランプ台とこのヘッドクランプ台に設けられる磁気ヘッドアッセンブリのクランプ機構は、ヘッドキャリッジの移動台上に設けられるので、ヘッドアクセスの場合の移動時の質量や速度、ヘッドロード／アンロードの速度が関係してくる。そのため、自由に設計し、変更することが実際上は難しい。その結果、磁気ヘッドアッセンブリの交換作業の自動化は、ハンドリングロボットとヘッドクランプ台との磁気ヘッドアッセンブリの受渡し動作とクランプ動作については、現在あるばねによるクランプ動作あるいはその機構を前提として実現されることが好ましい。
この発明の目的は、このような従来技術の問題点を解決しあるいは前記の要請に応えるものであって、検査済みの磁気ヘッドアッセンブリをヘッドクランプ台から取外して検査対象となる新しい磁気ヘッドアッセンブリをヘッドクランプ台にセットする交換作業を自動化することができ、しかも磁気ヘッド検査処理のスループットを向上させることができる磁気ヘッド検査方法あるいは検査装置を提供することにある。

このような目的を達成するためのこの発明の磁気ヘッド検査方法あるいは検査装置の構成は、位置決め用の取付孔（突起孔）を取付基部に有する磁気ヘッドアッセンブリをヘッドキャリッジのヘッドクランプ台にクランプして、回転する磁気ディスクから磁気ヘッドアッセンブリの磁気ヘッドによりデータを読出すことにより磁気ヘッドの検査をするものであって、
ヘッドクランプ台に起立して設けられる位置決めピンを有しこの位置決めピンに取付孔（突起孔）を嵌合させてヘッドクランプ台に載置された前記磁気ヘッドアッセンブリに対してこの磁気ヘッドアッセンブリの取付基部を介して磁気ヘッドアッセンブリを所定の一軸方向に沿ってヘッドクランプ台に位置決めクランプするクランプ機構を設け、
取付孔を受ける複数のボスピンあるいは複数の受け孔のそれぞれに磁気ヘッドアッセンブリの取付孔をそれぞれ嵌合させてトレイに未検査の磁気ヘッドアッセンブリを収納し、
吸着部を有するハンドリングロボットによりボスピンあるいは受け孔の位置を基準にして吸着部を位置決めして吸着部により未検査の磁気ヘッドアッセンブリを吸着してトレイから取出してピンあるいは孔を有する載置台へ搬送し、
載置台のピンあるいは孔の位置を基準にして吸着部を位置決めして磁気ヘッドアッセンブリの取付孔をピンあるいは孔に嵌合させて未検査の磁気ヘッドアッセンブリを載置台に載置して吸着部の吸着を解除し、
ピンあるいは孔を回転基準にして取付基部を回転させて所定の一軸に沿うように磁気ヘッドアッセンブリを位置決めし、
所定の一軸に沿うように位置決めされた磁気ヘッドアッセンブリを吸着部により吸着してハンドリングロボットによりヘッドクランプ台に搬送し、
位置決めピンの位置を基準にして吸着部を位置決めして位置決めピンに磁気ヘッドアッセンブリの取付孔を嵌合させて未検査の磁気ヘッドアッセンブリをヘッドクランプ台に載置して吸着部の吸着を解除してクランプ機構により所定の一軸に沿って未検査の磁気ヘッドアッセンブリをヘッドクランプ台にクランプしてこれの磁気ヘッドの検査をするものである。

この発明は、トレイではボスピンあるいは受け孔、載置台ではピンあるいは孔、ヘッドクランプ台（以下クランプ台）では位置決めピンにそれぞれ磁気ヘッドアッセンブリの取付基部の取付孔を嵌合させて磁気ヘッドアッセンブリを位置決めし、トレイではボスピンあるいは受け孔、載置台ではピンあるいは孔、クランプ台では位置決めピンをそれぞれ基準として吸着部をそれぞれに位置決めして、磁気ヘッドアッセンブリの取付基部を吸着してトレイからクランプ台まで磁気ヘッドアッセンブリを高い位置決め精度を必要とせずにハンドリングロボットにより移送することで、クランプ台に磁気ヘッドアッセンブリを容易に載置することができる。そして、移送途中に設けた載置台で磁気ヘッドアッセンブリをクランプ台の載置方向に一致するように一旦位置決めすることで、ハンドリングロボットによる搬送によりクランプ台において磁気ヘッドアッセンブリをクランプできる状態で載置することを確実にする。
すなわち、このようにこの発明にあっては、磁気ヘッドアッセンブリの取付基部に設けられた取付孔をガイドとしてトレイでは、多数のボスピンあるいは多数の受け孔のそれぞれに嵌合させて配列収納し、取付基部を吸着する吸着部を有するハンドリングロボットの吸着によりボスピンあるいは受け孔の位置（座標）を基準としてトレイから未検査の磁気ヘッドアッセンブリをピックアップしてピンあるいは孔を有する載置台のピンあるいは孔の位置（座標）を基準として吸着部を位置決めして載置台へハンドリングロボットにより搬送する。クランプ台の載置方向に一致するように載置台で磁気ヘッドアッセンブリを所定の一軸方向に一旦位置決めして磁気ヘッドアッセンブリをクランプ台でクランプできる姿勢にする。

次に載置台から位置決めピンを有するクランプ台へとハンドリングロボットにより搬送して、位置決めピンの位置（座標）を基準として吸着部をクランプ台に位置決めして磁気ヘッドアッセンブリをクランプ台に載置して磁気ヘッドアッセンブリをクランプ機構により位置決めクランプする。
これにより、この発明は、クランプ台の磁気ヘッドアッセンブリのクランプ機構やクランプ動作を大きく変更をすることなく、自動的に磁気ヘッドアッセンブリをクランプ台にセットできる。また、逆に位置決めピンの位置を基準にして吸着部をクランプ台に位置決めすることでクランプが解除されたクランプ台の磁気ヘッドアッセンブリを吸着してクランプ台から自動的に取外すことが容易にできる。
その結果、この発明は、検査済みの磁気ヘッドアッセンブリを取外して検査対象となる新しい磁気ヘッドアッセンブリをクランプ台にセットする交換作業を自動化することができ、磁気ヘッド検査処理のスループットを向上させることができる。

特に、この発明の検査ステージとして、磁気ディスクが装着されるスピンドルとヘッドキャリッジとをそれぞれ有する第１および第２の検査デッキの２つの検査デッキと切換回路と１つの測定部とを設けることができる。そして、未検査の磁気ヘッドアッセンブリは、第１および第２の検査デッキの２つの検査デッキのヘッドキャリッジのクランプ台に交互に載置してクランプして、それぞれの磁気ヘッドに切換回路を介して測定部を交互に接続するようにして検査をする。この場合には、ハンドリングロボットは、一方の検査デッキでの磁気ヘッドの検査中に、検査が終了した他方の検査デッキのヘッドキャリッジのクランプ台に磁気ヘッドアッセンブリを自動的に載置することができ、あるいはクランプされた磁気ヘッドアッセンブリをクランプ台から取り外す処理が自動的にできる。
これにより第１および第２の検査デッキ交互に検査処理が実行できるので、連続的な磁気ヘッドの検査が可能となり、磁気ヘッドの検査をより効率化することができる。

図１は、この発明の一実施例の磁気ヘッド検査装置のシステム構成図、図２は、磁気ヘッドアッセンブリのハンドリングロボットと磁気ヘッドアッセンブリの説明図、図３は、磁気ヘッドアッセンブリを収納するトレイの説明図、図４は、クランプ台の磁気ヘッドアッセンブリの載置方向に磁気ヘッドアッセンブリを一致させる位置決め機構の説明図、
図５は、クランプ台におけるヘッドクランプ機構の説明図、そして図６は、この発明の一実施例の磁気ヘッド検査方法の処理手順の説明図である。
図１において、１０は、磁気ヘッド検査装置であり、１はその検査ステージ、２は、そのハンドリングロボット、３は位置決め機構、４は磁気ヘッドアッセンブリを配列収納するトレイである。

検査ステージ１は、検査デッキ５と、検査デッキ６の２つの検査部と、切換回路７、そしてこの切換回路７を介して検査デッキに接続される１つの測定部８とを有し、これら検査デッキと回路等とハンドリングロボット２とを制御する制御部９が設けられている。
検査デッキ５と検査デッキ６には、それぞれスピンドル５ａとヘッドキャリッジ５ｂ（キャリッジＡ），ヘッドキャリッジ５ｃ（キャリッジＢ）、スピンドル６ａとヘッドキャリッジ６ｂ（キャリッジＡ），ヘッドキャリッジ６ｃ（キャリッジＢ）とがそれぞれ設けられている。スピンドル５ａ，６ａには、それぞれ磁気ディスク１２，１３が挿着され、これらがそれぞれに回転駆動される。
ヘッドキャリッジ５ｂ（５ｃ），６ｂ（６ｃ）には、それぞれ磁気ヘッドアッセンブリを支持するヘッドアーム（あるいはキャリッジアーム、以下ヘッドアーム）５１，５１が設けられ、さらにこれの先端側にクランプ台５０，５０（図５（ａ）参照）がそれぞれに固定されて設けられている。ヘッドアーム５１，５１はＸ軸方向に沿って移動し、それに応じて磁気ヘッド１１１（図２（ａ）参照）が磁気ディスクのトラックにアクセスする。クランプ台５０，５０には、磁気ヘッドアッセンブリ１１（図２（ａ），図２（ｂ）参照）がクランプされて装着される。

制御部９は、ＭＰＵ（プロセッサ）とメモリ、メモリに記憶された各種プログラム、インタフェース、外部記憶装置（ＨＤＤ）等から構成され、ハンドリングロボット２と、位置決め機構３、検査デッキ５、検査デッキ６、切換回路７、そして測定部８を制御する。
制御部９は、切換回路７を切換制御して、これに応じて検査デッキ５，６のクランプ台５０（図５（ａ）参照）にクランプされた各磁気ヘッドアッセンブリ１１の磁気ヘッド１１１（図２（ａ）参照）に交互に測定部８を接続する。これにより検査デッキ５，６に搭載された磁気ヘッドアッセンブリ１１（磁気ヘッド１１１）が交互に検査される。
ハンドリングロボット２は、制御部９の制御下で検査中でない側の検査デッキ５，６、言い換えれば、検査が終了して測定部８に接続されていない側の検査デッキ５あるいは検査デッキ６のクランプ台５０に搭載された磁気ヘッドアッセンブリ１１をクランプ台５０から取外してトレイ４の元の位置に戻し（あるいは他のパレットに戻し）、未検査の磁気ヘッドアッセンブリ１１をトレイ４からピックアップして検査デッキ５，６のうち取外された側のクランプ台５０にセットする。なお、クランプ台５０からの磁気ヘッドアッセンブリ１１の取外しは検査デッキ５，６に対して交互に行われ、これに応じてクランプ台５０への未検査の磁気ヘッドアッセンブリ１１のセットも検査デッキ５，６に対して交互に行われる。

ハンドリングロボット２には、Ｘ移動機構２１、Ｙ移動機構２２、そしてＺ移動機構２３とが設けられ、Ｚ移動機構２３は、Ｘ移動機構２１に搭載され、Ｚ移動機構２３には吸着ヘッドとして図２（ａ）に示す吸着円筒コレット（吸着部）２４がＺ移動機構２３の下側において下向きに設けられいる。吸着円筒コレット（以下円筒コレット）２４は、磁気ヘッドアッセンブリ１１を吸着し、ハンドリングロボット２が円筒コレット２４に吸着された磁気ヘッドアッセンブリ１１を搬送する。
円筒コレット２４は、図２（ｂ）の平面図に示すように、磁気ヘッドアッセンブリ１１の取付基部１１２において位置決め用の取付孔（突起孔）１１３の周囲Ｃを吸着して保持する。図２（ｃ）の吸着部の正面図に示すように、円筒コレット２４の吸着面は、表面が平で中心部２４１が中空となっていて、円周に沿って円形の細溝２４２が肉厚部２４３の円周に沿って形成されている。細溝２４２の奥には２個の吸着孔２４４が設けられ、負圧ポンプに接続されて磁気ヘッドアッセンブリ１１の取付基部１１２を真空吸引をする。

中空の中心部２４１は、トレイ４のボスピン４１（図３（ｂ）の側面断面図参照）とクランプ台５０の位置決めピン５２ａ（図５（ａ）参照）の逃げ孔となっている。肉厚部２４３の内径は、図２（ｂ）に示す磁気ヘッドアッセンブリ１１の取付基部１１２に形成された位置決め用の取付孔１１３の外径より少し大きく、細溝２４２において取付孔１１３の周囲を吸着できる形状になっている。
なお、図２（ａ）に示すように、取付孔１１３の突起は下側に配置され、磁気ヘッド１１１は、図２（ｂ）に示すように、サスペンションスプリング１１５を下側とする上向きとされて磁気ヘッドアッセンブリ１１全体が上向きとなって円筒コレット２４に吸着される。そこで、図２（ａ）に示すように、磁気ヘッドアッセンブリ１１は、磁気ディスク１１，１２の裏面に対峙するように仰向けに二点鎖線で示す載置台３１（後述）あるいはクランプ台５０（後述）に載置される。
位置決め用の取付孔１１３は、図示するように、円筒コレット２４に吸着される側と反対側に突起したフランジを持ち、取付基部１１２の表面側（図面では裏面側）で孔が打ち抜かれて孔がへこみ、裏面側（図面では裏面側）に突出してそれがカシメられあるいは丸められて下側に出っ張った取付孔になっている。
図２（ｂ）に示すように、磁気ヘッドアッセンブリ１１には、端子パッド１１４ａを端部に有するフレキシブル印刷配線基板１１４が設けられている。フレキシブル印刷配線基板１１４は、磁気ヘッド１１１に接続され、磁気ヘッドアッセンブリ１１のサスペンションスプリング１１５に沿って配線されてそれが取付基部１１２の片側後部から引き出されて取付基部１１２と一体化されている。
なお、先端にあるサスペンションスプリング１１５に設けられた突起１１５ａは、磁気ヘッド１１１を磁気ディスクにランプロードするのための係合突起である。

図１のトレイ４は、位置決めフレーム４０により特定の位置に位置決めされて検査ステージ１にセットされる。トレイ４は、図３（ａ）の平面図と図３（ｂ）のそのＢ−Ｂ断面図に示すように、縁の高さが低い矩形の箱であって、その底面にはボスピン４１が所定間隔で上下段に配置され、２行１０列で合計２０個配列されて設けられている。
なお、図１の平面図では、図示する関係で磁気ヘッドアッセンブリ１１が一列しか示されていない。また、図３（ａ）の平面図では、説明の都合上で磁気ヘッドアッセンブリ１１が挿着されていない部分を２カ所示し、Ｂ−Ｂ断面図では磁気ヘッドアッセンブリ１１が挿着されていない状態を示してある。
図３（ｂ）のＢ−Ｂ断面図に示す各ボスピン４１が磁気ヘッドアッセンブリ１１の取付基部１１２に形成された取付孔１１３に挿入されて各ボスピン４１の位置に磁気ヘッドアッセンブリ１１が仰向けで保持されている。ボスピン４１に隣接して取付基部１１２の後部が載る台座４２が形成されている。取付基部１１２の背後の位置に対応して台座４２には突起部分が設けられている。図３（ａ）の平面図に示すようにこの台座４２の側面にフレキシブル印刷配線基板１１４が沿うように各磁気ヘッドアッセンブリ１１がトレイ４に収納されている。

これにより、フレキシブル印刷配線基板１１４が反時計方向に回転したときには台座４２と係合するので、この係合により磁気ヘッドアッセンブリ１１は、実質的には正規の位置でボスピン４１に保持されて収納される。しかし、上段の左から３番目に示すように、磁気ヘッドアッセンブリ１１は、ボスピン４１に収納されたときには、図面で時計方向の回転をもって収納されることがある。また、正規の位置でボスピン４１に保持された磁気ヘッドアッセンブリ１１にあってもクランプ台５０の載置に対しては正しいクランプ姿勢にはなっていない。そのために位置決め機構３で磁気ヘッドアッセンブリ１１の姿勢を直す位置決めが必要になる。

一方、トレイ４は、磁気ヘッド検査装置１０において位置決めフレーム４０により検査ステージ１の特定の位置に位置決めされてセットされるので、ハンドリングロボット２からみた上下に２行１０列で合計２０個の各ボスピン４１のＸＹの位置座標は、それぞれに特定の位置に固定されたものとなっている。その位置（座標）は、制御部９のメモリに記憶されている。そこで、ハンドリングロボット２は、制御部９の制御に従い、２行１０列で所定間隔に配置されたボスピン４１のＸＹ位置座標を基準にしてＸ移動機構２１とＹ移動機構２２を駆動して円筒コレット２４をＸＹ移動して未検査の磁気ヘッドアッセンブリ１１を吸着する座標位置に位置決めして円筒コレット２４をＺ方向に所定量昇降移動して目的とする磁気ヘッドアッセンブリ１１を吸着してトレイ４からピックアップすることができる。
ハンドリングロボット２がトレイ４からピックアップした未検査の磁気ヘッドアッセンブリ１１は、図１の位置決め機構３の載置台３１（図４（ａ）参照）へと搬送され、これに設けられた挿着孔３２（図４（ａ）参照）のＸＹ位置座標を基準にしてハンドリングロボット２が円筒コレット２４を挿着孔３２に対応する位置に位置決めして、円筒コレット２４がＺ方向に所定量降下して吸着した磁気ヘッドアッセンブリ１１を載置台３１に載置する。ここで吸着が解除される。なお、挿着孔３２のＸＹ位置座標も固定されていて、これも制御部９のメモリに記憶されている。

図４は、クランプ台の磁気ヘッドアッセンブリ１１の載置方向に磁気ヘッドアッセンブリ１１の姿勢を一致させる位置決め機構３の説明図である。
図１の位置決め機構３は、磁気ヘッド検査装置１０のベース１０ａ（図４（ａ），図４（ｂ）参照）に固定されている。そこで、図４（ａ）の平面図に示す位置決め機構３の載置台３１（その台座３１ａに設けられた挿着孔３２）は、磁気ヘッド検査装置１０において固定された位置にある。
載置台３１に設けられた台座３１ａには挿着孔３２が設けられ、磁気ヘッドアッセンブリ１１の取付基部１１２の取付孔１１３がこの挿着孔３２に嵌合してハンドリングロボット２により磁気ヘッドアッセンブリ１１の取付基部１１２が台座３１ａに載置される。このとき、トレイ４の磁気ヘッドアッセンブリ１１のボスピン４１の座標と載置台３１の台座３１ａに設けられた挿着孔３２とはそれぞれに位置座標が固定されているので、載置台３１への磁気ヘッドアッセンブリ１１の載置は、円筒コレット２４を台座３１ａの挿着孔３２のＸＹの位置座標へ位置決めし、その後に円筒コレット２４をＺ方向に降下させればよい。これにより取付孔１１３と挿着孔３２とが嵌合して確実かつ自動的にハンドリングロボット２による前記した載置を行うことができる。

ここで、台座３１ａに載置される磁気ヘッドアッセンブリ１１の磁気ヘッド１１１側を載置台３１の先頭側とすると、載置台３１は、これの先頭に台座３１ａが底面から起立して設けられている。載置台３１の底面は、磁気ヘッド検査装置１０のベース１０ａに固定されている。台座３１ａの挿着孔３２は、大小２つの縦溝孔が接合した達磨孔として表面から所定の深さで穿孔されたものであって、図４（ｂ）の載置台３１の頭部部分の断面図に示すように、先頭部が取付孔１１３の外径に対応した小さな孔である。この孔につらなる後部が少し大きな孔となっている。この大きな孔の後端部は、切り欠かかれて開放されている。切り欠かかれた部分に後部にはプッシャブロック３３が設けられている。プッシャブロック３３は、挿着孔３２に対峙して台座３１ａに載置された磁気ヘッドアッセンブリ１１の取付基部１１２を押して取付孔１１３を挿着孔３２の小さな孔に押込む。
プッシャブロック３３は、突当ヘッド部３３１とＬ字型フレーム３３２とブラケットアーム３３３とからなり、Ｘ軸に沿って移動する。突当ヘッド部３３１は、平面からみてＬ字型をしたＬ字型フレーム３３２の胴部において挿着孔３２に対峙する先頭部分に当たる個所であり、ここには矩形の切欠き３３１ａが設けられている。ブラケットアーム３３３は、Ｌ字型フレーム３３２の底面に沿って水平に張り出しＬ字型フレーム３３２と一体的に設けられた板部材である。

Ｌ字型フレーム３３２の下面にはスライド軸受３３４が表面側からのボルト３３４ａにより固定され、図４（ｂ）の断面図に示すように、スライド軸受３３４が載置台３１の底面に固定されたガイドレール３３５上をＸ軸方向にのみスライドする。これにより、Ｌ字型フレーム３３２は、図面左右に進退移動をする。
Ｌ字型フレーム３３２の直角に曲がったＬ字の足の部分には、エアシリンダ３３７のロッド３３７ａがＬ字型フレーム３３２に対してスライド可能に貫通していて、このロッド３３７ａの頭部にナット３３７ｂが螺合固定されいる。載置台３１の後端部３１ｂは、台座３１ａに対応して底面から起立し、縁を形成している。この後端部３１ｂとＬ字型フレーム３３２のＬ字の足の部分３３２ａとの間にコイルスプリング３３８が圧縮状態でロッド３３７ａに平行になるように装着されている。
一方、ブラケットアーム３３３の頭部は、台座３１ａの片側の側面まで延びていて、その先端部分には２本のピン（倣しピン）３３６ａ，３３６ｂが起立状態で植設されている。２本のピン３３６ａ，３３６ｂの高さは、磁気ヘッドアッセンブリ１１の取付基部１１２の側面より上まである。これらピンは、プッシャブロック３３がＸ軸に沿って移動したときに、取付基部１１２の側面に当接され、台座３１ａの側面に沿って移動するものであって、台座３１ａの側面に対して前方に開く所定の角度αをもった直線上に沿って配置されている。

ここで、エアシリンダ３３７の後退駆動によりそのロッド３３７ａが後退して、コイルスプリング３３９の付勢に抗してＬ字型フレーム３３２が後退したときには、図４（ａ）に示すように、ロッド３３７ａの頭部のナット３３７ｂがＬ字の足の部分３３２ａと係合してＬ字型フレーム３３２を後退させる。これにより、プッシャブロック３３が後退して突当ヘッド部３３１が挿着孔３２から大きく後退し、２本のピン３３６ａ，３３６ｂが台座３１ａの後端部まで後退する。
この状態でハンドリングロボット２により搬送された磁気ヘッドアッセンブリ１１の取付基部１１２が取付孔１１３を介して台座３１ａの挿着孔３２に嵌合して磁気ヘッドアッセンブリ１１が台座３１ａに載置される。そして、円筒コレット２４の吸着が解除される。
ここで、エアシリンダ３３７の前進駆動により、図４（ｃ）に示すようにプッシャブロック３３が大きく前進すると、コイルスプリング３３９の付勢により突当ヘッド部３３１が挿着孔３２に向かって突進して、同時に２本のピン３３６ａ，３３６ｂが台座３１ａの側面に沿って前進移動して磁気ヘッドアッセンブリ１１の取付基部１１２の側面にピン３３６ａ，３３６ｂが順次当接される。このとき、磁気ヘッドアッセンブリ１１の取付基部１１２は、ピン３３６ａ，３３６ｂに順次接触して反時計方向に回動する。その結果、図４（ｃ）の平面図に示す状態となる。

図４（ｃ）に示すように、プッシャブロック３３のロッド３３７ａの頭部のナット３３７ｂとＬ字の足の部分３３２ａとの係合が外れてプッシャブロック３３は、コイルばね３３８の弾性力だけで磁気ヘッドアッセンブリ１１の取付基部１１２の後端部を押圧する。
なお、このときのエアシリンダ３３７の進退駆動は、制御部９により行われる。
ところで、前記したようにトレイ４に載置された磁気ヘッドアッセンブリ１１は、正確なクランプ姿勢ではないが、ほとんど正規の位置でボスピン４１に保持されて収納されている。磁気ヘッドアッセンブリ１１は、台座４２と係合してそれ以上は反時計方向には回転していないが、正規の位置から時計方向に回転した磁気ヘッドアッセンブリ１１もある。そこで、位置決め機構３で未検査の磁気ヘッドアッセンブリ１１を反時計方向に回転させて磁気ヘッドアッセンブリ１１を正規の位置に戻しかつ正規の姿勢になるように位置決めすることができる。
万が一トレイ４において磁気ヘッドアッセンブリ１１が正規の収納状態に対してこれより時計方向ではなく、反時計方向の回転した状態で収納される磁気ヘッドアッセンブリ１１があったとしても、それのようなものは、円筒コレット２４を時計方向に所定量回転させて正規の位置から時計方向に回転した磁気ヘッドアッセンブリ１１として台座３１ａに載置すればよい。

図４（ｃ）の平面図に示すように、磁気ヘッドアッセンブリ１１の取付基部１１２は、ピン３３６，３３６に順次接触して磁気ヘッドアッセンブリ１１が正規の姿勢になるように反時計方向に回動する。このときには、図４（ｂ）に示すように、円筒コレット２４の吸着面が取付基部１１２の上面側のガイドとなってコイルばね３３８の弾性力で磁気ヘッドアッセンブリ１１の取付孔１１３が前へと押出され、磁気ヘッドアッセンブリ１１の取付孔１１３は、挿着孔３２の達磨孔の小さい孔径の孔に嵌合する。これにより、磁気ヘッドアッセンブリ１１は、Ｘ軸方向に沿う正規の姿勢の状態になるだけではなく、挿着孔３２の達磨孔の小さい孔の位置で決定されるＸＹ座標位置に位置決めされる。
なお、ピン３３６ａ，３３６ｂが前方に開く所定の角度αをもって設けられているので、磁気ヘッドアッセンブリ１１の回転状態が大きいときにはピン３３６ａが先に接触して磁気ヘッドアッセンブリ１１の回転を戻し、さらにピン３３６ｂが接触して磁気ヘッドアッセンブリ１１の正規の状態にまで二段回で戻すことができる。そして、台座３１ａにおいて、コイルばね３３８の弾性力で磁気ヘッドアッセンブリ１１が回転のないクランプ台５０における正しいクランプ姿勢の状態となる。ＸＹ座標位置に位置決めされる前記の動作は、後述するクランプ台５０のコイルばねによる位置決めクランプのときと磁気ヘッドアッセンブリ１１の動作と同じである。

その結果、位置決め機構３において、磁気ヘッドアッセンブリ１１は、クランプ台に取り付けるときのＸ軸に平行になるように設定され、Ｘ軸方向に沿う位置決めがなされる。さらに磁気ヘッドアッセンブリ１１の取付孔１１３の位置も実質的にクランプ台でのＸＹ方向の基準位置に位置決めされる。
言い換えれば、このときには磁気ヘッドアッセンブリ１１は、クランプ台の載置方向に一致し、かつ、磁気ヘッドアッセンブリ１１のＸＹ座標の位置決めが実質的に完了している。
また、位置決め機構３における位置決めのときには、台座３１ａと円筒コレット２４との間に磁気ヘッドアッセンブリ１１の取付基部１１２が吸着を解除された状態で置かれている。磁気ヘッドアッセンブリ１１の取付基部１１２が台座３１ａとの間で挟まれた状態にある。そこで、円筒コレット２４は、磁気ヘッドアッセンブリ１１の取付基部１１２を案内する役割を果す。

ハンドリングロボット２は、円筒コレット２４によりこの位置決めがなされた後に、台座３１ａに載置された磁気ヘッドアッセンブリ１１の取付基部１１２を吸着する。そして、エアシリンダ３３７が後退駆動されてロッド３３７ａがコイルスプリング３３９の付勢に抗してプッシャブロック３３を後退させて図４（ａ）の平面に示す状態にする。この時点で、円筒コレット２４をＺ方向に上昇させて、台座３１ａから未検査の磁気ヘッドアッセンブリ１１をピックアップし、検査デッキ５，６のうち検査が終了している検査デッキ側のクランプ台５０に未検査の磁気ヘッドアッセンブリ１１を搬送する（その処理は後述）。
次にハンドリングロボット２は、クランプ台５０の位置決めピン５２ａのＸＹ座標位置を基準として円筒コレット２４をそのＸＹ座標位置に位置決めする。そして円筒コレット２４を所定量降下させてクランプ台５０に未検査の磁気ヘッドアッセンブリ１１を載置して円筒コレット２４の吸着を解除する。この場合も前記と同様に、磁気ヘッドアッセンブリ１１の取付基部１１２の上部に円筒コレット２４があって、これと台座５０ａ（図５（ａ），（ｂ）参照）との間で挟まれた状態となる。この状態で円筒コレット２４が磁気ヘッドアッセンブリ１１の取付基部１１２を案内する役割を果たしながら、磁気ヘッドアッセンブリ１１がクランプ台５０に位置決めクランプされる。これにより位置決め精度が向上する。

図５は、検査デッキ５と検査デッキ６の各クランプ台５０におけるヘッドクランプ機構の説明図である。
各クランプ台５０は、ヘッドキャリッジ５ｂ（５ｃ），６ｂ（６ｃ）のヘッドアーム５１の先端部にそれぞれ固定されている。図５（ａ）の平面図に示すように、クランプ台５０には位置決めピン５２ａを前後に首を振らせる首振り位置決め機構５２が設けられている。なお、ここでの位置決めピン５２ａは、図示するように断面が矩形のピンとなっている。
位置決め機構３の載置台３１においてＸ軸方向に沿う位置決めがなされた磁気ヘッドアッセンブリ１１を吸着したハンドリングロボット２は、首振り位置決め機構５２の位置決めピン５２ａのＸＹ位置座標を基準にして円筒コレット２４を位置決めした後、Ｚ方向に所定量降下することでこの位置決めピン５２ａに磁気ヘッドアッセンブリ１１の取付基部１１２の取付孔１１３を容易に嵌合させて磁気ヘッドアッセンブリ１１をクランプ台５０に載置することができる。

クランプ台５０の後部には、突当ヘッド部５３ａを有する突当ブロック５３が設けられている。突当ブロック５３は、クランプ台５０の台座５０ａの背後から水平に延びたブラケット部５０ｂ（図５（ｂ）参照）に載置されてボルトねじ等でこれに固定されている。突当ブロック５３は、ブラケット部５０ｂから起立し、突当ヘッド部５３ａがクランプ台５０に載置された磁気ヘッドアッセンブリ１１の取付基部１１２の後部端面に対応するようにこれの先頭位置に水平に突出している。
ブラケット部５０ｂは、ヘッドアーム５１にボルト結合されて支持され、ブラケット部５０ｂによりヘッドキャリッジ５ｂ，５ｃ，６ｂ，６ｃに各クランプ台５０が支持される。

磁気ヘッドアッセンブリ１１は、その取付基部１１２の取付孔１１３が位置決めピン５２ａに嵌合して台座５０ａに載置されている。台座５０ａには取付基部１１２が載置される凹部５０ｃ（図５（ｂ）参照）が設けられている。
首振り位置決め機構５２の頭部に設けられた位置決めピン５２ａは、台座５０ａから突出して、垂直面内で時計方向に回動して後側に首を振る。この首振りは、磁気ヘッドアッセンブリ１１の取付基部１１２を後ろへと移動させて、磁気ヘッドアッセンブリ１１の取付基部１１２の背面を突当ヘッド部５３ａに突き当てさせる。その結果、図５（ｃ）に示すように、磁気ヘッドアッセンブリ１１は、傾斜した位置決めピン５２ａと突当ヘッド部５３ａとの間で取付基部１１２が挟まれて位置決めされるとともにクランプされる。
突当ヘッド部５３ａは、真中に矩形の切欠き５３ｂが設けられ、側面の２点で磁気ヘッドアッセンブリ１１の取付基部１１２を押さえる。これに対して断面矩形の位置決めピン５２ａも２点で取付孔１１３と係合し、取付基部１１２は、前後４点で押圧され、その結果として磁気ヘッドアッセンブリ１１は、精度の高い位置決めがなされる。

図５（ｂ）の断面図に示すように、台座５０ａは、貫通孔５４が設けられ、内部が空洞となっていて、首振り位置決め機構５２は、位置決めピン５２ａと、台座５０ａの空洞に設けられた揺動レバー５２ｂ、軸ピン５２ｃ、そしてコイルばね５２ｄとからなる。
揺動レバー５２ｂの頭部に位置決めピン５２ａが植設されて、台座５０ａの貫通孔５４に逆Ｔ字型の揺動レバー５２ｂが縦に貫通して貫通孔５４の上部の孔５４ａから位置決めピン５２ａの先端部がさらに上部へと顔を出している。揺動レバー５２ｂは、貫通孔５４の途中で台座５０ａに支持された軸ピン５２ｃにより貫通孔５４内部で前後に首振り回動するように軸支されている。
逆Ｔ字型の揺動レバー５２ｂの下側端部５２ｅは、水平方向に両側に延びていて、後部側は、ブラケット部５０ｂの下面との間に圧縮されたコイルばね５２ｄが装填されている。このコイルばね５２ｄは、位置決めピン５２ａが垂直面内で後側に回動して首を振るように付勢している（図５（ｃ）の側面断面図参照）。
コイルばね５２ｄの位置に対応して揺動レバー５２ｂの下側端部５２ｅの裏面側には、半球状の突起５５が設けられている。この突起５５にエアシリンダ５６（図１参照）の前進した進退ロッド５６ａが接触してコイルばね５２ｄは圧縮された状態に維持されている。この状態で位置決めピン５２ａは垂直状態に維持され、図５（ｂ）の側面断面図に示すように、正規の座標位置に位置決めされて起立する。このときエアシリンダ５６は前進駆動状態にある。
この状態でハンドリングロボット２により搬送された磁気ヘッドアッセンブリ１１の取付基部１１２の取付孔１１３が円筒コレット２４の降下により位置決めピン５２ａと嵌合して台座５０ａの凹部５０ｃ（図５（ｂ）参照）に取付基部１１２が載置されると、円筒コレット２４の吸着が解除される。

次に、エアシリンダ５６が後退駆動されると、位置決めピン５２ａは、コイルばね５２ｄの付勢により、円筒コレット２４の吸着面をガイドとして図５（ｂ）の側面断面図の状態から図面時計方向に首振り回動をして図５（ｃ）の側面断面図の状態になる。この状態が磁気ヘッドアッセンブリ１１を首振り位置決め機構５２が位置決めクランプした状態である。このときのクランプは、従来のクランプ機構と同様にコイルばね５２ｄの弾性力による。
その結果、エアシリンダ５６の進退駆動で、クランプ台５０に載置された磁気ヘッドアッセンブリ１１に対してコイルばね５２ｄによるクランプ台５０への位置決めクランプとその解除とが可能になる。
なお、エアシリンダ５６によるクランプとその解除は制御部９によりエアシリンダ５６の駆動とその解除あるいは進退駆動により行われる。また、磁気ヘッド１１１は、クランプ台５０に仰向けにクランプされているので、図５（ｂ），図５（ｃ）に示すように、ヘッドキャリッジ５ｂ，５ｃ，６ｂ，６ｃにより磁気ディスク１２，１３の裏面側に磁気ヘッド１１１がロードされる。
一方、磁気ディスク１２，１３の表面側に磁気ヘッド１１１をロードする場合には、前記した仰向けクランプの状態でクランプ台５０に磁気ヘッドアッセンブリ１１をクランプした後にヘッドアーム５１あるいはクランプ台５０を垂直方向に１８０゜反転させることで可能である。

次に、磁気ヘッド検査方法の処理手順について説明する。
図６は、この発明の一実施例の磁気ヘッド検査方法の処理手順の説明図である。
なお、以下では、検査デッキ５と検査デッキ６には、図１のヘッドキャリッジ５ｃ、ヘッドキャリッジ６ｃが設けられることなく、それぞれスピンドル５ａと１個のヘッドキャリッジ５ｂ、スピンドル６ａと１個のヘッドキャリッジ６ｂとがそれぞれ設けられた単純なケースについての処理を説明する。２個のヘッドキャリッジが設けられた場合を最後に補足説明する。
以下で説明する磁気ヘッド検査処理は、制御部９のメモリに記憶された磁気ヘッド検査プログラムをＭＰＵが実行することで制御部９が各部を制御することで行われる。
制御部９は、キーボードより所定の検査開始キーの入力に応じて、初期設定値として検査デッキ５を選択、トレイ４のボスピン４１の座標を、磁気ヘッドアッセンブリをピックアップすべき初期位置に設定する（ステップ１０１）。次に制御部９は、ハンドリングロボット２を制御してトレイ４のあるボスピン４１（最初は初期位置）の座標に円筒コレット２４を位置決めして（ステップ１０２）、未検査の磁気ヘッドアッセンブリ１１を円筒コレット２４によりピックアップして位置決め機構３に搬送する（ステップ１０３）。
制御部９は、位置決め機構３のエアシリンダ３３７を後退駆動して（ステップ１０４）、円筒コレット２４を台座３１ａの挿着孔３２の座標位置に位置決めして磁気ヘッドアッセンブリ１１を位置決め機構３の台座３１ａに載置する処理をして、円筒コレット２４の吸着を解除する（ステップ１０５）。

次に制御部９は、エアシリンダ３３７を前進駆動して磁気ヘッドアッセンブリ１１の位置決めをする（ステップ１０６）。円筒コレット２４により位置決めされた磁気ヘッドアッセンブリ１１を吸着して、位置決め機構３のエアシリンダ３３７を後退駆動する（ステップ１０７）。
次に制御部９は、台座３１ａから未検査の磁気ヘッドアッセンブリ１１を円筒コレット２４によりピックアップして選択している検査デッキのクランプ台５０に搬送する（ステップ１０８）。次に、円筒コレット２４をクランプ台５０の位置決めピン５２ａの位置座標に位置決めしてクランプ台５０に未検査の磁気ヘッドアッセンブリ１１を載置して吸着を解除する（ステップ１０９）。
ステップ１０９においては、最初は、ステップ１０１で検査デッキ５が選択されているので、検査デッキ５のクランプ台５０に未検査の磁気ヘッドアッセンブリ１１がセットされるが、後のステップ１１７では検査デッキ６が選択されるので、その次のステップ１０９の処理では検査デッキ６のクランプ台５０にセットすることになる。そして、後述するステップ１１７で検査デッキの選択切換えが行われることにより、未検査の磁気ヘッドアッセンブリ１１は、検査デッキのクランプ台５０に交互にセットされることになる。
次に制御部９は、エアシリンダ５６を駆動を解除して首振り位置決め機構５２を駆動して、ステップ１０９においてセットされた磁気ヘッドアッセンブリ１１をクランプ台５０に位置決めクランプし、円筒コレット２４をクランプ台５０から退避させる（ステップ１１０）。

次に制御部９は、測定部８の磁気ヘッド検査終了待ちに入る（ステップ１１１）ことになるが、検査処理を開始した最初は点線で示すように、このステップ１１１の処理はスキップされ、磁気ヘッドアッセンブリ１１の検査処理の終了後に開始される次のステップ１１２へと移る。
次に制御部９は、ステップ１１２では選択している検査デッキ（最初は検査デッキ５）側に切換回路７を切換えて選択している検査デッキ（検査デッキ５）に測定部８を接続する（ステップ１１２）。そして、選択している検査デッキ（検査デッキ５）の磁気ヘッド１１１を磁気ディスク（最初は磁気ディスク１２）上の所定のトラックにシークさせてデータの読み書きをして検査を開始する（ステップ１１３）。次に、選択されていない検査デッキのクランプ台５０の磁気ヘッドアッセンブリ１１を取外してトレイ４の元の収納位置に戻す（ステップ１１４）。
次に制御部９は、トレイ４の元の位置に戻した磁気ヘッドの検査結果の合否のデータをトレイ４の戻した位置座標に対応してメモリの所定の領域に記憶する（ステップ１１５）。
なお、検査処理を開始した最初の処理では検査デッキ６での磁気ヘッドの検査は行われていないのでこれらステップ１１４〜１１５の処理はスキップされ、点線で示すようにステップ１１６へと移る。

次に制御部９は、次のステップ１１６でトレイ４上の未検査の磁気ヘッドアッセンブリ１１の検査がすべて終了か否かの判定をする（ステップ１１６）。これは、例えば、現在のボスピンの座標値から次にピックアップする磁気ヘッドアッセンブリ１１のボスピンの座標があるか否かにより判定することによる。
ここでＮＯとなれば、次に制御部９は、選択されていない側の検査デッキ（最初は検査デッキ６）を選択して、未検査の磁気ヘッドアッセンブリ１１のトレイ４のボスピン４１の座標を更新して（ステップ１１７）、ステップ１０２へと戻る。
そして、その後のステップ１０８において、今度は検査デッキ６のクランプ台５０に磁気ヘッドアッセンブリ１１を搬送し、ステップ１０９で未検査の磁気ヘッドアッセンブリ１１を検査デッキ６のクランプ台５０に載置して、ステップ１１０でそれを位置決めクランプして、円筒コレット２４をクランプ台５０から退避させる。
そして、制御部９は、測定部８の磁気ヘッド検査終了待ち（最初は検査デッキ５の検査終了待ち）に入り（ステップ１１１）、磁気ヘッド検査が終了するとステップ１１２へと移る。ステップ１１２では選択している検査デッキ６側に切換回路７を切換えて測定部８を検査デッキ６に接続して、検査デッキ６での磁気ヘッド１１３の検査を開始する（ステップ１１３）。そして制御部９は、ステップ１１７の選択切換の選択により選択されない側の検査デッキ（検査デッキ５）の磁気ヘッド１１１のクランプ台５０の磁気ヘッドアッセンブリ１１を取外す処理をして、トレイ４の元の収納位置に戻す（ステップ１１４）。ステップ１１５でトレイ４の元の位置に戻した検査結果の合否のデータをトレイ４の戻した位置座標に対応してメモリの所定の領域に記憶して、ステップ１１６の判定に入る。

ステップ１１６の判定で終了となったときには、ここでの制御部９は処理を終了し、次に新しいトレイ４が検査ステージ１に載置されるまで、次のトレイ４の装填待ちに入る。そして、新しいトレイ４が検査ステージ１に載置されると、制御部９は、ステップ１０１から検査処理を再び開始する。
このような検査が検査終了キーが押されるまで続けられる。
なお、ステップ１１５のメモリへの検査結果データの記憶は、ステップ１１４の手前に設け、ステップ１１５、ステップ１１４と処理順序が逆になってもよい。
ここで、ヘッドキャリッジ５ｃ，６ｃを加えて、２個のヘッドキャリッジが検査デッキ５，６にそれぞれ設けられている場合についいて説明する。
まず、制御部９の処理が前記したステップ１０１からステップ１０８に至り、ステップ１０８でヘッドキャリッジ５ｂあるいはヘッドキャリッジ６ｂのクランプ台へ磁気ヘッドを搬送してステップ１１０へ至ったとする。ここで、ヘッドキャリッジ５ｂあるいはヘッドキャリッジ６ｂのクランプ台５０へ磁気ヘッドを位置決めクランプした後には制御部９は、ステップ１１１の処理には移らずに、ステップ１１０の後にトレイ４のボスピン位置を更新する処理に移り、この後に、ステップ１０２へと戻る処理をする。そして、ステップ１０２からステップ１０８へ至り、次のステップ１０８の処理では、制御部９は、選択された検査デッキの残りのヘッドキャリッジ５ｃあるいはヘッドキャリッジ６ｃのクランプ台へ磁気ヘッドを搬送する。

そして制御部９は、ステップ１１０の処理に至り、ここで残りのヘッドキャリッジ５ｃあるいはヘッドキャリッジ６ｃのクランプ台へ磁気ヘッドアッセンブリ１１を位置決めクランプする。このことで、２つのヘッドキャリッジのクランプ台５０に磁気ヘッドアッセンブリ１１をそれぞれクランプすることができる。その後にステップ１１０からステップ１１１へと移り、前記したこれ以降の処理をすればよい。
以上の処理により、位置決め機構３は、検査デッキ５と検査デッキ６の各クランプ台の共通の位置決め機構として利用することができる。そしてこの発明は、交互に磁気ヘッド１１１をクランプ台５０に位置決めクランプをして検査デッキ５と検査デッキ６で交互にかつ連続的に磁気ヘッド１１１を検査することができる。
なお、ステップ１１４の処理としては、磁気ヘッドの合格の検査結果に応じてトレイ４とは別のそれぞれトレイに磁気ヘッドアッセンブリ１１が収納されるように処理をしてもよい。

以上説明してきたが、実施例の吸着コレットは、円筒であるが、この発明では、コレットは矩形筒のコレットであってもよく、円筒には限定されず、他の形態の吸着ヘッドが使用されてもよい。
実施例では、吸着コレットにより磁気ヘッドアッセンブリを磁気ヘッドが上となる仰向けにトレイに収納して、磁気ヘッドが上となるようにクランプ台にセットするようにしているが、この発明は、逆に吸着コレットにより磁気ヘッドアッセンブリを磁気ヘッドが下となる俯せにトレイに収納して、磁気ヘッドが下となるようにクランプ台にセットするようにしてもよい。この場合には、取付孔の突起が上側となるので、位置決め機構３の載置台の台座は挿着孔ではなく、装着ピンとなり、円筒コレット２４が上部に退避するか、コレット２４の吸着面は位置決め移動できるように大きなものとするとよい。

また、実施例では、効率向上のために検査デッキ５と検査デッキ６の２つのデッキを設けているが、単に自動化をするだけであればこの発明は必ずしも複数のデッキを設ける必要はない。
さらに、磁気ヘッドアッセンブリが仰向けか俯せかにかかわらず、この発明においては、実施例の位置決め機構３の台座３１ａの挿着孔３２は、ピンであってもよい。逆に、トレイ４のボスピン４１は、ボスを受ける孔であってもよい。
なお、この明細書および特許請求の範囲におけるトレイはパレットを含むものであり、容器一般を意味するものとする。

図１は、この発明の一実施例の磁気ヘッド検査装置のシステム構成図である。 図２（ａ）は、磁気ヘッドアッセンブリのハンドリングロボットと磁気ヘッドアッセンブリの説明図、図２（ｂ）は、図２（ａ）における磁気ヘッドアッセンブリの平面説明図、そして図２（ｃ）は、円筒コレットの吸着面の説明図である。 図３（ａ）は、磁気ヘッドアッセンブリを収納するトレイの説明図、そして図３（ｂ）は、図３（ａ）におけるＢ−Ｂ断面図である。 図４（ａ）は、クランプ台の磁気ヘッドアッセンブリの載置方向に磁気ヘッドアッセンブリを一致させる位置決め機構の平面説明図、図４（ｂ）は、図４（ａ）の縦断面図、そして図４（ｃ）は、磁気ヘッドアッセンブリをクランプ台に対応させた正規の姿勢にしたときの位置決め機構の平面説明図である。 図５（ａ）は、クランプ台におけるヘッドクランプ機構の説明図、図５（ｂ）は、クランプ台の縦断面説明図、そして図５（ｃ）は、位置決めピンが後ろへ首を振った状態を示すクランプ台の縦断面説明図である。 図６は、この発明の一実施例の磁気ヘッド検査方法の処理手順の説明図である。

符号の説明

１…検査ステージ、２…ハンドリングロボット、
３…位置決め機構、４…トレイ、
５，６…検査デッキ、７…切換回路、８…測定部、
９…制御部、１０…磁気ヘッド検査装置、
１１…磁気ヘッドアッセンブリ、１２，１３…磁気ディスク、
２１…Ｘ移動機構、２２…Ｙ移動機構、２３…Ｚ移動機構、
２４…円筒コレット、３１…載置台、３２…挿着孔、
３３…プッシャブロック、４１…ボスピン、
４２…台座、５０…クランプ台、
５１…ヘッドアーム、５２…首振り位置決め機構、
５２ａ…位置決めピン、５３…突当ブロック、５３ａ…突当側面、
５４…貫通孔、５５…突起、５６…エアシリンダ
１１１…磁気ヘッド、１１２…取付基部、
１１３…位置決め用の突起孔、１１４…フレキシブル印刷配線基板、
１１５…サスペンションスプリング。

Claims (21)

1. 位置決め用の取付孔を取付基部に有する磁気ヘッドアッセンブリをヘッドキャリッジのヘッドクランプ台にクランプして、磁気ディスクから前記磁気ヘッドアッセンブリの磁気ヘッドによりデータを読出すことにより前記磁気ヘッドの検査する磁気ヘッド検査方法において、
   前記ヘッドクランプ台に起立して設けられる位置決めピンを有しこの位置決めピンに前記取付孔を嵌合させて前記ヘッドクランプ台に載置された前記磁気ヘッドアッセンブリに対してこの磁気ヘッドアッセンブリの取付基部を介して前記磁気ヘッドアッセンブリを所定の一軸方向に沿って前記ヘッドクランプ台に位置決めクランプするクランプ機構を設け、
   前記取付孔を受ける複数のボスピンあるいは複数の受け孔のそれぞれに前記磁気ヘッドアッセンブリの前記取付孔をそれぞれ嵌合させてトレイに未検査の前記磁気ヘッドアッセンブリを収納し、
   吸着部を有するハンドリングロボットにより前記ボスピンあるいは受け孔の位置を基準にして前記吸着部を位置決めして前記吸着部により前記未検査の磁気ヘッドアッセンブリを吸着して前記トレイから取出して前記トレイからピンあるいは孔を有する載置台へ搬送し、
   前記載置台の前記ピンあるいは孔の位置を基準にして前記吸着部を位置決めして前記磁気ヘッドアッセンブリの取付孔を前記ピンあるいは孔に嵌合させて前記未検査の磁気ヘッドアッセンブリを前記載置台に載置して前記吸着部の吸着を解除し、
   前記ピンあるいは孔を回転基準にして前記取付基部を回転させて前記所定の一軸方向に沿うように前記磁気ヘッドアッセンブリを位置決めし、
   前記所定の一軸方向に沿うように位置決めされた前記磁気ヘッドアッセンブリを前記吸着部により吸着して前記ハンドリングロボットにより前記載置台から前記ヘッドクランプ台に搬送し、
   前記位置決めピンの位置を基準にして前記吸着部を位置決めして前記位置決めピンに前記磁気ヘッドアッセンブリの取付孔を嵌合させて前記未検査の磁気ヘッドアッセンブリを前記ヘッドクランプ台に載置して前記吸着部の吸着を解除して前記クランプ機構により前記所定の一軸に沿って前記未検査の磁気ヘッドアッセンブリを前記ヘッドクランプ台にクランプしてこれの磁気ヘッドの検査をする磁気ヘッド検査方法。
2. 前記吸着部は吸着ヘッドであり、この吸着ヘッドによる前記未検査の磁気ヘッドアッセンブリの吸着は、前記取付孔の周囲を吸着するものであり、前記磁気ヘッドの検査終了後には前記位置決めピンの位置を基準にして前記吸着ヘッドを前記ヘッドクランプ台に位置決めし、前記クランプ機構によるクランプが解除された前記磁気ヘッドアッセンブリを吸着して前記ヘッドクランプ台から取外す請求項１記載の磁気ヘッド検査方法。
3. 前記吸着ヘッドは、吸着するための吸着面の表面が平で中心部が中空となった円筒の吸着コレットであって、円周に沿って円形の吸着溝が前記表面に形成されていて、前記載置台に載置された前記未検査の磁気ヘッドアッセンブリは、吸着が解除された前記吸着コレットをガイドとして前記所定の一軸に沿うように回転される請求項２記載の磁気ヘッド検査方法。
4. 前記ヘッドクランプ台に載置された前記未検査の磁気ヘッドアッセンブリは、吸着が解除された前記吸着コレットをガイドとして前記クランプ機構により前記所定の一軸に沿って前記ヘッドクランプ台にクランプされる請求項３記載の磁気ヘッド検査方法。
5. 前記載置台の前記ピンあるいは前記孔は、前記未検査の磁気ヘッドアッセンブリが載置されたときに前記所定の一軸とこれに直交する方向の軸の２方向において前記磁気ヘッドアッセンブリを位置決めするために設けられている請求項４記載の磁気ヘッド検査方法。
6. 前記載置台には前記所定の一軸に沿って移動するプッシャブロックが設けられ、前記プッシャブロックは、前記載置台に載置された前記磁気ヘッドアッセンブリの取付基部を前記一軸方向に沿って押して前記磁気ヘッドアッセンブリの前記取付孔を前記ピンあるいは前記孔に係合させることで前記磁気ヘッドアッセンブリの位置決めをする請求項５記載の磁気ヘッド検査方法。
7. 前記載置台には前記孔が設けられ、前記孔は、大小２つの縦溝孔が接合したものであって、所定の深さで前記載置台の表面側に穿孔されている請求項６記載の磁気ヘッド検査方法。
8. さらに、前記磁気ディスクが装着されるスピンドルと前記ヘッドクランプ台とを有するヘッドキャリッジとがそれぞれ設けられた第１および第２の検査デッキと切換回路と測定部とが設けられ、
   前記第１および第２の検査デッキのいずれかの一方の前記ヘッドクランプ台に前記未検査の磁気ヘッドアッセンブリを第１の磁気ヘッドアッセンブリとしてクランプして、クランプされた前記第１の磁気ヘッドアッセンブリにおける前記磁気ヘッドを前記切換回路を介して前記測定部に接続してその磁気ヘッドの検査をし、
   前記第１および第２の検査デッキのいずれかの他方の前記ヘッドクランプ台に他の未検査の磁気ヘッドアッセンブリを第２の磁気ヘッドアッセンブリとしてクランプし、
   前記第１の磁気ヘッドアッセンブリの前記磁気ヘッドの検査が終了したときに前記第２の磁気ヘッドアッセンブリにおける前記磁気ヘッドを前記切換回路を介して前記測定部に接続してその磁気ヘッドの検査をし、
   検査が終了した前記磁気ヘッドを有する前記第１の磁気ヘッドアッセンブリを前記ヘッドクランプ台から取外して前記トレイにあるいは他のトレイに移送する請求項２記載の磁気ヘッド検査方法。
9. さらに前記第１の磁気ヘッドアッセンブリが取り外された前記ヘッドクランプ台にさらに他の未検査の磁気ヘッドアッセンブリを前記第１の磁気ヘッドアッセンブリとしてクランプして前記第２の磁気ヘッドアッセンブリの前記磁気ヘッドの検査が終了したときに前記第１の磁気ヘッドアッセンブリにおける前記磁気ヘッドを前記切換回路を介して前記測定部に接続し、
   検査が終了した前記磁気ヘッドを有する前記第２の磁気ヘッドアッセンブリを前記ヘッドクランプ台から取外して前記トレイにあるいは他のトレイに移送し、
   前記第１および第２の検査デッキにおいて交互に前記磁気ヘッドの検査する請求項８記載の磁気ヘッド検査方法。
10. 前記ハンドリングロボットは、前記磁気ヘッドアッセンブリが前記ヘッドクランプ台から外された前記第１および第２の検査デッキのいずれか一方の前記ヘッドクランプ台に前記載置台において位置決めされた前記未検査の磁気ヘッドアッセンブリを搬送する請求項９記載の磁気ヘッド検査方法。
11. 前記クランプ機構は、首振り位置決め機構を有し、この首振り位置決め機構は前記クランプ台に設けられ、前記位置決めピンは、断面が矩形であって、前記首振り位置決め機構の頭部に設けられ、前記首振り位置決め機構が前記位置決めピンを前記磁気ヘッドに対して後ろ側に振って前記クランプ台に載置された前記未検査の磁気ヘッドアッセンブリが前記クランプ台にクランプされる請求項２記載の磁気ヘッド検査方法。
12. 位置決め用の取付孔を取付基部に有する磁気ヘッドアッセンブリをヘッドキャリッジのヘッドクランプ台にクランプして、磁気ディスクから前記磁気ヘッドアッセンブリの磁気ヘッドによりデータを読出すことにより前記磁気ヘッドの検査する磁気ヘッド検査装置において、
    前記ヘッドクランプ台に起立して設けられる位置決めピンを有しこの位置決めピンに前記取付孔を嵌合させて前記ヘッドクランプ台に載置された前記磁気ヘッドアッセンブリに対してこの磁気ヘッドアッセンブリの取付基部を介して前記磁気ヘッドアッセンブリを所定の一軸方向に沿って前記ヘッドクランプ台に位置決めクランプするクランプ機構と、
    前記取付孔を受ける複数のボスピンあるいは複数の受け孔のそれぞれに前記磁気ヘッドアッセンブリの前記取付孔をそれぞれ嵌合させて前記未検査の磁気ヘッドアッセンブリを収納するトレイと、
    前記取付孔の周囲において前記取付基部を吸着する吸着部を有するハンドリングロボットと、
    前記取付孔が嵌合するピンあるいは孔が設けられた載置台を有し前記取付孔が前記ピンあるいは孔に嵌合して前記載置台に載置された前記磁気ヘッドアッセンブリの取付基部を前記ピンあるいは孔を回転基準にして回転させて前記所定の一軸に沿うように前記磁気ヘッドアッセンブリの位置決めをする位置決め機構と、
    前記ハンドリングロボットを制御して前記ボスピンあるいは受け孔の位置を基準として前記吸着部を位置決めして前記未検査の磁気ヘッドアッセンブリを前記トレイにおいて吸着して前記未検査の磁気ヘッドアッセンブリを前記トレイから取出して前記ハンドリングロボットにより前記載置台へ搬送し、前記ピンあるいは孔の位置を基準として前記吸着部を位置決めして前記未検査の磁気ヘッドアッセンブリを前記載置台に載置して前記吸着部の吸着を解除し、前記ハンドリングロボットにより前記載置台において位置決めされた前記未検査の磁気ヘッドアッセンブリを前記吸着部により吸着して前記ハンドリングロボットにより前記位置決めピンの位置を基準にして前記吸着部を前記ヘッドクランプ台に位置決めして前記未検査の磁気ヘッドアッセンブリを前記ヘッドクランプ台に載置して前記吸着部の吸着を解除する制御をする制御部とを備える磁気ヘッド検査装置。
13. 前記制御部は、前記位置決め機構を制御して前記磁気ヘッドアッセンブリを前記所定の一軸に沿うように位置決めし、さらに前記クランプ機構を制御して前記磁気ヘッドアッセンブリを前記ヘッドクランプ台にクランプする請求項１２項記載の磁気ヘッド検査装置。
14. 前記吸着部は吸着ヘッドであり、この吸着ヘッドによる前記未検査の磁気ヘッドアッセンブリの吸着は、前記取付孔の周囲を吸着するものであり、前記制御部は、前記磁気ヘッドの検査終了後には前記位置決めピンの位置を基準にして前記吸着ヘッドを前記ヘッドクランプ台に位置決めし、前記吸着コレットによりクランプが解除された前記磁気ヘッドアッセンブリを前記吸着コレットにより吸着して前記ヘッドクランプ台から取外す制御をする請求項１３項記載の磁気ヘッド検査装置。
15. 前記吸着コレットは、吸着するための吸着面の表面が平で中心部が中空となった円筒の吸着コレットであって、円周に沿って円形の吸着溝が前記表面に形成されていて、前記載置台に載置された前記未検査の磁気ヘッドアッセンブリは、吸着が解除された前記吸着コレットをガイドとして前記所定の一軸に沿うように回転される請求項１４記載の磁気ヘッド検査装置。
16. 前記ヘッドクランプ台に載置された前記未検査の磁気ヘッドアッセンブリは、吸着が解除された前記吸着コレットをガイドとして前記クランプ機構により前記所定の一軸に沿って前記ヘッドクランプ台にクランプされる請求項１５記載の磁気ヘッド検査装置。
17. 前記載置台の前記ピンあるいは前記孔は、前記磁気ヘッドアッセンブリが載置されたときに前記所定の一軸とこれに直交する方向の軸の２方向において前記未検査の磁気ヘッドアッセンブリを位置決めするために設けられいる請求項１６記載の磁気ヘッド検査装置。
18. さらに、前記磁気ディスクが装着されるスピンドルと前記ヘッドクランプ台とを有するヘッドキャリッジとがそれぞれ設けられた第１および第２の検査デッキと切換回路と測定部とが設けられ、
    前記第１および第２の検査デッキのいずれかの一方の前記ヘッドクランプ台に前記未検査の磁気ヘッドアッセンブリを第１の磁気ヘッドアッセンブリとしてクランプして、クランプされた前記第１の磁気ヘッドアッセンブリにおける前記磁気ヘッドを前記切換回路を介して前記測定部に接続してその磁気ヘッドの検査をし、
    前記第１および第２の検査デッキのいずれかの他方の前記ヘッドクランプ台に他の未検査の磁気ヘッドアッセンブリを第２の磁気ヘッドアッセンブリとしてクランプし、
    前記第１の磁気ヘッドアッセンブリの前記磁気ヘッドの検査が終了したときに前記第２の磁気ヘッドアッセンブリにおける前記磁気ヘッドを前記切換回路を介して前記測定部に接続してその磁気ヘッドの検査をし、
    検査が終了した前記磁気ヘッドを有する前記第１の磁気ヘッドアッセンブリを前記ヘッドクランプ台から取外して前記トレイにあるいは他のトレイに移送する請求項１３記載の磁気ヘッド検査装置。
19. さらに前記第１の磁気ヘッドアッセンブリが取り外された前記ヘッドクランプ台にさらに他の未検査の磁気ヘッドアッセンブリを前記第１の磁気ヘッドアッセンブリとしてクランプして前記第２の磁気ヘッドアッセンブリの前記磁気ヘッドの検査が終了したときに前記第１の磁気ヘッドアッセンブリにおける前記磁気ヘッドを前記切換回路を介して前記測定部に接続し、
    検査が終了した前記磁気ヘッドを有する前記第２の磁気ヘッドアッセンブリを前記ヘッドクランプ台から取外して前記トレイにあるいは他のトレイに移送し、
    前記第１および第２の検査デッキにおいて交互に前記磁気ヘッドの検査する請求項１８記載の磁気ヘッド検査装置。
20. 前記ハンドリングロボットは、前記磁気ヘッドアッセンブリが前記ヘッドクランプ台から外された前記第１および第２の検査デッキのいずれか一方の前記ヘッドクランプ台に前記載置台において位置決めされた前記未検査の磁気ヘッドアッセンブリを搬送する請求項１９記載の磁気ヘッド検査装置。
21. 前記クランプ機構は、首振り位置決め機構を有し、この首振り位置決め機構は前記クランプ台に設けられ、前記位置決めピンは、断面が矩形であって、前記首振り位置決め機構の頭部に設けられ、前記首振り位置決め機構によって前記位置決めピンが前記磁気ヘッドに対して後ろ側に振られてときに前記クランプ台に載置された前記未検査の磁気ヘッドアッセンブリが前記クランプ台にクランプされる請求項２０記載の磁気ヘッド検査装置。

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