HK1010069B - Thin film magnetic heads with thin nickel underlayers - Google Patents

Claims (14)

1. Dünnfilm-Kopf-/Gleiterbaugruppe mit

   einem Substrat (25),

   einem Basisüberzug (36), der auf dem Substrat abgeschieden ist,

   einer ersten Kristallkeimschicht (37), die auf dem Basisüberzug abgeschieden ist,

   einem unteren Magnetkernstück (10,16), das über der ersten Kristallkeimschicht angeordnet ist und mit dieser in Kontakt steht,

   einer zweiten Kristallkeimschicht (39), einem oberen Magnetkernstuck (11,14), das über der zweiten Kristallkeimschicht angeordnet ist und mit dieser in Kontakt steht,

   Isoliermaterial (24), das zwischen dem unteren Kernstück und der zweiten Kristallkeimschicht abgeschieden ist, wobei das Isoliermaterial Wicklungen (18) enthält,

   dadurch gekennzeichnet, daß die ersten und zweiten Kristallkeimschichten Nickel-Kristallkeimschichten sind.
2. Dünnfilmkopf nach Anspruch 1, bei dem der Basisüberzug Al₂O₃ umfaßt.
3. Dünnfilmkopf nach Anspruch 1, bei dem das obere und untere Kernstück ein Joch (10,11) und Pole (14,16) umfassen.
4. Dünnfilmkopf nach Anspruch 1, bei dem die ersten und zweiten Nickel-Kristallkeimschichten jeweils in Kontakt mit einem jeweiligen Magnetkernstück stehen.
5. Dunnfilmkopf-Baugruppe, die ein substrat (25), ein unteres Polstück (16), ein unteres Joch (10), ein oberes Polstück (14), ein oberes Joch (11) und leitende Wicklungen (18) umschließendes Isoliermaterial (24) zwischen dem oberen Pol und dem Joch und dem unteren Pol und dem Joch einschließt, mit:

   einer ersten Kristallkeimschicht (37), die zwischen dem Substrat und den unteren Pol- und Jochstücken eingeschichtet ist, und

   einer zweiten Kristallkeimschicht (39), die zwischen dem Isoliermaterial und den oberen Pol- und Jochstücken eingeschichtet ist,

   dadurch gekennzeichnet, daß die ersten und zweiten Kristallkeimschichten Nickel-Kristallkeimschichten sind.
6. Dünnfilmkopf nach Anspruch 5, bei dem sich die erste Nickel-Kristallkeimschicht entlang einer gesamten Länge der unteren Pol- und Jochstücke erstreckt.
7. Dünnfilmkopf nach Anspruch 4, bei dem sich die zweite Nickel-Kristallkeimschicht entlang der gesamten Länge der oberen Pol- und Jochstücke, erstreckt.
8. Verfahren zur Herstellung einer Dünnfilmkopf-Baugruppe, dadurch gekennzeichnet, daß es die Abscheidung einer ersten Nickel-Keimschicht (37) auf einem Substrat (25), die Ausbildung eines unteren Teils (10,16) eines Magnetkerns auf der ersten Nickel-Keimschicht, die Abscheidung einer zweiten Nickel-Kristallkeimschicht (39) auf einer Isolierschicht und die Ausbildung eines oberen Teils (10,14) des Magnetkerns auf der zweiten Nickel-Kristallkeimschicht umfaßt, derart, daß die Isolierschicht zwischen den oberen und unteren Teilen des Magnetkerns liegt.
9. Verfahren nach Anspruch 8, bei dem das Abscheiden der ersten Nickel-Kristallkeimschicht das Zerstäuben von Nickel auf das Substrat umfaßt.
10. Verfahren nach Anspruch 9, bei dem das Substrat eine Basisschicht (36) eines Gleiters ist.
11. Verfahren nach Anspruch 8, bei dem das Abscheiden der zweiten Nickel-Kristallkeimschicht das Zerstäuben von Nickel auf das Isoliermaterial des Dünnfilmkopfes umfaßt.
12. Verfahren nach Anspruch 8, bei dem die Ausbildung eines unteren Teils des Kerns auf der ersten Nickel-Kristallkeimschicht die Abscheidung eines Permalloy-Materials auf der ersten Nickel-Kristallkeimschicht umfaßt.
13. Verfahren nach Anspruch 8, bei dem die Ausbildung des oberen Teils des Kerns auf der zweiten Nickel-Kristallkeimschicht die Abscheidung eines Permalloy-Materials auf der zweiten Nickel-Kristallkeimschicht umfaßt.
14. Verfahren nach Anspruch 8, bei dem das Abscheiden der ersten und zweiten Nickel-Kristallkeimschichten zu einer verbesserten Magnetpolausrichtung der unteren und oberen Polstücke führt.