HK1072037B - Information recording medium and process for producing the same - Google Patents

Claims (19)

1. Datenaufzeichnungsmedium, welches eine Aufzeichnungsschicht umfasst, die ein Material enthält mit einer Reflektivität, die sich durch Einstrahlung eines Lichtstrahls ändert und auf welcher Information aufgezeichnet ist als Reflektivitätsschwankungen, und ein Substrat zum Stützen der Aufzeichnungsschicht, dadurch gekennzeichnet, dass die Aufzeichnungsschicht besteht aus:

   einer inorganischen Mischung von sowohl bei niedriger Temperatur zersetzbarem Metallnitrid, welches in der Lage ist, bei einer Temperatur zwischen 100 °C und 600 °C zersetzt zu werden und einer bei hoher Temperatur zersetzbaren Verbindung einer Substanz, die ausgewählt ist aus einer Gruppe, die ein Metallnitrid umfasst, ein Metalloxid und ein Metallkarbid oder eine Mischung von zumindest zwei hiervon, welche in der Lage ist, zersetzt zu werden bei einer Temperatur höher als die vorgenannte Temperatur, und

   unvermeidlichen Verunreinigungen.
2. Datenaufzeichnungsmedium nach Anspruch 1, wobei das bei niedriger Temperatur zersetzbare Metallnitrid bei dieser Temperatur im Bereich von 100 °C bis 600 °C zersetzt wird, aber unzureichend nitriert wird.
3. Datenaufzeichnungsmedium nach Anspruch 1, wobei die Aufzeichnungsschicht ausgebildet ist durch ein reaktives Sputteringverfahren mit einer Stickstoffatmosphäre unter Verwendung eines Targets zum Sputtern, während Stickstoff eingeführt wird in die Sputteringatmosphäre und Anpassen des Stickstoffs auf solch eine Weise, dass die Aufzeichnungsschicht eine nicht nitrierte Komponente umfasst, wobei das Target besteht aus zumindest einer Legierung, einem Oxid und einem Nitrid, von denen jedes zumindest eine metallische Komponente im Metallnitrid umfasst.
4. Datenaufzeichnungsmedium nach Anspruch 1, wobei die Aufzeichnungsschicht ausgebildet wird durch ein Sputteringverfahren unter Verwendung eines Targets zum Sputtern auf solch eine Weise, dass die Aufzeichnungsschicht eine nicht nitrierte Komponente umfasst, wobei das Target hergestellt ist aus einem Nitrid, welches eine Metallkomponente in dem Metallnitrid umfasst.
5. Datenaufzeichnungsmedium nach Anspruch 2, wobei das bei niedriger Temperatur zersetzbare Metall ein Nitrid ist, welches zumindest ein Element von Bi, Sn, oder Fe umfasst.
6. Datenaufzeichnungsmedium nach Anspruch 2, wobei die bei hoher Temperatur zersetzbare Verbindung ein Nitrid ist, welches zumindest ein Element von Ge, Ti, Si oder Al umfasst.
7. Datenaufzeichnungsmedium nach Anspruch 2, wobei das bei niedriger Temperatur zersetzbare Metallnitrid ein Nitrid aus Cu ist.
8. Datenaufzeichnungsmedium nach Anspruch 1, wobei das Metallnitrid ein beliebiges Element umfasst aus der Gruppe von Bi, Sn und Fe und zumindest ein Material, welches ausgewählt ist aus der Gruppe von Si, Ge, Al und Ti.
9. Datenaufzeichnungsmedium nach Anspruch 1, wobei das Metallnitrid Bi und Ge enthält und das Ge nitriert ist bei 85 % oder mehr.
10. Datenaufzeichnungsmedium nach Anspruch 9, wobei das Bi bei 90 % oder weniger nitriert ist.
11. Datenaufzeichnungsmedium nach Anspruch 9, wobei das Bi bei 94 % oder weniger nitriert ist.
12. Datenaufzeichnungsmedium nach Anspruch 1, wobei das Metallnitrid ein beliebiges Element enthält aus Bi, Sn und Fe, und zumindest ein Material ausgewählt aus Mg, Ca, Sr, Sc, Y, Zr, Hf, V, Nb, Tc, Ru, Rh W, Re, Os, Ir, Pt, Au, Ta, Ga, O und C.
13. Datenaufzeichnungsmedium nach Anspruch 1, wobei das Metallnitrid zumindest ein Element aus der Gruppe von Bi, Sn und Fe enthält, und zumindest ein Material, das ausgewählt ist aus Tl, Te, In, Zn und Ag.
14. Datenaufzeichnungsmedium nach Anspruch 1, wobei das Metallnitrid Cu enthält, und zumindest ein Material ausgewählt aus Si, Ge, Al, Ti, Mg, Ca, Sr, Sc, Y, Zr, Hf, V, Nb, Tc, Ru, Rh, W, Re, Os, Ir, Pt, Au, Ta, Ga, Tl, Te, In, Zn, Ag, O und C.
15. Datenaufzeichnungsmedium nach einem der Ansprüche 1 bis 14, wobei es eine Schutzschicht aufweist zum Schützen der Aufzeichnungsschicht.
16. Datenaufzeichnungsmedium nach einem der Ansprüche 1 bis 15, wobei es eine reflektierende Schicht aufweist auf einer Seite gegenüberliegend zu der, auf welcher der Lichtstrahl eingestrahlt wird.
17. Datenaufzeichnungsmedium nach einem der Ansprüche 1 bis 16, wobei der Lichtstrahl eine Wellenlänge von 385 bis 450 nm hat.
18. Verfahren zum Herstellen eines Datenaufzeichnungsmediums mit einer Aufzeichnungsschicht, welche ein Material umfasst, das eine Reflektivität hat, die bei der Einstrahlung eines Lichtstsrahls schwankt, auf welchem Information aufgezeichnet wird als Reflektionsschwankungen und ein Substrat zum Schützen der Aufzeichnungsschicht, dadurch gekennzeichnet, dass die Aufzeichnungsschicht besteht aus:

    einer inorganischen Mischung aus sowohl einem bei niedriger Temperatur zersetzbarem Metallnitrid, welches in der Lage ist, zersetzt zu werden bei einer Temperatur, die von 100 °C bis 600 °C reicht, und einer bei hoher Temperatur zersetzbaren Verbindung einer Substanz, die ausgewählt ist aus einer Gruppe, die aus einem Metallnitrid besteht, einem Metalloxid und einem Metallkarbid oder einer Mischung von zumindest zwei davon, welches in der Lage ist, zersetzt zu werden bei einer Temperatur, die höher ist als die genannte Temperatur; und

    unvermeidliche Verunreinigungen; und

    dadurch gekennzeichnet, dass das Verfahren umfasst: einen Schritt zum Bilden einer Aufzeichnungsschicht zum Formen der Aufzeichnungsschicht durch ein reaktives Sputteringverfahren unter Verwendung eines Targets, welches aus einem Metall besteht, welches das Metallnitrid festlegt; und dadurch gekennzeichnet, dass ein Flussverhältnis Ar:N₂ in einer Atmosphäre, die Ar und N₂ enthält, in dem Aufzeichnungsformungsschritt eingestellt ist in dem Bereich zwischen 80:10 bis 10:80.
19. Verfahren zum Herstellen eines Datenaufzeichnungsmediums gemäß Anspruch 18, wobei das Flussverhältnis Ar:N₂ eingestellt ist auf den Bereich zwischen 80:10 bis 30:60.