DE69429323T2 - Poröses keramisches material und verfahren zu seiner herstellung - Google Patents
Poröses keramisches material und verfahren zu seiner herstellungInfo
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Description
- Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf einen porösen keramischen Körper mit einer großen Anzahl feiner Poren und hoher Festigkeit und auf ein Verfahren zum Herstellen desselben.
- Poröse keramische Körper werden für zahlreiche Anwendungen eingesetzt, wie etwa als Katalysatorträger, Filter und Sensoren sowie in Baumaterialien, wie etwa als Wärmedämmstoff. Es sind verschiedene Materialien für poröse keramische Körper bekannt, wozu Aluminiumoxid, Siliciumcarbid, Aluminiumsilicat, Siliciumdioxid und Cordierit gehören, welche dem beabsichtigten Einsatzweck entsprechend zur Verwendung passend ausgewählt werden.
- In letzter Zeit haben jedoch in Anwendungen wie etwa als Filter und Katalysatorträger herkömmliche poröse keramische Körper Schwierigkeiten, die Anforderungen an die Festigkeit und Wärmebeständigkeit zu erfüllen, da die Umgebungen, in denen sie verwendet werden, aufgrund von Faktoren wie einer erhöhten Beanspruchung und höheren Arbeitstemperaturen zunehmend rauer werden.
- Zum Beispiel wurde ein Wabenfilter aus Cordierit als Träger für einen Automobilabgasreinigungskatalysator praktisch eingesetzt, welcher durch Sintern eines Cordierit-Formteils hergestellt wird, das durch Extrusion in Form einer Wabe hergestellt wird; aber bei einem solchen Katalysatorträger ist eine weitere Verbesserung seiner Merkmale, wie etwa der Festigkeit, der Wärmebeständigkeit und Temperaturwechselbeständigkeit erwünscht.
- Siliciumcarbid und Siliciumnitrid sind als Beispiele für Keramik mit hoher Festigkeit und hoher Wärmebeständigkeit bekannt, aber zur Zeit sind nur für begrenzte Anwendungen poröse Körper aus einer solchen Keramik verfügbar, welche relativ große Poren aufweisen oder eine geringere Festigkeit aufweisen. Zum Beispiel wurden gemäß den Angaben in "Powder and Powder Metallurgy", Band 38, Nr. 3, Seiten 62-63 poröse Körper mit hoher Festigkeit durch Sintern eines Verbundwerkstoffs aus SiC-Pulver und Polysilastyrol hergestellt, sie haben jedoch einen Porendurchmesser von ungefähr 1 um mit einer Porosität in der Größenordnung von 34%.
- Ceramic engineering and Science Proceedings, Band 10, Teile 7-8, 1989, Seiten 833- 836 offenbaren poröse Siliciumcarbid- oder Siliciumnitridkörper, die durch ein Pyrolyseverfahren bei Temperaturen unterhalb von 1400ºC hergestellt werden.
- Die vorliegende Erfindung besteht in einem porösen keramischen Körper, umfassend Siliciumcarbid oder Siliciumnitrid als Hauptkomponente, wobei der poröse keramische Körper einen mittleren Porendurchmesser von nicht mehr als 1 um und eine Porosität von nicht weniger als 35% aufweist und eine Biegefestigkeit von nicht weniger als 100 MPa aufweist.
- Somit kann ein poröser keramischer Körper bereitgestellt werden, welcher eine hohe Festigkeit, hohe Wärmebeständigkeit und hohe Temperaturwechselbeständigkeit aufweist und außerdem eine große Zahl von feinen Poren enthält.
- Ein solcher poröser keramischer Körper wird hergestellt durch das Verwenden eines Siliciumoligomers, welches Siliciumcarbid oder Siliciumnitrid erzeugen kann, wenn es calciniert wird, das Vermischen des Siliciumoligomers mit einem Siliciumcarbidpulver oder einem Siliciumnitridpulver und/oder einem anderen Keramikpulver, welches einen mittleren Teilchendurchmesser von nicht mehr als 1,0 um aufweist, das Formen der Mischung, um ihr eine Gestalt zu geben, anschließend das Sintern des Formteils in einer geeigneten Atmosphäre bei Temperaturen von nicht weniger als 1500ºC.
- Im Einzelnen umfasst ein Verfahren zum Herstellen eines porösen keramischen Körpers, der sich hauptsächlich aus Siliciumcarbid oder Siliciumnitrid zusammensetzt, das Vermischen eines Siliciumcarbid- oder Siliciumnitridpulvers mit einem mittleren Teilchendurchmesser von nicht mehr als 1,0 um mit 1 bis 99 Gew.-%, bezogen auf den Siliciumgehalt, eines Siliciumoligomers, das Kohlenstoffatome enthält, das Formen der Mischung, um ihr eine Gestalt zu geben, anschließend das Sintern des Formteils in einer nichtoxidierenden Atmosphäre bei Temperaturen von nicht weniger als 1500ºC, vorzugsweise 1500 bis 1900ºC und bei einem Druck von mindestens 202,65 kPa (2 atm).
- Wenn Siliciumcarbidpulver nicht verwendet wird, kann ein poröser keramischer Körper, der sich hauptsächlich aus Siliciumcarbid oder Siliciumnitrid zusammensetzt, durch das Vermischen eines Siliciumoligomers, das Kohlenstoffatome enthält, mit 1 bis 40 Gew.-%, vorzugsweise 10 bis 30 Gew.-% eines von Siliciumcarbid oder Siliciumnitrid verschiedenen Keramikpulvers mit einem mittleren Teilchendurchmesser von nicht mehr als 1,0 um, das Formen der Mischung, um ihr eine Gestalt zu geben, und anschließend das Sintern des Formteils in einer nichtoxidierenden Atmosphäre bei Temperaturen von nicht weniger als 1500ºC, vorzugsweise 1500 bis 1900ºC hergestellt werden.
- Wenn Siliciumnitridpulver nicht verwendet wird, kann ein poröser keramischer Körper, der sich hauptsächlich aus Siliciumnitrid zusammensetzt, durch das Vermischen eines Siliciumoligomers, das Kohlenstoffatome enthält, mit 1 bis 40 Gew.-%, vorzugsweise 10 bis 30 Gew.-% eines Keramikpulvers, das von Siliciumnitrid verschieden ist, mit einem mittleren Teilchendurchmesser von nicht mehr als 1,0 um, das Formen der Mischung, um ihr eine Gestalt zu geben, und anschließend das Sintern des Formteils in einer Stickstoffatmosphäre oder einer inerten Atmosphäre, die Stickstoff enthält, bei Temperaturen von nicht weniger als 1500ºC, vorzugsweise 1500 bis 1900ºC hergestellt werden.
- Ein poröser keramischer Körper gemäß der vorliegenden Erfindung setzt sich hauptsächlich aus Siliciumcarbid (SiC) oder Siliciumnitrid (Si&sub3;N&sub4;) zusammen und kann in einigen Fällen Siliciumcarbonitrid enthalten. Sofern dies gefordert wird, kann er andere keramische Komponenten und einen gewissen Rückstand eines Sinterhilfsmittels, Kohlenstoff usw., enthalten. Wenngleich SiC und Si&sub3;N&sub4; Materialien mit hoher Festigkeit und hoher Wärmebeständigkeit sind, sind bisher nur poröse Körper aus einem solchen Material bekannt, welche relative große Poren und geringe Festigkeit aufweisen.
- Im Gegensatz dazu weist der poröse Körper der Erfindung eine große Zahl von feinen offenen Poren mit einem Porendurchmesser von nicht mehr als 1 um und eine große Oberfläche auf. Dies ermöglicht in Verbindung mit einem hohen Porositätsgrad, d. h. nicht weniger als 35%, den Durchgang eines Fluids, wie etwa eines Gases mit höherer Geschwindigkeit. Deshalb kann der poröse Körper in Anwendungen wie beispielsweise als Filter und Katalysatorträger gut funktionieren. Ferner weist der poröse Körper eine hohe Biegefestigkeit in der Größenordnung von 100 MPa oder mehr auf, was den porösen Körper zur Verwendung als Strukturmaterial sehr zuverlässig macht.
- Der poröse keramische Körper der Erfindung kann auf verschiedene Weisen hergestellt werden. Im Wesentlichen kann er durch das Verwenden eines Siliciumoligomers, welches SiC oder Si&sub3;N&sub4; erzeugen kann, wenn es calciniert wird, das Vermischen desselben mit einem SiC-Pulver oder Si&sub3;N&sub4;-Pulver und/oder einem anderen Keramikpulver, welches einen mittleren Teilchendurchmesser von nicht mehr als 1,0 um aufweist, das Formen der Mischung, um ihr eine Gestalt zu geben, und anschließend das Sintern des Formteils in einer geeigneten Atmosphäre bei Temperaturen von nicht weniger als 1500ºC zum Erhalten eines Produkts mit hoher Festigkeit hergestellt werden. Die Sintertemperatur beträgt vorzugsweise 1500 bis 1900ºC. Wenn die Temperatur höher als 1900ºC ist, ergibt sich ein übermäßig großer Porendurchmesser oder ein gesinterter Körper mit geringerer Festigkeit.
- Der Begriff "Siliciumoligomer" bezieht sich auf ein niederes Polymer von einer organischen Siliciumverbindung. Siliciumoligomere, die bei der praktischen Durchführung des Verfahrens der Erfindung brauchbar sind, welche SiC oder Si&sub3;N&sub4; erzeugen können, sind insbesondere solche, bei denen die Hauptkette oder Seitenketten keine anderen Atome als Kohlenstoff, Wasserstoffund Silicium enthalten. Zum Beispiel sind Polycarbosilan, Polysilazan und Polysilastyrol als solche bevorzugt. Ein Polysiloxan, bei dem die Hauptkette oder Seitenketten Sauerstoff enthalten, ist zur Verwendung unerwünscht, da keine ausreichende Umwandlung in SiC oder Si&sub3;N&sub4; bewirkt werden kann. Wenn das Siliciumoligomer in einer inerten Atmosphäre aus Ar oder dergleichen calciniert wird, wird hauptsächlich SiC erzeugt, während Si&sub3;N&sub4; hauptsächlich erzeugt wird, wenn das Siliciumoligomer in einer Stickstoffatmosphäre calciniert wird. Jegliches SiC oder Si&sub3;N&sub4;, das aus einem Siliciumoligomer allein hergestellt wird, hat jedoch keine ausreichende Festigkeit und weist relativ große Poren auf.
- Deshalb wird gemäß dem Verfahren der Erfindung ein solches Siliciumoligomer mit feinem SiC-Pulver oder Si&sub3;N&sub4;-Pulver und/oder einem anderen Keramikpulver vermischt, wodurch ein poröser Körper, der sich hauptsächlich aus SiC oder Si&sub3;N&sub4; zusammensetzt, erhalten werden kann, welcher eine große Anzahl feiner Poren mit einem Porendurchmesser von nicht mehr als 1 um und eine Porosität von nicht weniger als 35% aufweist und welcher eine Biegefestigkeit von nicht weniger als 100 MPa aufweist. Um einen porösen Körper mit derart feinen Poren und hoher Festigkeit herzustellen, ist es erforderlich, dass das Keramikpulver, das mit dem Siliciumoligomer vermischt werden soll, einen mittleren Teilchendurchmesser von nicht mehr als 1,0 um aufweist.
- Das Verfahren der Erfindung wird für jede Hauptkomponente eines solchen porösen Körpers ausführlich beschrieben. Das Verfahren zum Herstellen eines porösen Körpers, der sich hauptsächlich aus SiC zusammensetzt, umfasst im Wesentlichen das Zusammenmischen eines Siliciumoligomers und eines SiC-Pulvers und das Sintern eines Formteils aus der Mischung in einer nichtoxidierenden Atmosphäre. Die nichtoxidierende Atmosphäre kann aus einem Inertgas, wie etwa Ar, Stickstoffgas, Wasserstoffgas oder einer Gasmischung davon bestehen. Es wird jedoch darauf hingewiesen, dass, wenn Stickstoffgas verwendet wird, außer SiC auch SiCN, Si&sub3;N&sub4; und dergleichen erzeugt werden kann. Anstelle eines Teils des SiC-Pulvers kann ein anderes Keramikpulver in einer Menge von nicht mehr 40 Gew.-%, vorzugsweise 10 bis 30 Gew.-%, bezogen auf das gesamte Pulvergewicht, zugegeben werden. Der Begriff "anderes Keramikpulver" bezieht sich auf ein von SiC verschiedenes Pulver, bei dem es sich um ein Nitrid, wie etwa Si&sub3;N&sub4;, TiN oder AIN; ein Oxid, wie etwa Al&sub2;O&sub3;, SiO&sub2; oder ZrO&sub2;; oder ein Carbid, wie etwa TiC, WC oder ZrC handeln kann.
- Das Verfahren zum Herstellen eines porösen Körpers, der sich hauptsächlich aus Si&sub3;N&sub4; zusammensetzt, umfasst im Wesentlichen das Zusammenmischen eines Siliciumoligomers und eines Si&sub3;N&sub4;-Pulvers und das Sintern eines Formteils aus der Mischung in einer Stickstoffatmosphäre oder einer inerten Atmosphäre, die Stickstoff enthält. Für die inerte Atmosphäre wird ein Inertgas wie etwa Ar verwendet. Es wird jedoch darauf hingewiesen, dass gleichzeitig mit der Erzeugung von Si&sub3;N&sub4; auch SiCN, SiC oder dergleichen erzeugt werden kann, da das Siliciumoligomer Kohlenstoff enthält. Anstelle eines Teils des Si&sub3;N&sub4;-Pulvers kann ein anderes Keramikpulver in einer Menge von nicht mehr als 40 Gew.-%, vorzugsweise 10 bis 30 Gew.-%, bezogen auf das gesamte Pulvergewicht, zugegeben werden. Der Begriff "anderes Keramikpulver" bezieht sich auf ein Pulver, das von Si&sub3;N&sub4; verschieden ist, wobei es sich um ein Nitrid, wie etwa AIN oder TiN; ein Oxid, wie etwa Al&sub2;O&sub3;, SiO&sub2; oder ZrO&sub2;; oder ein Carbid, wie etwa SiC oder TiC handeln kann.
- In beiden der vorstehenden zwei Verfahren beträgt der Anteil des Siliciumoligomers 1 bis 99 Gew.-%, bezogen auf den Siliciumgehalt. Wenn der Anteil des Siliciumoligomers weniger als 1 Gew.-%, bezogen auf den Si-Gehalt, beträgt, wird die Porosität gering. Wenn der Anteil mehr als 99 Gew.-% beträgt, ist die Festigkeit des porösen Körpers extrem herabgesetzt. Das Siliciumoligomer dient als Formgebungsbindemittel und hat auch die Funktion eines Sinterhilfsmittels. In dem Verfahren der Erfindung braucht deshalb eine herkömmliche Art von Bindemittel oder Sinterhilfsmittel nicht unbedingt verwendet werden.
- Poröse Körper der Erfindung können ohne Verwendung von SiC-Pulver oder Si&sub3;N&sub4; hergestellt werden. In diesem Fall umfasst das Verfahren der Erfindung das Vermischen eines Siliciumoligomers, das Kohlenstoffatome enthält, mit 1 bis 40 Gew.-% eines Keramikpulvers, das von SiC oder Si&sub3;N&sub4; verschieden ist, welches einen mittleren Teilchendurchmesser von nicht mehr als 1,0 um aufweist, das Formen der Mischung, um ihr eine Gestalt zu geben, anschließend das Sintern des Formteils in einer nichtoxidierenden Atmosphäre, wobei der erzeugte poröse Körper ein Körper ist, der sich hauptsächlich aus SiC zusammensetzt, oder in einer Stickstoffatmosphäre oder einer inerten Atmosphäre, die Stickstoff enthält, wobei der erzeugte poröse Körper ein Körper ist, der sich hauptsächlich aus Si&sub3;N&sub4; zusammensetzt, bei Temperaturen von nicht weniger als 1500ºC, vorzugsweise 1500 bis 1900ºC.
- Wenn dieses Verfahren eingesetzt wird, ist das verwendete Keramikpulver ein von SiC- Pulver oder Si&sub3;N&sub4;-Pulververschiedenes Pulver. Wenn der Anteil des Keramikpulvers weniger als 1 Gew.-%, bezogen auf das gesamte Pulvergewicht, beträgt, hat der resultierende poröse Körper eine geringere Festigkeit. Wenn der Anteil mehr als 40 Gew.-% beträgt, wird die Temperaturwechselbeständigkeit des porösen Körpers gering sein und gleichzeitig wird die Porosität des porösen Körpers gering sein. Deshalb liegt der Anteil des Keramikpulvers im Bereich von 1 bis 40 Gew.-%.
- Gemäß dem vorstehend beschriebenen Verfahren der Erfindung kann das Sintern bei niedrigeren Temperaturen bewirkt werden, verglichen mit dem Verfahren des Standes der Technik, in welchem kein Siliciumoligomer verwendet wird. Der resultierende poröse Körper enthält weniger Rückstände von Silicium (Si) und/oder Kohlenstoff (C) und weist eine höhere Reinheit auf, ungeachtet der Tatsache, dass er SiC oder Si&sub3;N&sub4; enthält, das aus dem Siliciumoligomer erzeugt wurde. Deshalb weist der poröse Körper eine gute Biegefestigkeit, eine hohe Wärmebeständigkeit und eine hohe Temperaturwechselbeständigkeit auf. Das aus dem Siliciumoligomer erzeugte SiC oder Si&sub3;N&sub4; kann entweder kristallin oder nichtkristallin sein.
- In dem Verfahren der Erfindung kann die Atmosphäre während des Sinterschritts mindestens 2 atm Druck aufweisen, es ist aber bevorzugt, dass die Atmosphäre unter einen Druck von 50 Atmosphären oder mehr gesetzt wird, so dass das Sintern beschleunigt wird, während die Poren des Werkstücks beibehalten werden, wobei es somit möglich ist, einen porösen Körper mit höheren Festigkeitseigenschaften zu erhalten. Es wird in diesem Zusammenhang angemerkt, dass der Druck unter dem Gesichtspunkt der Herstellungskosten auf 2000 Atmosphären begrenzt werden sollte, wenngleich es erwünscht ist, dass der angelegte Druck höher ist. In dem Maße, wie der Teilchendurchmesser des SiC-Pulvers oder Si&sub3;N&sub4;-Pulvers und/oder anderen Keramikpulvers, das zugegeben werden soll, kleiner gemacht wird, kann der Porendurchmesser des erhaltenen porösen keramischen Körpers feiner gemacht werden. Wenn z. B. ein Pulver mit einem mittleren Teilchendurchmesser von nicht mehr als 0,05 um verwendet wird, kann ein gesinterter poröser Körper mit einem Porendurchmesser von nicht mehr als 0,01 um erhalten werden. Deshalb ist es sehr wichtig, eine geeignete Teilchengröße im Hinblick auf die jeweiligen Keramikpulver, die zugegeben werden sollen, auszuwählen.
- Unter Verwendung der in den Tabellen 1 und 2 gezeigten Siliciumoligomere und Keramikpulver wurden poröse Körper, die sich hauptsächlich aus SiC zusammensetzen, bzw. poröse Körper, die sich hauptsächlich aus Si&sub3;N&sub4; zusammensetzen, hergestellt. Das heißt, Siliciumoligomere und Keramikpulver wurden in den in den Tabellen 1 und 2 gezeigten Kombinationen vermischt und die jeweiligen Mischungen wurden jeweils zu einer plattenartigen Gestalt mit einer Länge von 30 mm, einer Breite von 30 mm und einer Dicke 3 mm geformt. Anschließend wurden die jeweiligen Formteile 1 Stunde lang unter den in den Tabellen 1 und 2 gezeigten Sinterbedingungen gesintert. In den Tabellen 1 und 2 sind die Mischungsverhältnisse (Gew.-%) der Siliciumoligomere Werte, die bezogen auf den Si-Gehalt angegeben sind. Tabelle 1: Tabelle 2:
- Für jeden erhaltenen porösen Körper wurde die Porosität gemessen und es erfolgte auch eine Messung des Porendurchmessers, wobei ein Rasterelektronenmikroskop (REM) verwendet wurde. Mit einer Probe von 4 mm · 2 mm · 30 mm, die aus jedem porösen Körper herausgeschnitten wurde, erfolgte eine Messung der Dreipunkt-Biegefestigkeit über eine Spanne 20 mm. Die Messergebnisse sind in den Tabellen 3 und 4 gezeigt.
- Es wurde festgestellt, dass alle porösen Körper eine gute Oxidationsbeständigkeit in der Atmosphäre bei 1000ºC aufwiesen. Anschließend wurde jeder poröse Körper mit einem Erdgasbrenner örtlich bis zur Zündung erhitzt, um zu beobachten, ob eine Rissbildung auftreten würde oder auch nicht, wodurch der poröse Körper im Hinblick auf seine Temperaturwechselbeständigkeit bewertet wurde. Für Vergleichszwecke wurden ähnliche Messungen mit herkömmlichen porösen Al&sub2;O&sub3;- und SiC-Körpern und mit Cerafoam durchgeführt, welche im Handel erhältlich sind. Die Messergebnisse sind ebenfalls in Tabellen 3 und 4 gezeigt. Tabelle 3: Tabelle 4:
- Die Proben Nr. 2 und 19, poröse SiC- und Si&sub3;N&sub4;-Körper, in Beispiel 1 wurden von Dieselmotorabgas bei 1000ºC durchströmt. Infolgedessen wurde festgestellt, dass das Einfangverhältnis 90%, bezogen auf den Feststoffgehalt an feinen Kohlenstoffteilchen und dergleichen, überstieg und dass keine thermische Schädigung auftrat. Für Vergleichszwecke wurden Gasdurchströmungsversuche mit handelsüblichen porösen Körpern durchgeführt, die sich aus Al&sub2;O&sub3;, Cordierit bzw. SiC zusammensetzen. Bei allen diesen porösen Körpern betrug das Einfangverhältnis nicht mehr als 50% und außerdem traten Schäden (Risse) aufgrund der Erwärmung auf. Dies zeigt, dass sie die Anwendungsbedingungen niemals aushalten können.
- Aus den vorstehenden Daten ist ersichtlich, dass der poröse keramische Körper der vorliegenden Erfindung einen großen Vorteil gegenüber herkömmlichen porösen keramischen Körpern aufweist, und zwar nicht nur im Hinblick auf die Trennleistung für den Einsatz als Filter, sondern auch im Hinblick auf die Wärmebeständigkeit und Temperaturwechselbeständigkeit. Deshalb wird angenommen, dass der poröse keramische Körper ein industriell brauchbares Material ist.
- Aus den vorstehenden Ergebnissen der Beispiele 1 und 2 ist ersichtlich, dass der poröse keramische Körper der Erfindung ein sehr poröses Material mit feinen Poren und hoher Porosität ist und außerdem eine ausgezeichnete Wärmebeständigkeit, Temperaturwechselbeständigkeit und Oxidationsbeständigkeit aufweist.
- Gemäß der Erfindung kann ein poröser keramischer Körper bereitgestellt werden, welcher sich hauptsächlich aus Siliciumcarbid oder Siliciumnitrid zusammensetzt und eine höhere Festigkeit, höhere Wärmebeständigkeit und höhere Temperaturwechselbeständigkeit aufweist als irgendein herkömmlicher Körper, und welcher eine große Porosität mit einer großen Anzahl feiner Poren aufweist.
Claims (10)
1. Poröser keramischer Körper, umfassend Siliciumcarbid oder Siliciumnitrid als
Hauptkomponente, wobei der poröse keramische Körper einen mittleren
Porendurchmesser von nicht mehr als 1 um und eine Porosität von nicht weniger als
35% aufweist und eine Biegefestigkeit von nicht weniger als 100 MPa aufweist.
2. Poröser keramischer Körper wie in Anspruch 1 beansprucht, welcher 1 bis
40 Gew.-% einer keramischen Komponente enthält, die von der Hauptkomponente
aus Siliciumcarbid oder Siliciumnitrid verschieden ist.
3. Verfahren zum Herstellen eines porösen keramischen Körpers, wie in Anspruch 1
beansprucht, welches das Vermischen eines Siliciumcarbid- oder
Siliciumnitridpulvers mit einem mittleren Teilchendurchmesser von nicht mehr als 1,0 um mit 1 bis
99 Gew.-%, bezogen auf den Siliciumgehalt, eines Siliciumoligomers, das
Kohlenstoffatome enthält, das Formen der Mischung, um ihr eine Gestalt zu geben,
anschließend das Sintern des Formteils in einer nicht oxidierenden Atmosphäre bei
Temperaturen von nicht weniger als 1500ºC und einem Druck von mindestens
202,65 kPa (2 atm) umfasst.
4. Verfahren wie in Anspruch 3 beansprucht, wobei ein Keramikpulver, das von
Siliciumcarbid- oder Siliciumnitridpulver verschieden ist, welches einen mittleren
Teilchendurchmesser von nicht mehr als 1,0 um aufweist, zu dem Siliciumcarbidpulver
in einer Menge von nicht mehr als 40 Gew.-%, bezogen auf das gesamte
Pulvergewicht, zugegeben wird.
5. Verfahren wie in Anspruch 3 oder Anspruch 4 beansprucht, wobei die nicht
oxidierende Atmosphäre eine Stickstoffatmosphäre oder eine inerte Atmosphäre, die
Stickstoff enthält, ist.
6. Verfahren zum Herstellen eines porösen keramischen Körpers, wie in Anspruch 2
beansprucht, welches das Vermischen eines Siliciumoligomers, das Kohlenstoffatome
enthält, mit 1 bis 40 Gew.-% eines Keramikpulvers, das von Siliciumcarbid
oder Siliciumnitrid verschieden ist, welches einen mittleren Teilchendurchmesser
von nicht mehr als 1,0 um aufweist, das Formen der Mischung, um ihr eine Gestalt
zu geben, anschließend das Sintern des Formteils in einer nicht oxidierenden
Atmosphäre bei Temperaturen von nicht weniger als 1500ºC umfasst.
7. Verfahren wie in Anspruch 6 beansprucht, wobei die nicht oxidierende Atmosphäre
eine Stickstoffatmosphäre oder eine inerte Atmosphäre, die Stickstoff enthält, ist.
8. Verfahren wie in einem der Ansprüche 3 bis 8 beansprucht, wobei die
Sinteratmosphäre unter einen Druck von 50 atm oder mehr gesetzt wird.
9. Verfahren wie in einem der Ansprüche 3 bis 8 beansprucht, wobei die
Sintertemperatur 1500 bis 1900ºC beträgt.
10. Verfahren wie in einem der Ansprüche 3 bis 9 beansprucht, wobei das
Siliciumoligomer Polycarbosilan, Polysilazan oder Polysilastyrol ist.
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