DE6809197U

DE6809197U - Hochvakuumdichter dichtungsring

Info

Publication number: DE6809197U
Application number: DE6809197U
Authority: DE
Original assignee: Philips Patentverwaltung GmbH
Current assignee: Philips Intellectual Property and Standards GmbH
Priority date: 1968-11-28
Filing date: 1968-11-28
Publication date: 1970-03-05

Description

iQiochvakuumdichter Dichtungsring

Die !Teuerung besieht sich auf einen hochve.kuurndichten Dichtungsring aus Kupfer.

In der Hochvakuumtechnik v/erden vor allem an den Anschlußstellen für die Sin- und Auskopplungsleitungen, aber auch zum Ansch.iu-3 von z.3. Getter-Ionen-Pumpen, ^ullanschenanschlüsse verwendet, in denen zur Abdichtving des Hochvakuums gegenüber der Atmosphäre rupferringe vervendet v/erden. Zur Aufnahme des Betriebes einer derartigen Hochvakuumanlage,

::.B. eines Zyklotrons, mu.3 ein Hochvakuum, ir; G-r ö :3 en Ordnung von 10 ° Torr erreicht v/erden, v/ozu die Anlage bei gleichseitigem Pumpen einen sogenannten Ausheizverfahren unterworfen wird, un möglichst viel Gas vor Inbetriebnahme zu entfernen. Dieses Aushelfen vor jeder Inbetriebnahme auf ρ tv: a 4CO - 450'~0 v/irkt sich nun, wie Versuchsergebnisse neigen, negativ auf die Lebensdauer der Dichtungsringe aus. Y.S v.-ird angenommen, da;3 die aus Kupfer bestehenden I'ichtungsringe durchoxyüieren und daher durch Korngrenzendiffusion G-'iseinbrüche erfolgen.

· ung sogenannter C?Hj ( oxygen-?ree-High-

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Lebensdauer d°⁷' Κυ.ρΐ erringe bringen, jedoch :■ i .■ un· . ■ — genehmen Gaseinbrüche nicht verasiiiür:. )ies wirkt . I-:·.'. insbesondere bei aera. Betrieb eine:; ·Γ.ΐ1'·1;:ΐν ; e-r ungünstig aui, weil bei ei.;er derartige-. AnIa:-;¹=- üb'--¹ V. Oiclrtungss teilen vorhanden sind uivi ^ is ."lecksuche b:::v.^;, das Auswechseln des jio?'tringss roh:: aur'w on": ig ist.

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hie Aufgabe Ί er heue run/;; besteht also darin, l'.upi' erring zu schaffest, der fi.en .-.ur;heiz oro:e::.. -./i ;-;t;y;..'i — liält und die Lebensdauer ie:: '.'."Jichtun-.T^i'inre': ,"ep:enüber den bekannten Jichtun^sri:igen niiiiderj ten- ve^ri l n-ppolt, '•■.'3Jin nicht e-j;"^;!¹ vPi'i''LijiJ.^-i'.' 'j'?it.

Zur Lösung diener ;,ui'rr.be i;.-;t dei' hochvakuunaichte „)ichtungGring h.u;- ha;).:'or -er ein.-:'j.n_:~.-. genannten Aj:¹ t nach der Ueuerunr: mit einer .diü'inen 7 sbaltr eiicht "uid darauf mit einer türmen G-oldr-chiclit bedeeht. hü genügt, v;enn der hichturigsring eine /"obaltrchiolit "oji etv.'a :■ /u:.i rjtärV.e und eine G-ola^ ohioht von etv:a 15 /U:.i Stärke auf- -'.•eipt. Derartige Schichten είηα vorzugsv;eise auf einen Dichtungsring yus ]h.ipfer aui'gebrachst, der aus OPTIC ( Ovygen-^ree-lIigh-Oonductivity)- Kupfer besteht.

Es ist zwar beksnnx, euf einen Träge.·', bestehend aus etwa 7^:7 :'' hisen, >_'". - hickel und IC -~'j Kobalt, eine etv/a 5/um starke hobait^onicnt und etwa 15/urn starke GoIdschicht aufzubrin-a s, aber es war bisher nicht klar, ob es auch gelingen wä:-.-;, ein= Kobaltschicht in dieser Schichtstärke auf Xisfer aufzubringen, weil zunächst vermutet wurde, aa.·. öie k~baltschicht in das Kupfer einsinkt VJi-': damit keinen wirksamen Unterträger für die Goldschicht darstellt. Die bisher für diese speziellen Probleme verwendeten Dichtungsringe und die von den verschiedensten Herstellern angebotenen beweisen, daß das Problem der x7u.rchoxyd3.tion eines aus hochreinem Kupfer bestehenden Ringes bisher nicht zufriedenstellend gelöst werden konnte. Hier schafft also die Neuerung Abhilfe.

Ein Ausführungsbeispiel der Neuerung ist in der Zeichnung dargestellt ur,d wird im folgenden näher beschrieben. 7]s zeigen

Dig. 1 einen Dichtungsring aus Kupfer mit den Schichten nach der !Teuerung,

?ig. 2 eine beispielsweise Anwendung ^Jies Dichtungsringes nach Figur 1.

In Tig. 1 ist der Dichtungsring rait 1 bezeic-inet, dessen Kern aus Kupfer besteht und der mit einer Schicht Z aus 5 /UE sterkem Kobalt und einer ;)c^;'icat '-'■ --us IS ,um star—

ken Gold beschichtet bzw. galvanisiert ist.

Dieser Dichtungsring 1 ist in der Pig. -I in einer Anordnung gezeigt, die aus einem flansch 4 und einen. ^:~egenflansch 5 besteht. Die /'lansche 4 und ~> v.'erden auf ihrem Umfang durch ijchraubenbolzen 6 gegeneinander gepreßt, wodurch der Druckring 7 des ?1 ans eier. 4 den Diciitungsring 1 gegen die Dichtimgsktmte 3 im Gegenflansch 5 .'!rückt und dadurch die Dichtimg bewirkt. Der auf Hochvakuum liegende Raum 9 weist nach dem Ausheizen ein Kochvakuum von etwa 10 ° Torr auf.

Bei den bisher verv/endeten Dichtungsringen konnte nach mehrmaligem Aunheizen ein Gaseinbruch in radialer Richtung, also in Richtung des Pfeiles 10, durch den Dichtungsring hindurch infolge einer Korngrenzendiffusion in radialer Richtung erfolgen, der nunmehr durch die Beschichtung des Ringe ε ve rmi e d en ist.

3chu⁺zans"prüche :

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Claims

ochutzansprüche:

1. Hochvakuunidichter Dichtungsring aus Kupfer, dadurch gekennzeichnet, dal? der Dichtungsring mit einer dünnen Eobaltschicht und darauf mit einer dünnen Goldschieht bedeckt ist.

S. Dichtungsring -iM.ch Ancpruch 1, dadurch gekennzeichnet, da'3 die Kobaltschicht etwa 5 /urn und die Goldschieht ρ tv: a 1 5 /U:;i stark sind.

;>. Dichtungsring nach einem oder beiden der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß er aus ΟΤ'ΊίΟ [Qy gen-r.ree-TIigh-0oiiduct:-vit3^r)-Kupf er besteht.

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