DE19612220A1 - Vakuumgehäuse für eine Röntgenröhre - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft ein Vakuumgehäuse für eine Röntgen­ röhre.

Insbesondere bei platzsparend aufgebauten Drehanoden-Röntgen­ röhren kann es in der Nähe des Brennfleckes zu thermoschock­ artigen Belastungen des Vakuumgehäuses kommen. Diese Bela­ stungen resultieren aus der Sekundärelektronenwolke, die sich mit Beginn des Röhrenstromes zentrisch vom Brennfleck aus ausbreitet. Die Gesamtenergie der Sekundärelektronenwolke be­ trägt je nach elektrischer Feldstärke und elektrischer Be­ schaltung der Röntgenröhre mit elektrischen Dämpfungswider­ ständen und dgl. wenigstens 10%, unter Umständen über 20%, der Energie des Primärelektronenstrahles. Die Energiedichte der Sekundärelektronenwolke kann beim Auftreffen auf die In­ nenseite der Vakuumhülle so hoch sein, daß zwischen der ge­ kühlten Außenseite des Vakuumgehäuses und der Innenseite des Vakuumgehäuses eine Temperaturdifferenz auftritt, die je nach Wanddicke des Vakuumgehäuses durchaus in der Größenordnung von 80 bis 120°C und darüber liegen kann.

Nach Warren C. Young, Roark′s Formulas for Strain and Stress, 6. Auflage, New York, 1989 entstehen an der gekühlten Außen­ oberfläche des Vakuumgehäuses im Betrieb der Röntgenröhre Zugspannungen σz, die sich mindestens zu

errechnen, wobei
ΔT die Temperaturdifferenz,
α_th der thermische Ausdehnungskoeffizient,
E der Elastizitätsmodul, und
ν die Querkontraktionszahl
sind.

Bei behinderter Wärmedehnung, und davon ist im Falle des Va­ kuumgehäuses einer Röntgenröhre auszugehen, erhöhen sich die Zugspannungen auf

σ_z = (ΔT · α_th · E)/(1-ν)

oder sogar auf

s_z = (ΔT · α_th · E)/(1-2ν),

je nachdem, wie groß die Dehnungsbehinderung ist.

Wenn in das Vakuumgehäuse ein zur Aufnahme der Kathodenanord­ nung der Röntgenröhre vorgesehenes Rohr mündet und die Rohr­ mündung, was meist der Fall ist, im Bereich der hohen Ener­ giedichte der Sekundärelektronenwolke liegt, treten in der Lochleibung aufgrund der speziellen Lochleibungsgeometrie ebenfalls thermisch bedingte Spannungen σ infolge der behin­ derten Wärmedehnungen auf, die sich zu

σ = k · α_th · E · ΔT

errechnen, wobei
k ein Korrekturfaktor ist, der unter ähnlichen Umständen in der Kraftwerktechnik mit k = 1,83 angesetzt wird.

Unter Verwendung der drei zuletzt aufgeführten Gleichungen und mit k = 1,83 im Falle der letzten Gleichung errechnen sich bei einer Wandstärke des Vakuumgehäuses von 2 mm an des­ sen Außenoberfläche Zugspannungen im Bereich von 335 bis 600 N/mm².

Bei den für das Vakuumgehäuse von Röntgenröhren üblicherweise verwendeten Werkstoffen (z. B. Werkstoff Nr. 1.4539) ist somit bei den zu erwartenden Temperaturen keine Dauerfestigkeit mehr gewährleistet. Es liegt vielmehr lediglich Zeitfestig­ keit vor, so daß mit Materialermüdung, also mit der Bildung von Rissen und damit mit Undichtigkeit des Vakuumgehäuses, frühestens nach 5 × 10⁴, spätestens aber nach 2 × 10⁶ ther­ mischen Lastwechseln, d. h. Röhrenstromschüssen bzw. Röntgen­ aufnahmen, zu rechnen ist.

Seit Bekanntwerden des geschilderten Problems wird versucht, durch Herabsetzung der Wanddicke des Vakuumgehäuses in dem im Betrieb der Röntgenröhre dem Brennfleck der Röntgenröhre be­ nachbarten Bereich von zuvor ca. 3 mm auf 2 mm Abhilfe zu schaffen. Es wird nämlich davon ausgegangen, daß eine gerin­ gere Wanddicke zu einer geringeren Temperaturdifferenz zwi­ schen Innen- und Außenseite des Vakuumgehäuses und damit zu einer Erniedrigung der thermisch bedingten Zugspannungen führt.

Außerdem wird nunmehr im Bereich des Rohransatzes ein Stutzen einstückig an das Vakuumgehäuse angeformt, an den das die Ka­ thodenanordnung aufnehmende Rohr mittels einer LASER-Schwei­ ßung angeschweißt wird. Im Gegensatz zu der zuvor vorhande­ nen, die Kerbspannungen stark erhöhenden Eckschweißung sind also keine Makrokerben mehr vorhanden, jedoch stellt auch die LASER-Schweißung eine, wenn auch sehr flach ausgeprägte, Kerbe an der Außenseite der Schweißung dar.

Auch bei Vakuumgehäusen, die dem geschilderten Problem in der beschriebenen Weise Rechnung zu tragen versuchen, ist jedoch erfahrungsgemäß weder Dauerfestigkeit noch eine ausreichend lange Lebensdauer gewährleistet.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Vakuumgehäuse der eingangs genannten Art so auszubilden, daß eine erhöhte Lebensdauer erreicht wird.

Nach der Erfindung wird diese Aufgabe durch ein Vakuumgehäuse für eine Röntgenröhre gelöst, welches wenigstens in dem im Betrieb der Röntgenröhre dem Brennfleck der Röntgenröhre be­ nachbarten Bereich seiner Wandung zur Herabsetzung der ther­ misch bedingten Zugspannungen an deren äußeren Oberfläche aus einem zumindest zweischichtigen Verbundwerkstoff gebildet ist, dessen innere Schicht aus einem Material besteht, das einen geringeren thermischen Ausdehnungskoeffizienten und/oder einen geringeren Elastizitätsmodul als das Material der äußeren Schicht aufweist. Dabei ist sicherzustellen, daß es bei der Herstellung des Verbundwerkstoffes zu einer groß­ flächigen Verbindung der Materialien unter Vermeidung der Bildung von Temperaturbarrieren kommt.

Infolge des Umstandes, daß auf der heißeren Seite der Wandung eine Schicht eines Materials vorliegt, das einen geringeren thermischen Ausdehnungskoeffizienten und/oder einen geringe­ ren Elastizitätsmodul als das Material der äußeren Schicht aufweist, werden die in der äußeren Schicht, insbesondere an deren äußerer Oberfläche auftretenden, durch den Thermoschock bedingten Zugspannungen herabgesetzt. Eine weitgehende Herab­ setzung der thermisch bedingten Zugspannungen ist schon dann gegeben, wenn die Schichtdicke der inneren Schicht wenigstens 10% der Schichtdicke der äußeren Schicht beträgt. In Berei­ chen des Vakuumgehäuses, welche bezüglich der Materialermü­ dung besonders kritisch einzustufen sind, wie dem Brennfleck der Röntgenröhre benachbarte Übergangsbereiche von einer Ge­ häuseform in eine andere Gehäuseform des Vakuumgehäuses, wel­ che aufgrund ihrer geometrischen Gestalt unter Umständen un­ ter einer gewissen Vorspannung stehen, beträgt die Schicht­ dicke der inneren Schicht vorzugsweise mindestens 50% der Schichtdicke der äußeren Schicht. Die Gefahr der Rißbildung ist damit vermindert, so daß sich eine verlängerte Lebens­ dauer des Vakuumgehäuses ergibt. Durch die Verwendung eines zweischichtigen Verbundwerkstoffes können sogar noch größere Temperaturdifferenzen als die eingangs genannten ertragen werden, ohne daß es zur Materialermüdung an der äußeren Ober­ fläche des Vakuumgehäuses bzw. im Materialinneren kommt.

In diesem Zusammenhang ist zwar aus der DE PS 254 946 ein Va­ kuumgehäuse bekannt, dessen Kupferanode unter Zwischenfügung eines Stahlrohrs auf einen zum Vakuumgehäuse gehörigen Glas­ ansatz aufgesetzt ist, hierbei handelt es sich jedoch nicht um einen Verbundwerkstoff, da keine großflächige Verbindung der Materialien vorliegt.

Des weiteren sind aus der DE PS 382 464, der US-PS 3,992,633 und der JP 4,253,148 A Vakuumgehäuse der eingangs genannten Art bekannt, welche in dem dem Brennfleck der Röntgenröhre benachbarten Bereich einen wenigstens zweischichtigen Werk­ stoff aufweisen, deren innere Schicht jedoch ausschließlich von einem dünnen Film gebildet ist, welcher keinerlei Einfluß auf die Herabsetzung der thermisch bedingten Zugspannungen an der äußeren Oberfläche der Wandung des Vakuumgehäuses ausübt.

Im Hinblick auf die Betriebsbedingungen ist es zweckmäßig, sowohl für die innere als auch die äußere Schicht metallische Materialien zu verwenden.

Für die äußere Schicht eignen sich im Hinblick auf die auf­ tretenden Beanspruchungen insbesondere ferritische Eisenle­ gierungen oder austenitische Edelstähle.

Als Material für die innere Schicht eignen sich Kupfer, Nic­ kel oder wenigstens Kupfer oder Nickel enthaltende Legierun­ gen, insbesondere Nickel-Basislegierungen.

Für die innere Schicht können aber auch sogenannte Aus­ gleichslegierungen mit kleinem thermischen Ausdehnungskoeffi­ zienten verwendet werden, die Eisen, Nickel und Kobalt ent­ halten.

Weiter eignen sich für die innere Schicht Eisen und Nickel sowie Eisen und Palladium enthaltende Legierungen.

Um nicht in dem im Betrieb der Röntgenröhre dem Brennfleck benachbarten Bereich der Wandung in einen Grundwerkstoff den zweischichtigen Verbundwerkstoff einsetzen zu müssen, was fertigungstechnisch sehr aufwendig wäre, sieht eine Variante der Erfindung vor, daß die Wandung aus einem die äußere Schicht bildenden Grundwerkstoff gebildet ist, der nur in dem dem Brennfleck der Röntgenröhre benachbarten Bereich zur Bil­ dung eines zweischichtigen Verbundwerkstoffes mit der inneren Schicht versehen ist.

Gemäß einer besonders bevorzugten Ausführungsform der Erfin­ dung, bei der eine Kathode in einem Bereich des Vakuumgehäu­ ses aufgenommen ist, welcher über einen rohrförmigen Schacht mit einem die Anode aufnehmenden Bereich des Vakuumgehäuses verbunden ist, ist die Wandung des Vakuumgehäuses in dem für die Materialermüdung besonders kritischen Übergangsbereich des Schachtes in den die Anode aufnehmenden Bereich zur Bil­ dung eines zweischichtigen Verbundwerkstoffs mit der inneren Schicht versehen. Ein von der Kathode ausgehender Elektronen­ strahl verläuft dabei durch den Schacht des Vakuumgehäuses und trifft im Brennfleck auf die Auftrefffläche der Anode.

Ein Verfahren zur Herstellung eines erfindungsgemäßen Vakuum­ gehäuses sieht den Verfahrensschritt vor, daß die innere Schicht durch Auftragsschweißen, Löten oder Plattieren auf die äußere Schicht aufgebracht wird, wobei das Plattieren durch Unterpulverschweißen oder Sprengplattieren erfolgen kann, womit man eine großflächige Verbindung der Materialien erreicht.

Zwei Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in den beigefüg­ ten Zeichnungen dargestellt. Es zeigt

Fig. 1 eine ein erfindungsgemäßes Vakuumgehäuse aufweisende Röntgenröhre in schematischer Darstellung im Längs­ schnitt und

Fig. 2 einen Ausschnitt aus einer weiteren ein erfindungsge­ mäßes Vakuumgehäuse aufweisende Röntgenröhre in schematischer Darstellung.

Die in der Fig. 1 dargestellte Röntgenröhre weist ein aus ei­ nem metallischen Werkstoff gefertigtes erfindungsgemäßes Va­ kuumgehäuse 1 mit einem rohrförmigen Ansatz 1a auf. An diesen ist mittels einer LASER-Schweißung 9 ein Rohr 1c angesetzt, in das mittels eines Isolators 2 eine schematisch angedeu­ tete, insgesamt mit 3 bezeichnete Kathodenanordnung einge­ setzt, die, wie in Fig. 1 schematisch angedeutet ist, eine in einer Fokussierungsnut 3a eines Kathodenbechers 3b aufgenom­ mene Glühkathode 3c enthält. Von dieser geht ein in Fig. 1 strichliert angedeuteter Elektronenstrahl E aus, der in einem Brennfleck BF auf die Auftrefffläche 4a einer insgesamt mit 4 bezeichneten Drehanode auftrifft.

Die Drehanode 4 ist in nicht näher dargestellter Weise in ei­ nem zweiten Ansatz 1b des Vakuumgehäuses 1 in an sich bekann­ ter Weise drehbar gelagert.

Die Drehanode 4 weist einen mit dem Anodenkörper 4b verbunde­ nen Rotor 5 auf, der mit einem außen auf dem Ansatz 1b ange­ brachten Stator 6 nach Art eines Kurzschlußläufermotors zu­ sammenwirkt.

Die Drehanode 4 und das Vakuumgehäuse 1 sind elektrisch lei­ tend miteinander verbunden. Sie liegen im Falle des darge­ stellten Ausführungsbeispieles auf Erdpotential 7. Der eine Anschluß der Glühkathode 3c liegt auf negativer Hochspannung -U_R, z. B. -125 kV. Zwischen den beiden Anschlüssen der Glüh­ kathode 3c liegt die Heizspannung U_H.

Das Vakuumgehäuse 1 ist mit einem beispielsweise aus Beryl­ lium gebildeten Strahlenaustrittsfenster 8 versehen, durch das im Betrieb der Röntgenröhre das vom Brennfleck BF ausge­ hende Röntgenstrahlenbündel austritt, dessen Zentral- und Randstrahlen in der Fig. 1 strichliert angedeutet und mit ZS bzw. RS bezeichnet sind.

Jedesmal wenn bei Aktivierung der Röntgenröhre, beispiels­ weise zur Anfertigung einer Röntgenaufnahme, der Röhrenstrom zu fließen beginnt, ist das Vakuumgehäuse 1 in seinem dem Brennfleck BF benachbarten Bereich einer thermoschockartigen Belastung unterworfen. Diese Belastung kommt durch das Auf­ treffen der sich mit Beginn des Röhrenstromes zentrisch vom Brennfleck BF ausbreitenden Sekundärelektronenwolke auf die Innenseite des Vakuumgehäuses 1 zustande. Infolge der hohen Energiedichte der Sekundärelektronenwolke tritt nämlich eine Temperaturdifferenz in der Größenordnung von 100°C zwischen der Innenseite und der Außenseite des Vakuumgehäuses 1 auf.

Um zu verhindern, daß die in diesem Zusammenhang an der Au­ ßenseite des Vakuumgehäuses 1 im Bereich von dessen Abschnitt 1a auftretenden thermisch bedingten Zugspannungen eine solche Höhe erreichen, daß sie sich, z. B. durch Rißbildung, nachtei­ lig auf die Lebensdauer des Vakuumgehäuses 1 und damit der Röntgenröhre auswirken, ist die Wandung des Vakuumgehäuses 1, d. h. der Abschnitt 1a des Vakuumgehäuses 1, in dem dem Brenn­ fleck BF benachbarten Bereich aus einem zweischichtigen Ver­ bundwerkstoff gebildet. Dazu ist der Abschnitt 1a aus einem die äußere Schicht bildenden Grundwerkstoff, beispielsweise aus einer ferritischen Eisenlegierung oder aus austenitischem Edelstahl, gebildet und in dem dem Brennfleck BF benachbarten Bereich mit einer inneren Schicht 10 versehen, die aus einem Material besteht, das einen geringeren thermischen Ausdeh­ nungskoeffizienten und/oder einen geringeren Elastizitätsmo­ dul als das Material der äußeren Schicht, also der Grundwerk­ stoff, aufweist. Dabei ist die Schichtdicke der inneren Schicht so gewählt, daß sie mindestens 10% der Schichtdicke der äußeren Schicht beträgt.

Durch den beschriebenen Aufbau werden in dem zweischichtig ausgebildeten Bereich des Vakuumgehäuses 1 die an der Außen­ seite der Wandung des Vakuumgehäuses 1 durch die Wirkung des Thermoschocks erzeugten Zugspannungen gegenüber den bei einem einschichtig aufgebauten Vakuumgehäuse vorliegenden Zugspan­ nungen herabgesetzt, so daß sich eine erhöhte Lebensdauer des Vakuumgehäuses 1 ergibt.

Als Material für die innere Schicht 10 eignen sich Kupfer, Nickel oder eine wenigstens oder Kupfer- oder Nickel enthal­ tende Legierung, insbesondere Nickel-Basislegierungen. Eben­ falls geeignet ist eine einen niedrigen thermischen Ausdeh­ nungskoeffizienten aufweisende sogenannte Ausgleichslegie­ rung, welche als Legierungselemente Eisen, Nickel und Kobalt enthalten. Auch Eisen/Nickel-Legierungen und Eisen/Palladium- Legierungen sind als Material für die innere Schicht geeig­ net.

Die innere Schicht 10 kann durch Auftragsschweißen, Löten oder Plattieren aufgebracht werden. Es versteht sich, daß dies zweckmäßigerweise geschieht, bevor die Abschnitte 1b und 1c mit dem Abschnitt 1a des Vakuumgehäuses 1 verbunden wer­ den. Dabei ist es von Bedeutung, daß es zu einer großflächigen Verbindung der Materialien unter Vermeidung der Bildung von Temperaturbarrieren kommt.

Winkelmäßig erstreckt sich der zweischichtig ausgeführte Be­ reich bezogen auf die Mittelachse M der Drehanode 4 ausgehend vom Zentralstrahl ZS jeweils über wenigstens 90° im Uhrzei­ gersinn und gegen den Uhrzeigersinn entlang des Umfangs des Vakuumgehäuses 1.

Der in der Fig. 2 dargestellte Ausschnitt eines weiteren er­ findungsgemäßen Vakuumgehäuses einer Röntgenröhre weist ein aus einem ebenfalls metallischen Werkstoff gefertigtes erfin­ dungsgemäßes Vakuumgehäuse 1 mit einem eine Drehanode 4 auf­ nehmenden Raum 13 (Anodenraum 13), mit einem eine Kathodenan­ ordnung 3 aufnehmenden Raum 11 (Kathodenraum 11) und mit ei­ nem den Anoden- und Kathodenraum verbindenden Schacht 12 auf. Der obere Gehäuseabschnitt des Vakuumgehäuses 1, welcher den Kathodenraum 11 und den Schacht 12 einschließt, und welcher an den Anodenraum 13 angrenzt, ist dabei einstückig ausge­ führt.

Die Komponenten des in Fig. 2 dargestellten Ausschnittes der Röntgenröhre entsprechen dabei in Bezeichnung und Funktion im wesentlichen den entsprechenden, in Fig. 1 dargestellten und erläuterten Komponenten.

Zur Reduzierung der thermoschockartigen Belastung des dem Brennfleck BF benachbarten Bereiches der Wandung des Vakuum­ gehäuses 1 sind in Fig. 2 die bezüglich Materialermüdung be­ sonders gefährdeten Bereiche der Wandung des Vakuumgehäuses 1 aus einem zweischichtigen Verbundwerkstoff gebildet. Einen besonders gefährdeten Bereich stellt diesbezüglich der Über­ gangsbereich zwischen der rohrartigen Wandung des Schachtes 12 und der Wandung des Anodenraumes 13 dar, welcher die Form eines stark gekrümmten Flaschenhalses aufweist. Um zu verhin­ dern, daß in diesem Zusammenhang in dem Übergangsbereich die an der Außenseite des Vakuumgehäuses 1 auftretenden thermisch bedingten Zugspannungen eine solche Höhe erreichen, daß es zur Rißbildung kommt, ist die stark gekrümmte Fläche des Übergangsbereiches aus dem zweischichtigen Verbundwerkstoff gebildet. Die Schichtdicke der inneren Schicht 10 beträgt hierbei mindestens 10% der Schichtdicke der äußeren Schicht, wobei für die äußere und innere Schicht die bereits erwähnten Materialien zum Einsatz kommen. Bei besonders gefährdeten Be­ reichen der Wandung des Vakuumgehäuses 1 kann die Schicht­ dicke der inneren Schicht 10 zweckmäßigerweise auch 50% oder mehr der Schichtdicke der äußeren Schicht betragen. Auch hierbei ist es von Bedeutung, daß eine großflächige Verbin­ dung zwischen der inneren und der äußeren Schicht besteht, so daß Temperaturbarrieren vermieden sind.

Durch den beschriebenen Aufbau werden in dem zweischichtig ausgebildeten Übergangsbereich des Vakuumgehäuses 1 die an der Außenseite der Wandung des Vakuumgehäuses 1 wirkenden thermisch bedingten Zugspannungen herabgesetzt, so daß sich eine erhöhte Lebensdauer des Vakuumgehäuses 1 ergibt.

Es ist anders als im Falle der beschriebenen Ausführungsbei­ spiele im Rahmen der Erfindung auch möglich, einen mehr als zwei Schichten aufweisenden Verbundwerkstoff zu verwenden, wobei dann vorzugsweise die thermischen Ausdehnungskoeffizi­ enten und/oder Elastizitätsmoduli der Materialien der einzel­ nen Schichten von innen nach außen zunehmen.

Im Falle der vorstehend beschriebenen Röntgenröhren handelt es sich um sog. einpolige Röntgenröhren, bei denen das Vaku­ umgehäuse und die Anode auf einem gemeinsamen Potential lie­ gen. Die Erfindung kann aber auch bei sog. zweipoligen Rönt­ genröhren zur Anwendung kommen, bei denen das Vakuumgehäuse auf einem Potential liegt, das zwischen dem der Anode und dem der Kathode liegt.

Obwohl die Erfindung am Beispiel von Drehanoden-Röntgenröhren beschrieben ist, können auch Festanoden-Röntgenröhren mit ei­ nem erfindungsgemäßen Vakuumgehäuse versehen werden.

Es sei noch darauf hingewiesen, daß sich eine nochmals ver­ besserte Lebensdauer der Vakuumgehäuse erreichen läßt, wenn in dem aus Verbundwerkstoff gebildeten Bereich der Vakuumge­ häuse oder einem Teil dieses Bereiches die äußere Schicht an ihrer Oberfläche Druckeigenspannungen aufweist, die bei­ spielsweise durch Oberflächenstrahlen der äußeren Oberfläche der Vakuumgehäuse erzeugt sein können. Eine weitere Erhöhung der Lebensdauer wird deshalb erreicht, weil - vereinfacht formuliert - infolge der Überlagerung der Druckeigenspannun­ gen und der thermisch bedingten Zugspannungen die an der äu­ ßeren Oberfläche der Vakuumgehäuse auftretenden Zugspannungen gegenüber den thermisch bedingten Zugspannungen die bei Abwe­ senheit der Druckeigenspannungen vorliegen würden, um den Be­ trag der Druckeigenspannungen vermindert sind.

Claims (15)

1. Vakuumgehäuse (1) für eine Röntgenröhre, welches wenig­ stens in dem im Betrieb der Röntgenröhre dem Brennfleck (BF) der Röntgenröhre benachbarten Bereich seiner Wandung zur Her­ absetzung der thermisch bedingten Zugspannungen an deren äu­ ßeren Oberfläche aus einem wenigstens zweischichtigen Ver­ bundwerkstoff gebildet ist, dessen innere Schicht (10) aus einem Material besteht, das einen geringeren thermischen Aus­ dehnungskoeffizienten und/oder einen geringeren Elastizitäts­ modul als das Material der äußeren Schicht aufweist.

2. Vakuumgehäuse nach Anspruch 1, dessen innere Schicht (10) eine Schichtdicke aufweist, welche wenigstens 10% der Schichtdicke der äußeren Schicht beträgt.

3. Vakuumgehäuse nach Anspruch 1, dessen innere Schicht (10) eine Schichtdicke aufweist, welche wenigstens 50% der Schichtdicke der äußeren Schicht beträgt.

4. Vakuumgehäuse nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dessen äu­ ßere Schicht aus einem metallischen Material gebildet ist.

5. Vakuumgehäuse nach Anspruch 4, dessen äußere Schicht aus einer ferritischen Eisenlegierung oder aus austenitischem Edelstahl gebildet ist.

6. Vakuumgehäuse nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dessen in­ nere Schicht (10) aus einem metallischen Material gebildet ist.

7. Vakuumgehäuse nach Anspruch 6, dessen innere Schicht (10) aus Kupfer, aus Nickel oder aus einer wenigstens Kupfer oder Nickel enthaltenden Legierung gebildet ist.

8. Vakuumgehäuse nach Anspruch 7, dessen innere Schicht (10) aus einer Nickel-Basislegierung gebildet ist.

9. Vakuumgehäuse nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dessen in­ nere Schicht (10) aus einer Eisen, Nickel und Kobalt enthal­ tenden Ausgleichslegierung gebildet ist.

10. Vakuumgehäuse nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dessen innere Schicht (10) aus einer Eisen und Nickel enthaltenden Legierung gebildet ist.

11. Vakuumgehäuse nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dessen innere Schicht (10) aus einer Eisen und Palladium enthalten­ den Legierung gebildet ist.

12. Vakuumgehäuse nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dessen Wandung aus einem die äußere Schicht bildenden Grundwerkstoff gebildet ist, der nur in dem dem Brennfleck (BF) der Röntgen­ röhre benachbarten Bereich zur Bildung eines zweischichtigen Verbundwerkstoffs mit der inneren Schicht (10) versehen ist.

13. Vakuumgehäuse nach Anspruch 12, welches eine Kathodenan­ ordnung (3) in einem Raum (11) des Vakuumgehäuses (1) auf­ nimmt, welcher über einen rohrartigen Schacht (12) mit einem eine Anode (4) aufnehmenden Raum (13) des Vakuumgehäuses (1) verbunden ist, wobei ein von der Kathodenanordnung (3) ausge­ hender Elektronenstrahl (E) durch den Schacht (13) zur Anode (4) verläuft, und dessen Wandung im Bereich des Übergangs des Schachtes (12) in den die Anode (4) aufnehmenden Bereich (13) zur Bildung eines zweischichtigen Verbundwerkstoffs mit der inneren Schicht (10) versehen ist.

14. Verfahren zur Herstellung eines Vakuumgehäuses nach einem der Ansprüche 1 bis 13, welches den Verfahrensschritt auf­ weist, daß die innere Schicht (10) durch Auftragsschweißen, Löten oder Plattieren auf die äußere Schicht aufgebracht wird.

15. Verfahren nach Anspruch 14, bei dem der Verfahrensschritt des Plattierens durch Unterpulverschweißen oder Sprengplat­ tieren erfolgt.