DE10204863A1 - Scanner - Google Patents

Abstract

Ein Scanner umfasst ein Grundgestell (1); einen Tisch (2), der an dem Grundgestell (1) vorgesehen ist, um ein blattähnliches Objekt darauf aufzulegen; und einen Scannerkopf (3), der beweglich an dem Grundgestell (1) gestützt ist. Der Scannerkopf (3) kann sich geradlinig entlang einer Objektauflageoberfläche (21) des Tisches (2) bewegen.

Description

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf einen Scanner für die Verwendung in Syste­ men zum präzisen Erfassen einer Bildinformation, z. B. einem Plattentestsystem und einem Längenmessinstrument, und im Substrattest.

Ein herkömmlicher Scanner aus dem Stand der Technik verwendet eine einige Millime­ ter dicke, transparente Glasplatte als Tisch. Ein Blatt eines Objektes wird auf dem Glastisch so abgesichert, dass die Bildoberfläche des Objektes zu der Glasplatte ausge­ richtet ist, und dessen rückseitige Oberfläche wird durch einen Deckel gedrückt, der ein Material, z. B. einen Schaumstoff, das daran haftet, aufweist. Ein Zeilenbildsensor befin­ det sich unter dem Glastisch, um ein optisches Abbild des Objektes während eines Scannens des optischen Abbildes des Objektes durch die Glasplatte bei konstanter Ge­ schwindigkeit aufzunehmen.

Ein Plattentestsystem in CTP (Compute to Plate) erfordert einen Hochpräzisionsscan­ ner, um eine Platte zu lesen, die durch das CTP-System hergestellt wurde, und um die gelesenen Daten mit Post-RIP(Rasterbildprozessor)-Enddaten zu vergleichen, die in einem DTP-(computergesteuerten Publikations-)System erzeugt wurden. So ein Hoch­ präzisionsscanner ist auch für die Verwendung beim Berechnen eines Abstandes zwi­ schen gelesenen Daten einer Karteninformation und für die Verwendung beim Testen von Defekten auf einem Substrat erforderlich.

Der herkömmliche Scanner ist so entworfen, dass er das optische Bild durch die Glasplatte scannt. Wenn daher der Scanner vergrößert wird, wobei der zentrale Bereich der Glasplatte um einige hundert Mikrometer gekrümmt sein kann, bewirkt die Krüm­ mung und Brechungsverzerrung in der Glasplatte einen Fehler. Dies ist ein Nachteil des Standes der Technik. Der herkömmliche Scanner scannt den Zeilenbildsensor bei einer konstanten Geschwindigkeit, wobei Taktgeber für eine zeitsynchronisierte Computer­ steuerung verwendet werden, um den Scannabstand zu steuern. Wenn ein Fehler in der Scanngeschwindigkeit von 0,01% auftritt, tritt daher ein Fehler von etwa 2 Pixeln (etwa 100 Mikrometer) im Fall des Scannens von 1000 mm bei 400 dpi auf. Dies ist ein ande­ rer Nachteil des Standes der Technik.

Die vorliegende Erfindung wurde in Anbetracht der obigen Situation gemacht, und ihr liegt entsprechend die Aufgabe zugrunde, einen Scanner zur Verfügung zu stellen, der in der Lage ist, ein extrem hochpräzises Bildscannen auszuführen, insbesondere auch wenn er vergrößert ist.

Die vorliegende Erfindung ist mit einem Scanner ausgestattet, welcher aufweist: einen Tisch mit einer Objektauflagefläche zum Auflegen eines blattähnlichen Objektes darauf; einen Scannerkopf, der der Objektauflagefläche des Tisches gegenüber angeordnet ist und linear entlang der Objektauflagefläche beweglich ist, wobei der Scannerkopf einen Zeilenbildaufnehmer zum Abbilden des Objektes umfasst, das auf der Objektauflageo­ berfläche aufgelegt ist; einen Kopfantriebsmechanismus, der eine Antriebswelle um­ fasst, die sich entlang der Objektauflageoberfläche zum Antreiben des Scannerkopfes geradlinig entlang der Antriebswelle erstreckt; eine lineare Skala zum Bereitstellen eines Signals zum Detektieren einer Stellung des Scannerkopfes in der Richtung der An­ triebswelle; und Bildaufnahmeelemente zum Aufnehmen eines Bildes des Objektes von dem Bildaufnehmer, basierend auf dem Signal von der linearen Skala.

Entsprechend der vorliegenden Erfindung steht der Scannerkopf, der mit dem Bildauf­ nehmer ausgestattet ist, der Objektauflageoberfläche gegenüber, und das Objekt, das auf der Objektauflageoberfläche aufgelegt ist, wird direkt durch keine Glasplatte oder dergleichen gescannt. Damit tritt nie eine problematische Krümmung und Brechungs­ verzerrung der Glasplatte auf. Zusätzlich wird, entsprechend der vorliegenden Erfin­ dung, die Stellung des Scannerkopfes in der Richtung der Antriebswelle auf der Basis des Signals von der linearen Skala detektiert, um den Scannabstand für das Abbild des Objektes zu steuern. Damit kann die Präzision des Scannabstandes zu einem Laufab­ stand stark verbessert werden. Mit diesen Wirkungen kann die vorliegende Erfindung einen Hochpräzisionsscanner zur Verfügung stellen.

Der Tisch kann eine Platte aufweisen, die aus einem Material ist, das eine flache Aus­ bildung aufrechterhalten kann, z. B. Metall, Stein und Glas, was an einem Grundgestell angebracht ist. Um das Objekt präzise abzusichern, umfasst der Tisch vorzugsweise einen Anziehungsmechanismus zum Anziehen des Objektes, um es auf der Objektauf­ lageoberfläche abzusichern. Auf ähnliche Weise umfasst der Tisch vorzugsweise einen Positionier- und Sicherungsstift am Rand zum Positionieren des Objektes auf der Ob­ jektauflageoberfläche.

Um das Antriebssystem zu stabilisieren und die geradlinige Bewegung des Scanner­ kopfes zu verbessern, umfasst der Scannerkopf vorzugsweise einen Antriebsrahmen, der beweglich an beiden Seiten des Grundgestelles gestützt ist, wobei ein Paar von Li­ nearlagern dazwischen angeordnet ist. In diesem Fall umfasst der Kopfantriebsmecha­ nismus einen Kugelgewindespindelmechanismus, der eine Kugelgewindespindel als Antriebswelle umfasst, die sich etwa in der Mitte zwischen dem Paar von Linearlagem befindet und parallel zu den Linearlagern ist.

Um einen Bewegungsfehler des Scannerkopfes soweit als möglich auszuschließen, ist die lineare Skala vorzugsweise in der Nähe der Antriebswelle und parallel zu der An­ triebswelle angeordnet.

Der Scannerkopf kann einen Antriebsrahmen umfassen, der beweglich an beiden Seiter des Grundgestelles gestützt ist, wobei ein Paar von Linearlagern dazwischen angeord­ net ist; einen Zeilenbildsensor, oder einen Bildaufnehmer, der an dem Antriebsrahmen angebracht ist; und ein optisches System zum Verschieben des Strahlenganges um etwa 90°, um ein optisches Bild des Objektes, das auf der Objektauflageoberfläche des Tisches aufgelegt ist, in den Zeilenbildsensor einzuführen. Solch ein Aufbau ist wirksam um einen Abstand von dem Objekt zu dem Zeilenbildsensor abzusichern, ohne den Be­ darf zu haben, den Scannerkopf zu sehr anzuheben.

Die vorliegende Erfindung wird vollständiger aus der folgenden detaillierten Beschrei­ bung der bevorzugten Ausführungsformen im Hinblick auf die zugehörigen Zeichnungen verstanden, bei welchen:

Fig. 1 eine äußere Perspektivansicht eines Scanners entsprechend einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ist;

Fig. 2A und 2B einen Tisch in clem Scanner in der Draufsicht und der Seitenansicht zeigen;

Fig. 3 eine Draufsicht des Scanners in einem Zustand ist, in dem der Tisch und ein Scannerkopf entfernt wurden;

Fig. 4 eine Seitenansicht ist, die skizzenhaft eine Anordnung der optischen Elemente in dem Scannerkopf des Scanners zeigt;

Fig. 5 eine Querschnittsansicht ist, die einen Aufbau eines Tisches ent­ sprechend einer anderen Ausführungsform zeigt; und

Fig. 6A und 6B einen Scanneraufbau entsprechend einer weiteren Ausführungsform in einer Draufsicht und einer Querschnittsansicht entlang der Linie A-A' zeigen.

In Fig. 1 ist ein großer Scanner gezeigt, der einen Scannbereich von etwa 850 mm × 1030 mm beispielsweise hat. Dieser Scanner weist ein Grundgestell 1 auf, das mit einer Konsole 11 an der Seite ausgestattet ist. Ein Tisch 2 ist an dem Grundge­ stell 1 vorgesehen, um darauf ein blattähnliches Objekt aufzulegen. Ein Scannerkopf 3 ist beweglich an dem Grundgestell 1 so gestützt, dass sich der Scannerkopf 3 geradlinig entlang der Objektauflageoberfläche 21 des Tisches 2 bewegen kann.

Fig. 2A ist eine Draufsicht des Tisches 2 und Fig. 2B eine Seitenansicht davon.

Vorzugsweise ist der Tisch 2 aus einer Metallplatte gebildet. Im Speziellen weist der Tisch 2 in dieser Ausführungsform eine Aluminiumplatte 2a auf, die präzise hergestellt ist und die eine Krümmung von 20 Mikrometer oder weniger aufweist, und einen Alumi­ niumrahmen 2b, der die Platte stützt. Ein Anziehungsmechanismus 25 ist in dem Tisch 2 ausgebildet, um ein Objekt auf der Objektauflageoberfläche 21 abzusichern. Der Anzie­ hungsmechanismus 25 umfasst Luftführungskanäle 22, die in dem Tisch 2 ausgebildet sind, und enge Rinnen 24, die in die Objektauflageoberfläche 21 eingeprägt sind. Kleine Bohrungen 23a, 23b sind ausgebildet, um die Kanäle 22, dis Objektauflageoberfläche 21 und die engen Rinnen 24 zu verbinden. Am Rand des Tisches 2 sind Positionierstifte 26 vorgesehen und werden als Referenz verwendet, um ein Objekt, z. B. eine Druck­ platte von jeglicher Größe an der gleichen Stelle festzuhalten.

Fig. 3 ist eine Draufsicht des Scanners in einem Zustand, in welchem der Tisch 2 und der Scannerkopf 3 entfernt wurden. Das Grundgestell 1 hat einen starren Aufbau, der ausreichend ist, um ein Deformieren durch eine äußere Kraft, wie z. B. durch sein eige­ nes Gewicht und eine zusätzliche Last zu verhindern. An beiden Enden in der kürzeren Längsrichtung auf dem Tisch 2 sind Linearlager 12a, 13a vorgesehen, die sich in der Längsrichtung erstrecken. Der Scannerkopf 3 umfasst einen Antriebsrahmen 31, dessen beide Enden auf den Linearlagern 12a, 13a an beiden Seiten des Grundgestells 1 mit­ tels Schleifern 12b, 13b so gestützt werden, dass er sich frei in der Längsrichtung be­ wegen kann. Ein Kugelgewindespindelmechanismus 14 ist etwa am Zentrum des Grundgestells 1 und parallel zu den Linearlagern 12a, 13a angeordnet. Der Kugelge­ windespindelmechanismus 14 umfasst eine Kugelgewindespindel 14a, welche in der Längsrichtung über dem Grundgestell 1 aufgehängt ist, um als Messachse zu dienen. Um beide Enden der Kugelgewindespindel 14a zu stützen, werden Lager 14b, 14c ver­ wendet. Ein Motor 14d ist vorgesehen, um drehend die Kugelgewindespindel 14a über ein Getriebe anzutreiben, das Riemen 14e, 14h und Rollen 14f, 14g, 14i umfasst. Schließlich ist eine bewegliche Schraube 14j an dem Antriebsrahmen 31 des Scanner­ kopfes 3 befestigt.

In der Nähe der Kugelgewindespindel 14a befindet sich eine lineare Skala 15 parallel zu der Kugelgewindespindel 14a. Die lineare Skala 15 ist magnetisch, optisch oder kapazi­ tiv und umfasst eine Kopfeinheit 15b, die an dem Antriebsrahmen 31 befestigt ist und relativ entgegen einer feststehenden Skala 15a beweglich ist. Die lineare Skala 15 stellt Impulse zur Verfügung, die einen Abstand anzeigen, wenn der Scannerkopf 3 bewegt wird. Die Impulse werden in eine Bildaufnahmeschaltung eingeführt, die ein Zählwerk, das nicht dargestellt ist, enthält, welches die Impulse für eine Scannsynchronisation zählt, um ein Bild von einem CCD-Zeilenbildsensor 33 aufzunehmen.

Wenn ein Kopfdeckel 32 des Scannerkopfes 3 geöffnet wird, ist der CCD-Zeilenbild­ sensor 33 zu sehen, der an einem Sensorgrundgestell befestigt ist, das nicht dargestellt ist. Der CCD-Zeilenbildsensor 33 wird verwendet, um ein optisches Bild des Objektes durch einen Spalt 34 aufzunehmen, der in einer Seite des Scannerkopfes gegenüber des Tisches 2 ausgebildet ist. Fig. 4 zeigt skizzenhaft optische Elemente vom Scanner­ kopf 3 in einer Seitenansicht. Wie gezeigt ist, wird das optische Büd eines Objektes 4, das durch den Spalt 34 durchgeführt ist, von Reflektionsspiegeln 35 und 36 reflektiert, um seinen Strahlengang um 90° zu ändern, und durch eine Linse 37 auf dem CCD- Zeilenbildsensor 33 zur Bildaufnahme scharf gestellt.

Ein solcher Aufbau ist wirksam, um einen ausreichenden optischen Abstand abzusi­ chern, ohne den Bedarf zu haben, eine Höhe h des Scannerkopfes 3 zu stark zu erhö­ hen.

Mit dem so ausgebildeten Scanner können die folgenden Wirkungen erreicht werden.

• 1. Es wird ein direktes Scannen verwendet, welches das Objekt, das auf der oberen Oberfläche des Tisches 2 aufgelegt ist, von oben scannt. Dies ist wirksam, um ei­ nen Fehler durch die Brechungsverzerrung und Krümmung des Tisches zu elimi­ nieren.
• 2. Der Scannerkopf 3 wird an beiden Seiten gestützt und an dem Zentrum angetrie­ ben. Dies ist wirksam, um den Kopf ohne Abweichungen in der Richtung der An­ triebswelle zu bewegen.
• 3. Die lineare Skala 15 befindet sich in der Nähe der Antriebswelle. Dies ist wirksam, um einen Bewegungsfehler zu reduzieren.
• 4. Das Scannen wird synchronisiert mit Abstandsimpulsen von der linearen Skala 15. Dies ist wirksam, um die Aufnahmepräzision entgegen dem Abstand stark zu ver­ bessern.
• 5. Der Anziehungsmechanismus 25 in dem Tisch 2 ist in der Lage, das blattähnliche Objekt, wie z. B. eine Druckplatte, stabil abzusichern, und der Positionierstift 26 kann es präzise an seinem Platz absichern.

In der obigen Ausführungsform ist der Scannerkopf so entworfen, dass ein Bild aufge­ nommen wird, das von dem Objekt reflektiert wird. Im Gegensatz dazu wird, wenn das Objekt z. B. ein transparenter ebener Film ist, der Film vorzugsweise von der rückseiti­ gen Oberfläche bestrahlt, um ein Bild aufzunehmen, das durch ihn durchgegangen ist. In diesem Fall ist eine flache Lichtemissionsplatte in dem Tisch integriert. Zum Beispiel, wie in Fig. 5 gezeigt ist, ist eine flache Lichtemissionsplatte 5 in der oberen Oberfläche des Tisches 2 eingebettet. Eine Lichtemissionsoberfläche der Platte 5 wird als Ob­ jektauflageoberfläche 21 verwendet, auf welcher ein Objekt 4 aufgelegt wird. Die flache Lichtemissionsplatte 5 ist aus einer transparenten harzartigen Platte 5a, einer Reflekti­ onsplatte 5b, die daran haftet, und einer Zeilenlichtquelle 5c aufgebaut, die an ihrer Seite angeordnet ist. Die harzartige Platte 5a enthält Teilchen, die darin verteilt sind, um das Licht zu streuen.

Die Fig. 6A-B zeigen eine andere Ausführungsform eines Scanners, welcher einen Stützmechanismus hat, um zu verhindern, dass sich der Tisch 2 krümmt, in einer Drauf­ sicht und einer Querschnittsansicht entlang der Linie A-A'. Die gleichen Bezugszeichen wie die der vorigen Ausführungsform werden verwendet, um entsprechende Komponen­ te in dieser Ausführungsform zu kennzeichnen. Der Scannerkopf 3 ist aufgebaut, um sandwichartig den Tisch 2 zwischen einem Substrat 38 und einem Antriebsrahmen 31 anzuordnen. Dies ist das Gleiche wie in der vorher beschriebenen Ausführungsform. In dieser Ausführungsform sind an der oberen Oberfläche des Antriebsrahmens 31 jeweils zwei vertiefte Führungen 61a1, 61a2 und 61b1, 61b2 an Stellen mit bestimmten Ab­ ständen weg von beiden Enden in der kurzen Längsrichtung des Tisches 2 ausgebildet. An der unteren Oberfläche des Tisches 2 sind Schienen 62a, 62b kontinuierlich in der Längsrichtung des Tisches 2 für ein Gleiten dieser Führungen 61a1, 61a2, 61b1, 61b2 ausgebildet.

Durch den Stützmechanismus, der die Führungen 61a1, 61a2, 61b1, 61b2 und die Schienen 62a, 62b umfasst, kann der Antriebsrahmen 31 des Scannerkopfes 3 den Tisch an Stellen stützen, die in bestimmten Abständen von beiden Enden in der kurzen Längsrichtung des Tisches 2 entfernt sind. In diesem Fall, gerade wenn der Tisch 2 leicht durch sein eigenes Gewicht usw. gekrümmt ist, kann die Krümmung zumindest an der Stelle des Scannerkopfes 3 korrigiert werden. Im Ergebnis ist es möglich, einen konstanten Abstand zwischen der Objektauflageoberfläche 21 des Tisches 2 und dem Scannerkopf 3 aufrecht zu erhalten. Dies führt dazu, dass ein hochpräzises Bildscannen möglich ist.

Wie es aus dem Vorhergehenden ersichtlich ist, steht, entsprechend der vorliegenden Erfindung, der Scannerkopf, der mit dem Bildaufnehmer ausgestattet ist, der Objektauf­ lageoberfläche gegenüber, und das Objekt, das auf der Objektauflageoberfläche aufge­ legt ist, wird direkt durch keine Glasplatte und dergleichen gescannt. Damit tritt nie eine problematische Krümmung und Brechungsverzerrung der Glasplatte auf. Zusätzlich wird die Stellung des Scannerkopfes in der Richtung der Antriebswelle auf der Basis des Sig­ nals von der linearen Skala detektiert, um den Scannabstand für das Bild des Objektes zu steuern. Damit kann die Präzision des Scannabstandes zu einem Laufabstand be­ sonders verbessert werden. Entsprechend kann ein Hochpräzisionsscanner zur Verfü­ gung gestellt werden.

Indem die Ausführungsformen in Übereinstimmung mit der Erfindung beschrieben wur­ den, sind auch andere Ausführungsformen und Variationen in Übereinstimmung mit der Erfindung für den Fachmann auf diesem Gebiet ersichtlich. Damit sollte die Erfindung nicht als auf die offenbarten Ausführungsformen beschränkt angesehen werden, son­ dern eher als nur beschränkt durch den Schutzbereich der zugehörigen Ansprüche an­ gesehen werden.

Claims (10)

1. Ein Scanner, welcher aufweist:
einen Tisch (2) mit einer Objektauflageoberfläche (21) zum Auflegen eines blattähnlichen Objektes (4) darauf;
einen Scannerkopf (3), der gegenüber der Objektauflageoberfläche (21) des Ti­ sches (2) angeordnet ist und linear entlang der Objektauflageoberfläche (21) be­ weglich ist, wobei der Scannerkopf (3) einen Zeilenbildaufnehmer zum Abbilden des Objektes (4) umfasst, das auf die Objektauflageoberfläche (21) aufgelegt ist;
einen Kopfantriebsmechanismus, der eine Antriebswelle zum Antreiben des Scan­ nerkopfes geradlinig entlang der Antriebswelle umfasst, die sich entlang der Ob­ jektauflageoberfläche (21) erstreckt;
eine lineare Skala (15) zum Bereitstellen eines Signals, um eine Stellung des Scannerkopfes (3) in der Richtung der Antriebswelle zu detektieren; und
Bildaufnahmeelemente zum Aufnehmen eines Bildes des Objektes (4) von dem Bildaufnehmer auf der Grundlage des Signalausgangs von der linearen Skala (15).

2. Der Scanner nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Tisch (2) eine Metallplatte aufweist, die an einem Grundgestell (1) angebracht ist.

3. Der Scanner nach wenigstens einem der Ansprüche 1 oder 2, dadurch gekenn­ zeichnet, dass der Tisch (2) einen Anziehungsmechanismus (25) zum Anziehen des Objektes (4) umfasst, um es auf der Objektauflageoberfläche (21) abzusichern.

4. Der Scanner nach wenigstens einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Tisch (2) einen Positionier- und Sicherungsstift (26) am Rand zum Positionieren des Objektes (4) auf der Objektauflageoberfläche (21) umfasst.

5. Der Scanner nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass der Scannerkopf (3) einen Antriebsrahmen (31) umfasst, der beweglich an beiden Seiten des Grundge­ stelles (1) gestützt ist, wobei ein Paar von Linearlagern (12a, 13a) dazwischen an­ geordnet ist, um den Bildaufnehmer darauf zu montieren, wobei der Kopfantriebsmechanismus einen Kugelgewindespindelmechanismus (14) aufweist, der eine Kugelgewindespindel (14a) als Antriebswelle umfasst, die sich etwa in der Mitte zwischen dem Paar von Linearlagern (12a, 13a) befindet und parallel zu den Linearlagern (12a, 13a) ist.

6. Der Scanner nach wenigstens einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die lineare Skala (15) in der Nähe der Antriebswelle und parallel zu der Antriebswelle angeordnet ist.

7. Der Scanner nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass der Scannerkopf (3) umfasst:
einen Antriebsrahmen (31), der beweglich an beiden Seiten des Grundgestells (1) gestützt ist, wobei ein Paar von Linearlagern (12a, 13a) dazwischen zum Montie­ ren des Bildaufnehmers darauf angeordnet ist; und
ein optisches System zum Verschieben des Strahlenganges um etwa 90°, um ein optisches Bild des Objektes (4), das auf der Objektauflageoberfläche (21) des Ti­ sches (2) aufgelegt ist, in den Bildaufnehmer einzuführen.

8. Der Scanner nach wenigstens einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Bildaufnehmer einen CCD-Zeilensensor (33) aufweist.

9. Der Scanner nach wenigstens einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Tisch (2) eine flache Lichtemissionsplatte (5) mit einer Lichtemissionsoberfläche als Objektauflageoberfläche (21) umfasst.

10. Ein Scanner, weicher aufweist:
einen Tisch (2) mit einer Objektauflageoberfläche (21) zum Auflegen eines blattähnlichen Objektes (4) darauf;
ein Grundgestell (1) zum Montieren des Tisches (2) daran;
einen Scannerkopf (3), der gegenüber der Objektauflageoberfläche (21) des Ti­ sches (2) angeordnet ist und linear entlang der Objektauflageoberfläche (21) be­ weglich ist, wobei der Scannerkopf (3) einen Zeilenbildaufnehmer zum Abbilden des Objektes (4) umfasst, das auf der Objektauflageoberfläche (21) aufgelegt ist;
einen Kopfantriebsmechanismus, der eine Antriebswelle umfasst, die sich entlang der Objektauflageoberfläche (21) erstreckt, zum Antreiben des Scannerkopfes ge­ radlinig entlang der Antriebswelle;
eine lineare Skala (15) zum Bereitstellen eines Signals zum Detektieren einer Stellung des Scannerkopfes (3) in der Richtung der Antriebswelle; und
Bildaufnahmeelemente zum Aufnehmen eines Bildes des Objektes (4) von dem Bildaufnehmer auf der Grundlage des Signals von der linearen Skala (15), wobei der Scannerkopf (3) einen Antriebsrahmen (31) umfasst, der beweglich an beiden Seiten des Grundgestelles (1) befestigt ist, wobei ein Paar von Linearla­ gern (12a, 13a) dazwischen zum Montieren des Bildaufnehmers daran angeordnet ist, wobei der Antriebsrahmen (31) des Scannerkopfes (3) einen Stützmechanis­ mus zum gleitenden Stützen des Tisches (2) innerhalb bestimmter Abstände von beiden Seiten des Grundgestelles (1) an dessen oberer Oberfläche aufweist.