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DE102005015627A1 - Optische Abbildungsvorrichtung - Google Patents

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DE102005015627A1
DE102005015627A1 DE102005015627A DE102005015627A DE102005015627A1 DE 102005015627 A1 DE102005015627 A1 DE 102005015627A1 DE 102005015627 A DE102005015627 A DE 102005015627A DE 102005015627 A DE102005015627 A DE 102005015627A DE 102005015627 A1 DE102005015627 A1 DE 102005015627A1
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DE
Germany
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inner ring
imaging device
optical imaging
bearing
outer frame
Prior art date
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DE102005015627A
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English (en)
Inventor
Thorsten Rassel
Martin Mahlmann
Erich Merz
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Carl Zeiss SMT GmbH
Original Assignee
Carl Zeiss SMT GmbH
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Publication date
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Priority to US11/278,850 priority patent/US7548387B2/en
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Abstract

Eine optische Abbildungsvorrichtung (1a) weist wenigstens ein optisches Element (2) auf, das mit einer Außenfassung (1), einem Innenring (4), in dem das optische Element (2) gelagert ist, und einer Manipulatoreinrichtung mit wenigstens einem Aktuator versehen ist. In wenigstens einem Freiheitsgrad ist eine berührungslose Anbindung des Innenrings (4) an die Außenfassung (1) mittels eines zwischen Innenring (4) und Außenfassung (1) angeordneten Lagers (5) vorgesehen. Zur Lagerung und/oder Positionierung und/oder Manipulation des Innenrings (4) gegenüber der Außenfassung (1) weist die Manipulatoreinrichtung wenigstens einen Aktuator (8) auf, dessen Stellkräfte berührungslos auf den Innenring (4) wirken.

Description

  • Die Erfindung betrifft eine optische Abbildungsvorrichtung, mit wenigstens einem optischen Element, das mit einer Außenfassung, einem Innenring, in dem das optische Element gelagert ist, und einer Manipulatoreinrichtung mit wenigstens einem Aktuator. Des weiteren betrifft die Erfindung auch ein Projektionsobjektiv für die Mikrolithographie.
  • Aus der DE 199 01 295 A1 ist eine optische Abbildungsvorrichtung mit einem optischen Element bekannt, wobei das optische Element, beispielsweise eine Linse, in einem Innenring gelagert ist und dieser mit einer Außenfassung mit Blattfedern und Stellhebeln verbunden ist. Eine Manipulatoreinrichtung zur Verschiebung des optischen Elements ist derart ausgebildet, dass die eingesetzten Gelenke mit Verstellgliedern zwischen dem Innenring und der Außenfassung als Manipulatoreinrichtung dienen. Hierbei greifen Verstellschrauben an den Verstellgliedern als Aktuatoren zur Verschiebung des optischen Elements an. Eine Verstellung der Verstellschrauben ergibt eine Verschiebung des Innenrings gegenüber der Außenfassung.
  • Des weiteren ist aus der DE 100 51 706 A1 eine Vorrichtung zur Lagerung eines optischen Elements bekannt, wobei die Vorrichtung mit einer Innenfassung und mit einer Außenfassung versehen ist. Die Innenfassung ist mit der Außenfassung über drei über den Umfang verteilt angeordnete Festkörpergelenke verbunden, wobei an den Festkörpergelenken Aktuatoren angreifen, durch die die Innenfassung verschiebbar ist.
  • Aus diesen Schriften geht demnach hervor, dass durch eine direkte Anbindung der Außenfassung an den Innenring Kräfte und Momente in den Innenring eingeleitet werden können, welche jedoch eine Deformation des Innenrings und somit eine Deformation der Linse verursachen können. Hierbei können parasitäre Einflüsse auf die Linse, wie Verkippungen, Astigmatismus und andere höherwellige Deformationen, wirken.
    •
  • Der vorliegenden Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, eine optische Abbildungsvorrichtung der eingangs erwähnten Art so zu verbessern, dass Deformationen und parasitäre Einflüsse, wie Kippbewegungen, auf ein zu manipulierendes optisches Element minimiert werden.
  • Die Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, dass in wenigstens einem Freiheitsgrad eine berührungslose Anbindung des Innenrings an die Außenfassung mittels eines zwischen Innenring und Außenfassung angeordneten Lagers vorgesehen ist, wobei zur Lagerung und/oder Positionierung und/oder Manipulation des Innenrings gegenüber der Außenfassung die Manipulatoreinrichtung wenigstens einen Aktuator aufweist, dessen Stellkräfte und/oder Lagerkräfte berührungslos auf den Innenring wirken.
  • Erfindungsgemäß liegt in dem wenigstens einen Freiheitsgrad keine feste Anbindung des Innenrings an die Außenfassung vor, sondern der Innenring ist über eine "berührungslose" Lagerung mit der Außenfassung verbunden. Auf diese Weise kann im Fall einer berührungslosen Anbindung in sechs Freiheitsgraden ergibt sich eine totale Entkopplung von parasitären Einflüssen, wie beispielsweise Kippbewegungen, in bezug auf Deformationen des Innenrings und Spannungen in den Gelenkanbindungen vorgenommen werden. Die Positionierung des Innenrings erfolgt berührungslos durch wenigstens einen, vorzugsweise wenigstens zwei Aktuatoren. Auf diese Weise kann ohne Gelenkgetriebe und ohne Untersetzung die Bewegung des Innenrings linear in die gewünschte Richtung erfolgen.
  • Allgemein erfolgt die oben genannte Entkopplung entlang des Freiheitsgrads oder der Freiheitsgrade entlang dem oder entlang derer keine feste Anbindung vorliegt. Die verbleibenden Freiheitsgrade können mittels z.B. Innenring und Außenfassung verbindende mechanische Lagervorrichtungen erfolgen.
  • In einer vorteilhaften Weiterbildung kann vorgesehen sein, dass die Außenfassung mit mechanischen Endanschlägen versehen ist, wodurch eine Wegbegrenzung des Innenrings erreicht werden kann.
  • Die Verwendung einer derartigen erfindungsgemäßen optischen Abbildungsvorrichtung kann dabei in vorteilhafter Weise im Bereich der Mikrolithographie erfolgen, wobei die erfindungsgemäße optische Abbildungsvorrichtung für optische Elemente, wie beispielsweise Linsen oder Spiegel, in Projektionsbelichtungsanlagen eingesetzt werden kann.
  • Weitere Ausgestaltungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen wiedergegeben.
  • Nachfolgend werden Ausführungsbeispiele der Erfindung prinzipmäßig anhand von Zeichnungen näher erläutert.
    •
  • Es zeigt:
  • 1 eine Darstellung einer optischen Abbildungsvorrichtung mit einem optischen Element und einer Lagerung im Schnitt;
  • 2 eine Darstellung der in 1 dargestellten Abbildungsvorrichtung in der Draufsicht; und
  • 3 eine Darstellung der aus 2 ersichtlichen Abbildungsvorrichtung bei einer 120°-Anordnung von Aktuatoren.
  • 1 zeigt in einem Teilschnitt eine Außenfassung 1 einer in ihrer Gesamtheit nur ausschnittsweise und schematisch gestrichelt angedeuteten optischen Abbildungsvorrichtung in Form eines Objektivgehäuseteils 1a. Die optische Abbildungsvorrichtung 1a kann als Projektionsobjektiv für eine Projektionsbelichtungsanlage in der Mikrolithographie vorgesehen sein. Eine Projektionsbelichtungsanlage mit einem Projektionsobjektiv ist z.B. in der DE 102 18 989 A1 z.B. in der DE 102 18 989 A1 beschrieben, weshalb hier nicht näher darauf eingegangen wird. Die DE 102 18 989 A1 stellt jedoch einen Bestandteil des Offenbarungsgehaltes dar. Eine Linse als Beispiel eines optischen Elements 2 ist über eine Auflagevorrichtung 3 mit einem Innenring 4 verbunden. Eine indirekte bzw. berührungslose Anbindung des Innenrings 4 an die Außenfassung 1 ist mittels eines zwischen dem Innenring 4 und der Außenfassung 1 angeordneten Lagers 5 vorgesehen, welches vorzugsweise ein Gaslager und/oder allgemein ein Fluidlager, ein magnetisches, elektromagnetisches und/oder elektrostatisches Lager umfasst. In 1 ist beispielhaft ein Gaslager dargestellt. Dies bedeutet, dass die Außenfassung 1 und der Innenring 4 jeweils separate Bauteile sind, welche durch das Lager 5 nicht direkt miteinander verbunden sind. Für das Gaslager 5 wird bevorzugt Luft verwendet, da dies in erster Linie im Verhältnis zu anderen Gasen wesentlich kostengünstiger ist. Die Auswahl des Gases hängt jedoch davon ab, wo das Objektiv eingesetzt wird. Wenn das gesamte Objektiv mit Stickstoff bzw. Helium gespült wird, wie dies z.B. bei Projektionsobjektiven in der Halbleiterlithographie bei einem Betrieb mit Wellenlängen eines Belichtungsstrahls von 193 nm oder kürzer der Fall ist, sollte darauf geachtet werden, dass das Gas, welches zur Gaslagerung eingesetzt wird, das gleiche Medium ist, welches sich bereits im Objektiv befindet, da bei einer Gaslagerung des Innenrings 4 auf der Außenfassung 1 seitlich in Richtung des optischen Elements 2 ein minimaler Gasstrom austritt. Anstatt des Gaslagers 5 könnte auch eine Lagerung des Innenrings 4 über ein Flüssigkeitslager erfolgen, wobei entsprechende konstruktive Veränderungen des Gesamtaufbaus der optischen Abbildungsvorrichtung 1a vorgesehen werden müssten. Hierbei sollte z.B. dafür gesorgt werden, dass die Flüssigkeit nicht in den Raum der Linse 2 gelangt, da sie dort chemische Reaktionen verursachen könnte. Vorzugsweise, aber nicht notwendigerweise, erfolgt die berührungslose Lagerung bzw. Anbindung des Innenrings 4 an die Außenfassung 1 in allen sechs Freiheitsgraden des Innenrings 4.
  • An der Außenfassung 1 sind zwei mechanische Endanschläge 6 an gebracht, welche den möglichen Verschiebeweg des Innenrings 4 begrenzen.
  • Zur berührungslosen Lagerung des Innenrings 4 ist dieser im Ausführungsbeispiel nach 1 mit drei ringförmigen über den Umfang verteilten Aussparungen 5 versehen, welche an einer zu der Außenfassung 1 angrenzenden Seite des Innenrings 4 eingebracht sind. Dabei dienen zur Gaszufuhr und Gasabfuhr Leitungen 7, welche das jeweilige Gas in eine Aussparung 5' transportieren oder das Gas von Aussparungen 5'' abführen. In dem dargestellten Ausführungsbeispiel ist eine Gaszufuhrleitung 7' dargestellt, welche zwischen zwei Gasabfuhrleitungen 7'' angeordnet ist. Diese Anordnung ist dahingehend von Vorteil, dass mittig eine Gaszufuhr vorhanden ist, welche von beiden Seiten jeweils mit einer Gasabfuhr versehen ist, womit ein Luftpolster zwischen dem Innenring 4 und der Außenfassung 1 entsteht. Wenn in der Gaszufuhrleitung 7' des Gaslagers 5 ein leichter Überdruck vorherrscht und in den beiden Gasabfuhrleitungen 7'' ein leichter Unterdruck, dann ist es möglich, dass nur noch ein ganz minimaler Verlust des Gases zustande kommt, welcher seitlich abfließt bzw. austritt. Es ist auch möglich, neben der Gaszufuhrleitung 7' nur eine Gasabfuhrleitung 7'' vorzusehen und damit durch unterschiedliche Gasdrücke in der Gaszufuhrleitung 7' und der Gasabfuhrleitung 7'' ein Gaslager 5 zwischen dem Innenring 4 und der Außenfassung 1 zu erzeugen. In diesem Fall sind nur zwei ringförmige Aussparungen 5 in dem Innenring 4 notwendig.
  • Eine Positionierung des Innenrings 4 erfolgt berührungslos durch radial an der Außenfassung 1 angebrachte Aktuatoren 8 bzw. durch wenigstens einen Aktuator. Die Aktuatoren bzw. die Stellelemente 8 können Magnete und/oder Elektromagnete und/oder Luftdüsen umfassen oder als solche ausgeführt werden. Gemäß dem Ausführungsbeispiel in 1 sind sie als Elektromagnete ausgeführt, wobei zur Aktivierung der Elektromagnete jeweils Spulenkörper 9 eingesetzt werden. Durch unterschiedliche Bestromung der Elektromagnete kann ohne Gelenkgetriebe und ohne Untersetzung die Bewegung des Innenrings 4 linear in die geforderte Richtung erfolgen und so der Innenring 4 mit dem optischen Element 2 hochgenau positioniert werden, ohne dass parasitäre Einflüsse, wie z.B. Kippbewegungen, auf das zu manipulierende optische Element 2 eingeleitet werden. Für die berührungslose Manipulation des Innenrings 4 durch die Elektromagnete bzw. wenigstens eines Elektromagnets muss dieser einen magnetischen bzw. magnetisierbaren Werkstoff umfassen, wobei der Innenring 4 auch Permanentmagnete umfassen kann, um eine Manipulation z.B. mit wenigstens einem Elektromagnet zu ermöglichen. Alternativ oder zusätzlich zu den Elektromagneten, die auch als Maxwell-Aktuatoren bezeichnet werden, können auch kraftgesteuerte Aktuatoren, wie z.B. Lorentzaktuatoren eingesetzt werden.
  • Bei Einsatz von Luftdüsen als Aktuatoren 8, wobei Luftaustrittsöffnungen der Luftdüsen in Richtung auf den Innenring 4 gerichtet sind, kann eine Bewegung und Positionierung des Innenrings 4 durch Einstellung von unterschiedlichen Gas- bzw. Luftdrücken an den Luftaustrittsöffnungen erfolgen.
  • Ferner sind auch Aktuatoren einsetzbar, die auf dem Prinzip der Elektrostatik beruhen.
  • 2 zeigt die optische Abbildungsvorrichtung 1a mit der Lagerung aus 1 in der Draufsicht. In dem dargestellten Ausführungsbeispiel sind acht in einem Abstand zueinander angeordnete Aktuatoren 8 in der Außenfassung 1 vorgesehen. Dadurch kann eine Totalentkopplung von parasitären Einflüssen in Bezug auf Deformationen des Innenrings 4 und Spannungen in den Gelenkanbindungen wie bei herkömmlichen Manipulatoren gewährleistet werden.
  • Die Lagerung durch das Lager 5, vorzugsweise ein Gaslager und/oder magnetisches Lager, kann aber auch zur Einbringung von Deformationen in das optische Element 2 vorgesehen werden, wobei hier je nach Anzahl von Aktuatoren 8 eine entsprechende Deformation eingebracht werden kann. Durch gegenphasiges Ansteuern von z.B. jeweils gegenüberliegenden Aktuatoren 8 kann eine gewünschte astigmatische oder auch höherwellige Verformung in das optische Element 2 eingebracht werden. Beispielsweise können mit wenigstens drei Aktuatoren 8 eine Dreiwelligkeit und mit wenigstens vier Aktuatoren 8 ein Astigmatismus erzeugt werden.
  • Eine Einstellung einer Kippung des optischen Elements 2 kann mit einer derartigen Lagerung auch vorgesehen werden, wobei in diesem Fall das Lager 5 in zwei oder mehrere am Umfangsbereich zwischen Innenring 4 und Außenfassung 1 angeordnete Lagersegmente aufzuteilen ist, welche im Falle von Gaslagerung ebenfalls zusätzlich noch Gaszufuhr- und Gasabfuhrleitungen aufweisen sollten. Durch Vorsehen von unterschiedlichen Drücken in den Gaszufuhr- und Gasabfuhrleitungen und je nach Anzahl der Lagersegmente kann dann eine Kippung des optischen Elements 2 um eine oder mehrere Achsen vorgenommen werden. Entsprechende Ausführungen sind mittels elektromagnetischer Lager möglich, die dann zum Kippen des optischen Elements 2 unterschiedlich angesteuert werden. Gleiches gilt für die anderen genannten Lagerungsmöglichkeiten.
  • Des weiteren befinden sich auf der Einrichtung zur Manipulation wenigstens zwei Sensoren 10, welche an den Aktuatoren 8 angebracht sind und die die Bewegung der Aktuatoren 8 bei der Positionierung des Innenrings 4 in Stellrichtung messen. Die Sensoren 10 sind als optische Weglängenmesssysteme ausgebildet. In 2 ist jedem Aktuator 8 ein Sensor 10 zugeordnet. Es ist aber auch möglich, wie in 3 ersichtlich, bei Anordnung von nur drei Aktuatoren 8 in einem Abstand von 120° die Sensoren 10 jeweils gegenüberliegend zu den Aktuatoren 8, also ebenfalls in einem 120°-Abstand, anzuordnen, um die Bewegung der Aktuatoren 8 und damit die Verschiebung des Innenrings 4 zu messen. Selbstverständlich sind auch andere Anordnungen der Sensoren 10 zur Erfassung der Position des Innenrings 4 gegenüber der Außenfassung 1 möglich. Über die Sensoren 10 ist der durch die Aktuatoren 8 zurückgelegte Weg für den Innenring 4 und damit letztendlich für das gesamte optische Element 2 exakt bestimmbar. Über die Lagerung lässt sich somit eine exakte Regelung der Bewegung des optischen Elements 2 realisieren.
  • Zusätzlich kann, wenn erwünscht, durch eine Gasdruckregelung in den Gaszufuhr- und Gasabfuhrleitungen 7' und 7" die z-Lage (optische Achse) des optischen Elements 2 bzw. des Innenrings 4, dargestellt durch den Pfeil in 1, beeinflusst werden, wobei z die Richtung der optischen Achse des optischen Elements 2 darstellt. Beispielsweise kann der Druck in der Gaszufuhrleitung 7' erhöht werden, um so eine Verschiebung des Innenring 4 mit dem optischen Element 2 in z-Richtung nach oben zu ermöglichen. Eine Gasminderung in der Gaszufuhrleitung 7' ermöglicht demnach eine Verschiebung des Innenrings 4 mit dem optischen Element 2 in z-Richtung nach unten. Zur genauen Kontrolle der Positionierung in z-Richtung bzw. in axialer Richtung kann ebenfalls wenigstens ein Sensor 10 eingesetzt werden, welcher in der Nähe des Gaslagers 5 angeordnet sein sollte, um eine genaue Position des Innenrings 4 gegenüber der Außenfassung 1 bestimmen zu können. Der wenigstens eine Sensor 10 ist in den 1, 2 und 3 nicht dargestellt.
  • Ein besonderer Vorteil der Lagerung des Innenrings 4 über ein Lager 5 entsprechend der vorliegenden Erfindung, z.B. ein Gaslager relativ zur Außenfassung 1 ist, dass alle Komponenten in die Manipulatoreinrichtung integriert werden können und somit eine exakte Regelung der Bewegung des optischen Elements 2 realisiert werden kann. Des weiteren kann mit dieser optischen Abbildungsvorrichtung 1a die Position des Innenrings 4 aktiv geregelt werden, was die Qualität der optischen Abbildungsvorrichtung 1a wesentlich erhöht.
  • Durch die Manipulatoreinrichtung für das optische Element 2 wird ein sehr leistungsfähiges System und somit eine höchstgenaue Positionierung des optischen Elements 2 möglich. Ein bevorzugtes Einsatzgebiet einer derartigen Einrichtung betrifft die Manipulation von optischen Elementen, wie Linsen oder Spiegel, in der Mikrolithographie.
  • Weitere Ausführungsformen der Erfindung ergeben sich auch durch Austausch und/oder Kombination von Merkmalen einzelner Ausführungsformen, wie sie beschrieben wurden bzw. wie sie sich auch aus den Unteransprüchen ergeben.

Claims (25)

  1. Optische Abbildungsvorrichtung mit wenigstens einem optischen Element, das mit einer Außenfassung, einem Innenring, in dem das optische Element gelagert ist, und einer Manipulatoreinrichtung mit wenigstens einem Aktuator versehen ist, dadurch gekennzeichnet, dass in wenigstens einem Freiheitsgrad eine berührungslose Anbindung des Innenrings (4) an die Außenfassung (1) mittels eines zwischen Innenring (4) und Außenfassung (1) angeordneten Lagers (5) vorgesehen ist, wobei zur Lagerung und/oder Positionierung und/oder Manipulation des Innenrings (4) gegenüber der Außenfassung (1) die Manipulatoreinrichtung wenigstens einen Aktuator (8) aufweist, dessen Stellkräfte und/oder Lagerkräfte berührungslos auf den Innenring (4) wirken.
  2. Optische Abbildungsvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Lager (5) eine magnetische und/oder eine elektromagnetische Lagerung umfasst.
  3. Optische Abbildungsvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Lager (5) ein Fluidlager umfasst.
  4. Optische Abbildungsvorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass das Fluidlager ein Gaslager umfasst.
  5. Optische Abbildungsvorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass das Gaslager (5) wenigstens eine Gaszufuhrleitung (7') und wenigstens eine Gasabfuhrleitung (7'') aufweist.
  6. Optische Abbildungsvorrichtung nach Anspruch 4 oder 5, dadurch gekennzeichnet, dass als Gas für das Gaslager (5) Luft vorgesehen ist.
  7. Optische Abbildungsvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der wenigstens eine Aktuator (8) einen Elektromagnet und/oder einen Permanentmagnet und/oder einen kraftgesteuerten Aktuator, wie z.B. einen Lorentzaktuator umfasst, der in der Außenfassung (1) und/oder im Innenring gelagert ist.
  8. Optische Abbildungsvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass wenigstens zwei Aktuatoren (8) als Luftdüsen ausgebildet sind, deren Luftaustrittsöffnungen in Richtung auf den Innenring (4) gerichtet sind.
  9. Optische Abbildungsvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Außenfassung (1) mit mechanischen Endanschlägen (6) zur Wegbegrenzung des Innenrings (4) versehen ist.
  10. Optische Abbildungsvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Innenring (4) mit wenigstens zwei ringförmigen Aussparungen (5') versehen ist, welche an einer zu der Außenfassung (1) angrenzenden Seite des Innenrings (4) eingebracht sind und welche mit der in der Außenfassung (1) angeordneten wenigstens einen Gaszufuhrleitung (7') und der wenigstens einen Gasabfuhrleitung (7'') verbunden sind.
  11. Optische Abbildungsvorrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass eine ringförmige Aussparung (5'), die mit der wenigstens einen Gaszufuhrleitung (7') verbunden ist, von zwei auf Abstand davon angeordneten Aussparungen (5') umgeben ist, die radial innen und radial außen von der ringförmigen Aussparung (5') liegen, und die jeweils mit einer Gasabfuhrleitung (7'') verbunden sind.
  12. Optische Abbildungsvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass zur Positionsbestimmung des Innenrings (4) in radialer Richtung gegenüber der Außenfassung (1) wenigstens zwei Sensoren (10) vorgesehen sind.
  13. Optische Abbildungsvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch ge kennzeichnet, dass wenigstens ein Sensor (10) zur Positionsbestimmung des Innenrings (4) in axialer Richtung (z-Lage) gegenüber der Außenfassung (1) vorgesehen ist.
  14. Optische Abbildungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 13, dadurch gekennzeichnet, dass das Lager (5) wenigstens zwei am Umfangsbereich zwischen Innenring (4) und Außenfassung (1) angeordnete Lagersegmente umfasst.
  15. Optische Abbildungsvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass drei Aktuatoren (8) vorgesehen sind, welche in einem Abstand von jeweils 120° in der Außenfassung (1) gelagert sind.
  16. Optische Abbildungsvorrichtung nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, dass zur Positionsbestimmung des Innenrings (4) gegenüber der Außenfassung (1) drei Sensoren (10) vorgesehen sind, welche jeweils in einem Abstand von jeweils 120° gegenüberliegend zu den Aktuatoren (8) angeordnet sind.
  17. Optische Abbildungsvorrichtung nach Anspruch 12, 13 oder 16, dadurch gekennzeichnet, dass die Sensoren (10) als optische Weglängenmesssysteme ausgebildet sind.
  18. Projektionsobjektiv für die Mikrolithographie mit wenigstens einem optischen Element, das mit einer Außenfassung, einem Innenring, in dem das optische Element gelagert ist, und einer Manipulatoreinrichtung mit wenigstens einem Aktuator versehen ist, dadurch gekennzeichnet, dass in wenigstens einem Freiheitsgrad eine berührungslose Anbindung des Innenrings (4) an die Außenfassung (1) mittels eines zwischen Innenring (4) und Außenfassung (1) angeordneten Lagers (5) vorgesehen ist, wobei zur Lagerung und/oder Positionierung und/oder Manipulation des Innenrings (4) gegenüber der Außenfassung (1) die Manipulatoreinrichtung wenigstens einen Aktuator (8) aufweist, dessen Stellkräfte und/oder Lagerkräfte berührungslos auf den Innenring (4) wirken.
  19. Projektionsobjektiv nach Anspruch 18, dadurch gekennzeichnet, dass das Lager (5) ein Fluidlager und/oder ein Gaslager umfasst.
  20. Projektionsobjektiv nach Anspruch 19, dadurch gekennzeichnet, dass das Gaslager (5) wenigstens eine Gaszufuhrleitung (7') und wenigstens eine Gasabfuhrleitung (7'') aufweist.
  21. Projektionsobjektiv nach Anspruch 19 oder 20, dadurch gekennzeichnet, dass als Gas für das Gaslager (5) Luft vorgesehen ist.
  22. Projektionsobjektiv nach Anspruch 18, dadurch gekennzeichnet, dass der wenigstens eine Aktuator (8) einen Elektromagnet und/oder einen Permanentmagnet umfasst, welche in der Außenfassung (1) und/oder im Innenring gelagert ist.
  23. Projektionsobjektiv nach Anspruch 18 und 20, dadurch gekennzeichnet, dass der Innenring (4) mit wenigstens zwei ringförmigen Aussparungen (5') versehen ist, welche an einer zu der Außenfassung (1) angrenzenden Seite des Innenrings (4) eingebracht sind und welche mit der in der Außenfassung (1) angeordneten wenigstens einen Gaszufuhrleitung (7') und der wenigstens einen Gasabfuhrleitung (7'') verbunden sind.
  24. Projektionsobjektiv nach Anspruch 18, dadurch gekennzeichnet, dass zur Positionsbestimmung des Innenrings (4) in radialer Richtung gegenüber der Außenfassung (1) wenigstens zwei Sensoren (10) vorgesehen sind.
  25. Projektionsobjektiv nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, dass wenigstens ein Sensor (10) zur Positionsbestimmung des Innenrings (4) in axialer Richtung (z-Lage) gegenüber der Außenfassung (1) vorgesehen ist.
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