DE10025410A1 - Interferometrische Positionsmesseinrichtung - Google Patents
Interferometrische PositionsmesseinrichtungInfo
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Abstract
Die Maßverkörperung (10) der Positionsmesseinrichtung verfügt über mikrostrukturierte Segmente (1), welche als transmissive Phasengitter ausgebildet sind. Die Stufenhöhe d der Phasengitter (1) ist derart dimensioniert, dass die optische Weglängendifferenz beim Durchlauf des Lichtes durch das Beugungsgitter einem ungeradzahligen Vielfachen von lambda/2 entspricht, sodass in der nullten Beugungsordnung ein Minimum liegt. Die Gitterkonstante g des Phasengitters (1) sollte dabei hinreichend klein sein, sodass die +- 1. Beugungsordnungen bereits nicht mehr vom Empfänger (30) detektiert werden. Die Maßverkörperung (10) weist dabei codierte Segmente auf, die mikrostrukturiert sind (1) und solche, die unstrukturiert sind. Der photoelektrische Empfänger (30) beinhaltet entsprechend ein Array von lichtempfindlichen Flächen, wobei jedem abzutastenden Codefeld auf der Maßverkörperung (10) mindestens ein Empfängerfeld auf dem Empfänger (30) zugeordnet ist.
Description
Die vorliegende Erfindung betrifft eine optische Positionsmesseinrichtung nach dem
Oberbegriff des Anspruches 1. Die Erfindung kann insbesondere als Längen- oder als
Winkelmesseinrichtung gemäß DIN Norm 32 878 ausgestaltet sein.
Bisherige optische Positionsmesseinrichtungen basieren auf dem Grundprinzip der optischen
Abtastung eines Strichgitters mit Hell-/Dunkelfeldern mit einer Auflösung von etwa 40 µm
bis einige tausend µm. Derartige Positionsmesseinrichtungen können insbesondere linear als
Längenmesseinrichtung oder rotativ als Drehwinkelmeßsysteme ausgestaltet sein. In einer
linearen Ausführung befindet sich das Strichgitter auf einem linearen Maßstab, während in
der Winkelmessausführung das Strichgitter auf einer runden Codescheibe angebracht ist. Die
Codestrukturen werden dabei in der Regel aus einer dünnen Chromschicht, welche auf Glas
oder Kunststoff aufgebracht ist, herausgeätzt.
Eine Verringerung der Breite des Strichgitters ist begrenzt durch die dann eintretenden
Beugungserscheinungen infolge von Interferenz des Lichtes. Somit ist die Realisierung hoher
Auflösungen oder die Herstellung von Drehgebern mit sehr kleinem Scheibendurchmesser
aufgrund von wellenoptischen Effekten begrenzt. Um dennoch eine relativ hohe Auflösung
auch bei kleinen Scheibendurchmessern zu gewährleisten, wird nach dem bisherigen Stand
der Technik die Distanz zwischen der das Strichgitter tragenden Codescheibe und dem
photoelektrischen Empfänger auf wenige zehntel Millimeter reduziert. Die sich aus dieser
Konstruktion ergebenden Nachteile liegen neben dem hohen Positionieraufwand bei der
Fertigung in der aufwendigen Lagerung, insbesondere bei eigenlagerlosen
Positionsmesseinrichtungen resp. Drehgebern. Hier muss die Lagerung oftmals wesentlich
genauer und damit teurer ausgeführt werden, als dies etwa die Funktion der (Motor-)Achse
an sich erfordert hätte.
Bisherige Interferometrie-Verfahren zur Positionsmessung, wie etwa in der europäischen
Patentanmeldung EP 0 849 567 A2 beschrieben, nutzen neben dem Maßstabsgitter ein
weiteres, ruhendes Gitter vor dem Empfänger. Nachteilig hierbei ist die geringe
Fertigungstoleranz der Gitterkonstanten, sowie die geringe Lagetoleranz bezüglich Kippen
und Verdrehen bei der Relativführung beider Gitter zueinander aufgrund des Moiré-Effektes.
Da diese Toleranzen im Bereich der Gitterkonstanten (g) liegt, also höchstens einigen µm, ist
ein derartiges Verfahren nur mit sehr großem Aufwand bezüglich der Lagerung (bei
Winkelmessung) bzw. der Führung (bei linearer Positionsmessung) und somit zu
entsprechend hohen Kosten realisierbar.
Beschrieben wird ein optisches interferometrisches Verfahren, sowie eine entsprechende
Vorrichtung zur Messung von Positionen, i. e. Winkel oder Längen, welche inkremental oder
absolut detektiert werden können und obige Nachteile bisheriger Beugungsgitteranordnungen,
sowie der klassischen Strichgitter nicht aufweisen.
Insbesondere treten keine nachteiligen Moiré-Effekte auf, da nur ein Beugungsgitter benutzt
wird. Die Auflösung kann dabei gegenüber den klassischen Strichgittern trotz hoher Toleranz
bei um Größenordnungen länger realisierbarem Abstand zwischen Empfänger und
Maßverkörperung erheblich gesteigert werden. Damit werden insbesondere kleine und
preiswerte Drehwinkelmesseinrichtungen, sowie eigenlagerlose Drehwinkelmeßsysteme mit
relativ hoher Fertigungs- und Lagertoleranz möglich.
Darüber hinaus ist es im Gegensatz zu herkömmlichen Maßverkörperungen (10) mit Hell-/
Dunkelfeldern möglich, dass der Abstand zwischen der Maßverkörperung (10) und dem
photoelektrischen Empfänger (30) einige Millimeter betragen kann, wodurch auf eine
hochpräzise Lagerung resp. Führung der Positionsmesseinrichtung verzichtet werden kann.
Insbesondere sind eigenlagerlose Messanordnungen ohne spezielle Vorkehrungen zur
präzisen Lagerung des zu messenden Antriebssystems realisierbar. Somit kann die
vorhandene Lagerung des Motors bzw. des Antriebes mitverwendet werden.
Ein weiterer Vorteil der Anwendung eines Beugungsgitterarrays liegt in der Miniaturisierung
der Codesegmente. Damit lässt sich zum einen die Auflösung vergrößern und zum anderen
die Maßverkörperung verkleinern. Somit werden nunmehr auch Anwendungen etwa von
Codescheiben zur Winkelmessung auch in Miniaturmotoren ermöglicht.
Es handelt sich erfindungsgemäß um ein Transmissionsverfahren, bei welchem als
Maßverkörperung (10) eine Codescheibe aus transparentem Material, wie etwa Kunststoff
oder Glas, räumlich zwischen einer Lichtquelle (20) und einem photoelektrischen Empfänger
(30) angeordnet ist. Vermittels der Bewegung der Codescheibe werden optische Signale
moduliert, welche in dem photoelektrischen Empfänger (30) in elektrische Signale
umgewandelt und weiterverarbeitet werden. Hierzu weist die Codescheibe (10) an ihrer
Oberfläche Codestrukturen auf, die aus Segmenten (2) bestehen, die unstrukturiert sind, sowie
aus Segmenten (1), die mikrostrukturiert sind. Dabei bestehen die mikrostrukturierten
Segmente (1) aus optisch transmissiven Phasengittern. Das bezeichnete optische Gitter
fungiert als Beugungsgitter mit einer Gitterkonstante g und einer Stufenhöhe d, und ist
dadurch gekennzeichnet, dass es bei Bestrahlung mit Licht der Wellenlänge λ in der nullten
Ordnung eine Auslöschung aufweist.
Die mikrostrukturierten Teile (1) der Codescheibe (10) beugen das Licht zur Seite und stellen
somit Dunkelfelder dar, während die unstrukturierten Stellen (2) der Scheibe (10) das Licht
ungebeugt durchlassen und somit als Hellfelder fungieren. Im Gegensatz zu bisherigen
interferometrischen Systemen werden die Dunkelfelder somit vermittels der
Interferenzeffekte generiert.
Die einzelnen Segmente stellen etwa inkrementelle oder absolute Codierungen dar, wobei als
inkrementelle Codierung in der Regel Hell- und Dunkelfelder derselben Größe periodisch
abwechseln. Für eine absolute Codierung werden entweder mehrere Bahnen benötigt, welche
gleichzeitig abgetastet werden oder es werden mehrere Codefelder hintereinander gleichzeitig
empfängerseitig erfasst. Mögliche Codierungsarten sind etwa der Gray-Code oder der Binär-
Code.
Vorteilhafterweise, jedoch nicht zwingend notwendig, ist ein abbildendes optisches System
(40) räumlich vor der photoelektrischen Abtasteinheit (30) angeordnet.
Anschließend wird die Erfindung anhand der beigefügten Zeichnungen en detail erläutert und
weiter ausgeführt. Es zeigen die
Fig. 1 das Phasengitter mit einfallendem parallelem Licht,
Fig. 2 unstrukturierte (2), sowie mikrostrukturierte (1) Bereiche auf der Codescheibe
(10),
Fig. 3 die prinzipielle Anordnung der Positionsmeßeinrichtung, bestehend aus
Lichtquelle (20), Maßverkörperung (10) und Empfänger (30),
Fig. 4 eine Anordnung von Sender (20) und Empfänger (30) auf einem Substrat auf
derselben Seite der Maßverkörperung (10) und
Fig. 5 eine Anordnung eines Ausschnittes der Maßverkörperung (10), sowie des
Empfängers (30) mit fünf photoelektrischen Feldern und den zugehörigen
elektrischen Signalen S1 bis S5.
In der Fig. 1 ist die geometrische Struktur des Beugungsgitters (1) als mikrostrukturierter
Part der Maßverkörperung (10), sowie ihre Wirkung auf ein einfallendes Lichtbündel (A), (B)
gezeigt. Die Gitterkonstante (g) bezeichnet die Periodenlänge der periodischen Gitterstruktur.
Als Phasengitter wird hierbei die unterschiedliche Schichtdicke bzw. Stufenhöhe (d) wirksam.
Bei geeigneter Wahl der Stufenhöhe in Abhängigkeit von dem Brechungsindex des Gitters,
sowie der Wellenlänge des emittierten Lichtes, erzeugt das Phasengitter eine optische
Weglängendifferenz der Teilstrahlen (A) und (B) von λ/2, wodurch sich eine Auslöschung der
nullten Beugungsordnung ergibt. Dieser Zusammenhang wird anschließend erläutert:
Ein Phasenversatz von λ/2 der transmittierten Lichtbündel führt zur Auslöschung der nullten
Beugungs-Ordnung. Weist das Gittermaterial einen Brechungsindex n auf, so legen die
Lichtbündel (A) und (B) die Strecke aufgrund der unterschiedlichen Geschwindigkeiten in
Luft und im Gitter in unterschiedlichen Zeiten tA und tB zurück. Es ist tA = d/c und tB = nd/c.
Daraus resultiert eine optische Wegdifferenz der Strahlenbündel (A) und (B) von c (tB - tA) =
d (n - 1) = n d - d. Entspricht diese Wegdifferenz einem Phasenversatz von λ/2, oder einem
ungeradzahligen Vielfachen von λ/2, so erreicht man eine Auslöschung der nullten Ordnung.
Somit folgt als Bedingung für die Stufenhöhe d des Gitters bei einer Wegdifferenz von λ/2 : d
= λ/(2(n-1)).
Beträgt der Brechungsindex des Transmissions-Gitters beispielsweise n = 1,5, so erhält man
für die Stufenhöhe d des Gitters die Bedingung d = λ. Die Stufenhöhe d entspricht in diesem
Fall also genau der Wellenlänge λ des emittierten Lichtes.
Das Aspektverhältnis A, welches den Quotienten aus der Strukturhöhe und den minimalen
lateralen Strukturdetails der Maßverkörperung (10) bezeichnet, beträgt beispielsweise bei
einer Dicke der Maßverkörperung (10) von 500 µm = 1/2 mm und mit einer Gitterkonstanten g
= 2λ mit λ = 0,88 µm (IR-Licht) etwa A = 284.
Die Fig. 2 zeigt schematisch ein auf die Maßverkörperung (10) einfallendes Lichtbündel
(→). An den unstrukturierten Stellen (2) der Maßverkörperung (10) passiert das Licht die
Maßverkörperung (10) ungebeugt, während es an den als Beugungsgitter mikrostrukturierten
Stellen (1) aufgrund von Interferenz gebeugt wird. Die Gittergleichung lautet nun z λ = g
(sinα - sinß), wobei die ganze Zahl z die Beugungsordnung angibt, g die Gitterkonstante, und
α den Beugungswinkel sowie β den Einfallswinkel gemessen zum Lot bezeichnet.
Bei senkrechtem Einfall des Lichtes auf das optische Beugungsgitter (1) entsteht das
Lichtmaximum der ersten Ordnung somit in einem Beugungswinkel α, welcher der
Bedingung sin α = λ/g genügt. Beispielsweise ergibt sich mit g = 2λ ein Beugungswinkel
von α = 30°. Die Gitterkonstante sollte hinreichend klein gewählt sein, sodass bereits die ± 1.
Beugungsordnungen vom Empfänger nicht mehr detektiert werden. Bei g << λ tritt Streuung
auf.
Da die Beugungswinkel abhängig sind von der Wellenlänge λ des verwendeten Lichtes, ist
eine geringe Bandbreite des emittierten Lichtes von Vorteil, um eine Aufweitung der
Beugungsordnungen aufgrund von Dispersion zu vermeiden. Ein weiterer Grund hierfür liegt
in der Tatsache, dass die Interferenz nur bei hinreichend kohärentem Licht auftritt. Für die
Kohärenzlänge L gilt näherungsweise L ~ λ2/Δλ. Je kleiner also die Bandbreite Δλ des
emittierten Lichtes, desto größer ist die Kohärenzlänge L. Bei einer Wellenlänge λ = 880 nm
und einer Bandbreite Δλ = 50 nm erhält man eine ausreichende Kohärenzlänge von L = 15,5 µm.
Die Fig. 3 zeigt den schematischen Aufbau der Positionsmesseinrichtung: Das Licht eines
Lichtsenders (20) wird mittels einer Bikonvexlinse (22) zu einem parallelen Lichtbündel
kollimiert. Diese Linse (22) kann jedoch auch fehlen, da auch divergentes Licht verwendet
werden kann. Nach der Transmission des emittierten Lichtes durch die Maßverkörperung (10)
erfährt das Licht an den mikrostrukturierten Gittern (1) Beugung, während es die nicht-
strukturierten Stellen (2) die Maßverkörperung (10) ungehindert passiert. Während die
gebeugten Strahlen erster und höherer Ordnung an dem Empfänger (30) vorbei geleitet
werden, fallen die ungebeugten Strahlen auf den photoelektrischen Empfänger (30) und
werden dort detektiert, indem sie aufgrund des lichtelektrischen Effektes in elektrische
Signale transformiert werden.
Optional kann ein abbildendes System (40) vor dem Empfänger (30) angeordnet werden,
bestehend aus einer Linse (42), sowie einer die Linse (42) einfassende lichtundurchlässige
Blende (43). Möglich ist jedoch auch die Verwendung einer Blende (43) allein, um das
Seitenlicht abzuschatten. Ist die Blende hinreichend klein, so wirkt sie als camera obscura
und hat somit bereits Abbildungseigenschaften.
In der Regel sind Sender (20) und Empfänger (30) aufgrund der transmissiven Anordnung auf
verschiedenen Seiten der Maßverkörperung (10) angeordnet. Die Fig. 4 zeigt jedoch eine
alternative Anordnung von Sender (20) und Empfänger (30) auf derselben Seite der
Maßverkörperung (10). Vorteilhafterweise können Sender (20) und Empfänger (30) dabei auf
demselben Substrat, etwa einer Leiterplatte, montiert sein. Hierzu wird das vom Sender
divergent abgestrahlte Licht zunächst mittels einer Kollimatorlinse (22) zu einem hinreichend
parallelen Lichtbündel zusammengefasst, seitlich an der Maßverkörperung (10) vorbeigeführt
oder an durchsichtigen Stellen der Maßverkörperung (10) durch dieselbe hindurchgeführt und
mittels eines Prismas (25) oder verspiegelter Flächen hinter der Maßverkörperung (10)
umgelenkt, sodaß das Licht durch die teilstrukturierten Bereiche der Maßverkörperung (10)
hindurch auf den photoelektrischen Empfänger (30) fällt.
In der Fig. 5 ist ein Ausschnitt einer Spur etwa einer inkremental codierten
Maßverkörperung (10), sowie des photoelektrischen Empfängers (30) zu erkennen. Dabei
sind den einzelnen Code-Segmenten (1) und (2) der Maßverkörperung (10) gerasterte
Empfängersegmente seitens des optischen Chips zugeordnet, welche aufgrund der optischen
Einstrahlung entsprechende elektrische Signale S1 bis S5 generieren. Um den Offset der
Signale zu eliminieren, der zum Teil durch Streulicht, sowie aufgrund der nicht vollständigen
Abschattung hervorgerufen wird, findet eine differentielle Weiterverarbeitung der
elektrischen Signale der Hell- und Dunkelfelder statt. Bei einer Mehrfachabtastung etwa einer
inkrementalen Codierung, wie in Fig. 5 dargestellt, kann das Signal einer Spurabtastung
etwa mittels S1 - S2 + S3 - S4 gebildet werden.
Die Maßverkörperung (10) besteht aus einem transparenten Grundkörper, welcher eine
codierte Mikrostrukturierung in Form eines Arrays von Beugungsgittern enthält. Dabei setzt
sich die Codierung aus zwei unterschiedlichen Codearten zusammen: Unstrukturierte Felder
(2) fungieren dabei als Hellfelder, mikrostrukturierte Beugungsgitterfelder (1) als
Dunkelfelder. Die Codierung in Hell- und Dunkelfelder geschieht mit einer Auflösung von
etwa 10 µm bis 40 µm. Die Gitterstruktur innerhalb der Dunkelfelder liegt im
Mikrometerbereich. Die Abtastung geschieht somit analog zur Abtastung im klassischen Fall
der Nutzung von Codefeldern in der Hell-/Dunkelfeld-Technologie, welche auf der Teil-
Abschattung durch geätzte Chromschichten basiert.
Als mikrostrukturierbares Material für die Maßverkörperung bieten sich für die
Beugungstechnologie neben Quarzglas, Cerodur und Silizium insbesondere auch
Kunststoffmaterialien, insbesondere Thermoplaste an. So können neben Polycarbonat (PC)
etwa auch PMMA, POM, PVDF und PSU eingesetzt werden. Mit diesen Materialien können
obere Gebrauchstemperaturen bis 170°C erreicht werden. Als preiswerte
Fertigungstechnologien auch von größeren Stückzahlen kommen hierbei insbesondere das
Heißprägen und das Mikro-Spritzgießen in Betracht. Mit beiden Verfahren sind
Aspektverhältnisse bis über 500 möglich.
Der photoelektrische Empfänger (30) weist ein Array von photoelektrisch sensiblen Schichten
auf, wobei jedem abzutastenden Codefeld auf der Maßverkörperung (10) mindestens ein
Empfängerfeld auf dem Empfänger (30) zugeordnet ist. Bei einer inkrementellen oder auch
einer absoluten Codierung genügt in der Regel die Abtastung lediglich eines Teiles der
Maßverkörperung (10). Im Falle einer Längenmessung ist die Maßverkörperung (10) linear.
Im Falle einer Winkelmessung ist die Maßverkörperung (10) in der Regel kreisförmig auf
einer Codescheibe angeordnet. Um etwa eine Exzentrizität der Codescheibe auszugleichen,
kann es in diesem Fall von Vorteil sein, die gesamte Codescheibe abzutasten.
Durch differentielle Abtastung der Hell- und Dunkelfelder wird der Offset, der verursacht
wird durch nicht vollständige Abschattung in den Dunkelfeldern, kompensiert.
In der Signalverarbeitung schließlich werden die ermittelten Signale des Empfängers (30)
verstärkt, decodiert, eventuell interpoliert und zur Übertragung über eine elektrische
Schnittstelle, insbesondere via ein Bussystem, aufbereitet.
Ferner ist es möglich, sowohl eine inkrementale, als auch eine absolute Codierung auf der
Maßverkörperung (10) vorzusehen. Zur Abtastung der Codes ist es denkbar, entweder einen
einzigen Empfänger (30) vorzusehen, oder je einen Empfänger (30) zur Abtastung der
inkrementalen und der absoluten Spur einzusetzen, wobei auch der Fall denkbar ist, dass in
einer preiswerten Version eines inkrementalen Drehgebers nur der Abtaster für die
inkrementale Spur montiert wird.
Die Erfindung kann dabei insbesondere bei Längen- und Winkelmeßsystemen Anwendung
finden.
λ Wellenlänge des Lichtes
Δλ Bandbreite des emittierten Lichtes
n Brechungsindex der Codescheibe
g Gitterkonstante des Gitters
d Stufenhöhe des Gitters
z Beugungsordnung
a Beugungswinkel des Beugungsmaximums
Δλ Bandbreite des emittierten Lichtes
n Brechungsindex der Codescheibe
g Gitterkonstante des Gitters
d Stufenhöhe des Gitters
z Beugungsordnung
a Beugungswinkel des Beugungsmaximums
1
. Ordnung
β Einfallswinkel
A Aspektverhältnis = Strukturhöhe/minimale laterale Strukturdetails
β Einfallswinkel
A Aspektverhältnis = Strukturhöhe/minimale laterale Strukturdetails
1
Transmissions-Phasengitter als mikrostrukturiertes Segment der Codescheibe (
10
)
2
transparentes, unstrukturiertes Segment der Codescheibe (
10
)
10
Maßverkörperung
20
Lichtsender
22
Sender-Kollimatorlinse
25
Prisma
30
photoelektrischer Empfänger
40
abbildendes System
42
Empfänger-Kollimatorlinse
43
Blende
Claims (8)
1. Interferometrische Positionsmeßeinrichtung zur Messung der Relativlage zweier
zueinander beweglicher Objekte mit einer Maßverkörperung, einem Lichtsender und einem
lichtempfindlichem Empfänger nach dem Transmissionsverfahren, wobei das vom
Lichtsender (20) emittierte Licht nach der Transmission durch die Maßverkörperung (10) auf
den Empfänger (30) gelangt, dadurch gekennzeichnet, dass
der Lichtsender (20) Licht der Wellenlänge λ mit verhältnismäßig kleiner Bandbreite emittiert,
X der Empfänger (30) ein photoelektrisches, strukturiertes Raster zur Detektion von Licht aufweist,
die Maßverkörperung (10) codierte Segmente (1), (2) aufweist, wobei die Segmente (1) eine transmissive Phasengitterstruktur (1) zur Beugung des Lichtes tragen und die Segmente (2) unstrukturiert und transparent sind,
diese Phasengitter (1) bei Bestrahlung von Licht mit der Wellenlänge λ in der nullten Beugungsordnung eine Licht-Auslöschung aufweisen.
der Lichtsender (20) Licht der Wellenlänge λ mit verhältnismäßig kleiner Bandbreite emittiert,
X der Empfänger (30) ein photoelektrisches, strukturiertes Raster zur Detektion von Licht aufweist,
die Maßverkörperung (10) codierte Segmente (1), (2) aufweist, wobei die Segmente (1) eine transmissive Phasengitterstruktur (1) zur Beugung des Lichtes tragen und die Segmente (2) unstrukturiert und transparent sind,
diese Phasengitter (1) bei Bestrahlung von Licht mit der Wellenlänge λ in der nullten Beugungsordnung eine Licht-Auslöschung aufweisen.
2. Interferometrische Positionsmeßeinrichtung nach Patentanspruch 1, dadurch
gekennzeichnet, dass
zwischen der Maßverkörperung (10) und dem Empfänger (30) ein optisch abbildendes System
(40) angeordnet ist.
3. Interferometrische Positionsmeßeinrichtung nach Patentanspruch 1, dadurch
gekennzeichnet, dass
für die Winkelmessung die Maßverkörperung (10) als Codescheibe ausgestaltet ist, wobei als
Gitter (1) ein Strichgitter verwendet wird, deren Striche radial nach außen weisen.
4. Interferometrische Positionsmeßeinrichtung nach Patentanspruch 1 mit einer
transmissiven Maßverkörperung mit Brechungsindex n, dadurch gekennzeichnet, dass
die Stufenhöhe d des Phasengitters (1) bei Beleuchtung mit Licht der Wellenlänge λ der
Relation d = λ/(2(n - 1)) entspricht.
5. Interferometrische Positionsmeßeinrichtung nach Patentanspruch 1, dadurch
gekennzeichnet, dass
als Empfänger (30) ein System-on-Chip (SoC) auf Silizium-Basis verwendet wird, welches
neben den photoelektrischen Empfänger-Feldern bereits ein Teil der Signalverarbeitung
enthält.
6. Interferometrische Positionsmeßeinrichtung nach Patentanspruch 1, dadurch
gekennzeichnet, dass
die Hell- und Dunkelfelder auf der Maßverkörperung (10) durch entsprechende, den
Codefeldern zugeordnete Arrays auf dem Empfänger-Chip (30) differentiell abgetastet
werden.
7. Interferometrische Positionsmeßeinrichtung nach Patentanspruch 1, dadurch
gekennzeichnet, dass
der Empfänger (30) und der Sender (20) auf derselben Seite der Maßverkörperung (10)
angeordnet sind und dass das vom Sender (20) emittierte Licht mittels Spiegel oder eines
Prismas umgelenkt wird und nach der Transmission der Codescheibe auf den Empfänger
trifft.
8. Interferometrische Positionsmeßeinrichtung nach Patentanspruch 1, dadurch
gekennzeichnet, dass
die Maßverkörperung (10) aus thermoplastischem Kunststoff besteht, welches
mikrostrukturierte Code-Segmente (1) aufweist.
Priority Applications (1)
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-
2000
- 2000-05-24 DE DE2000125410 patent/DE10025410A1/de not_active Withdrawn
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