CN1278144C - 液滴喷出装置、滤色器制造装置、滤色器制造方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种液滴喷出装置，为通过在被处理基材上喷出含有图案形成用材料的液状体来形成希望形状的图案的液滴喷出装置，具有：被处理基材在内部沿一个方向移动、具有在与所述被处理基材的移动方向交叉的方向排列的多个液滴喷出头的描绘部，将描绘前的被处理基材向所述描绘部供给的给材部，和将描绘后的被处理基材从所述描绘部排出的除材部；所述描绘部、所述给材部、和所述除材部沿所述一个方向排列的同时，在与所述多个液滴喷出头的排列方向交叉的方向即所述一个方向上，一面使所述被处理基材从所述给材部侧向所述除材部侧相对于所述多个液滴喷出头作相对移动，一面从所述液滴喷出头喷出液状体。

Description

液滴喷出装置、滤色器制造装 置、滤色器制造方法

技术领域

本发明涉及液滴喷出装置、滤色器制造装置、滤色器及其制造方法、液晶装置、和电子设备。

背景技术

近年来，随着计算机显示器和大型电视等电子设备的发展，液晶显示装置、尤其彩色液晶显示装置的使用与日俱增。在这种液晶显示装置中，通常使用滤色器来实现图像的彩色显示。在滤色器中有，譬如以规定的图案向玻璃基板喷出R(红色)、G(绿色)、B(蓝色)等墨水，使该墨水在基板上干燥而形成着色层的方式。作为这类向基板喷出墨水的方式，采用譬如喷墨方式的液滴喷出装置。

在采用喷墨方式的液滴喷出装置的情况下，从喷墨头向玻璃基板喷出规定量的墨水并使之着落。在此情况下可采用，在例如能沿直交的2个方向(X方向和Y方向)移动、以及能以任意的旋转轴为中心旋转的XYθ搭载台上装载玻璃基板并将喷墨头固定的方式的装置。这类装置的构成是：由XYθ搭载台的驱动、将玻璃基板相对于喷墨头在规定位置定位后，对玻璃基板在X方向和Y方向进行扫描的同时、从喷墨头喷出墨，从而使墨水在玻璃基板的规定位置着落的装置。

采用这类液滴喷出装置的滤色器制造装置的例子，公开在特开2001-33614号公报上。在该文献中公开的滤色器制造装置，在从前面工序向后面工序输送被处理基板的主输送线的侧方，分别具有能描绘R、G、B等3种颜色的着色层的3台着色装置(液滴喷出装置)。还有，在各着色装置与主输送线之间具有，向各着色装置供给未着颜色的玻璃基板的供给传送带、和从各着色装置排出已着色的玻璃基板的排出传送带。在主输送线、供给传送带、和排出传送带之间，具有在这些传送带间移载玻璃基板用的机械手。

然而，特开2001-33614号公报中公开的滤色器制造装置存在以下问题。

即，上述滤色器制造装置为在主输送线的侧方具有着色装置，将从前面工序侧向后面工序侧输送的玻璃基板、从主输送线引入各着色装置内进行描绘，描绘后再度向主输送线返回的构成。因此，描绘时在各着色装置内只能存在1枚玻璃基板，而且在主输送线中需要有返回描绘后的玻璃基板的场所。因此，在各着色装置内在进行描绘时，描绘前的玻璃基板必须在不与描绘后的玻璃基板干涉的位置待命，并在描绘后的玻璃基板返回主输送线时、才开始进行将描绘前的玻璃基板引入着色装置的动作。其结果是，该滤色器制造装置处理1枚玻璃基板所需的节拍时间太长，导致生产效率低下。

由于该装置在根本上具有该缺陷，所以通过设置3台着色装置、并使这些着色装置并行进行描绘来弥补上述缺陷。然而，由于采用在主输送线的侧方配置3台着色装置的构成，所以在滤色器生产线中，该装置就占用非常大的空间，也对生产线的装置布局等造成障碍。为了提高处理效率而增加着色装置的台数，装置的台数越多，当然占用空间越大，该问题势必变得更加突出。还有，近年来随着30～60英寸的大型液晶电视的面市，对于与之相适应的大型滤色器制造装置而言，该问题尤其显得突出。

而且，在所述装置中，主输送线、和连结主输送线及各着色装置之间的输送线的玻璃基板的输送方向相差90°，在主输送线与各着色装置之间需要供给传送带、排出传送带、和机械手等各种输送装置。因此，装置构成变得十分复杂，而且这些输送装置的驱动控制也变得复杂。还有，由于描绘前的玻璃基板和描绘后的玻璃基板在主输送线上混在一起输送，因此也需要分开这些基板的控制。

近年来，不仅对滤色器、还对使用喷墨方式的液滴喷出装置的有机EL(Electron Luminescence)元件等器件的形成技术、或布线形成技术进行开展研讨。以上以滤色器制造装置例子来说明了现有技术及其问题，但在器件形成技术、布线形成技术中也存在上述同样的问题，人们期望实现生产效率更高的制造装置、以及构成该制造装置的液滴喷出装置。

发明内容

本发明是为解决上述问题而进行的，目的在于提供一种具有高生产效率、且结构比较简单、占用空间少、适合于生产线的液滴喷出装置，使用该喷出装置的滤色器制造装置、和滤色器及其该制造方法。

本发明的第1方式的液滴喷出装置，是通过在被处理基材上喷出含有图案形成用材料的液状体来形成希望形状的图案的液滴喷出装置，具有：描绘部，其使被处理基材在内部沿一个方向移动，并且具有在与所述被处理基材的移动方向交叉的方向排列的多个液滴喷出头；给材部，其将描绘前的被处理基材向所述描绘部供给；和除材部，其将描绘后的被处理基材从所述描绘部排出，所述描绘部、所述给材部、和所述除材部沿所述一个方向排列的同时，在与所述多个液滴喷出头的排列方向交叉的方向即所述一个方向上，一面使所述被处理基材从所述给材部侧向所述除材部侧相对于所述多个液滴喷出头作相对移动，一面从所述液滴喷出头喷出液状体。

还有，在此“被处理基材在内部沿一个方向移动”仅指被处理基材以直线状移动，而不管移动方向。因此，根据具体情况，被处理基材也可能沿直线上进行逆向移动。

即，在本发明的液滴喷出装置，为被处理基材在内部沿一个方向移动的描绘部、给材部、和除材部，沿被处理基材的移动方向进行排列的结构。换而言之，本发明的液滴喷出装置，为在连结给材部和除材部的直线状的被处理基材输送线的中途具有描绘部的构成。这样，在与多个液滴喷出头的排列方向交叉的方向即所述一个方向(给材部、描绘部、和除材部的排列方向)，一面使被处理基材从给材部侧向除材部侧相对于多个液滴喷出头作相对移动、一面从液滴吐头喷出液状体，从而形成希望形状的图案。即，由于为从描绘部的一端供给描绘前的被处理基材、而从描绘部的另一端排出描绘后的被处理基材的构成，所以被处理基材能在描绘部内连续移动，能用多个液滴喷出头在仅向一个方向的输送中进行描绘，一气呵成。因此，不需要像从输送线向着色装置内1枚1枚地引入基板的以前的装置那样，将描绘前的被处理基材放在不与描绘后的被处理基材相干涉的位置待命的程序。这样，能缩短每1枚基板的处理所必要的节拍时间、实现高生产效率的装置。

而且，由于给材部、描绘部、和除材部呈直线状排列，即描绘部配置在输送线上，所以与在输送线的侧方配置着色装置的以前的装置相比，能缩小装置的占用空间。

还有，由于不需要使用如以前的装置那样的具有改变被处理基材的输送方向的功能的输送装置，故能简化装置构成。

在本发明的液滴喷出装置中，多个液滴喷出头和被处理基材沿所述一个方向作相对移动即可进行描绘，所以可以采用液滴喷出头和被处理基材中的任何一方移动的构成，也可以采用双方同时移动的构成。

但比较各构成后，希望采用在描绘时，液滴喷出头相对于装置本体固定的构成。

这是因为，在液滴喷出头上连接着多个向喷出头供给液状体的配管与驱动喷出头用的布线，故与使液滴喷出头侧移动的方式相比，使被处理基材侧移动，能使装置的构成简单化。

希望在所述给材部与所述描绘部之间，配置清洗描绘前的所述被处理基材的清洗部。

根据该构成，由于能向描绘部供给清洗后的干净的被处理基材，故可抑制由于附着在被处理基材上的异物等引起的描绘不良，从而提高成品率。

在所述给材部与所述描绘部之间，宜配置表面改性部，以对描绘前的所述被处理基材进行改善其对所述液状体的浸润性的表面改性。这里说的“改善对液状体的浸润性的表面改性”包括，在应该喷出液状体的被处理基材上的区域内进行亲液处理、和在不应该喷出液状体的区域内进行疏液处理。

根据该构成，能可靠地在被处理基材上希望的区域喷出液状体，能抑制在希望的区域以外的区域涂布液状体、或在希望的区域内液状体不浸润铺展等描绘不良的发生，能提高成品率。

在所述描绘部与所述除材部之间，宜配置对在所述被处理基材上喷出的液状体进行加热的加热部。

根据该构成，由于在描绘后对被处理基材上喷出的液状体进行加热，所以能够使液状体中包含的溶剂挥发，来完成液状体的烧结。这样，例如，能防止在接下来的工序中喷出不同种液状体时各种液状体之间混在一起。

在所述描绘部与所述除材部之间，宜配置检查描绘后的所述被处理基材上的描绘状态的检查部。

根据该构成，通过检查描绘后被处理基材上的描绘状态，能判断有无描绘不良的情况发生，能筛选喷出有液状体的被处理基材的良好/不良。视具体情况，也能将不良的被处理基材返回修复作业工序。

本发明第2方式的滤色器制造装置，为制造具有不同颜色的着色层的滤色器的滤色器制造装置，具有多个所述液滴喷出装置，在各液滴喷出装置使用的所述液状体中含有各种不同颜色的色素，各液滴喷出装置分别形成不同颜色的着色层。

即，本发明的滤色器制造装置，具有分别形成不同颜色的着色层，例如形成R、G、B各着色层的多个液滴喷出装置，该液滴喷出装置是由所述液滴喷出装置构成的。根据该实施方式，能实现生产效率高、装置构成简单、装置占用空间小的滤色器制造装置。

在所述多个液滴喷出装置的后段，宜配置由各液滴喷出装置构成的、可统一加热不同颜色的着色层的加热装置。

根据该构成，能使在构成滤色器着色层的液状体中含有的溶剂挥发、进行液状体的烧结。例如，在各液滴喷出装置上设置加热液状体的加热部时，可以使各加热部的加热为预烧结，上述加热装置的加热为正式烧结，将加热条件分别最佳化。这时，能实现将各着色层各自的特性组合在一起进行烧结、得到优质的滤色器。

本发明第3方式的滤色器着色层的制造方法，为具有不同颜色着色层的滤色器着色层的制造方法，用所述滤色器制造装置来形成所述着色层。

根据该实施方式，能高生产效率地制作滤色器、降低制造成本。

本发明第4方式为具有不同颜色着色层的滤色器，利用上述滤色器的制造方法制造。

根据该实施方式，能提供廉价、优质的滤色器。

本发明第5方式为在一对基板间夹持有液晶的液晶装置，具有所述滤色器。

根据该实施方式，提供廉价、优质的彩色液晶显示装置。

本发明第6方式为电子设备，具有所述的液晶装置。

根据该实施方式，能提供具有廉价、优质的彩色液晶显示部的电子设备。

附图说明

图1为作为本发明的一实施方式的滤色器制造装置的概略构成图。

图2为表示作为本发明的一实施方式的滤色器制造装置的液滴喷出装置的立体图。

图3为表示液滴喷出装置的描绘部的立体图。

图4A和图4B为表示液滴喷出头的配置的立体图。

图5A和图5B为表示液滴喷出头的内部构成的立体图。

图6为表示滤色器形成用基板的立体图。

图7A～图7G为按顺序表示滤色器的制造方法的工序剖面图。

图8为作为本发明的一实施方式的液晶装置的剖面图。

图9为作为本发明的电子设备的一实施方式的液晶电视的立体图。

具体实施方式

以下，参照附图说明本发明的一实施方式。

图1为本实施方式的滤色器制造装置的概略构成图，该装置为制造具有R、G、B等三种颜色的着色层的滤色器的装置。

本实施方式的滤色器制造装置1，如图1所示，从基板的输送方向上游侧开始，依次配置有墨受纳层形成装置2、R着色层形成装置3、G着色层形成装置4、B着色层形成装置5、和正式烧结装置6(加热装置)，这些装置通过任意的输送装置(图示略)进行连接。向该滤色器制造装置1，供给由形成有将R、G、B各着色层图案隔开的隔壁(也称为Bank)的玻璃、塑料等构成的透明基板(被处理基材)。墨受纳层形成装置2是在以隔壁分隔的区域内将由树脂组成物构成的墨受纳层作为基底层形成的装置。R着色层形成装置3、G着色层形成装置4、和B着色层形成装置5为涂布随后形成着色层的由R、G、B的墨水构成的液状体的装置。正式烧结装置6为对涂布后的R、G、B等墨水构成的液状体统一加热、进行烧结的装置。在这些装置中，墨受纳层形成装置2、R着色层形成装置3、G着色层形成装置4、和B着色层形成装置5等共计4台装置，在本发明的液滴喷出装置(喷墨装置)中使用。

图2为仅表示本实施方式的滤色器制造装置1的要部、即液滴喷出装置的局部的概略构成立体图。由于使用液滴喷出装置的墨受纳层形成装置2、R着色层形成装置3、G着色层形成装置4、和B着色层形成装置5等的基本构成完全一样，在此将R着色层形成装置3作为一例进行说明。

R着色层形成装置3，如图2所示，从上游侧向下游侧(在图2中从右侧到左侧)具有给材部61、表面改性部62、描绘部63、检查部64、预烧结部65、和除材部66等。大致的处理流程是，对从给材部61供给的描绘前的基板S、在表面改性部62进行亲液处理/疏液处理、在描绘部63向以隔壁分隔的规定区域喷出R的墨水、进行描绘。随后，在检查部64检查描绘状态、在预烧结部65进行墨水的预烧结后，由除材部66将描绘后的基板排出。在本装置中，这些各部61～66沿基板S的移动方向呈直线状配置。还有，由于本装置3是能处理大型基板的大规模装置，故设置有操作者进行后述的头单元的维护的通道67。

给材部61和除材部66能以任意的基板输送机构构成，譬如可使用辊传送带、皮带传送带等。表面改性部62具有等离子体处理室，作为亲液处理是在大气气氛中进行以氧为反应气体的等离子体处理(氧等离子处理)，使基板S的表面和隔壁的侧面亲液化。疏液处理是在大气气氛中进行以四氟化碳为反应气体的等离子体处理(CF4等离子体处理)，使隔壁的上面疏液化。

图3为仅表示出描绘部63附近的概略构成的立体图。

如图3所示，描绘部63为在能向一个方向移动的搭载台70上吸着并保持基板S，并以此状态将基板S向一个方向(在图3中从右侧到左侧)输送的构成，与基板S的输送方向直交延长的头单元71架设在装置本体上。即，本实施方式的液滴喷出装置72为液滴喷出头不移动，仅基板移动的构成。头单元71具有固定有沿与基板S的输送方向直交的方向排列的多个液滴喷出头34的大型标准平板74。

图4A为从液滴喷出头34的喷嘴侧观察的大型标准平板74的立体图，图4B为1个液滴喷出头34的放大图(图4A符号H圆内的放大图)。如图所示，在1枚小型标准平板73上固定1个液滴喷出头34，在1枚大型标准平板74上固定与头同样个数的小型标准平板73。在本实施方式的情况下，多个液滴喷出头34排成3列，每列多个，在各列之间沿大型标准平板74的长度方向错开的位置进行配置。而且，各液滴喷出头34具有多个喷嘴(喷出口，在图4中未图示出来)。根据此构成，该头单元71能够在大型标准平板74的长度方向，即，与基板S的输送方向直交的方向，以规定的节距在例如长达数米的尺寸上喷出墨滴。这样，通过沿与液滴喷出头34的排列方向直交的方向输送基板S的同时，喷出墨滴，能够用R(红色)墨水在基板S的整个面描绘出希望的图案形状。而且，图3中的符号76是墨水罐。墨水罐76是用来储存墨的容器，通过配管(未图示)向液滴喷出头34供给。

液滴喷出头34是利用例如压电元件压缩液室，利用该压力波喷出液状体的部件，如上所述，具有排成一列或多列的多个喷嘴。现说明该液滴喷出头34构造的一个例子。如图5A所示，液滴喷出头34具有例如不锈钢制的喷嘴平板12和振动板13，两者通过隔离部件(Reservoir Plate)14连接。在喷嘴平板12与振动板13之间，由隔离部件14形成多个空间15和集液池16。各空间15和集液池16内装满墨水，各空间15与集液池16通过供给口17连通。而且，在喷嘴平板12上形成从空间15喷出墨水用的喷嘴18。另一方面，在振动板13上形成向集液池16供给墨水的孔19。

还有，如图5B所示，在与振动板13的空间15对向的面和相反一侧的面上接合着压电元件20。该压电元件20位于一对电极21之间，一通电流就向外侧突出挠曲。而且，在这样构成的基础上，与压电元件20连接的振动板13与压电元件20一体同时向外侧挠曲，这样使空间15的容量增加。因此，与空间15内增加的容量相当的这部分墨水就从集液池16通过供给嘴17流入。而且，从这样的状态解除向压电元件20的通电，则压电元件20和振动板13便一起回到原来的状态。

这样，空间15也回到原来的容量，空间15内部的墨水的压力上升，从喷嘴18向基板喷出墨水的液滴L。

还有，作为液滴喷出头2的墨喷方式，也可为使用所述的压电元件20的压电方式以外的方式。例如，可以采用作为能量产生元件而使用电/热转换器的方式。

如图3所示，在头单元71的长度方向的侧方设置有吸引/冲洗部80。吸引/冲洗部80是为了防止各液滴喷出头34的堵塞等引起的喷出不良，而以规定的频率对各液滴喷出头34进行吸引/冲洗作业的部件。具体构成是，在吸引/冲洗部80中具有在吸引时填塞各液滴喷出头34的喷嘴的加盖单元81，和擦拭喷嘴及其周围的擦拭片(wiper)82等。而且，在头单元71下游侧设置有检查在描绘后的基板S的描绘状态，即墨滴是否在规定的位置准确地喷出的检查部64。检查部64用例如CCD等的线传感器构成。

还有，在本实施方式的情况下，在由检查部64发现有未在规定的位置喷出墨水的不良位置时，修补用头86仅在该处再度喷出墨水来对此不良位置进行修补。如图3所示，修补用头86设置在头单元71的上游侧，所以搭载台70仅在修补时逆向(在图3中从左侧向右侧)移动。修补用头86仅有1个液滴喷出头34，并能沿与基板S的输送方向直交的方向移动。或者，修补用头86也可位于头单元71的下游侧位置，在此情况下，该搭载台70无需逆向移动。而且，在检查部64的下游侧设置有例如激光干燥方式的预烧结部65。预烧结部的烧结条件，根据R、G、B的各色的情况各自被优化。

以上以R着色层形成装置3为例说明了液滴喷出装置的构成，但仅在滤色器制造装置1的初段存在的墨受纳层形成装置2中，在表面改性部62的上游侧具有清洗部90，如图1所示。向墨受纳层形成装置2供给形成有隔壁的基板S，如图2所示，但在该清洗部90，在进行基板S的表面改性之前用湿清洗、臭氧清洗等方法对基板S清洗，向表面改性部62供给干净的基板S。根据该构成，能抑制由于附着在基板S上的异物等引起的描绘不良，能提高成品率。

接下来，说明使用本实施方式的滤色器制造装置1的滤色器制造方法的一个例子。如图6所示，从提高生产率的观点考虑，使用所述滤色器制造装置1的滤色器的制造方法适用于，在长方形状的基板S上形成矩阵状的多个滤色器区域51。通过随后对基板S进行切割，这些滤色器区域51能够作为适合于液晶显示装置的单独的滤色器使用。还有，如图6所示，在各滤色器区域51中将R墨水、G墨水、和B墨水分别以规定的图案，在本例中为公知的条纹型图案形成配置。还有，作为该形成图案，除条纹型以外还可采用马赛克型、三角型或方型等。

在形成该滤色器区域51时，首先，如图7A所示，在透明基板S的一面上形成黑底52。在形成该黑底52时，用旋转涂敷等方法以规定的厚度(例如约2μm)涂布非透光性树脂(优选黑色树脂)，并用光蚀刻技术形成图案。该黑底52的格子围成最小的显示要素。即，对于滤色器元件53，其尺寸为，例如X轴方向的宽度为30μm，Y轴方向的长度为100μm左右。该黑底具有足够高度，作为墨水喷出时的隔壁发挥功能。

接下来如图7B所示，在本实施方式的滤色器制造装置1中的墨受纳层形成装置2中，从液滴喷出头34喷出含有构成墨受纳层的树脂组成物的墨滴54(液状体)，并向该基板S上着落。关于喷出的墨滴54的量，为考虑到加热工序的墨水体积减少的足够的量。随后，在墨受纳层形成装置2的烧结部进行墨滴的烧结，形成如图7C所示的墨受纳层60。

其次如图7D所示，从R着色层形成装置3的液滴喷出头34R喷出墨滴54R(液状体)，并向基板S上着落。关于喷出的墨滴54R的量，为考虑到加热工序的墨水体积减少后的足够的量。随后，在R着色层形成装置3的预烧结部65进行墨水的预烧结，如图7E所示那样形成R着色层34R。在G着色层形成装置4和B着色层形成装置5中重复以上的工序，如图7F所示那样，依次形成G着色层34G和B着色层34B。R着色层34R、G着色层34G、、和B着色层34B全部形成后，在正式烧结装置6中对这些着色层34R、34G、、和34B等进行统一烧结。

随后，为了使基板S平坦化，并且保护着色层34R、34G、和34B，如图7G所示，形成覆盖各着色层34R、34G、和34B和黑底52等的外覆膜(保护膜)56。该外覆膜56的形成方法可采用旋转涂敷法、滚涂膜法、剥离(Ripping)法等方法，但液可以与着色层34R、34G、34B同样地使用液滴喷出装置。

构成本实施方式的滤色器制造装置1的液滴喷出装置72在连结给材部61和除材部66直线状的基板输送线中途具有描绘部63，一面使基板S沿多个液滴喷出头34的排列方向交叉的方向移动，一面从液滴喷出头34喷出墨水，从而形成希望形状的图案。即，为从描绘部63的一端供给描绘前的基板S，并从描绘部63的另一端排出描绘后的基板S的构成，因此，基板S能在描绘部63内连续移动，能仅在一个方向的输送中用多个液滴喷出头34进行描绘，一气呵成。因此，与从输送线向着色装置内1枚1枚地引入基板S的以前的装置相比，能够缩短处理每1枚基板所需的节拍时间，实现生产效率高的装置。

而且，由于给材部61、描绘部63、和除材部66呈直线状排列，所以与在输送线的侧方配置着色装置的以前的装置相比，能缩小装置的占用空间。还有，由于不需要如以前的装置那样的具有改变被处理基材的输送方向的功能的输送装置，由此能简化装置构成。

而且，由于各液滴喷出装置72设置有表面改性部62，所以能够在喷出墨水之前对基板表面进行亲液处理、疏液处理，能可靠地在基板上希望的区域喷出墨水。因此，能抑制在希望的区域以外的区域涂布墨水，或墨水不在希望的区域内浸润铺展等描绘不良的发生，能提高成品率。而且，由于在描绘部63的下游侧设置有预烧结部65，所以能够在描绘后对基板上喷出的墨水进行预烧结。因此，能防止在下道工序中喷出的不同种类的墨水时，墨水之间混在一起。还有，由于在滤色器制造装置1的最下游侧设置有正式烧结装置6，故能对R、G、B的墨水进行正式烧结。根据该构成，可以通过优化各自的预烧结和正式烧结的加热条件，进行与R、G、B等各着色层各自的特性相符的烧结，能得到高质量的滤色器。而且，由于设置有检查描绘状态的检查部64，所以能判断有无描绘不良的情况发生，能甄别分开喷出有墨水的基板的良好/不良。视具体情况，也能将不良的基板返回修复作业工序。

接下来，说明具有所述滤色器的液晶装置(电光装置)的一实施方式。图8为表示无源矩阵型的液晶显示装置的图，图8中符号30为液晶装置。该液晶装置30为透射型液晶装置，它是在一对玻璃基板31、32之间包挟由STN(超扭曲向列型液晶Super Twisted Nematic)液晶等组成的液晶层33而形成的。

在一方的玻璃基板31上，在其内面形成有所述滤色器55。滤色器55是由R、G、B的各颜色组成的着色层34R、34G、34B有规则地排列构成的部件。还有，在这些色素层34R(34G、34B)之间形成黑底52。而且，为了消除由滤色器55或黑底52形成的高低差而使之平坦化，在这些滤色器55和黑底52上形成外覆膜(保护膜)56。在外覆膜56上以条纹状形成多个电极37，并在其上形成取向膜38。

在另一方的玻璃基板32上，在其内面，以与滤色器55侧的电极直交的形态，以条纹状形成多个电极39，在这些电极39上形成有取向膜40。还有，所述滤色器55的各着色层34R、34G、和34B分别配置在各玻璃基板32上与电极39、37交叉的位置上。而且，电极37、39是由ITO(IndiumTin Oxide)等透明导电材料形成的。还有，在玻璃基板32和滤色器55的外面侧分别设置有偏光板(未图示)，在玻璃基板31、32之间设置有用于使这些基板31、32之间的间隔(Cell Gap)保持固定的间隔体(Spacer)41。还有，在这些玻璃基板31、32之间设置有封入液晶33用的密封材料42。

在本实施方式的液晶装置30中，应用了使用所述滤色器制造装置1制造的滤色器55，所以能实现廉价、优质的彩色液晶显示装置。

下面，说明具有由所述液晶装置构成的显示机构的电子设备的具体例子。

图9为表示液晶电视的一例的立体图。

在图9中，符号500表示液晶电视本体，符号501表示具有所述实施方式的液晶装置的液晶显示部。这样，如图9所示的电子设备，具有所述实施方式的液晶装置，所以能实现具有廉价且显示品味良好的彩色液晶显示的电子设备。

还有，本发明的技术范围不限定于上述实施方式，在不脱离本发明主旨的范围内可进行各种变更。例如，上述实施方式的滤色器制造装置的细节的具体构成等可进行适当的变更。而且，虽然在上述实施方式中举出了将本发明的液滴喷出装置应用于滤色器的制造中的例子，但不仅限于滤色器，也可应用于有机EL元件等器件形成技术，或各种布线形成技术。

Claims (9)

1.一种液滴喷出装置，是通过在被处理基材上喷出含有图案形成用材料的液状体来形成希望形状的图案的液滴喷出装置，其特征在于，具有：

描绘部，其使被处理基材在内部沿一个方向移动，并且具有在与所述被处理基材的移动方向交叉的方向排列的多个液滴喷出头；

给材部，其将描绘前的被处理基材向所述描绘部供给；和

除材部，其将描绘后的被处理基材从所述描绘部排出，

所述描绘部、所述给材部、和所述除材部沿所述一个方向排列的同时，在与所述多个液滴喷出头的排列方向交叉的方向即所述一个方向上，一面使所述被处理基材从所述给材部侧向所述除材部侧相对于所述多个液滴喷出头作相对移动，一面从所述液滴喷出头喷出液状体。

2.根据权利要求1所述的液滴喷出装置，其特征在于，

在描绘时，所述液滴喷出头相对于装置本体固定。

3.根据权利要求1所述的液滴喷出装置，其特征在于，

在所述给材部和所述描绘部之间，具有用于清洗描绘前的所述被处理基材的清洗部。

4.根据权利要求1所述的液滴喷出装置，其特征在于，

在所述给材部和所述描绘部之间，具有表面改性部，其对描绘前的所述被处理基材实施改善其对于所述液状体的浸润性的表面改性。

5.根据权利要求1所述的液滴喷出装置，其特征在于，

在所述描绘部和所述除材部之间，具有对在所述被处理基材上喷出的液状体进行加热的加热部。

6.根据权利要求1所述的液滴喷出装置，其特征在于，

在所述描绘部和所述除材部之间，具有用于检查描绘后的所述被处理基材上的描绘状态的检查部。

7.一种滤色器制造装置，为制造具有不同颜色的着色层的滤色器的滤色器制造装置，其特征在于，

具有多个权利要求1所述的液滴喷出装置，各液滴喷出装置中使用的所述液状体分别含有不同颜色的色素，各液滴喷出装置分别形成不同颜色的着色层。

8.根据权利要求7所述的滤色器制造装置，其特征在于，

在所述多个液滴喷出装置的后段，具有对由各液滴喷出装置形成的不同颜色的着色层进行统一加热的加热装置。

9.一种滤色器着色层的制造方法，是具有不同颜色着色层的滤色器着色层的制造方法，其特征在于，

通过用权利要求7所述的滤色器制造装置来形成所述着色层。

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