一、產(chǎn)品簡(jiǎn)介

SG-9500XM硅片檢查顯微鏡主要用于太陽能電池硅片的觀察。太陽能檢測(cè)顯微鏡能生產(chǎn)高清晰的圖像,立體感較強(qiáng)，成像較清晰視野寬闊，配置有長工作距離物鏡，并具有較大的視場(chǎng)范圍和相應(yīng)的放大倍數(shù), 配有高像素的工業(yè)相機(jī),可以清晰的看到硅片的”金字塔” 的微觀形貌分布情況,及硅片的缺陷分析，是太陽能電池硅片的普遍專用顯微鏡。單晶硅檢測(cè)顯微鏡可以觀察到肉眼難觀測(cè)的大陽能晶體硅片檢測(cè)、位錯(cuò)、劃痕、崩邊等；還可以對(duì)硅片的雜質(zhì)、殘留物成分分析。雜質(zhì)包括: 顆粒、有機(jī)雜質(zhì)、無機(jī)雜質(zhì)、金屬離子、硅粉粉塵等，會(huì)使磨片后的硅片易于發(fā)生變花、發(fā)藍(lán)、發(fā)黑等現(xiàn)象，使磨片不合格。顯微檢測(cè)幾乎是太陽能電池硅片生產(chǎn)過程中必不可少的檢測(cè)儀器之一。

二、產(chǎn)品特點(diǎn)

1.采用柯拉照明系統(tǒng)，配置優(yōu)良的長工作距平場(chǎng)消色差物鏡與大視野物鏡，可提供卓越的光學(xué)性能；

2.產(chǎn)品主體采用“T”型防振結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)使儀器更加穩(wěn)固，適用于大試樣的顯微觀察 ；

3.采用12V30W鹵素?zé)粽彰鳎炼瓤烧{(diào)），不僅能明視場(chǎng)觀察，還能對(duì)偏光觀察提供清晰鮮明的顯微觀察象；

4.產(chǎn)品造型美觀，操作方便，是金屬學(xué)、精密工程學(xué)、電子學(xué)等研究的理想儀器。

三、技術(shù)規(guī)格

1.光學(xué)系統(tǒng)：采用無限遠(yuǎn)效正光學(xué)系統(tǒng)。

2.目鏡筒:三目鉸鏈?zhǔn)剑?0 ?傾斜,瞳距55-75mm，可100%通光攝影。

3.平場(chǎng)目鏡:帶膠眼罩WF10X/22目鏡，屈光度±5°可調(diào)

4.無限遠(yuǎn)長距平場(chǎng)物鏡

放大倍數(shù)	數(shù)值孔徑	工作距離（mm）
PL L5X	0.10	29.4
PL L10X	0.25	16.0
PL L20X	0.40	10.6
PL L50X	0.55	5.1

5.轉(zhuǎn)換器:四孔(內(nèi)向式滾珠內(nèi)定位)

6.調(diào)焦機(jī)構(gòu):粗微動(dòng)同軸調(diào)焦,帶鎖緊和限位裝置,微調(diào)0.0002mm

7.載物臺(tái),尺寸:180mm×150mm ,移動(dòng)范圍:橫向(×)75mm,縱向(Y)50mm,帶玻璃平臺(tái)。

8.聚光鏡:采用燕尾導(dǎo)軌齒輪齒條傳動(dòng)升降，NA.1.25 阿貝聚光鏡帶可變光欄和濾色片

9.照明系統(tǒng):落射科勒照明，帶孔徑可變光欄和視場(chǎng)可變光欄，透射照明12V30W.AC85V230V亮度可調(diào)

10.偏光裝置：檢偏鏡可360度轉(zhuǎn)動(dòng)，起偏鏡檢偏鏡均可移出光路

11.濾色片:磨砂玻璃、藍(lán)色濾色片、黃色濾色片、綠色濾色片

12.適配鏡：直徑：59mm,放大倍率：0.5倍 ，內(nèi)調(diào)焦距：0～3mm 調(diào)焦后可鎖緊

13.顯微鏡工業(yè)相機(jī)：圖像傳感器 1/2.5" 彩色500萬CMOS；像素點(diǎn)尺寸：2.2μmx2.2m；分辨率：2592 x 1944；幀率：5fps全分辨率；靈敏度：1.4V/lux- sec(550nm)；自動(dòng)曝光控制: 8μs-375ms；信噪比: 44dB；掃描方式:逐行掃描；快門:電子快門；數(shù)據(jù)接口:USB2.0, 480Mb/s；白平衡:一鍵白平衡。

14.軟件功能：圖像顯示、圖像拍攝、錄像和圖象處理功能，可以對(duì)所攝圖像進(jìn)行文字

15.編輯，比例尺顯示；超景深擴(kuò)展；長度，角度，弧長測(cè)量；點(diǎn)，線，平行線，垂直測(cè)量；圓、橢圓測(cè)量；矩形，不規(guī)則形狀的周長、面積、重心位置等幾何參數(shù)量。

四、配置清單

1.檢查顯微鏡  一臺(tái)

2.WF10×高眼點(diǎn)平場(chǎng)目鏡 一對(duì)

3.長距平場(chǎng)消色差物鏡:5×、10×、20×、50× 一只

4.鹵素?zé)?2V/30W 二只

5.濾色片（黃、藍(lán)、綠、磨砂玻璃） 一組

6.專用適配鏡  一只

7.YH-5001像素工業(yè)相機(jī) 一只

8.校準(zhǔn)尺0.01mm  一片

9.偏光裝置 一套

10.產(chǎn)品說明書，合格證及保修卡  一份